Высоковакуумный сухой насос прямого атмосферного впуска CBVAC JZB-63/500
CBVAC JZB-63/500 — сухой высоковакуумный агрегат с прямым атмосферным впуском, предназначенный для откачки от 105 Па до области высокого вакуума вплоть до 1×10−4 Па. Насос работает без форвакуумного масляного агрегата и заменяет классическую связку «турбомолекулярный + форвакуумный», обеспечивая чистую откачку без риска углеводородной контаминации. Конструкция рассчитана на частые циклы «вакуум—атмосфера», устойчиво переносит проникновение воздуха и повышенную долю водяных паров.
Область применения
Шлюзовые и транспортные камеры полупроводниковых линий, вакуумное напыление и травление, лазерные и оптические установки, аналитические приборы, масс-спектрометрия, лиофильная сушка, лабораторные стенды. