Перевод оригинального руководства

ASM 340 — гелиевый течеискатель

Инструкция по техническому обслуживанию. Перевод и адаптация для российского пользователя. Лаборатория Ликлаб осуществляет поставку гелиевых течеискателей ASM 340, их сервисное обслуживание, а также поставку оригинальных запасных частей и комплектующих.

ASM 340 – Инструкция по обслуживанию

Настоящий документ является русскоязычным переводом оригинальной инструкции по обслуживанию гелиевого течеискателя ASM 340 компании Pfeiffer Vacuum с дополнениями, актуальными для применения на предприятиях, организующих контроль герметичности в соответствии с требованиями российских и международных стандартов.

Для практической эксплуатации в России Лаборатория Ликлаб обеспечивает подбор конфигурации ASM 340, ввод течеискателей в эксплуатацию, обучение персонала и регламентное сервисное обслуживание.

1 О данном руководстве

1.1 Область применения

Настоящее руководство по техническому обслуживанию предназначено для пользователей продукции Pfeiffer Vacuum. В руководстве описаны операции обслуживания, которые могут выполняться пользователем на соответствующем изделии. Данное руководство должно использоваться совместно с руководством по эксплуатации изделия с тем же наименованием.

В России сопровождение по эксплуатации, сервису и обучению персонала при работе с ASM 340 обеспечивает Лаборатория Ликлаб, что упрощает внедрение оборудования и последующую эксплуатацию в производственных условиях.

Настоящее руководство распространяется на изделия со следующими каталожными номерами:

1.1.1 Применимые документы

Настоящее руководство по обслуживанию должно использоваться совместно со следующим документом:

1.2 Условные обозначения

1.2.1 Инструкции по безопасности

Инструкции по безопасности в документации Pfeiffer Vacuum основаны на требованиях стандартов UL, CSA, ANSI Z-535, SEMI S2, ISO 3864 и DIN 4844. В документе используются следующие уровни опасности и сопутствующая информация:

1.2.2 Пиктограммы

Пиктограмма	Значение
	Запрет действия или операции, связанной с источником опасности. Игнорирование требований может привести к серьёзным несчастным случаям.
	Предупреждение об источнике опасности при эксплуатации прибора или технологического оборудования.
	Обязательное действие, связанное с источником опасности. Несоблюдение указаний может привести к серьёзным несчастным случаям.
	Важная информация об изделии или настоящем документе, требующая внимательного ознакомления.

1.2.3 Обозначения в тексте

Рабочая инструкция: в этом месте пользователь должен выполнить указанное действие.

[XXXX] – необходимо нажать клавишу XXXX на панели управления.

⁴He — гелий-4
³He — гелий-3
H₂ — водород

1.2.4 Используемые сокращения

I/O – входы/выходы (Inputs/Outputs) прибора.

1.2.5 Маркировка на изделии

Надпись / символ	Назначение
DISCONNECT POWER CABLE BEFORE REMOVING COVER	Опасность поражения электрическим током. Перед снятием защитного кожуха необходимо отключить питание и извлечь сетевой кабель.
CONTROLLED LIFTING	Обозначение точек и методов безопасного перемещения и подъёма оборудования. Перемещать течеискатель следует с использованием обозначенных точек подвеса и с учётом массы и габаритов.
	Указывает точку присоединения защитного заземления на изделии.
	Оборудование подлежит обращению как отходы электрического и электронного оборудования в соответствии с актуальными экологическими требованиями.

Дополнительные маркировки и указатели приведены в руководстве по эксплуатации ASM 340. При поставке через Лабораторию Ликлаб пользователю могут быть предоставлены русскоязычные пояснения к маркировке, адаптированные под внутренние регламенты предприятия.

2 Сведения по безопасности и обслуживанию

2.1 Меры безопасности

• Выдержать не менее 5 минут после отключения перед началом работ с прибором.
• При заказе запасных частей указывать все данные с заводской таблички ASM 340.
• Соблюдать требования по охране труда и промышленной безопасности в соответствии с местными нормами.
• Регулярно проверять соблюдение всех мер предосторожности.
• Не включать прибор при снятых кожухах.
• При возврате изделия в сервисный центр Pfeiffer Vacuum соблюдать регламент сервисного обслуживания и заполнения декларации о загрязнении.
• Использовать оригинальную упаковку при отправке течеискателя. Производитель не несёт ответственности за повреждения, возникшие при транспортировке в ненадлежащей упаковке.

Лаборатория Ликлаб оказывает услуги по диагностике и ремонту гелиевых течеискателей ASM 340 на территории России, включая подготовку документации, упаковку и сопровождение при отправке в авторизованные сервисные центры Pfeiffer Vacuum при необходимости.

