Гелиевый течеискатель ASM142. Руководство по эксплуатации.

В инструкции рассмотрены устройство и назначение течеискателя, правила безопасной эксплуатации, подключение к установке, работа с панелью управления, настройка режимов испытаний, выполнение внутренней и внешней калибровки, применение калиброванных гелиевых течей, работа с режимом щупа, настройка порогов браковки, использование интерфейсов, обслуживание, диагностика неисправностей и рекомендации по восстановлению работоспособности прибора.

Руководство по эксплуатации гелиевого течеискателя ASM142

Русскоязычная HTML-адаптация инструкции по эксплуатации, настройке, калибровке, техническому обслуживанию и диагностике гелиевых течеискателей серии ASM142.

Область применения. Материал предназначен для инженерного персонала, специалистов по контролю герметичности, наладчиков вакуумного оборудования и сервисных инженеров, которые используют течеискатель для вакуумного метода, щупового метода, контроля изделий в камерах, настройки порогов браковки и обслуживания измерительной системы.

Информация LeakLab. Лаборатория LeakLab выполняет техническое обслуживание, диагностику, настройку, ремонт и проверку работоспособности гелиевых течеискателей ASM142. При обслуживании контролируются форвакуумная система, высоковакуумный тракт, масс-спектрометрическая ячейка, фон гелия, калибровка, клапаны, датчики давления и электронные модули.

Содержание

Назначение и принцип действия
Методы испытаний
Требования безопасности
Распаковка, хранение и транспортирование
Подключение к установке
Интерфейсы, принтер и внешнее управление
Подготовка к запуску
Панель управления и уровни доступа
Запуск, останов и режимы работы
Калибровка
Опции и принадлежности
Настройки, функции и сообщения
Техническое обслуживание и диагностика
Приложение с иллюстрациями

1. Назначение и принцип действия

Течеискатель ASM142 относится к гелиевым масс-спектрометрическим течеискателям. Прибор предназначен для обнаружения и количественной оценки течей по гелию в вакуумных системах, герметичных изделиях, узлах с фланцевыми соединениями, сварных конструкциях, клапанах, камерах, трубопроводах и малых сборках.

В основе работы прибора лежит масс-спектрометрическое обнаружение пробного газа. Гелий, попадающий во входной тракт прибора из контролируемого объекта, поступает в анализаторную ячейку. Ионы разделяются по массе в магнитном поле, после чего измерительная система формирует сигнал, пропорциональный потоку течи.

Вакуумный метод

Контролируемый объект откачивается, а наружная поверхность обдувается гелием. При наличии течи гелий попадает внутрь объекта и регистрируется течеискателем.

Щуповой метод

Изделие заполняется гелием или гелиевой смесью, а снаружи выполняется поиск места выхода пробного газа щупом.

Камерный метод

Изделие помещается в испытательную камеру. Метод применяют для серийного контроля и интегральной оценки герметичности.

Прибор использует несколько режимов работы. Режим грубой течи применяют для начального этапа контроля при более высоком давлении на входе. Нормальный режим применяют для высокочувствительного измерения после достаточной откачки входного тракта. Щуповой режим предназначен для локализации течей при атмосферном давлении около входа щупа.

Анализаторная ячейка

Анализаторная ячейка представляет собой масс-спектрометр с магнитным отклонением и двумя отдельными вольфрамовыми нитями накала. Наличие двух нитей повышает ремонтопригодность и позволяет временно продолжить работу при отказе одной нити, если состояние второй нити соответствует требованиям.

Основные технические характеристики ASM142

Параметр	Значение
Диапазон отображения давления на входе	от 10³ до 10^-3 мбар, от 10⁵ до 10^-1 Па
Диапазон измерения в режиме грубой течи	от 1 × 10^-9 до 1 мбар·л/с
Диапазон измерения в нормальном режиме	от 1 × 10^-11 до 3 × 10^-4 мбар·л/с
Диапазон измерения в щуповом режиме	от 1 × 10^-7 до 1 × 10^-1 мбар·л/с
Время отклика при заглушенном входе	менее 0,5 с
Быстрота откачки по гелию на входе	1,1 л/с в режиме грубой течи, 1,3 л/с в нормальном режиме
Форвакуумный насос ASM142	быстрота откачки около 10 м³/ч по воздуху
Питание	100–130 В или 200–240 В, 50/60 Гц, однофазная сеть
Максимальная потребляемая мощность	менее 1 кВт для ASM142, менее 500 Вт для исполнений D
Рабочая температура	0…45 °C для ASM142, 0…35 °C для ASM142 D
Масса	около 56 кг для ASM142, около 42 кг для ASM142 D
Входной фланец	DN 25

