Сканирующие электронные микроскопы KYKY
Линейка автоэмиссионных сканирующих электронных микроскопов KYKY относится к высоковакуумным аналитическим системам для исследования топографии, состава и кристаллографических параметров поверхности материалов. Приборы построены на электронно-оптической колонне с полевой эмиссией Шоттки, обеспечивают субнанометровое разрешение в широком диапазоне ускоряющих напряжений и поддерживают установку расширенных аналитических модулей. Серии EM8200, EM8100 и EM80 закрывают задачи от передовых R&D исследований до серийного производственного контроля.
СЭМ KYKY EM8200. Ультравысокое разрешение для материалов и микроэлектроники
EM8200 — высокоразрешающий СЭМ с полевой эмиссией, выполненный на базе новой электронно-оптической схемы с режимом замедления пучка на образце, малой аберрацией объективной линзы и Inlens-детектированием. Конфигурация ориентирована на задачи наноразмерной визуализации, анализа тонкоплёночных структур, исследование катодных материалов, полупроводниковых и композиционных систем.
Система обеспечивает устойчивую работу при низких ускоряющих напряжениях, что критично для непроводящих и чувствительных образцов. Расширенные функции ПО включают измерительные операции, крупноформатное сшивание изображений, автоматизированный анализ частиц и оценку ключевых геометрических размеров.
KYKY EM8200. Общий вид серии.
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Разрешение | 0,8 нм при 15 кВ (SE); 1,5 нм при 1 кВ (SE) |
| Увеличение | 1× – 3 000 000×; оптическое увеличение 1× – 100× |
| Источник электронов | Полевой эмиттер Шоттки (Schottky FEG) |
| Ускоряющее напряжение | 0,2 – 30 кВ |
| Вакуумная система | Ионный насос; геттерно-ионный комбинированный насос; турбомолекулярный насос; форвакуумный механический насос |
| Детекторы | Высоковакуумный детектор вторичных электронов SE; четырёхсегментный полупроводниковый BSE-детектор (опция); инфракрасная CCD-камера; Inlens-детектор; оптическая навигация |
| Столик | Пятиосевой автоматизированный эуцентрический, большие образцы |
| Перемещения | X 0–150 мм; Y 0–150 мм; Z 0–65 мм; R 0–360°; T −10…+90° |
| Максимальный размер образца | Диаметр до 320 мм; высота до 90 мм |
| Расширение функционала | EDS/EBSD/STEM/CL/WDS, нагревательные и крио-столики, растяжение образцов, микро-нано манипуляторы |
СЭМ KYKY EM8100. Высокое разрешение и универсальность
EM8100 — флагманская серия СЭМ с полевой эмиссией, разработанная для получения субнанометрового контраста в режиме низких и средних ускоряющих напряжений. Электронно-оптическая система использует технологию ускорения пучка в колонне и малoаберрационный конический объектив, что уменьшает хроматические и сферические аберрации и повышает чувствительность к деталям микроструктуры при наблюдении непроводящих материалов.
Большая камера и кинематика пятиосевого столика позволяют работать с крупными изделиями и партиями образцов, а автоматизированные режимы фокусировки и коррекции параметров ускоряют рутинные измерения.
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Разрешение | SE 0,9 нм при 30 кВ; SE 3 нм при 1 кВ |
| Увеличение | 1× – 3 000 000×; оптическое увеличение 1× – 100× |
| Источник электронов | Полевой эмиттер Шоттки (Schottky FEG) |
| Ускоряющее напряжение | 0,2 – 30 кВ |
| Вакуумная система | Ионный насос; геттерно-ионный комбинированный насос; магнитолевитирующий турбомолекулярный насос; сухой форвакуумный насос |
| Детекторы | Высоковакуумный SE-детектор; инфракрасная CCD-камера; оптическая навигация; четырёхсегментный BSE-детектор (опция) |
| Столик | Пятиосевой автоматизированный, с функцией защиты от столкновений |
| Перемещения | X 0–150 мм; Y 0–150 мм; Z 0–65 мм; R 0–360°; T −10…+90° |
| Максимальный размер образца | Диаметр до 320 мм; высота до 90 мм |
| Расширение функционала | EDS/EBSD/CL/STEM, нагревательные и крио-столики, растяжение образцов, микро-нано манипуляторы |
СЭМ KYKY EM80. Экономичное решение с высокой расширяемостью
Серия EM80 относится к классу доступных автоэмиссионных СЭМ на катоде Шоттки и предназначена для широкого спектра лабораторных и производственных задач. Приборы оптимизированы по соотношению производительности и стоимости, при этом сохраняют высокую стабильность пучка и возможность наращивания функционала за счёт аналитических надстроек.