2.2 Средства индивидуальной защиты

В ряде ситуаций при работе с течеискателем и его компонентами необходимо использование средств индивидуальной защиты (СИЗ). Заказчик обязан обеспечить персонал необходимыми СИЗ и организовать их регулярную проверку и использование в соответствии с рекомендациями производителя.

2.3 Подготовка к обслуживанию

Работы по обслуживанию рекомендуется выполнять:

• в чистом, сухом, проветриваемом помещении;
• при наличии соответствующих средств индивидуальной защиты.

2.4 Инструменты и запасные части

Основной набор инструментов, необходимых для обслуживания течеискателя, входит в комплект поставки (набор для обслуживания). В зависимости от вида операции могут потребоваться дополнительные инструменты, приобретаемые за счёт заказчика.

Необходимые запасные части.

Замена неисправных компонентов деталями, не являющимися оригинальными, приводит к нарушению исходных условий безопасности и может повлечь отказ оборудования.

• Использовать только оригинальные запасные части, поставляемые через сервисную службу Pfeiffer Vacuum или официальных партнёров.
• Информация по заказу запасных частей приведена в главе «Spare parts» (Запасные части) настоящего руководства.
• Для правильной идентификации изделия при обращении в сервисные организации всегда иметь под рукой данные с заводской таблички течеискателя.

Лаборатория Ликлаб поставляет оригинальные запасные части и расходные материалы для гелиевых течеискателей ASM 340, а также выполняет регламентные работы по замене масел, фильтров, уплотнений и ремонту узлов прибора с оформлением необходимой технической документации.

3 Интервалы обслуживания и ответственность

В настоящем руководстве описаны операции технического обслуживания уровней 1 и 2, соответствующие таблице периодичности сервиса.

Операции уровня 3 (капитальное обслуживание и сложный ремонт) выполняются специалистами сервисной сети Pfeiffer Vacuum. В российских условиях такие работы могут быть организованы через Лабораторию Ликлаб, имеющую опыт обслуживания гелиевых течеискателей ASM 340 и сопутствующего вакуумного оборудования.

В рамках сервисных программ Лаборатория Ликлаб может взять на себя регулярное обслуживание форвакуумных и турбомолекулярных насосов, замену фильтров и щупов, а также организацию рекалибровки встроенных и внешних калиброванных течей ASM 340.

3.1 Контроль сроков обслуживания

Счётчики циклов форвакуумного насоса и турбомолекулярного насоса информируют оператора о необходимости выполнения очередной операции обслуживания (см. меню Maintenance — «Обслуживание» в руководстве по эксплуатации).

4 Калибровка

4.1 Назначение

Калибровка обеспечивает корректную настройку течеискателя на выбранный газ-индикатор и правильное отображение скорости течи. Для калибровки используется калиброванная течь.

В зависимости от применяемого метода испытания могут выполняться различные типы калибровки.

(*) В этом случае расход через щуп не учитывается в процессе калибровки течеискателя.

4.2 Калибровка по внутренней калиброванной течи

4.2.1 Внутренняя калиброванная течь

Внутренняя калиброванная течь специально разработана для данного течеискателя и включает:

• резервуар с гелием-4 (внутренняя калибровка по другим газам-индикаторам не выполняется);
• датчик температуры (учёт влияния температуры на скорость течи);
• встроенную диафрагму (задание скорости течи);
• идентификационную табличку (аналогичную табличке внешней калиброванной течи).

К калиброванной течи прилагается свидетельство о калибровке.

4.2.2 Порядок калибровки

При включении течеискателя калибровка по внутренней калиброванной течи запускается автоматически, если параметр режима калибровки установлен в положение «Start-up», а тип калиброванной течи — «Internal».

• Проверьте настройки калиброванной течи (скорректированная скорость течи с учётом температуры и времени, при необходимости; см. Spectro Menu в руководстве по эксплуатации).
• Нажмите клавишу [Auto Cal] для запуска калибровки.

При интенсивной эксплуатации течеискателя рекомендуется иметь запасную внутреннюю калиброванную течь. Если это невозможно, прибор может калиброваться по внешней калиброванной течи.

4.3 Калибровка по внешней калиброванной течи

4.3.1 Внешняя калиброванная течь

Для калибровки оператор должен использовать калиброванную течь, содержащую выбранный газ-индикатор (⁴He, ³He или H₂). Существуют различные типы внешних калиброванных течей — с резервуаром и без, с вентилем или без, в разных диапазонах скоростей течи. Используйте течи из диапазонов, указанных ниже.

Выбор внешней калиброванной течи должен определяться задачей: используйте течь того же порядка, что и ожидаемая скорость течи контролируемого изделия. Производитель не поставляет калиброванные течи с газами ³He и H₂, однако такие решения могут быть реализованы отдельными специализированными организациями. Лаборатория Ликлаб помогает подобрать и поставить внешние калиброванные течи под конкретные задачи контроля герметичности.