Иллюстрации к разделу о составе и принципе действия

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 1 — Рис. 1

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 2 — Рис. 2

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 3 — Рис. 3

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 4 — Рис. 4

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 5 — Рис. 5

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 6 — Рис. 6

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 7 — Рис. 7

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 8 — Рис. 8

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 9 — Рис. 9

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 10 — Рис. 10

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 11 — Рис. 11

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 12 — Рис. 12

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 13 — Рис. 13

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 14 — Рис. 14

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 15 — Рис. 15

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 16 — Рис. 16

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 17 — Рис. 17

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 18 — Рис. 18

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 19 — Рис. 19

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 20 — Рис. 20

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 21 — Рис. 21

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 22 — Рис. 22

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 23 — Рис. 23

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 24 — Рис. 24

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 25 — Рис. 25

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 26 — Рис. 26

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 27 — Рис. 27

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 28 — Рис. 28

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 29 — Рис. 29

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 30 — Рис. 30

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 31 — Рис. 31

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 32 — Рис. 32

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 33 — Рис. 33

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 34 — Рис. 34

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 35 — Рис. 35

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 36 — Рис. 36

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 37 — Рис. 37

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 38 — Рис. 38

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 39 — Рис. 39

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 40 — Рис. 40

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 41 — Рис. 41

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 42 — Рис. 42

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 43 — Рис. 43

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 44 — Рис. 44

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 45 — Рис. 45

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 46 — Рис. 46

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 47 — Рис. 47

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 48 — Рис. 48

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 49 — Рис. 49

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 50 — Рис. 50

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 51 — Рис. 51

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 52 — Рис. 52

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 53 — Рис. 53

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 54 — Рис. 54

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 55 — Рис. 55

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 56 — Рис. 56

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 57 — Рис. 57

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 58 — Рис. 58

Принцип действия и состав течеискателя ASM142 59 — Рис. 59

2. Методы испытаний

Вакуумный метод

При вакуумном методе контролируемый объект подключают к входу течеискателя. После предварительной откачки прибор переводится в режим испытания. Наружную поверхность объекта обдувают гелием. Если в объекте есть сквозной дефект, гелий поступает во внутренний объем и регистрируется анализаторной ячейкой.

При испытании вакуумным методом необходимо обеспечить герметичное подключение объекта, чистоту входного тракта, отсутствие влаги и загрязнений, соответствующий уровень предварительного вакуума и стабильный фоновый сигнал гелия.

Щуповой метод

Щуповой метод используют для поиска места выхода пробного газа из объекта, находящегося под избыточным давлением гелия или гелиевой смеси. Щуп перемещают вдоль сварных швов, фланцев, резьбовых соединений, клапанов и других потенциальных мест нарушения герметичности.

Скорость перемещения щупа должна соответствовать требуемой чувствительности. При поиске малых течей щуп перемещают медленно, выдерживая его в зоне контроля. При значительном фоне гелия помещение необходимо проветрить, а фон прибора стабилизировать.

Метод испытательной камеры

Испытательная камера применяется для интегрального контроля изделия. При таком методе изделие помещается в объем камеры, после чего выполняется откачка, заполнение изделия пробным газом или обдув в зависимости от схемы испытаний. Метод удобен для серийного контроля и позволяет исключить пропуск локальных дефектов.

Практика LeakLab. При разработке методики испытаний специалисты LeakLab выбирают схему подключения, режим испытания, давление пробного газа, порог браковки, способ калибровки и порядок подтверждения чувствительности с учетом конструкции изделия и требований нормативной документации.

3. Требования безопасности

К работе с течеискателем допускают персонал, изучивший руководство, требования электробезопасности, правила обращения с вакуумным оборудованием, пробными газами и объектами, работающими под давлением.

Электрическая безопасность

Перед обслуживанием необходимо отключить сетевой кабель.
После выключения прибора следует выдержать не менее 5 минут перед открытием корпуса, так как внутренние цепи могут сохранять заряд.
Работы с электрическими цепями, платами питания, контроллерами насосов и интерфейсными платами должен выполнять обученный персонал.
Запрещается эксплуатировать прибор с поврежденным сетевым кабелем или без защитного заземления.

Вакуумная и газовая безопасность

Объекты, подключаемые к входу течеискателя, должны выдерживать перепад давления до 1 бар относительно атмосферы.
Запрещается откачивать агрессивные, токсичные, коррозионные и конденсирующиеся среды без специальной подготовки и подтверждения совместимости.
При наличии азотной продувки необходимо сбросить давление перед обслуживанием и отключить газовую линию.
Выхлопной патрубок не должен быть заглушен. Повышенное давление на выхлопе ухудшает работу насоса и может привести к повреждению прибора.

Температурные риски

При работе отдельные наружные элементы, особенно в зоне выхлопа и насосного модуля, могут нагреваться выше 70 °C. При обслуживании необходимо использовать защитные перчатки и выдерживать время охлаждения.

Риск опрокидывания и транспортирования

Прибор имеет значительную массу. При перемещении необходимо использовать штатные ручки, тележку или подъемное оборудование. Нельзя перемещать прибор в произвольных положениях, особенно при работающем высоковакуумном насосе.

Предупреждение. Не допускается перемещать течеискатель при работающем высоковакуумном насосе. Наклон и резкое изменение положения могут привести к повреждению насосного узла.

Иллюстрации к разделу безопасности

Требования безопасности и маркировка ASM142 96 — Рис. 96

Требования безопасности и маркировка ASM142 97 — Рис. 97

Требования безопасности и маркировка ASM142 98 — Рис. 98

Требования безопасности и маркировка ASM142 99 — Рис. 99

Требования безопасности и маркировка ASM142 100 — Рис. 100

Требования безопасности и маркировка ASM142 101 — Рис. 101

Требования безопасности и маркировка ASM142 102 — Рис. 102

Требования безопасности и маркировка ASM142 103 — Рис. 103

Требования безопасности и маркировка ASM142 104 — Рис. 104

Требования безопасности и маркировка ASM142 105 — Рис. 105

Требования безопасности и маркировка ASM142 106 — Рис. 106

Требования безопасности и маркировка ASM142 107 — Рис. 107

Требования безопасности и маркировка ASM142 108 — Рис. 108

Требования безопасности и маркировка ASM142 109 — Рис. 109

Требования безопасности и маркировка ASM142 110 — Рис. 110

Требования безопасности и маркировка ASM142 111 — Рис. 111

Требования безопасности и маркировка ASM142 112 — Рис. 112

Требования безопасности и маркировка ASM142 113 — Рис. 113

Требования безопасности и маркировка ASM142 114 — Рис. 114

Требования безопасности и маркировка ASM142 115 — Рис. 115

4. Распаковка, хранение и транспортирование

Распаковка

После получения оборудования упаковку следует вскрывать аккуратно. Рекомендуется сохранить транспортную тару для возможной последующей отправки прибора на сервис. До вскрытия необходимо проверить наименование модели, серийный номер и состояние индикатора наклона упаковки.

Если индикатор наклона показывает, что коробка была опрокинута, необходимо зафиксировать это состояние, проверить прибор на внешние повреждения и оформить претензию перевозчику при наличии признаков повреждения.

