Высоковакуумные сухие насосы для работы с атмосферного давления
Современные высоковакуумные насосы нового поколения предназначены для откачки газа от атмосферного давления до диапазона, соответствующего области турбомолекулярных насосов, без необходимости применения дополнительной форвакуумной ступени. Это компактные, энергоэффективные и полностью сухие устройства, обеспечивающие чистую откачку без загрязнения вакуумной системы маслами или парами смазки.
Принцип действия
Конструкция насоса основана на запатентованном механизме комбинированного типа, который позволяет вести непрерывную работу на всём диапазоне давлений — от атм. до 10⁻⁴ Па. В процессе работы роторная система создаёт поэтапное сжатие газа, исключая применение уплотнительных жидкостей. Благодаря этому в рабочей камере отсутствуют пары смазки, а риск обратной миграции масла в вакуумную систему полностью исключён.
Двигатель насоса оснащён встроенным частотным преобразователем, который регулирует частоту вращения ротора в зависимости от давления на входе. При запуске с атмосферного давления ротор работает на пониженной скорости, предотвращая перегрузку. По мере снижения давления обороты автоматически возрастают до номинальных, обеспечивая оптимальную производительность и низкое энергопотребление.
Конструктивные особенности
Корпус насоса выполнен из алюминиевого сплава с антикоррозионным покрытием, обеспечивающим высокую теплопроводность и стойкость к химическим воздействиям. Все узлы герметично уплотнены, что позволяет использовать насос в чистых помещениях классов до ISO 5.
Отсутствие вентиляторов воздушного охлаждения делает насос полностью совместимым с «чистыми» технологическими зонами. Охлаждение двигателя и статора осуществляется встроенным водяным контуром с замкнутой циркуляцией. Система водяного охлаждения предотвращает перегрев при длительной работе и поддерживает стабильную температуру при тепловой нагрузке.
Система управления
Управление осуществляется встроенным электронным модулем, который позволяет локально контролировать параметры работы или подключаться к промышленной сети предприятия. Интегрированная панель отображает основные показатели — скорость вращения, температуру, давление и состояние системы.
Возможна интеграция насоса с оборудованием технологической линии через интерфейсный модуль, а также удалённый мониторинг по промышленным протоколам. Для защиты от аварийных ситуаций предусмотрены датчики температуры, вибрации и перегрузки по току. При возникновении неисправности срабатывает автоматическое отключение.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Рабочий диапазон давлений | от атмосферного до <1×10⁻² Па |
| Максимальная быстрота действия | до 170 м³/ч |
| Тип присоединительного фланца | ISO-K 63 (вход) / KF25 (выход) |
| Максимальное давление на выходе | до 1200 мбар |
| Тип смазки | Перфторполиэфирное масло (Fomblin 6/6) |
| Питание | Трёхфазное, 200–208 В ±10% |
| Потребляемая мощность (номинальная / макс.) | 1.3 / 3.0 кВт |
| Уровень шума | <59 дБ(А) |
| Вибрация | <0.2 g |
| Температурный диапазон эксплуатации | 5–40 °C |
| Класс защиты | IP44 |
| Масса | около 43.5 кг |
| Время прогрева | около 30 мин |
| Рекомендуемое положение установки | Вертикальное (впуск вверх) |
Функциональные преимущества
- Откачка с атмосферного давления без форвакуумного насоса.
- Полностью сухая конструкция — отсутствие масла в камере откачки.
- Минимальные эксплуатационные затраты и низкое энергопотребление.
- Компактность и сниженная масса по сравнению с аналогами.
- Работа в условиях повышенной чистоты (классы ISO 5 и выше).
- Автоматическая адаптация скорости вращения к текущему давлению.
- Система мониторинга состояния и встроенная защита от перегрузок.
Области применения
Насосы этого класса применяются в вакуумных установках различного назначения: в производстве полупроводников, микросистемной технике, напылении, травлении, ионной имплантации, а также в научных приборах — от масс-спектрометров до криогенных систем. Благодаря широкому диапазону рабочих давлений они могут выполнять функции как форвакуумного, так и основного насоса.