Турбомолекулярные насосы KYKY CXF на магнитной подвеске
Пятиосевой активный магнитный подвес удерживает ротор без контакта в рабочем режиме. Смазка рабочего подвеса не требуется; защитные подшипники служат для аварийных режимов. Серия применяется в полупроводниковых процессах, покрытиях и исследовательских установках. Исполнения с подогревом и защитным газом подбирают под состав технологической среды.
Вакуумное оборудование KYKY
Русский технический каталог: насосы с масляной и консистентной смазкой, приборные модели, насосы CXF на магнитной подвеске, контроллеры и откачные посты FJ. Фотографии, параметры по газам, габаритные чертежи и файлы характеристик.
Модели и исполнения
- CXF-200/1401
- CXF-200/1402
- CXF-200/1401CV
- CXF-200/1401CS
- CXF-200/1402CS
- CXF-200/1401CVS
- CXF-250/2301
- CXF-250/2302
- CXF-250/2301G
- CXF-250/2301CV
- CXF-250/2301CS
- CXF-250/2302CS
- CXF-250/2301CVS
- CXF-320/3001
- CXF-320/3002
- CXF-320/3001CV
- CXF-320/3001CS
- CXF-320/3002CS
- CXF-320/3001CVS
Параметры приведены по каталогу KYKY за декабрь 2025 года. Быстроту откачки, степень сжатия, давление, охлаждение и питание проверяют по конкретному исполнению. Комплектацию согласуют под задачу предприятия.