Высоковакуумный насос KYKY ZF180L предназначен для прямой откачки с атмосферного давления до уровня ниже 1×10⁻² Па без использования форвакуумного насоса. Модель отличается высокой быстротой действия 170 м³/ч, низким уровнем шума и вибраций, возможностью работы в чистых помещениях до класса ISO5 и вертикальным монтажом по фланцам ISO-K63/KF25. Применяется в полупроводниковом производстве, вакуумных камерах, шлюзах, системах травления и осаждения, а также в лабораторных и научных установках. Насос поставляется и обслуживается лабораторией Leaklab, официальным представителем производителя, с полным техническим сопровождением и гарантийной поддержкой.
Ключевые слова:
высоковакуумный насос, насос KYKY ZF180L, откачка с атмосферы, прямой высоковакуумный насос, ISO-K63, KF25, 170 м³/ч, предельное давление 1×10⁻² Па, Fomblin 6/6, безмасляный насос, чистые помещения ISO5, Leaklab, официальный представитель, вакуумная техника, насос для плазменных процессов, насос для полупроводников, высоковакуумная откачка, сервисное обслуживание насосов, промышленный вакуум, система откачки без форвакуумного насоса.
Описание
Высоковакуумный насос KYKY ZF180L, работающий с атмосферного давления
KYKY ZF180L — высоковакуумный насос со стартом «с атмосферы», предназначенный для прямой откачки технологических объёмов без отдельного форвакуумного поста. Конструкция обеспечивает устойчивый запуск от атмосферного давления, быстрый выход на режим и достижение предельного давления ниже 1×10⁻² Па. Поставка, ввод в эксплуатацию и сервис выполняются лабораторией Leaklab как официальным представителем.
Назначение и область применения
Насос ориентирован на непрерывные и циклические процессы в чистых производственных средах и лабораториях: загрузочно-разгрузочные шлюзы, вакуумные камеры НИОКР, участки нанесения покрытий, плазменные процессы удаления фоторезиста и травления, ионная имплантация, системы контроля герметичности и вакуумные стенды с требованиями к ускоренному набору вакуума при минимальном шуме и вибрациях.
Ключевые особенности
Запуск и работа от атмосферного давления без ограничений по длительности пуска. Высокая быстрота откачки 170 м³/ч на среднем вакууме при компактной компоновке и низких акустических эмиссиях <59 dB(A). Сниженная вибрация <0,2 g, соответствующая требованиям к установке чувствительного технологического оборудования. Конструктив для чистых помещений: вход ISO-K63, выход KF25, степень защиты IP44, эксплуатация при 5…40 °C. Смазочный материал — инертная фторсодержащая жидкость Fomblin 6/6, совместимая с чистыми процессами. Штатный прогрев 30 мин для стабилизации характеристик. Питание трёхфазное 200/208 В ±10 %, номинальная мощность без нагрузки 1,3 кВт, максимальная 3 кВт.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Максимальная быстрота откачки | 170 м³/ч |
| Предельное давление | < 1×10⁻² Па |
| Входной фланец | ISO-K63 |
| Выходной фланец | KF25 |
| Рабочая среда/температура | Чистые газы, 5…40 °C |
| Шум | < 59 dB(A) |
| Вибрация | < 0,2 g |
| Положение при монтаже | Вертикально, вход вверх |
| Максимальный наклон при эксплуатации | до 5° |
| Транспортировочный наклон | вертикально, вход вверх; отклонение менее 15° |
| Смазочный материал | Fomblin 6/6 |
| Степень защиты | IP44 |
| Время прогрева | ≈ 30 мин |
| Макс. давление на выхлопе (fore-line) | ≤ 1200 мбар |
| Электропитание | 3-ф, 200/208 В ±10 %, 47–63 Гц |
| Номинальная мощность (без нагрузки) | 1,3 кВт |
| Максимальная потребляемая мощность | 3 кВт |
| Кабель питания | 4-жильный |
| Сигнал TIM (interlock) | 24 В |
| Масса | ≈ 43,5 кг |
Концепция «от атмосферы» и сравнение с классическими решениями
ZF180L реализует функциональность, аналогичную современным высоковакуумным агрегатам класса «EPX» с прямой откачкой: переход от атмосферы к высокому вакууму без пары «форвакуумный насос + турбомолекулярный насос». Отсутствие ограничений по длительности откачки с атмосферы упрощает цикл пуска после сервисных вмешательств, сокращает номенклатуру оборудования и снижает энергопотребление. Компоновка отвечает требованиям чистых помещений вплоть до ISO 5; применение инертной смазки исключает перенос углеводородов в вакуумный объём.