Комплект поставки

Комплект поставки зависит от исполнения прибора. В состав могут входить руководство пользователя, краткое руководство, масло и воронка для заливки, сертификат калибровки внутренней калиброванной течи, шестигранные ключи, отвертка, вакуумный шланг, вакуумный соединитель, щуп LDS, инструкция по интерфейсу RS-232 и другие принадлежности.

Позиция	Назначение
Масло и воронка	Заправка форвакуумного насоса перед первым пуском, если насос поставлен без масла.
Сертификат калиброванной течи	Подтверждение значения внутренней калиброванной течи и исходных параметров калибровки.
Щуп LDS	Работа в щуповом режиме и локализация течей.
Кабели и интерфейсные принадлежности	Подключение пульта, внешнего управления, ПК или принтера.

Хранение

При длительном хранении на состояние прибора влияют температура, влажность, солевая атмосфера, пыль и воздействие света. Эластомерные уплотнения следует хранить вдали от нагрева, прямого солнечного света и ультрафиолета.

Перед запуском после хранения более шести месяцев рекомендуется проверить состояние уплотнений, масла, форвакуумного насоса, клапанов, датчиков и калиброванной течи. При необходимости выполняется профилактическое обслуживание.

Транспортирование

Перед отправкой прибора рекомендуется слить масло из форвакуумного насоса, если конструкция исполнения предусматривает масляный насос. Прибор должен быть надежно зафиксирован в штатной упаковке. Перемещение прибора выполняют с учетом его массы и положения центра тяжести.

Иллюстрации к распаковке, хранению и транспортированию

Распаковка и транспортирование ASM142 116 — Рис. 116

Распаковка и транспортирование ASM142 117 — Рис. 117

Распаковка и транспортирование ASM142 118 — Рис. 118

Распаковка и транспортирование ASM142 119 — Рис. 119

Распаковка и транспортирование ASM142 120 — Рис. 120

Распаковка и транспортирование ASM142 121 — Рис. 121

Распаковка и транспортирование ASM142 122 — Рис. 122

Распаковка и транспортирование ASM142 123 — Рис. 123

Распаковка и транспортирование ASM142 124 — Рис. 124

Распаковка и транспортирование ASM142 125 — Рис. 125

Распаковка и транспортирование ASM142 126 — Рис. 126

Распаковка и транспортирование ASM142 127 — Рис. 127

5. Подключение к установке

Подключение входного патрубка

Контролируемый объект подключают к входному патрубку DN 25 через герметичное вакуумное соединение. Перед подключением необходимо проверить чистоту фланца, состояние центрирующего кольца, уплотнения и отсутствие загрязнений во входном тракте.

Входной фильтр рекомендуется применять при работе с объектами, которые могут выделять частицы, пыль, остатки технологической среды или продукты коррозии. Загрязнение входного тракта ухудшает предельный вакуум, увеличивает фон и может повредить клапаны.

Подключение выхлопа

Выхлопной патрубок должен быть открыт или подключен к линии отвода газа с минимальным противодавлением. Недопустимо перекрывать выхлоп. Для масляного форвакуумного насоса рекомендуется предусмотреть отвод масляного тумана и исключить попадание выхлопных паров в рабочую зону.

Продувка нейтральным газом и напуск на входе

Продувка нейтральным газом применяется для снижения загрязнения внутренних объемов прибора и ускоренного восстановления фонового сигнала после обнаружения крупной течи. Обычно применяют азот или другой газ с низким содержанием гелия. Газ должен быть чистым, сухим, нетоксичным и не содержащим пыль.

Параметр	Рекомендуемое значение
Тип газа	Азот или другой газ с концентрацией гелия не более 1 ppm
Качество газа	Чистый, сухой, без пыли и токсичных компонентов
Рабочее давление	0,3 ± 0,1 бар избыточного давления
Поток продувки для ASM142 D	до 5 sccm

Если давление в линии напуска слишком высокое, входной клапан может оставаться закрытым даже при активированной команде открытия. Давление газа необходимо контролировать редуктором и не превышать рекомендуемые значения.

Информация LeakLab. При подключении течеискателя к промышленной установке LeakLab проверяет схему вакуумирования, выхлоп форвакуумного насоса, наличие фильтров, режим продувки, чистоту входного тракта и корректность напуска после окончания цикла.

Иллюстрации к подключению и продувке

Подключение к установке и продувка нейтральным газом 128 — Рис. 128

Подключение к установке и продувка нейтральным газом 129 — Рис. 129

Подключение к установке и продувка нейтральным газом 130 — Рис. 130

Подключение к установке и продувка нейтральным газом 131 — Рис. 131

Подключение к установке и продувка нейтральным газом 132 — Рис. 132

Подключение к установке и продувка нейтральным газом 133 — Рис. 133

Подключение к установке и продувка нейтральным газом 134 — Рис. 134

Подключение к установке и продувка нейтральным газом 135 — Рис. 135

Подключение к установке и продувка нейтральным газом 136 — Рис. 136

Подключение к установке и продувка нейтральным газом 137 — Рис. 137

Подключение к установке и продувка нейтральным газом 138 — Рис. 138

6. Интерфейсы, принтер и внешнее управление

Внешнее управление через I/O

Интерфейс ввода-вывода позволяет управлять течеискателем от ПЛК или другого внешнего устройства. Разъем расположен на задней панели прибора. Для повышения помехоустойчивости следует применять экранированный кабель с заземлением экрана на корпус разъема.

Вход	Функция
Cycle	Запуск и останов цикла, включая щуповой режим.
Calibration	Запуск автокалибровки.
Zero	Запуск функции нуля.
Inlet vent	Выбор режима напуска на входе.

Выход	Назначение
Sniffer mode	Состояние щупового режима.
Pass	Прибор готов к испытанию, изделие годно.
Fail	Прибор готов к испытанию, изделие не годно.
Fault	Неисправность прибора.
Analog output	Аналоговый выход сигнала гелия.