В зависимости от задач серия выполняется с различными вариантами камер и столиков. Доступна конфигурация для средних и крупных образцов, включая автоматизированные режимы позиционирования и оптической навигации.
KYKY EM80. Базовая серия с полевой эмиссией.
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Увеличение | 1× – 600 000×; оптическое увеличение 1× – 100× |
| Источник электронов | Полевой эмиттер Шоттки (Schottky FEG) |
| Ускоряющее напряжение | 0,2 – 30 кВ |
| Вакуумная система | Два ионных насоса; магнитолевитирующий турбомолекулярный насос; сухой форвакуумный насос |
| Детекторы | SE-детектор; ИК-CCD-детектор; четырёхсегментный BSE-детектор (опция); оптическая навигация (опция) |
| Столик и образцы | Варианты для средних и больших образцов с пятиосевой автоматизацией и эуцентрической геометрией |
| Расширение функционала | EDS/EBSD/CL/STEM, нагревательные и крио-столики, растяжение образцов |
Сравнение серий KYKY по ключевым метрикам
| Параметр | EM8200 | EM8100 | EM80 |
|---|---|---|---|
| Класс системы | Ультравысокое разрешение | Высокое разрешение | Экономичный FEG-СЭМ |
| Разрешение SE | 0,8 нм при 15 кВ; 1,5 нм при 1 кВ | 0,9 нм при 30 кВ; 3 нм при 1 кВ | Зависит от конфигурации |
| Макс. увеличение | 3 000 000× | 3 000 000× | 600 000× |
| Ускоряющее напряжение | 0,2 – 30 кВ | 0,2 – 30 кВ | 0,2 – 30 кВ |
| Концепция оптики | Замедление пучка на образце, Inlens, низкая аберрация | Ускорение пучка в колонне, конический объектив | Многоступенчатая линзовая система |
| Крупные образцы | Да, до Φ320 мм | Да, до Φ320 мм | Опционально, по исполнению |
| Аналитические модули | Максимальный набор опций | Широкий набор опций | Базовые и расширенные опции |
Области применения
СЭМ KYKY применяются для решения задач в материаловедении, микроэлектронике, энергетике, геологии, химии, биологии и медицине. Серия EM8200 особенно эффективна для анализа тонких плёнок и наноструктур, включая катодные и анодные материалы аккумуляторов, полупроводниковые слои и нанопористые мембраны. EM8100 оптимален для универсальных исследований и производственного контроля с высокой стабильностью результата. EM80 закрывает массовые лабораторные и технологические задачи при необходимости сохранения расширяемости платформы.
Лаборатория Ликлаб: поставка, внедрение и сервис электронных микроскопов
Лаборатория Ликлаб выполняет подбор, поставку и внедрение сканирующих электронных микроскопов KYKY под задачи заказчика. На этапе ввода в эксплуатацию обеспечивается контроль состояния вакуумной системы, проверка достижимого давления, настройка электронно-оптической колонны, калибровка масштабов и тестирование детекторов. Особое внимание уделяется стабильности пучка и дегазационным режимам камеры, поскольку эти факторы напрямую определяют достижимое разрешение и воспроизводимость измерений.
Сервисное сопровождение включает регламентное обслуживание насосных агрегатов, диагностику утечек и загрязнений, восстановление вакуумных характеристик, настройку режимов SE/BSE и Inlens-каналов, а также поддержку программных измерительных функций. При необходимости выполняется подготовка микроскопов к периодическим метрологическим процедурам, включая проверку корректности масштаба увеличения и состояния эталонных образцов.
Серии KYKY EM8200, EM8100 и EM80 формируют логичную линейку автоэмиссионных СЭМ от экономичных решений до ультравысокого разрешения. При правильной эксплуатации и поддержании вакуумной чистоты эти приборы обеспечивают стабильные субнанометровые результаты в исследованиях и промышленном контроле.
