Высоковакуумный насос KYKY ZF180L, работающий с атмосферного давления

KYKY ZF180L — высоковакуумный насос со стартом «с атмосферы», предназначенный для прямой откачки технологических объёмов без отдельного форвакуумного поста. Конструкция обеспечивает устойчивый запуск от атмосферного давления, быстрый выход на режим и достижение предельного давления ниже 1×10⁻² Па. Поставка, ввод в эксплуатацию и сервис выполняются лабораторией Leaklab как официальным представителем.

Назначение и область применения

Насос ориентирован на непрерывные и циклические процессы в чистых производственных средах и лабораториях: загрузочно-разгрузочные шлюзы, вакуумные камеры НИОКР, участки нанесения покрытий, плазменные процессы удаления фоторезиста и травления, ионная имплантация, системы контроля герметичности и вакуумные стенды с требованиями к ускоренному набору вакуума при минимальном шуме и вибрациях.

Ключевые особенности

Запуск и работа от атмосферного давления без ограничений по длительности пуска. Высокая быстрота откачки 170 м³/ч на среднем вакууме при компактной компоновке и низких акустических эмиссиях <59 dB(A). Сниженная вибрация <0,2 g, соответствующая требованиям к установке чувствительного технологического оборудования. Конструктив для чистых помещений: вход ISO-K63, выход KF25, степень защиты IP44, эксплуатация при 5…40 °C. Смазочный материал — инертная фторсодержащая жидкость Fomblin 6/6, совместимая с чистыми процессами. Штатный прогрев 30 мин для стабилизации характеристик. Питание трёхфазное 200/208 В ±10 %, номинальная мощность без нагрузки 1,3 кВт, максимальная 3 кВт.

Технические характеристики

Концепция «от атмосферы» и сравнение с классическими решениями

ZF180L реализует функциональность, аналогичную современным высоковакуумным агрегатам класса «EPX» с прямой откачкой: переход от атмосферы к высокому вакууму без пары «форвакуумный насос + турбомолекулярный насос». Отсутствие ограничений по длительности откачки с атмосферы упрощает цикл пуска после сервисных вмешательств, сокращает номенклатуру оборудования и снижает энергопотребление. Компоновка отвечает требованиям чистых помещений вплоть до ISO 5; применение инертной смазки исключает перенос углеводородов в вакуумный объём.

Требования к монтажу и эксплуатации

Монтаж выполняется вертикально, вход вверх, с обеспечением жёсткой опоры и выверки по уровню; отклонения ограничиваются указанными углами. Соединение по ISO-K и KF выполняется штатными прижимами, центрирующими кольцами и уплотнениями; поверхности уплотнений должны быть чистыми и без царапин. Перед пуском проверяются правильность фазировки, целостность защитного проводника и наличие сигнала TIM 24 В на межблокировке. После включения выдерживается прогрев до 30 мин для стабилизации температурного режима и характеристик. Допускается непрерывная работа со стартом от атмосферного давления; при росте давления по выхлопу выше 1200 мбар следует остановить насос и устранить причину перегрузки.

Энергосбережение и снижение эксплуатационных рисков

Низкие шум и вибрация уменьшают требования к виброизоляции технологических модулей и допустимы для установки вблизи чувствительных измерительных средств. Применение фторсодержащей смазки обеспечивает химическую инертность и совместимость с процессами, чувствительными к углеводородам. По опциональному заданию реализуются режимы экономии энергии («спящий» режим) и удалённое управление через интерфейсы технологической линии; интеграция и сервис осуществляются Leaklab.

Комплект поставки и сервис

Leaklab выполняет поставку, пусконаладку, интеграцию в технологическую линию, регламентное обслуживание и обучение персонала. Все работы проводятся в соответствии с требованиями российской нормативной документации и внутренними процедурами качества.

Технические рекомендации по безопасности

Эксплуатация допускается при температуре окружающей среды 5…40 °C и наличии эффективной вентиляции. Не допускается работа насоса при затоплении, конденсации влаги или нарушении целостности защитного заземления. Обслуживание проводится только при снятом питании и после полной остановки ротора. При транспортировании насос удерживается строго вертикально (вход вверх), отклонение ограничивается 15°.

Применение в чистых производственных средах

Компактность, низкое энергопотребление и соответствие требованиям чистых помещений позволяют использовать ZF180L в составе модулей загрузки-выгрузки, шлюзовых камер, систем вакуумного напыления и плазмохимических процессов. При проектировании трассировки рекомендуется минимизировать длину и число поворотов между камерой и входом насоса и обеспечивать достаточную проводимость по ISO-K63 для сохранения динамики откачки.