Сильфоны вакуумные CF (ConFlat) — это гибкие герметичные соединительные элементы, применяемые в системах высокого и сверхвысокого вакуума, где требуется высокая чистота, минимальная дегазация и абсолютная герметичность фланцевого узла. Конструкция таких сильфонов основана на гофрированной тонкостенной трубке из нержавеющей стали, которая обеспечивает эластичность при сохранении герметичности.
Фланцы стандарта CF (ConFlat) — это уплотнения с ножевой кромкой, обеспечивающие металлический контакт при использовании мягких прокладок из меди, алюминия или серебра. При затяжке болтов режущая кромка фланца внедряется в прокладку, формируя вакуумное уплотнение, устойчивое к высоким температурам, радиации и агрессивным средам. Стандарт CF применяется в системах с предельным давлением до 10⁻¹⁰ Па и выше, что делает его предпочтительным выбором для ускорительной, криогенной и научной техники.
Типовая конструкция сильфона CF включает:
– гофрированную секцию из стали AISI 304L или 316L, сваренную орбитальной или TIG-сваркой;
– торцевые фланцы CF (DN16, 25, 35, 50, 63, 100, 150, 200, 250);
– внутреннюю поверхность, прошедшую химическую полировку для снижения газовыделения;
– при необходимости — защитную оплетку или каркас для предотвращения изгиба за пределы допустимого радиуса.
Назначение сильфонов CF заключается в компенсации линейных и угловых смещений между элементами вакуумной системы, демпфировании вибраций насосов, компенсации тепловых расширений при нагреве и охлаждении, а также в облегчении сборки систем с жёсткими геометрическими ограничениями.
CF-сильфоны работают при температурах до +400 °C (ограничение определяется прокладкой), не содержат полимерных уплотнений и допускают bake-out (вакуумный прогрев) для удаления адсорбированных газов. Их герметичность при испытании гелием составляет не хуже 1×10⁻¹¹ Па·м³/с, что в десятки раз выше, чем у сильфонов с эластомерными уплотнениями типа KF или ISO.
CF-сильфоны находят применение в системах ультравысокого вакуума (UHV), установках тонкопленочных покрытий, масс-спектрометрах, ускорителях, электронных микроскопах, а также в оборудовании для исследований в области физики плазмы и наноструктур. В промышленной практике лаборатории Leaklab поставляет и испытывает такие сильфоны с маркировкой ВН-CF-[DN]-[Длина]-П, где обозначены тип фланца, номинальный диаметр и длина в миллиметрах. Каждое изделие проходит контроль герметичности методом гелиевого течеискания с порогом чувствительности до 1×10⁻⁹ Па·м³/с и документируется паспортом с серийным номером, результатами испытаний и указанием материала.
Маркировка сильфонов CF по формуле ВН-[Фланец]-[Длина]-П
Все позиции имеют прямое присоединение («П»). Обозначение формируется как: ВН-CF-[DN]-[L]-П. Материал — нержавеющая сталь 304. Масса указана ориентировочно.
