Высоковакуумный сухой насос CBVAC JZB-63/180 (180 м³/ч, 1×10−2 Па)
Насосы серии JZB представляют собой компактные сухие агрегаты, обеспечивающие откачку от атмосферного давления (105 Па) до высокого вакуума 10−4 Па без применения форвакуумного насоса. Конструкция ориентирована на чистые технологические процессы, где исключено попадание масляных паров или частиц смазки в вакуумную систему. Откачиваемый газ выпускается непосредственно в атмосферу, что упрощает интеграцию в компактные вакуумные системы и шлюзовые камеры.
Функциональное назначение
Модель JZB-63/180 заменяет традиционную пару из турбомолекулярного и сухого форвакуумного насосов, работающих последовательно. В одном корпусе реализован многоступенчатый принцип откачки, позволяющий начинать работу с атмосферного давления и достигать высокого вакуума без дополнительного оборудования. Насос устойчив к повторяющимся впускам воздуха и перепадам давления, что критично для шлюзовых и транспортных камер в полупроводниковом производстве.
Разновидности и коды исполнения
Базовая линейка включает несколько модификаций, отличающихся наличием локального управления и азотной продувки. Система обозначений модели имеет вид JZB-63/180L или JZB-63/180LE и расшифровывается следующим образом:
- Диаметр впускного фланца: 63 мм (исполнение ISO-K);
- Быстрота действия: 180 м³/ч (варианты 500 м³/ч выпускаются для модели JZB-160/500);
- L — без азотной продувки, N — с продувкой (для работы с влажными или агрессивными средами);
- «E» — наличие локального панельного управления;
- Возможны исполнения с питанием 200–240 В или 380 В (трёхфазное подключение).
Технические характеристики JZB-63/180
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Номинальная быстрота действия | 175 м³/ч (≈ 50 л/с) |
| Предельное давление | ≤ 1×10−4 мбар (≈ 1×10−2 Па) |
| Диапазон давления работы | от 105 до 10−2 Па |
| Впускной фланец | LF-63 (ISO-K) |
| Выпускной фланец | KF-25 |
| Масса | 45 кг |
| Охлаждение | водяное, давление 0,2–0,7 МПа, расход > 2 л/мин |
| Питание | трёхфазное 200–240 В (опция 380 В) |
| Номинальная мощность | 1,4 кВт |
| Шум | ≤ 56 дБ |
| Подшипники | керамические шариковые, консистентная смазка |
Характеристика откачки
Кривая вакуумной откачки JZB-63/180 демонстрирует максимальную скорость в области давлений от 10−1 до 102 Па, что обеспечивает равномерное и быстрое понижение давления в камере. Модель JZB-160/500 отличается вдвое большей производительностью (500 м³/ч) и достигает предельного давления до 1×10−6 мбар, используется в системах высокого вакуума и аналитических установках.
Конструктивные преимущества
- Не требуется форвакуумный насос — работа возможна при прямом атмосферном впуске.
- Тройная ступенчатая структура всасывания обеспечивает стабильную откачку во всём диапазоне давлений.
- Керамические подшипники низкого нагрева — минимальная вибрация и долговечность.
- Совместимость с азотной продувкой для откачки влажных и слабо коррозионных газов.
- Малые габариты и масса при высоких вакуумных характеристиках.
Отличие моделей JZB-63/180 и JZB-160/500
Основное различие заключается в производительности и достигаемом уровне вакуума. Модель JZB-63/180 разработана для среднего высокого вакуума (до 10−2 Па) и подходит для шлюзовых и транспортных камер с частыми впусками атмосферы. JZB-160/500 имеет вдвое больший диаметр впускного фланца (160 мм) и скорость откачки до 500 м³/ч, обеспечивая предельное давление 10−4 Па и ниже. Эта модификация предпочтительна для технологических установок высокого вакуума и научных исследований.
Области применения
Полупроводниковая и электронная промышленность, производство оптических покрытий, лазерная техника, анализаторы газов, масс-спектрометры, вакуумное напыление, аэрокосмические технологии и научные эксперименты. Модель JZB-63/180 идеальна для откачки шлюзовых камер и модулей в линейных системах подачи и выгрузки в чистых помещениях до ISO класса 5.
Ключевые преимущества эксплуатации
Сухие высоковакуумные насосы JZB отличаются устойчивостью к попаданию атмосферы, низким уровнем вибраций и повышенным ресурсом. Они способны перекачивать смеси газов с водяными парами и небольшими долями агрессивных компонентов, не теряя характеристик и без рискa коррозии или закупорки каналов, что характерно для традиционных сухих насосов.
Поддержка и сервис
Все вакуумные насосы CBVAC серии JZB поставляются в России через официальный сервисный центр CBVAC на базе Лаборатории Ликлаб. Выполняется техническое обслуживание, ремонт, калибровка, а также поставка запасных частей и комплектующих.