4.3.2 Адаптер для внешних калиброванных течей

Адаптер DN 16 ISO-KF или DN 25 ISO-KF позволяет выполнять калибровку течеискателя по внешней калиброванной течи в режиме щупового контроля (только со стандартным щупом).

Номера изделий адаптера и внешних течей приводятся в разделе 9 «Запасные части».

• Присоедините адаптер (1) к используемой внешней калиброванной течи (2) с помощью центрирующего кольца и хомута.
• Запустите калибровку, нажав функциональную клавишу [Auto Cal].
• Установите щуп (3) в калибровочное отверстие адаптера.
• Затяните фиксирующий винт (4). Далее следуйте подсказкам на панели управления.
• Ослабьте винт (4) и извлеките щуп из калибровочного отверстия.
• Завершите шаги калибровки в соответствии с указаниями на панели.
• Выдержите не менее 10 секунд перед считыванием скорости течи.

Примечания:

Отображаемая скорость течи учитывает вклад фона по ⁴He (если газ-индикатор — гелий-4).

Пример:

• калибровка по течи 2·10^-5 mbar·l/с;
• отображаемая скорость течи: 2·10^-5 + 5·10^-6 = 2,5·10^-5 mbar·l/с.

4.3.4 Калибровка по внешней течи в режиме щупового контроля

÷ Назначьте одной из функциональных клавиш функцию [Auto Cal] (см. меню Configuration).
÷ Задайте параметры:

• метод испытаний = Sniffing (см. Test Menu);
• тип калиброванной течи = External (см. Spectro Menu);
• калибровка = Operator (см. Advanced Menu).

÷ Проверьте параметры и значение используемой внешней калиброванной течи. При необходимости скорректируйте температуру, месяц и год.
÷ Выберите газ-индикатор внешней течи.
÷ Подключите щуп к течеискателю.
÷ Убедитесь, что прибор находится в режиме Stand-by.
÷ Нажмите [Auto Cal] для запуска калибровки.
÷ Следуйте подсказкам течеискателя, нажимая [Next] для перехода к следующему этапу.

По завершении калибровки прибор возвращается в режим Stand-by.

4.4 Калибровка по концентрации (только режим щупового контроля)

Под «концентрацией» понимается сосуд при атмосферном давлении, заполненный газовой смесью с известной концентрацией ⁴He.

Процедура:
÷ Назначьте функциональной клавише функцию [Auto Cal] (см. меню Configuration).
÷ Задайте параметры:

• метод испытаний = Sniffing (см. Test Menu);
• тип калиброванной течи = Concentration (см. Spectro Menu);
• калибровка = Operator (см. Advanced Menu);
• газ-индикатор = ⁴He (см. Spectro Menu).

÷ Подключите щуп к течеискателю.
÷ Убедитесь, что прибор в режиме Stand-by.
÷ Нажмите [Auto Cal] для запуска калибровки.
÷ Следуйте подсказкам течеискателя, нажимая [Next] для перехода к следующему этапу.

По завершении калибровки прибор возвращается в режим Stand-by.

4.5 Калибровка течеискателя, подключённого к насосной установке

4.5.1 Назначение

Когда течеискатель подключён к испытательной установке, имеющей собственную насосную систему, только часть утечки поступает в анализаторную ячейку течеискателя. Калибровка с использованием функции «Correction» позволяет получать прямое значение скорости течи с учётом потерь газа-индикатора, откачиваемого насосной установкой.

4.5.2 Целевое значение

Возможны три варианта целевого значения:

При использовании внешней калиброванной течи рекомендуется учитывать дату калибровки и влияние температуры при пересчёте целевого значения по данным, указанным на идентификационной табличке течи.

• Скорректированная скорость течи = целевое значение = измеренная скорость течи × коэффициент коррекции.
• Скорректированный фон = измеренный фон × коэффициент коррекции.

4.5.3 Порядок выполнения

Коррекцию необходимо выполнять после калибровки течеискателя.

Примечание. Коррекция должна выполняться в том же методе испытаний, в котором работает оператор. Если используются оба метода (Hard Vacuum и Sniffing), коррекция проводится отдельно для каждого.

• Назначьте функциональной клавише функцию [Correction] (см. меню Configuration).
• Выберите режим испытаний «Hard Vacuum» или «Sniffing».

• Для режима Sniffing подключите щуп к течеискателю и поднесите его к внешней калиброванной течи или поместите в сосуд с известной концентрацией.

• Нажмите [Run] (старт испытания).
• Нажмите [Correction] для входа в режим ввода коррекции.

Если известен коэффициент коррекции:

• Нажмите [Value] и введите коэффициент коррекции.
• Нажмите [Return] для выхода из функции.