RS-232

Интерфейс RS-232 позволяет управлять прибором с совместимого ПК и выполнять обмен командами. Для проверки соединения предусмотрен автотест, при котором прибор проверяет связь между компьютером и течеискателем.

Принтер и внешние устройства

Интерфейс принтера может использоваться для подключения принтера, внешнего громкоговорителя или наушников. Параметры обмена: асинхронный режим, 9600 бод, 8 бит данных, без контроля четности, 1 стоп-бит.

При печати доступны конфигурационные билеты, билеты калибровки, билеты проверки калибровки и билеты испытаний. Печать результатов испытаний применяется для документирования контроля и подтверждения параметров настройки.

Иллюстрации к интерфейсам, RS-232 и принтеру

Интерфейсы и внешние устройства ASM142 139 — Рис. 139

Интерфейсы и внешние устройства ASM142 140 — Рис. 140

Интерфейсы и внешние устройства ASM142 141 — Рис. 141

Интерфейсы и внешние устройства ASM142 142 — Рис. 142

Интерфейсы и внешние устройства ASM142 143 — Рис. 143

Интерфейсы и внешние устройства ASM142 144 — Рис. 144

Интерфейсы и внешние устройства ASM142 145 — Рис. 145

Интерфейсы и внешние устройства ASM142 146 — Рис. 146

Интерфейсы и внешние устройства ASM142 147 — Рис. 147

Интерфейсы и внешние устройства ASM142 148 — Рис. 148

7. Подготовка к запуску

Проверка напряжения питания

Перед включением необходимо проверить, что напряжение сети соответствует конфигурации прибора. Маркировка напряжения расположена рядом с сетевым выключателем. Использование неподходящего напряжения может привести к повреждению электронных узлов.

Проверка масла форвакуумного насоса

Для исполнений с масляным форвакуумным насосом необходимо проверить наличие масла до первого пуска. Если насос поставлен без масла, его необходимо заправить рекомендованным маслом до требуемого уровня. Работа насоса без масла приводит к повреждению насоса.

Технические характеристики насосной системы гарантируются только при применении рекомендованного масла, своевременной замене масла и отсутствии загрязнения технологическими средами.

Размещение прибора

Прибор должен быть установлен на устойчивой поверхности без риска падения или опрокидывания. Необходимо обеспечить доступ к вентиляционным отверстиям, входному фланцу, выхлопному патрубку, сетевому выключателю и сервисным зонам.

Иллюстрации к подготовке и первому включению

Подготовка к запуску течеискателя ASM142 149 — Рис. 149

Подготовка к запуску течеискателя ASM142 150 — Рис. 150

Подготовка к запуску течеискателя ASM142 151 — Рис. 151

Подготовка к запуску течеискателя ASM142 152 — Рис. 152

Подготовка к запуску течеискателя ASM142 153 — Рис. 153

Подготовка к запуску течеискателя ASM142 154 — Рис. 154

Подготовка к запуску течеискателя ASM142 155 — Рис. 155

Подготовка к запуску течеискателя ASM142 156 — Рис. 156

Подготовка к запуску течеискателя ASM142 157 — Рис. 157

Подготовка к запуску течеискателя ASM142 158 — Рис. 158

8. Панель управления и уровни доступа

Общий принцип

Панель управления состоит из эксплуатационной части и части настройки и обслуживания. Эксплуатационная часть используется оператором для запуска цикла, выбора режима, выполнения нуля, автокалибровки и наблюдения за сигналом. Часть настройки и обслуживания используется для изменения параметров, доступа к меню и выполнения сервисных функций.

Уровни доступа

Настройки разделены по уровням доступа. Базовые функции доступны оператору, а сервисные и критичные параметры защищены паролем. Заводской пароль в документации указан как 5555. После ввода пароля следует ограничивать доступ к сервисным параметрам только обученному персоналу.

Изменение параметров

Для изменения значения оператор выбирает соответствующую строку меню, активирует параметр функциональной клавишей или нажатием на значение на графической панели, изменяет параметр клавишами увеличения и уменьшения, затем повторно подтверждает выбранное значение.

Сводные экраны

Сводные экраны используются для быстрого просмотра параметров меню Other, Spectro, Set points и Maintenance. Они позволяют проверить единицы измерения, режим испытания, уставки порогов, состояние автокалибровки, параметры калиброванной течи, счетчики обслуживания и параметры интерфейса.