Требования к монтажу и эксплуатации
Монтаж выполняется вертикально, вход вверх, с обеспечением жёсткой опоры и выверки по уровню; отклонения ограничиваются указанными углами. Соединение по ISO-K и KF выполняется штатными прижимами, центрирующими кольцами и уплотнениями; поверхности уплотнений должны быть чистыми и без царапин. Перед пуском проверяются правильность фазировки, целостность защитного проводника и наличие сигнала TIM 24 В на межблокировке. После включения выдерживается прогрев до 30 мин для стабилизации температурного режима и характеристик. Допускается непрерывная работа со стартом от атмосферного давления; при росте давления по выхлопу выше 1200 мбар следует остановить насос и устранить причину перегрузки.
Энергосбережение и снижение эксплуатационных рисков
Низкие шум и вибрация уменьшают требования к виброизоляции технологических модулей и допустимы для установки вблизи чувствительных измерительных средств. Применение фторсодержащей смазки обеспечивает химическую инертность и совместимость с процессами, чувствительными к углеводородам. По опциональному заданию реализуются режимы экономии энергии («спящий» режим) и удалённое управление через интерфейсы технологической линии; интеграция и сервис осуществляются Leaklab.
Комплект поставки и сервис
| Поз. | Наименование | Кол-во | Примечание |
|---|---|---|---|
| 1 | Насос KYKY ZF180L в сборе | 1 | Вход ISO-K63, выход KF25 |
| 2 | Кабель питания (4-жильный) | 1 | Длина по заказу |
| 3 | Эксплуатационная документация | 1 | Руководство и паспорт |
Leaklab выполняет поставку, пусконаладку, интеграцию в технологическую линию, регламентное обслуживание и обучение персонала. Все работы проводятся в соответствии с требованиями российской нормативной документации и внутренними процедурами качества.
Технические рекомендации по безопасности
Эксплуатация допускается при температуре окружающей среды 5…40 °C и наличии эффективной вентиляции. Не допускается работа насоса при затоплении, конденсации влаги или нарушении целостности защитного заземления. Обслуживание проводится только при снятом питании и после полной остановки ротора. При транспортировании насос удерживается строго вертикально (вход вверх), отклонение ограничивается 15°.
Применение в чистых производственных средах
Компактность, низкое энергопотребление и соответствие требованиям чистых помещений позволяют использовать ZF180L в составе модулей загрузки-выгрузки, шлюзовых камер, систем вакуумного напыления и плазмохимических процессов. При проектировании трассировки рекомендуется минимизировать длину и число поворотов между камерой и входом насоса и обеспечивать достаточную проводимость по ISO-K63 для сохранения динамики откачки.
Габаритные размеры насосов KYKY ZF180L
Конструктивные размеры насосов приведены по чертежу для установки, проектирования монтажных мест и расчёта вакуумных трасс. Все размеры указаны в миллиметрах (мм).
| Модель | A | B | C | D | E | F | G | H | I | J | K | L | M | N |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZF180L | 261 | 387 | 232 | 229 | 213 | 316 | 232 | 353 | 192 | 211 | 106 | 55 | 405 | 374 |
Размеры соответствуют заводской документации производителя и подтверждены лабораторией Leaklab, официальным представителем и сервисным центром по вакуумной технике KYKY
Скачать техническую карточку
Высоковакуумный насос KYKY ZF180L (180 м3/ч, атм. до 1×10-2 Па)