Если известно целевое значение скорости течи (значение калиброванной течи или концентрации):

• Нажмите [AutoCal] [Target] и введите целевое значение.
• Нажмите [Run] для выполнения коррекции.
• Нажмите [Return] для выхода из функции.

÷ Нажмите [Reset], чтобы сбросить коэффициент коррекции к 1.

При коэффициенте коррекции, отличном от 1, на панели управления загорается индикатор «COR», и цифровой индикатор учитывает применённый коэффициент. Шкальный индикатор (барграф) при этом коэффициент не учитывает.

5 Обслуживание и замена узлов

5.1 Очистка кожухов

÷ Протрите кожухи безворсовой салфеткой с использованием средства, не повреждающего печатные поверхности и самоклеящиеся этикетки.

5.2 Демонтаж кожухов

Инструмент: шестигранный ключ 5 мм из комплекта обслуживания.

5.2.1 Демонтаж переднего кожуха

• Остановите течеискатель (переведите автоматический выключатель в положение «0», дождитесь отключения панели управления, отсоедините сетевой кабель).
• Установите заглушенный фланец на входной патрубок течеискателя.
• Снимите чёрный фланец вокруг входного патрубка.
• Поднимите крышку отсека хранения, выверните и снимите два верхних винта крепления.
• Выверните и снимите два боковых винта крепления.

Рис. 2. Расположение винтов демонтажа переднего кожуха

• Снимите передний кожух и отведите его от прибора (не более чем на 1,5 м).
• На плате управления отсоедините разъём панели управления, полностью освобождая кожух.

Рис. 3. Демонтаж переднего кожуха

5.2.2 Демонтаж заднего кожуха

• Снимите передний кожух.
• Выверните и снимите пять винтов крепления (1), (2) и соответствующие шайбы.
• Отсоедините жгут проводов (3) и провод заземления (4).
• Снимите задний кожух.

При сборке убедитесь, что все пять винтов крепления заднего кожуха к раме установлены и надёжно затянуты.

5.3 Обслуживание внутренней калиброванной течи

5.3.1 Замена

Инструмент / запасные части:

• шестигранный ключ 3 мм из комплекта обслуживания;
• внутренняя калиброванная течь (см. раздел 9 «Запасные части»).

Рис. 4. Обслуживание калиброванной течи

• Снимите передний кожух.
• Отсоедините датчик температуры (3) от калиброванной течи. Не отделяйте датчик температуры от течи.
• Ослабьте два винта крепления (2), не выкручивая их полностью.
• Поверните внутреннюю калиброванную течь на 90°.
• Замените калиброванную течь (1).
• Поверните течь на 90° так, чтобы датчик температуры располагался под клапаном.
• Снова подключите датчик температуры (3).
• Обновите параметры внутренней калиброванной течи в меню Spectro согласно руководству по эксплуатации.

5.3.2 Рекалибровка

Большинство калиброванных течей может использоваться в течение многих лет (порядка 6 лет), несмотря на постоянную утечку газа-индикатора. Скорость течи мала по сравнению с запасом газа в резервуаре; годовая потеря указывается на идентификационной табличке течи.

Для обеспечения надёжности испытаний рекомендуется регулярно (не реже одного раза в 3 года) проводить рекалибровку всех течей с резервуаром — как внутренних, так и внешних.

Для рекалибровки верните течь в сервисный центр Pfeiffer Vacuum или организуйте отправку через Лабораторию Ликлаб, которая может сопроводить процедуру документально и логистически.

5.3.3 Настройка

÷ Параметры калиброванной течи должны обновляться каждый раз при замене течи (внутренней или внешней) или после её рекалибровки (см. меню Spectro в руководстве по эксплуатации).

Эта операция выполняется на основании данных, указанных на идентификационной табличке течи или в приложенном сертификате.

• Если тип течи установлен как «internal», в меню отображаются параметры внутренней калиброванной течи.
• Если тип течи установлен как «external», отображаются параметры соответствующей внешней течи.

Пример идентификационной таблички калиброванной течи:

Made in France
Ref.: FV4720   No: FC12434
Value: 1,2·10^-7 mbar·l/с ± 10 %
Calibration date: 17-Nov-2012
Loss per year: 2 %
Temperature: 23 °C
Temperature coeff.: 2 %

Рис. 5. Пример идентификационной таблички калиброванной течи

5.4 Обслуживание анализаторной ячейки

5.4.1 Демонтаж

Инструмент: отвёртка Torx из комплекта обслуживания.

• Остановите течеискатель (переведите выключатель в «0», дождитесь отключения панели, отсоедините кабель).
• Снимите передний кожух (см. разд. 5.2.1).
• Отсоедините жгут (1) от анализаторной ячейки.
• Ослабьте шесть винтов крепления ячейки (2).
• Аккуратно извлеките анализаторную ячейку строго вертикально вручную.