Иллюстрации к панели управления и уровням доступа

Панель управления и уровни доступа ASM142 159 — Рис. 159

Панель управления и уровни доступа ASM142 160 — Рис. 160

Панель управления и уровни доступа ASM142 161 — Рис. 161

Панель управления и уровни доступа ASM142 162 — Рис. 162

Панель управления и уровни доступа ASM142 163 — Рис. 163

Панель управления и уровни доступа ASM142 164 — Рис. 164

Панель управления и уровни доступа ASM142 165 — Рис. 165

Панель управления и уровни доступа ASM142 166 — Рис. 166

Панель управления и уровни доступа ASM142 167 — Рис. 167

Панель управления и уровни доступа ASM142 168 — Рис. 168

Панель управления и уровни доступа ASM142 169 — Рис. 169

Панель управления и уровни доступа ASM142 170 — Рис. 170

Панель управления и уровни доступа ASM142 171 — Рис. 171

Панель управления и уровни доступа ASM142 172 — Рис. 172

Панель управления и уровни доступа ASM142 173 — Рис. 173

Панель управления и уровни доступа ASM142 174 — Рис. 174

Панель управления и уровни доступа ASM142 175 — Рис. 175

Панель управления и уровни доступа ASM142 176 — Рис. 176

Панель управления и уровни доступа ASM142 177 — Рис. 177

Панель управления и уровни доступа ASM142 178 — Рис. 178

Панель управления и уровни доступа ASM142 179 — Рис. 179

Панель управления и уровни доступа ASM142 180 — Рис. 180

Панель управления и уровни доступа ASM142 181 — Рис. 181

Панель управления и уровни доступа ASM142 182 — Рис. 182

Панель управления и уровни доступа ASM142 183 — Рис. 183

Панель управления и уровни доступа ASM142 184 — Рис. 184

Панель управления и уровни доступа ASM142 185 — Рис. 185

Панель управления и уровни доступа ASM142 186 — Рис. 186

Панель управления и уровни доступа ASM142 187 — Рис. 187

Панель управления и уровни доступа ASM142 188 — Рис. 188

Панель управления и уровни доступа ASM142 189 — Рис. 189

Панель управления и уровни доступа ASM142 190 — Рис. 190

Панель управления и уровни доступа ASM142 191 — Рис. 191

Панель управления и уровни доступа ASM142 192 — Рис. 192

Панель управления и уровни доступа ASM142 193 — Рис. 193

Панель управления и уровни доступа ASM142 194 — Рис. 194

Панель управления и уровни доступа ASM142 195 — Рис. 195

Панель управления и уровни доступа ASM142 196 — Рис. 196

Панель управления и уровни доступа ASM142 197 — Рис. 197

Панель управления и уровни доступа ASM142 198 — Рис. 198

Панель управления и уровни доступа ASM142 199 — Рис. 199

Панель управления и уровни доступа ASM142 200 — Рис. 200

Панель управления и уровни доступа ASM142 201 — Рис. 201

Панель управления и уровни доступа ASM142 202 — Рис. 202

Панель управления и уровни доступа ASM142 203 — Рис. 203

Панель управления и уровни доступа ASM142 204 — Рис. 204

Панель управления и уровни доступа ASM142 205 — Рис. 205

9. Запуск, останов и режимы работы

Запуск после хранения

После длительного хранения перед запуском проверяют состояние масла, входного фланца, уплотнений, кабелей, насосов, датчиков давления, пульта управления и калиброванной течи. При нестабильном фоне или невозможности выхода в режим испытаний прибор должен пройти сервисную диагностику.

Запуск течеискателя

После включения прибор выполняет подготовительные операции, запускает насосную систему, проверяет состояние измерительной системы и переходит в режим ожидания или готовности к испытанию. В зависимости от настроек может автоматически выполняться автокалибровка.

Остановка

Останов выполняют штатной командой выключения. При необходимости транспортирования или сервисного обслуживания прибор полностью отключают от сети. Для исполнений с масляным форвакуумным насосом перед отправкой на транспортирование рекомендуется слить масло.

Режимы испытаний

Режим	Назначение	Особенности
Gross leak	Поиск крупных течей	Используется при более высоком давлении на входе и помогает быстро выйти к грубой оценке герметичности.
Normal	Высокочувствительное измерение	Используется после достаточной откачки входного тракта.
Sniffing	Поиск места течи щупом	Вход щупа работает при атмосферном давлении, результат зависит от расстояния до дефекта и скорости перемещения щупа.

Окончание цикла

Цикл может завершаться оператором или автоматически. В автоматическом режиме задаются таймер предварительной откачки и таймер измерения. Для автоматической фиксации результата годен/негоден должна быть активирована функция памяти.

Иллюстрации к запуску, останову и режимам работы

Запуск и режимы работы ASM142 206 — Рис. 206

Запуск и режимы работы ASM142 207 — Рис. 207

Запуск и режимы работы ASM142 208 — Рис. 208

Запуск и режимы работы ASM142 209 — Рис. 209

Запуск и режимы работы ASM142 210 — Рис. 210

Запуск и режимы работы ASM142 211 — Рис. 211

Запуск и режимы работы ASM142 212 — Рис. 212

Запуск и режимы работы ASM142 213 — Рис. 213

Запуск и режимы работы ASM142 214 — Рис. 214

Запуск и режимы работы ASM142 215 — Рис. 215

Запуск и режимы работы ASM142 216 — Рис. 216

Запуск и режимы работы ASM142 217 — Рис. 217

Запуск и режимы работы ASM142 218 — Рис. 218

Запуск и режимы работы ASM142 219 — Рис. 219

Запуск и режимы работы ASM142 220 — Рис. 220

Запуск и режимы работы ASM142 221 — Рис. 221

Запуск и режимы работы ASM142 222 — Рис. 222

Запуск и режимы работы ASM142 223 — Рис. 223

Запуск и режимы работы ASM142 224 — Рис. 224

Запуск и режимы работы ASM142 225 — Рис. 225

Запуск и режимы работы ASM142 226 — Рис. 226

Запуск и режимы работы ASM142 227 — Рис. 227

Запуск и режимы работы ASM142 228 — Рис. 228

Запуск и режимы работы ASM142 229 — Рис. 229

Запуск и режимы работы ASM142 230 — Рис. 230

Запуск и режимы работы ASM142 231 — Рис. 231

Запуск и режимы работы ASM142 232 — Рис. 232

Запуск и режимы работы ASM142 233 — Рис. 233

Запуск и режимы работы ASM142 234 — Рис. 234

Запуск и режимы работы ASM142 235 — Рис. 235

Запуск и режимы работы ASM142 236 — Рис. 236

Запуск и режимы работы ASM142 237 — Рис. 237

10. Калибровка

Назначение калибровки

Калибровка устанавливает соответствие между сигналом анализаторной ячейки и известным потоком калиброванной гелиевой течи. Без корректной калибровки количественное значение потока течи может быть недостоверным.

Калибровка требуется после длительного простоя, после сервисных работ, после замены нити накала, после обслуживания насосной системы, при подозрении на нестабильность сигнала, после загрязнения гелием и перед ответственными испытаниями.

Внутренняя калиброванная течь

Внутренняя калиброванная течь используется для автоматической или полуавтоматической калибровки. Ее параметры задаются в меню прибора: значение течи, год калибровки, температурный коэффициент, потеря гелия в год, рабочая единица измерения и расположение течи.