| DN | Длина, мм | Материал | Масса, кг | Маркировка |
|---|---|---|---|---|
| 16 | 250 | 304 | 0,25 | ВН-CF-16-250-П |
| 16 | 500 | 304 | 0,30 | ВН-CF-16-500-П |
| 16 | 750 | 304 | 0,35 | ВН-CF-16-750-П |
| 16 | 1000 | 304 | 0,40 | ВН-CF-16-1000-П |
| 16 | 1500 | 304 | 0,50 | ВН-CF-16-1500-П |
| 16 | 2000 | 304 | 0,60 | ВН-CF-16-2000-П |
| 25 | 250 | 304 | 0,30 | ВН-CF-25-250-П |
| 25 | 500 | 304 | 0,40 | ВН-CF-25-500-П |
| 25 | 750 | 304 | 0,50 | ВН-CF-25-750-П |
| 25 | 1000 | 304 | 0,80 | ВН-CF-25-1000-П |
| 25 | 1500 | 304 | 1,00 | ВН-CF-25-1500-П |
| 25 | 2000 | 304 | 1,20 | ВН-CF-25-2000-П |
| 35 | 250 | 304 | 0,80 | ВН-CF-35-250-П |
| 35 | 500 | 304 | 1,00 | ВН-CF-35-500-П |
| 35 | 750 | 304 | 1,10 | ВН-CF-35-750-П |
| 35 | 1000 | 304 | 1,30 | ВН-CF-35-1000-П |
| 35 | 1500 | 304 | 1,40 | ВН-CF-35-1500-П |
| 35 | 2000 | 304 | 1,85 | ВН-CF-35-2000-П |
| 50 | 250 | 304 | 1,10 | ВН-CF-50-250-П |
| 50 | 500 | 304 | 1,20 | ВН-CF-50-500-П |
| 50 | 750 | 304 | 1,35 | ВН-CF-50-750-П |
| 50 | 1000 | 304 | 1,60 | ВН-CF-50-1000-П |
| 50 | 1500 | 304 | 1,85 | ВН-CF-50-1500-П |
| 50 | 2000 | 304 | 2,00 | ВН-CF-50-2000-П |
| 63 | 250 | 304 | 2,20 | ВН-CF-63-250-П |
| 63 | 500 | 304 | 2,40 | ВН-CF-63-500-П |
| 63 | 750 | 304 | 2,50 | ВН-CF-63-750-П |
| 63 | 1000 | 304 | 2,70 | ВН-CF-63-1000-П |
| 63 | 1500 | 304 | 3,10 | ВН-CF-63-1500-П |
| 63 | 2000 | 304 | 3,50 | ВН-CF-63-2000-П |
| 100 | 250 | 304 | 3,00 | ВН-CF-100-250-П |
| 100 | 500 | 304 | 3,20 | ВН-CF-100-500-П |
| 100 | 750 | 304 | 3,50 | ВН-CF-100-750-П |
| 100 | 1000 | 304 | 3,70 | ВН-CF-100-1000-П |
| 100 | 1500 | 304 | 4,20 | ВН-CF-100-1500-П |
| 100 | 2000 | 304 | 4,70 | ВН-CF-100-2000-П |
| 150 | 250 | 304 | 5,70 | ВН-CF-150-250-П |
| 150 | 500 | 304 | 5,90 | ВН-CF-150-500-П |
| 150 | 750 | 304 | 6,10 | ВН-CF-150-750-П |
| 150 | 1000 | 304 | 6,40 | ВН-CF-150-1000-П |
| 150 | 1500 | 304 | 6,90 | ВН-CF-150-1500-П |
| 150 | 2000 | 304 | 7,40 | ВН-CF-150-2000-П |
| 200 | 250 | 304 | 6,90 | ВН-CF-200-250-П |
| 200 | 500 | 304 | 7,10 | ВН-CF-200-500-П |
| 200 | 750 | 304 | 7,40 | ВН-CF-200-750-П |
| 200 | 1000 | 304 | 7,70 | ВН-CF-200-1000-П |
| 200 | 1500 | 304 | 8,20 | ВН-CF-200-1500-П |
| 200 | 2000 | 304 | 8,70 | ВН-CF-200-2000-П |
| 250 | 250 | 304 | 7,25 | ВН-CF-250-250-П |
| 250 | 500 | 304 | 7,40 | ВН-CF-250-500-П |
| 250 | 750 | 304 | 7,60 | ВН-CF-250-750-П |
| 250 | 1000 | 304 | 7,90 | ВН-CF-250-1000-П |
| 250 | 1500 | 304 | 8,40 | ВН-CF-250-1500-П |
| 250 | 2000 | 304 | 8,80 | ВН-CF-250-2000-П |
При заказе указывайте полное обозначение по формуле, например: ВН-CF-63-1000-П.