5.4.2 Замена уплотнений

Проверяйте состояние уплотнений при каждом обслуживании анализаторной ячейки (например, при замене нити). При необходимости заменяйте уплотнения.

Запасные части: 2 уплотнения (см. раздел 9).

Уплотнения относятся к расходным материалам и не покрываются гарантией.

Порядок выполнения:

• Снимите анализаторную ячейку (см. разд. 5.4.1).
• Замените два уплотнения (3). Уплотнения не смазывать.

5.4.3 Замена нити

Инструменты и материалы:

• отвёртка Torx из комплекта обслуживания;
• плоские пассатижи;
• запасная нить (см. раздел 9).

Нить является расходным материалом и не покрывается гарантией.

• Снимите анализаторную ячейку (см. разд. 5.4.1).
• Снимите винт (4) и шайбу, фиксирующие повреждённую нить.
• С помощью плоских пассатижей снимите два фиксирующих клипа (5). Новые клипы поставляются вместе с нитью.
• Установите новую нить.
• Сбросьте счётчик наработки нити через меню Maintenance в соответствии с руководством по эксплуатации.

Рис. 8. Демонтаж нити

÷ Убедитесь, что выводы нити (6) перпендикулярны опорной плоскости и параллельны друг другу.

Рис. 9. Позиционирование нити

• Установите новую нить в посадочное место, прижав её к двум центрирующим упорам (7). Зафиксируйте винтом (4) и шайбой, используя отвёртку Torx.
• Плоскими пассатижами возьмите фиксирующий клип (5): он обеспечивает электрический контакт нити с ячейкой.
• Установите клип на вывод (6) и на полоску нити (8), затем вдавите до упора.
• Повторите аналогичные операции для второго вывода.
• Снова сбросьте счётчик нити в меню Maintenance.

Рис. 10. Установка фиксирующего клипа

5.5 Обслуживание форвакуумного насоса (Wet-модель)

5.5.1 Расположение насоса

Рис. 11. Расположение форвакуумного насоса

5.5.2 Контроль уровня масла

Для корректной работы насоса уровень масла необходимо регулярно контролировать.

÷ Если уровень масла находится вне диапазона между отметками Min и Max, скорректируйте его согласно процедуре заполнения маслом (см. разд. 5.5.6).

Рис. 12. Контроль уровня масла

5.5.3 Контроль качества масла

Для нормальной работы насоса качество масла также должно регулярно оцениваться. Загустение и потемнение масла в сочетании с запахом гари являются признаками деградации смазочного материала.

• Слейте масло из насоса (см. разд. 5.5.4).
• Промойте насос свежим маслом (см. разд. 5.5.5).
• Заполните насос свежим маслом (см. разд. 5.5.6).

5.5.4 Слив масла из насоса

Инструменты и расходные материалы:

• ёмкость для отработанного масла объёмом не менее 1,5 л;
• воронка из комплекта поставки;
• сливной штуцер из комплекта поставки;
• канистра с новым маслом (1 л, см. раздел 9 для выбора типа масла).

Процедура. Слив масла необходимо выполнять на горячем насосе.

• Переведите выключатель в положение «I» и дайте насосу поработать 5 минут.
• Переведите выключатель в положение «0» и дождитесь отключения панели управления.
• Отсоедините сетевой кабель.
• Установите ёмкость (4) под сливным отверстием насоса.
• Подсоедините сливной штуцер (5).

Рис. 13. Установка сливного штуцера

• Полностью слейте отработанное масло.
• Снимите сливной штуцер.
• Заполните насос свежим маслом, руководствуясь разделом 5.5.6.

Лаборатория Ликлаб может выполнить полный цикл обслуживания форвакуумных насосов ASM 340 (слив, промывка, заливка масла, проверка герметичности), а также обеспечить поставку рекомендованных смазочных материалов и расходных компонентов.

Рис. 14: Заливное отверстие для масла

÷ Установите воронку (поставляется с детектором) в заливное отверстие для масла (3) (рис. 15).

÷ Очень медленно залейте промывочное масло (полная 1-литровая канистра) в заливное отверстие.

÷ После того как всё промывочное масло вытечет в ёмкость, снимите сливной штуцер.

÷Заполните насос свежим маслом (см. 5.5.6).

÷ Затяните пробку заливного отверстия на насосе.

ПРИМЕЧАНИЕ

Используйте только одобренные рабочие жидкости

Насосы на заводе проверяются с использованием масла adixen.

÷ То же масло необходимо использовать при эксплуатации. Паспорт безопасности масла доступен на сайте.

ОПАСНОСТЬ

Опасность для здоровья при контакте с маслом

Насосы поставляются без масла: масло поставляется в отдельных ёмкостях.