Внешняя калиброванная течь

Внешняя калиброванная течь используется для проверки и настройки чувствительности в условиях, приближенных к реальному испытанию. Для щупового режима применяют адаптер, который обеспечивает корректное подключение калиброванной течи к щупу.

Важное требование. Значение калиброванной течи должно соответствовать диапазону применяемого метода и порогу браковки. Для ответственных испытаний рекомендуется применять калиброванные или поверенные течи с действующими документами.

Проверка калибровки

Функция проверки калибровки сравнивает текущий сигнал с ожидаемым значением калиброванной течи. Проверка может выполняться по запросу оператора, по числу циклов или по времени. Результат проверки позволяет оценить стабильность чувствительности прибора.

Коэффициент коррекции

Коэффициент коррекции используется, когда требуется привести показания к условиям конкретной испытательной схемы. Коррекция может применяться отдельно для вакуумного и щупового режима. Применение коэффициента должно быть обосновано методикой испытаний.

Информация LeakLab. LeakLab выполняет калибровку и настройку течеискателей ASM142 с применением калиброванных гелиевых течей, проверяет внутреннюю течь, внешний калибровочный вход, коэффициенты коррекции, стабильность фона и фактическую чувствительность прибора.

Иллюстрации к калибровке и проверке чувствительности

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 238 — Рис. 238

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 239 — Рис. 239

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 240 — Рис. 240

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 241 — Рис. 241

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 242 — Рис. 242

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 243 — Рис. 243

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 244 — Рис. 244

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 245 — Рис. 245

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 246 — Рис. 246

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 247 — Рис. 247

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 248 — Рис. 248

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 249 — Рис. 249

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 250 — Рис. 250

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 251 — Рис. 251

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 252 — Рис. 252

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 253 — Рис. 253

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 254 — Рис. 254

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 255 — Рис. 255

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 256 — Рис. 256

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 257 — Рис. 257

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 258 — Рис. 258

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 259 — Рис. 259

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 260 — Рис. 260

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 261 — Рис. 261

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 262 — Рис. 262

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 263 — Рис. 263

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 264 — Рис. 264

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 265 — Рис. 265

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 266 — Рис. 266

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 267 — Рис. 267

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 268 — Рис. 268

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 269 — Рис. 269

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 270 — Рис. 270

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 271 — Рис. 271

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 272 — Рис. 272

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 273 — Рис. 273

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 274 — Рис. 274

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 275 — Рис. 275

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 276 — Рис. 276

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 277 — Рис. 277

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 278 — Рис. 278

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 279 — Рис. 279

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 280 — Рис. 280

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 281 — Рис. 281

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 282 — Рис. 282

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 283 — Рис. 283

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 284 — Рис. 284

Калибровка и проверка чувствительности ASM142 285 — Рис. 285

11. Опции и принадлежности

Пульт дистанционного управления

Пульт дистанционного управления позволяет оператору наблюдать гелиевый сигнал и выполнять основные команды: запуск цикла, автокалибровку и ноль. Пульт оснащается магнитным креплением и может быть размещен на металлической поверхности.

Щуп LDS

Щуп для удаленного поиска течей применяется в щуповом режиме. Доступны исполнения с различной длиной линии и различными типами наконечников. Выбор щупа зависит от расстояния до зоны контроля, требуемой скорости отклика и доступности места контроля.

Калиброванные течи

Калиброванные гелиевые течи применяют для настройки и проверки чувствительности. Течь может быть с резервуаром или без резервуара, с клапаном или без клапана, для вакуумного режима или щупового режима. Период повторной калибровки не должен превышать двух лет, если методика или документ на течь не устанавливает более короткий интервал.

Распылитель гелия

Распылитель гелия используется для обдува контролируемых зон при вакуумном методе. Для грубого поиска допустим более высокий расход гелия. Для локализации малых течей расход должен быть минимальным, чтобы не загрязнять зону испытаний и не увеличивать фон.

Входные фильтры и адаптеры

Входные фильтры защищают прибор от твердых частиц, загрязнений и продуктов коррозии. Фильтр выбирают по размеру фланца и требуемой степени фильтрации: 70 мкм, 20 мкм или 5 мкм.

Испытательные камеры

Испытательные камеры применяются для контроля небольших изделий. Доступны малые, средние и крупные камеры с различными диаметрами и глубиной. Камера должна иметь герметичное соединение с входом течеискателя и достаточную механическую прочность.

