Высоковакуумные насосы JZB (180–500 м3/ч, атм. до 1×10-4 Па)

Высоковакуумные сухие насосы прямого атмосферного впуска CBVAC JZB

Серия JZB предназначена для откачки от атмосферного давления до области высокого вакуума без применения форвакуумного масляного насоса. Конструктивное исполнение без смазочных жидкостей в потоке исключает риск контаминации рабочей среды и обеспечивает стабильную работу в чувствительных технологических процессах. Насосы выдерживают прямой атмосферный впуск и частые перепады давления, что позволяет использовать их в шлюзовых камерах и на участках с регулярными циклами «вакуум–атмосфера».

Принцип действия и назначение

Агрегат заменяет традиционную связку «турбомолекулярный насос + сухой форвакуумный насос», сохраняя диапазон рабочих давлений и повышая стойкость к проникновению воздуха и водяных паров. Отсутствие масла в тракте откачки исключает миграцию углеводородов и соответствует требованиям к чистоте в полупроводниковой и оптической промышленности. Откачиваемый газ отводится непосредственно в атмосферу либо в выпускной трубопровод с атмосферным давлением.

Рабочие диапазоны

Модификация JZB-160/500 обеспечивает откачку от 10⁵ Па до предельного давления порядка 10⁻⁴ Па. Модификация JZB-63/180 рассчитана на откачку в диапазон до 10⁻² Па. Обе линии устойчивы к кратковременному проникновению атмосферы и к работе при переменном впускном давлении.

Конструктивные особенности

Сухое исполнение тракта откачки обеспечивает чистоту процесса, а компактный корпус и умеренная потребляемая мощность упрощают интеграцию в технологическое оборудование. Выпускаются версии со стандартным и пониженным энергопотреблением (LE), а также облегчённые модификации Twin с оптимизированной массой. Для интеграции в разные электросети предусмотрены исполнения под трёхфазное питание, включая вариант на 380 В.

Области применения

Полупроводниковое и электронное производство, оптика и лазерные технологии, аналитические приборы и масс-спектрометрия, аэрокосмические технологии, лиофильная сушка, научные исследования. Насосы рекомендованы для шлюзовых камер, транспортных модулей и технологических постов с высокой кратностью циклов «вакуум–вентиляция».

Модельный ряд и варианты исполнения

Ключевые эксплуатационные преимущества

Сухая архитектура исключает загрязнение вакуумного объёма продуктами смазки и сокращает регламент обслуживания. Устойчивость к проникновению атмосферы и к высокому влагосодержанию потока повышает ресурс при работе на шлюзах и на участках, где присутствуют водяные пары. Компактность и малый удельный вес упрощают монтаж в стойки и под оборудование, а наличие исполнений LE снижает энергопотребление без ухудшения вакуумных параметров.

Рекомендации по интеграции

Для шлюзовых камер и транспортных модулей рекомендуется выбирать модификации JZB-63/180, ориентируясь на требуемую скорость цикла и конечное давление порядка 10⁻² Па. Для постов, где необходим высокий вакуум до 10⁻⁴ Па, целесообразен выбор JZB-160/500. При наличии ограничений по энергопотреблению следует использовать версии LE. При подключении к промышленным сетям, выполненным по стандарту 380 В, использовать соответствующие варианты моделей, указанные в таблице.

Комплектность и сервис

Поставляются базовые и облегчённые модификации, а также исполнения с альтернативным питающим напряжением. Все изделия обеспечиваются технической поддержкой и сервисным обслуживанием на базе Лаборатории Ликлаб, включая монтаж, пусконаладку, диагностику и регламентные работы.

Краткая спецификация по вакуумным параметрам

Назначение по отраслям

Линия JZB рекомендуется для полупроводниковых производств, линий оптического напыления, лазерных систем, аналитических установок, лиофильной сушки и научных стендов, где требуется чистая сухая откачка от атмосферы до высокого вакуума без применения маслосодержащих агрегатов.