÷ При заливке масла в насос используйте маску, перчатки и защитные очки.

• • 1 воронка, входящая в комплект поставки

• • 1 канистра масла (1 литр) (см. 9)

÷ Убедитесь, что детектор выключен (автоматический выключатель φ в положении 0, панель управления выключена, сетевой кабель отсоединён) и установлен горизонтально.

÷ Убедитесь, что сливной штуцер не подключён.

÷ Ослабьте пробку заливного отверстия (1) (рис. 14).

÷ Установите воронку в заливное отверстие (3).

Рис. 15: Заливка масла и проверка уровня масла ÷ Заполните маслом до верхнего уровня по смотровому стеклу. ÷ Затяните пробку заливного отверстия (1).

5.5.7 Замена форвакуумного насоса

Слейте масло из форвакуумного насоса до его снятия с детектора и перед любой отправкой изделия.

• • Шестигранный ключ 5 мм из комплекта обслуживания

• • Ножницы

• • Форвакуумный насос (см. 9)

÷ Убедитесь, что детектор выключен (автоматический выключатель φ в положении 0, панель управления выключена, сетевой кабель отсоединён).

÷Снимите переднюю и заднюю крышки (см. 5.2).

÷ Снимите зажим (1) на газовом соединении насоса.

÷ Отсоедините силовой кабель насоса (2).

÷ Перережьте пластиковый стяжной хомут (4) силового кабеля насоса.

Рис. 16: Демонтаж форвакуумного насоса

÷ Ослабьте винт (+ шайба) кронштейна крепления маслоотделителя (3), затем снимите маслоотделитель.

÷ Ослабьте 4 крепёжных винта (+ шайбы) насоса снизу рамы детектора.

При демонтаже форвакуумного насоса для отправки в сервисный центр сохраните зажим, силовой кабель и полностью узел маслоотделителя (маслоотделитель + кронштейн + винты).

Никогда не отправляйте аксессуары вместе с насосом.

После обслуживания или замены насоса: ÷ Установите насос в раму в порядке, обратном демонтажу.

÷ Сбросьте таймер форвакуумного насоса (см. Меню обслуживания в Руководстве по эксплуатации).

5.5.8 Замена внутреннего маслоотделителя

Инструменты ∙ Шестигранный ключ 5 мм из комплекта обслуживания

Запасная часть ∙ Внутренний маслоотделитель: (см. 9)

Порядок выполнения ÷ Убедитесь, что детектор выключен (автоматический выключатель φ в положении 0, панель управления выключена, сетевой кабель отсоединён).

÷ Снимите накопительный бак (2 винта + шайбы).

÷ Ослабьте винт (2) кронштейна крепления маслоотделителя.

÷ Снимите зажим шланга (3), затем отсоедините шланг.

÷ Замените маслоотделитель.

Рис. 17: Демонтаж внутреннего маслоотделителя

Оператор может использовать внешний маслоотделитель вместо внутреннего маслоотделителя, установленного в детекторе: такая модернизация требует подключения дополнительной детали — выхлопного штуцера насоса.

Инструменты ∙ Шестигранный ключ 5 мм из комплекта обслуживания

• • Широкая шлицевая отвёртка

• • Выхлопной штуцер (см. 9)

• • О-кольцо (см. 9)

• • Внешний маслоотделитель с соединением DN 25 ISO-KF, поставляемый заказчиком.

Порядок выполнения ÷Снимите заднюю крышку (см. 5.2.2).

÷ Демонтируйте внутренний маслоотделитель (1).

÷ Ослабьте стопорный винт (2) боковой заглушки (3).

÷ Выкрутите и снимите заглушку (3) и О-кольцо (4).

÷ Установите новое О-кольцо (5), заверните выхлопной штуцер (6) и затяните стопорный винт (2).

÷ Установите О-кольцо (4) и заглушку (3) на место внутреннего маслоотделителя, сверху насоса.

÷ На задней крышке с помощью отвёртки снимите заглушку (7), чтобы обеспечить выход выхлопного штуцера.

Рис. 18: Установка выхлопного штуцера

Обслуживание турбомолекулярного насоса

ПРЕДУПРЕЖДЕНИЕ

Риск ожогов от горячих поверхностей

При работе отдельные механические части могут иметь высокую температуру. Если детектор недавно использовался:

÷ Дайте ему остыть не менее 10 минут перед обслуживанием турбомолекулярного насоса.

÷ При необходимости используйте защитные перчатки в соответствии со стандартом EN 420.

Рис. 19: Расположение турбомолекулярного насоса

• • Плоские пассатижи

• • 2 шлицевые отвёртки

• • Специальный инструмент

• • Динамометрический ключ (13 Н·м)

• • Чистая безворсовая салфетка

• • Резервуар с рабочей жидкостью (см. 9)

Порядок выполнения ÷ Откройте вход воздуха в ячейку (см. Меню обслуживания в Руководстве по эксплуатации).