Иллюстрации к опциям и принадлежностям

Опции и принадлежности ASM142 60 — Рис. 60

Опции и принадлежности ASM142 61 — Рис. 61

Опции и принадлежности ASM142 62 — Рис. 62

Опции и принадлежности ASM142 63 — Рис. 63

Опции и принадлежности ASM142 64 — Рис. 64

Опции и принадлежности ASM142 65 — Рис. 65

Опции и принадлежности ASM142 66 — Рис. 66

Опции и принадлежности ASM142 67 — Рис. 67

Опции и принадлежности ASM142 68 — Рис. 68

Опции и принадлежности ASM142 69 — Рис. 69

Опции и принадлежности ASM142 70 — Рис. 70

Опции и принадлежности ASM142 71 — Рис. 71

Опции и принадлежности ASM142 72 — Рис. 72

Опции и принадлежности ASM142 73 — Рис. 73

Опции и принадлежности ASM142 74 — Рис. 74

Опции и принадлежности ASM142 75 — Рис. 75

Опции и принадлежности ASM142 76 — Рис. 76

Опции и принадлежности ASM142 77 — Рис. 77

Опции и принадлежности ASM142 78 — Рис. 78

Опции и принадлежности ASM142 79 — Рис. 79

Опции и принадлежности ASM142 80 — Рис. 80

Опции и принадлежности ASM142 81 — Рис. 81

Опции и принадлежности ASM142 82 — Рис. 82

Опции и принадлежности ASM142 83 — Рис. 83

Опции и принадлежности ASM142 84 — Рис. 84

Опции и принадлежности ASM142 85 — Рис. 85

Опции и принадлежности ASM142 86 — Рис. 86

Опции и принадлежности ASM142 87 — Рис. 87

Опции и принадлежности ASM142 88 — Рис. 88

Опции и принадлежности ASM142 89 — Рис. 89

Опции и принадлежности ASM142 90 — Рис. 90

Опции и принадлежности ASM142 91 — Рис. 91

Опции и принадлежности ASM142 92 — Рис. 92

Опции и принадлежности ASM142 93 — Рис. 93

Опции и принадлежности ASM142 94 — Рис. 94

Опции и принадлежности ASM142 95 — Рис. 95

Пульт, щупы и принадлежности ASM142 286 — Рис. 286

Пульт, щупы и принадлежности ASM142 287 — Рис. 287

Пульт, щупы и принадлежности ASM142 288 — Рис. 288

Пульт, щупы и принадлежности ASM142 289 — Рис. 289

Пульт, щупы и принадлежности ASM142 290 — Рис. 290

Пульт, щупы и принадлежности ASM142 291 — Рис. 291

Пульт, щупы и принадлежности ASM142 292 — Рис. 292

Пульт, щупы и принадлежности ASM142 293 — Рис. 293

Пульт, щупы и принадлежности ASM142 294 — Рис. 294

Пульт, щупы и принадлежности ASM142 295 — Рис. 295

Пульт, щупы и принадлежности ASM142 296 — Рис. 296

Пульт, щупы и принадлежности ASM142 297 — Рис. 297

Пульт, щупы и принадлежности ASM142 298 — Рис. 298

Пульт, щупы и принадлежности ASM142 299 — Рис. 299

Пульт, щупы и принадлежности ASM142 300 — Рис. 300

Пульт, щупы и принадлежности ASM142 301 — Рис. 301

Пульт, щупы и принадлежности ASM142 302 — Рис. 302

Пульт, щупы и принадлежности ASM142 303 — Рис. 303

Пульт, щупы и принадлежности ASM142 304 — Рис. 304

Пульт, щупы и принадлежности ASM142 305 — Рис. 305

Пульт, щупы и принадлежности ASM142 306 — Рис. 306

Пульт, щупы и принадлежности ASM142 307 — Рис. 307

12. Настройки, функции и сообщения

Напуск на входе

Функция напуска используется для управления состоянием входного клапана после завершения испытания. Задержка открытия может быть 0, 1 или 2 секунды. Дополнительно может быть задано время, через которое клапан снова закрывается.

Масштабирование барграфа

Масштабирование барграфа повышает разрешение индикации около порога браковки. Мигающий светодиод показывает порог. Если измеренная течь ниже порога, индикация отображается зеленым цветом. Если течь выше порога, индикация отображается красным цветом.

Звуковая сигнализация

Звуковая сигнализация срабатывает при превышении порога браковки. При включенной функции нуля порог становится плавающим и срабатывает при росте гелиевого сигнала относительно текущего фона. Уровень громкости регулируется от 0 до 8.

Функция нуля

Функция нуля применяется для обнаружения малых изменений сигнала на фоне окружающего уровня гелия. Она может включаться оператором или автоматически. При включении функция кратковременно отображает ноль, затем показывает относительное изменение сигнала.

Функция памяти

Функция памяти фиксирует результат предыдущего испытания на дисплее. Значение мигает до запуска нового цикла или до окончания заданного времени отображения.

Защита от загрязнения гелием

Функция защиты от загрязнения гелием предотвращает насыщение прибора гелием при контроле изделий с высоким содержанием пробного газа. При резком превышении порога цикл завершается, а прибор остается в ожидании восстановления фона.

Дата, время, язык и единицы измерения

Правильная дата необходима для корректного расчета сроков хранения и обслуживания. Прибор поддерживает отображение потока течи в мбар·л/с, Па·м³/с и Торр·л/с. Выбранная единица сохраняется в памяти и может автоматически изменяться при подключении соответствующего пульта.

Сообщения о неисправностях

Прибор выводит сообщения о неисправностях и информационные сообщения. Сообщения имеют приоритет: критические отказы, существенные неисправности, незначительные неисправности, пользовательская информация и сервисная информация.

Сообщение	Значение	Действие
auto. cal. required	Требуется автокалибровка	Запустить автокалибровку и проверить фон
auto. cal. aborted	Автокалибровка прервана	Устранить причину и повторить процедуру
new filament required	Требуется замена нити накала	Выполнить сервисную замену
maintenance required	Требуется обслуживание	Выполнить регламент и сбросить счетчики
primary pump maintenance	Требуется обслуживание форвакуумного насоса	Проверить масло, предельное давление и наработку
high vacuum pump maintenance	Требуется обслуживание высоковакуумного насоса	Проверить насос, контроллер и вакуумный тракт

