Высоковакуумные сухие насосы прямого атмосферного впуска CBVAC JZB
Серия JZB предназначена для откачки от атмосферного давления до области высокого вакуума без применения форвакуумного масляного насоса. Конструктивное исполнение без смазочных жидкостей в потоке исключает риск контаминации рабочей среды и обеспечивает стабильную работу в чувствительных технологических процессах. Насосы выдерживают прямой атмосферный впуск и частые перепады давления, что позволяет использовать их в шлюзовых камерах и на участках с регулярными циклами «вакуум–атмосфера».
Принцип действия и назначение
Агрегат заменяет традиционную связку «турбомолекулярный насос + сухой форвакуумный насос», сохраняя диапазон рабочих давлений и повышая стойкость к проникновению воздуха и водяных паров. Отсутствие масла в тракте откачки исключает миграцию углеводородов и соответствует требованиям к чистоте в полупроводниковой и оптической промышленности. Откачиваемый газ отводится непосредственно в атмосферу либо в выпускной трубопровод с атмосферным давлением.
Рабочие диапазоны
Модификация JZB-160/500 обеспечивает откачку от 105 Па до предельного давления порядка 10−4 Па. Модификация JZB-63/180 рассчитана на откачку в диапазон до 10−2 Па. Обе линии устойчивы к кратковременному проникновению атмосферы и к работе при переменном впускном давлении.
Конструктивные особенности
Сухое исполнение тракта откачки обеспечивает чистоту процесса, а компактный корпус и умеренная потребляемая мощность упрощают интеграцию в технологическое оборудование. Выпускаются версии со стандартным и пониженным энергопотреблением (LE), а также облегчённые модификации Twin с оптимизированной массой. Для интеграции в разные электросети предусмотрены исполнения под трёхфазное питание, включая вариант на 380 В.
Области применения
Полупроводниковое и электронное производство, оптика и лазерные технологии, аналитические приборы и масс-спектрометрия, аэрокосмические технологии, лиофильная сушка, научные исследования. Насосы рекомендованы для шлюзовых камер, транспортных модулей и технологических постов с высокой кратностью циклов «вакуум–вентиляция».
Модельный ряд и варианты исполнения
| Категория | Наименование | Product Name EN | Тип | Модель | Особенности | Заказной номер | Масса, кг |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| JZB | Сухой высоковакуумный насос прямого впуска | Direct atmospheric molecular pump / High vacuum dry pump | dry | JZB-63/180L | стандарт | A23A2-00007 | 45.0 |
| JZB | Сухой высоковакуумный насос прямого впуска | Direct atmospheric molecular pump / High vacuum dry pump | dry | JZB-63/180L(380) | питание 380 В | A24A2-00002 | 45.0 |
| JZB | Сухой высоковакуумный насос прямого впуска | Direct atmospheric molecular pump / High vacuum dry pump | dry | JZB-63/180LE | версия LE | A24A2-00004 | 45.0 |
| JZB | Сухой высоковакуумный насос прямого впуска | Direct atmospheric molecular pump / High vacuum dry pump | dry | JZB-63/180LE(380) | LE, 380 В | A24A2-00008 | 45.0 |
| JZB | Сухой высоковакуумный насос прямого впуска | Direct atmospheric molecular pump / High vacuum dry pump | dry | JZB-63/180 Twin L | Twin | A24A2-00003 | 43.5 |
| JZB | Сухой высоковакуумный насос прямого впуска | Direct atmospheric molecular pump / High vacuum dry pump | dry | JZB-63/180 Twin LE | Twin, LE | A24A2-00005 | 43.5 |
| JZB | Сухой высоковакуумный насос прямого впуска | Direct atmospheric molecular pump / High vacuum dry pump | dry | JZB-160/500L | стандарт | A23A2-00008 | 47.0 |
| JZB | Сухой высоковакуумный насос прямого впуска | Direct atmospheric molecular pump / High vacuum dry pump | dry | JZB-160/500LE | версия LE | A24A2-00007 | 47.0 |
| JZB | Сухой высоковакуумный насос прямого впуска | Direct atmospheric molecular pump / High vacuum dry pump | dry | JZB-160/500L(380) | питание 380 В | A24A2-00006 | 47.0 |
| JZB | Сухой высоковакуумный насос прямого впуска | Direct atmospheric molecular pump / High vacuum dry pump | dry | JZB-160/500LE(380) | LE, 380 В | A24A2-00009 | 47.0 |
Ключевые эксплуатационные преимущества
Сухая архитектура исключает загрязнение вакуумного объёма продуктами смазки и сокращает регламент обслуживания. Устойчивость к проникновению атмосферы и к высокому влагосодержанию потока повышает ресурс при работе на шлюзах и на участках, где присутствуют водяные пары. Компактность и малый удельный вес упрощают монтаж в стойки и под оборудование, а наличие исполнений LE снижает энергопотребление без ухудшения вакуумных параметров.
Рекомендации по интеграции
Для шлюзовых камер и транспортных модулей рекомендуется выбирать модификации JZB-63/180, ориентируясь на требуемую скорость цикла и конечное давление порядка 10−2 Па. Для постов, где необходим высокий вакуум до 10−4 Па, целесообразен выбор JZB-160/500. При наличии ограничений по энергопотреблению следует использовать версии LE. При подключении к промышленным сетям, выполненным по стандарту 380 В, использовать соответствующие варианты моделей, указанные в таблице.
Комплектность и сервис
Поставляются базовые и облегчённые модификации, а также исполнения с альтернативным питающим напряжением. Все изделия обеспечиваются технической поддержкой и сервисным обслуживанием на базе Лаборатории Ликлаб, включая монтаж, пусконаладку, диагностику и регламентные работы.
Краткая спецификация по вакуумным параметрам
| Модель | Диапазон работы по давлению | Назначение |
|---|---|---|
| JZB-63/180 (все исполнения) | от 105 Па до ≈ 10−2 Па | шлюзовые камеры, быстрые циклы с прямым атмосферным впуском |
| JZB-160/500 (все исполнения) | от 105 Па до ≈ 10−4 Па | технологические посты, требующие более высокого вакуума при сухой откачке |
Назначение по отраслям
Линия JZB рекомендуется для полупроводниковых производств, линий оптического напыления, лазерных систем, аналитических установок, лиофильной сушки и научных стендов, где требуется чистая сухая откачка от атмосферы до высокого вакуума без применения маслосодержащих агрегатов.