÷ Остановите детектор (автоматический выключатель φ в положении 0, панель управления выключена, сетевой кабель отсоединён). При необходимости дайте остыть 10 минут.

÷Снимите переднюю крышку (см. 5.2.1).

÷ Ослабьте крепёжный винт (1) и снимите катушку (2). Не демонтируйте исполнительный механизм (3).

Рис. 20: Демонтаж катушки

Рис. 21: Сборка / разборка резервуара рабочей жидкости

 Концевая крышка                       Пористый стержень Porex           О-кольцо

Резервуар рабочей жидкости   О-кольцо               Ключ для концевой крышки

÷ Выкрутите концевую крышку 7 в нижней части турбонасоса с помощью специального ключа E. Обратите внимание на О-кольцо.

÷ Извлеките резервуар рабочей жидкости, используя две отвёртки.

÷ С помощью пинцета извлеките пористые стержни Porex (8 штук).

÷ Удалите загрязнения с турбонасоса и концевой крышки чистой безворсовой салфеткой.

Не используйте никакие чистящие жидкости!

÷ С помощью пинцета установите новые пористые стержни Porex (8 штук).

÷ Вставьте новый резервуар рабочей жидкости в насос до О-кольца 40c.

- Не прикладывайте усилие к резервуару рабочей жидкости!

÷ Заверните концевую крышку с новым О-кольцом 305. Резервуар рабочей жидкости занимает правильное осевое положение за счёт концевой крышки.

÷ Соблюдайте момент затяжки концевой крышки 13 Н·м ± 10 % .

5.7 Обслуживание датчика Pirani

Винт CHc M4 × 80 из комплекта обслуживания

Шестигранный ключ 3 мм из комплекта обслуживания

Датчик (Pirani) (см. 9)

Рис. 22: Обслуживание датчика Pirani

÷Снимите переднюю крышку детектора (см. 5.2.1).

÷ Отсоедините жгут датчика (1).

÷ Ослабьте стопорный винт (2).

÷ Вверните винт CHc (3) в центр фланца датчика.

÷ Потяните за винт CHc (3), чтобы извлечь датчик.

÷ Установите новый датчик (4).

÷ Затяните стопорный винт (2).

÷ Подключите жгут датчика (1).

÷ Выполните настройку датчика: см. раздел Калибровка внутреннего датчика Pirani в Руководстве по эксплуатации.

5.8 Обслуживание вентиляторов

• 5.8.1 Расположение

  

Рис. 23: Расположение вентиляторов

• • Крестообразная отвёртка (Phillips)

• • Вентилятор в сборе с защитной решёткой (см. 9)

• 5.8.2 Замена вентилятора приточного воздуха

÷Снимите переднюю и заднюю крышки детектора (см. 5.2).

÷ Снимите воздушный фильтр задней крышки.

Рис. 24: Обслуживание вентилятора приточного воздуха

÷ Отсоедините жгут (1) вентилятора (V1).

÷ Ослабьте 4 крепёжных винта (2). Сохраните 4 металлических зацепа (4) от старого вентилятора.

÷ Прикрепите защитную решётку (3) к незащищённой стороне нового вентилятора. Установите 4 металлических зацепа (4) на каждый угол вентилятора.

÷ Установите вентилятор, соблюдая направление стрелок на корпусе.

÷ Закрепите вентилятор и решётку с помощью 4 крепёжных винтов.

÷ Подключите жгут вентилятора (1), соблюдая полярность (+) и (−).

Рис. 25: Размещение вентилятора и жгута

÷Снимите переднюю крышку детектора (см. 5.2.1).

÷ Отсоедините жгут вентилятора (1) вентилятора (V2) от платы распределения 24 В (2).

÷ Ослабьте 2 крепёжных винта (3).

÷ Замените вентилятор, соблюдая правильное направление воздушного потока.

Рис. 26: Обслуживание вентилятора турбомолекулярного насоса

÷Снимите переднюю крышку (см. 5.2.1).

÷ Отсоедините жгут вентилятора (1) вентилятора (V3).

÷ Ослабьте 4 крепёжных винта (+ по 2 шайбы на каждый винт).

÷ Замените вентилятор, соблюдая направление стрелок на корпусе.

÷ Установите защитную решётку (2) и закрепите узел 4 винтами (+ по 2 шайбы на каждый винт).

÷ Подключите жгут вентилятора (1), соблюдая полярность (+) и (−).

Рис. 27: Обслуживание вытяжного вентилятора

Воздушный фильтр № 1

Воздушный фильтр № 2

Воздушный фильтр вакуумного блока

• • Гаечные ключи на 13 и 17 мм (для воздушного фильтра вакуумного блока)

• • Воздушные фильтры (см. 9)

  5.9.2 Замена воздушных фильтров № 1 и № 2

÷ Отщелкните воздушный фильтр.