Иллюстрации к настройкам, функциям и сообщениям

Настройки и сообщения ASM142 308 — Рис. 308

Настройки и сообщения ASM142 309 — Рис. 309

Настройки и сообщения ASM142 310 — Рис. 310

Настройки и сообщения ASM142 311 — Рис. 311

Настройки и сообщения ASM142 312 — Рис. 312

Настройки и сообщения ASM142 313 — Рис. 313

Настройки и сообщения ASM142 314 — Рис. 314

Настройки и сообщения ASM142 315 — Рис. 315

Настройки и сообщения ASM142 316 — Рис. 316

Настройки и сообщения ASM142 317 — Рис. 317

Настройки и сообщения ASM142 318 — Рис. 318

Настройки и сообщения ASM142 319 — Рис. 319

Настройки и сообщения ASM142 320 — Рис. 320

Настройки и сообщения ASM142 321 — Рис. 321

Настройки и сообщения ASM142 322 — Рис. 322

Настройки и сообщения ASM142 323 — Рис. 323

Настройки и сообщения ASM142 324 — Рис. 324

Настройки и сообщения ASM142 325 — Рис. 325

Настройки и сообщения ASM142 326 — Рис. 326

Настройки и сообщения ASM142 327 — Рис. 327

Настройки и сообщения ASM142 328 — Рис. 328

Настройки и сообщения ASM142 329 — Рис. 329

Настройки и сообщения ASM142 330 — Рис. 330

Настройки и сообщения ASM142 331 — Рис. 331

Настройки и сообщения ASM142 332 — Рис. 332

Настройки и сообщения ASM142 333 — Рис. 333

Настройки и сообщения ASM142 334 — Рис. 334

Настройки и сообщения ASM142 335 — Рис. 335

Настройки и сообщения ASM142 336 — Рис. 336

Настройки и сообщения ASM142 337 — Рис. 337

Настройки и сообщения ASM142 338 — Рис. 338

Настройки и сообщения ASM142 339 — Рис. 339

Настройки и сообщения ASM142 340 — Рис. 340

Настройки и сообщения ASM142 341 — Рис. 341

Настройки и сообщения ASM142 342 — Рис. 342

Настройки и сообщения ASM142 343 — Рис. 343

Настройки и сообщения ASM142 344 — Рис. 344

Настройки и сообщения ASM142 345 — Рис. 345

Настройки и сообщения ASM142 346 — Рис. 346

Настройки и сообщения ASM142 347 — Рис. 347

Настройки и сообщения ASM142 348 — Рис. 348

Настройки и сообщения ASM142 349 — Рис. 349

Настройки и сообщения ASM142 350 — Рис. 350

Настройки и сообщения ASM142 351 — Рис. 351

Настройки и сообщения ASM142 352 — Рис. 352

Настройки и сообщения ASM142 353 — Рис. 353

Настройки и сообщения ASM142 354 — Рис. 354

Настройки и сообщения ASM142 355 — Рис. 355

Настройки и сообщения ASM142 356 — Рис. 356

Настройки и сообщения ASM142 357 — Рис. 357

13. Техническое обслуживание и диагностика

Общие требования

Периодичность обслуживания зависит от условий эксплуатации, частоты циклов, состояния форвакуумного насоса, чистоты объектов контроля, интенсивности работы с гелием и качества вентиляции рабочей зоны. При работе с загрязненными объектами межсервисный интервал следует сокращать.

Перед обслуживанием прибор отключают от сети, сбрасывают давление в газовых линиях, выдерживают время разряда внутренних цепей и дают нагретым узлам остыть. Работы внутри корпуса должен выполнять обученный специалист.

Контролируемые узлы

масло и предельное давление форвакуумного насоса;
состояние высоковакуумного насоса и контроллера;
состояние масс-спектрометрической ячейки;
наработка нитей накала;
работа входного клапана, клапана напуска и клапанов продувки;
состояние входных фильтров и фланцевых уплотнений;
стабильность фонового сигнала гелия;
актуальность калибровки внутренней и внешней калиброванных течей.

Типовые неисправности

Симптом	Возможная причина	Рекомендуемое действие
Прибор не выходит в выбранный режим	Недостаточная откачка, внутренняя течь, загрязнение масла, неисправность насоса или клапана	Проверить давление, герметичность, масло, клапаны и насосы
Высокий фон гелия	Загрязнение помещения, масла, насосов или анализаторной ячейки гелием	Проветрить зону, заменить масло, выполнить продувку и откачку
Нестабильный сигнал	Плохие соединения, загрязнение, внешний источник гелия, неисправность усилителя	Проверить соединения, исключить источник гелия, выполнить диагностику электроники
Нет индикации давления ячейки	Проблема датчика, цепей питания, нити накала или ячейки	Проверить датчик, соединения и состояние анализаторной ячейки
Щуп засорен	Загрязнен фильтр щупа или завышена уставка контроля	Заменить фильтр и проверить уставку
Ошибка насоса	Перегрев, неисправность контроллера, механическое заедание, нарушение питания	Проверить кабели, охлаждение, свободное вращение и плату управления
Нет отображения на панели	Отключена панель, неисправно питание или панель управления	Проверить разъемы, предохранители и плату панели
Автокалибровка не завершается	Нестабильный фон, неверные параметры течи, неисправность клапана или ячейки	Стабилизировать фон, проверить параметры калиброванной течи, клапаны и ячейку

Сервис LeakLab. При ремонте ASM142 выполняются входная диагностика, контроль вакуума эталонными средствами, проверка фонового сигнала, диагностика насосов и клапанов, замена масла, замена нитей накала, восстановление анализаторной ячейки, настройка калибровки и итоговая проверка с калиброванной гелиевой течью.

Иллюстрации к техническому обслуживанию и диагностике

Обслуживание и диагностика ASM142 358 — Рис. 358

Обслуживание и диагностика ASM142 359 — Рис. 359

Обслуживание и диагностика ASM142 360 — Рис. 360

Обслуживание и диагностика ASM142 361 — Рис. 361

Обслуживание и диагностика ASM142 362 — Рис. 362

Обслуживание и диагностика ASM142 363 — Рис. 363

14. Приложение. Полная последовательность иллюстраций

Ниже приведена полная последовательность иллюстраций, использованных в переданных частях инструкции. Все изображения подключены полными ссылками из папки сайта.

Рисунки 1–59. Общие сведения, вакуумные схемы, интерфейс и опции

Рисунки 60–95. Опции, принадлежности и технические характеристики

Рисунки 96–158. Безопасность, распаковка, подключение и панель управления

Рисунки 159–237. Настройки панели, запуск, режимы работы и внутренняя калибровка

Рисунки 238–321. Внешняя калибровка, пульт, графический интерфейс и напуск

Рисунки 322–363. Функции настройки, сообщения, обслуживание и диагностика

Фотогалерея