÷ Замените отработанный фильтр: выполните сборку в порядке, показанном ниже (1 + 2 + 3: не забудьте решётку).

Рис. 29: Сборка воздушного фильтра

÷ Защёлкните воздушный фильтр в сборе на место.

• 5.9.3 Замена воздушного фильтра вакуумного блока

Рис. 30: Обслуживание воздушного фильтра вакуумного блока

÷Снимите переднюю крышку (см. 5.2.1).

÷ Ослабьте соединение фильтра (2) ключом на 13 мм, чтобы освободить трубку (1).

÷ Ослабьте соединение (3) ключом на 17 мм.

÷ Ослабьте соединение (2) нового фильтра (4).

÷ Установите новый фильтр в порядке, обратном демонтажу, и затяните соединения.

• 6 Отключение

6.1 Длительный простой

Если детектор необходимо вывести из эксплуатации на длительный период, после завершения работы рекомендуется:

÷ выполнить процедуру длительного отключения, описанную в разделе «Prolonged storage» Руководства по эксплуатации.

÷ хранить детектор в оригинальной упаковке или под защитным чехлом в чистом, незапылённом помещении.

÷ для процедуры повторного запуска см. раздел «Operation» Руководства по эксплуатации. При возникновении проблем обратитесь в сервисный центр Pfeiffer Vacuum.

В соответствии с Директивой 2002/96/EC об обращении отходов электрического и электронного оборудования и Директивой 2011/65/EC об ограничении использования опасных веществ, изделия adixen по окончании срока службы подлежат возврату изготовителю для деконтаминации и последующей переработки.

Обязательство производителя по приёму оборудования распространяется только на полностью укомплектованные изделия, которые не подвергались модификациям или дооснащению, при этом использовались только оригинальные запасные части adixen Vacuum Products, реализуемые Pfeiffer Vacuum, включая все их сборочные единицы и подсборки.

Обязанность по приёму не включает расходы на отправку изделия в центр переработки, а также стоимость самой услуги переработки, которая оплачивается заказчиком.

Перед возвратом изделия в наши сервисные центры ознакомьтесь с процедурой послепродажного обслуживания и заполните декларацию о загрязнении, доступную на нашем сайте.

ПРЕДУПРЕЖДЕНИЕ

Охрана окружающей среды

Изделие или его компоненты должны утилизироваться в соответствии с действующими нормами по охране окружающей среды и здоровья человека, с целью снижения расхода природных ресурсов и предотвращения загрязнения.

Наши изделия содержат различные материалы, подлежащие переработке: чугун, сталь, нержавеющая сталь, чугунное литьё, латунь, алюминий, никель, медь, PTFE, FEP.

Особые меры предосторожности должны соблюдаться для компонентов, контактировавших с продуктами потенциально загрязняющих технологических процессов.

7.1.3 Перечень предупреждений и ошибок

7.2 Руководство по устранению неисправностей

Настоящее руководство помогает устранить неисправности, отображаемые на панели управления или влияющие на работу течеискателя ASM 340. Для удобства поддерживается интерактивное приложение, входящее в состав технической документации.

7.2.1 Установка приложения

÷ Установите CD-диск с Руководством по эксплуатации в привод ПК.

÷ Запустите приложение ASM340.

÷ Выберите язык интерфейса.

÷ Выберите раздел «Устранение неисправностей».

÷ Установите приложение на ПК.

Рис. 31: Стандартный экран с предупреждением

Отображение предупреждений и ошибок

Нажмите соответствующую клавишу для просмотра информации о неисправности.

Окно предупреждения/ошибки

Рис. 32: Окно предупреждения / ошибки

Сервис

Компания Pfeiffer Vacuum предлагает техническую поддержку высокого уровня.

Лаборатория Ликлаб в России осуществляет поставку течеискателей ASM340, оригинальных запасных частей и комплектующих, а также выполняет сервисное обслуживание с выездом на предприятие.

Ремонт и обслуживание

Чтобы ускорить обслуживание: заполните форму заявки на сервис, оформите декларацию о деконтаминации, демонтируйте аксессуары и герметично закройте все фланцы.

9. Запасные части

9.1 Информация для заказа

Доступные для заказа запасные части классифицированы по функциональным группам.

Инструменты ASM340

F 300

Питание и электроснабжение ASM 340

Система автоматического управления и электронные платы ASM 340

ASM 340

Измерение

ASM 340

Вакуумная откачка

ASM 340

F 700

Вакуумный блок

ASM 340

Трубопроводы – соединения – уплотнения ASM 340

Опции и аксессуары ASM 340

Опции и аксессуары ASM 340

Различные аксессуары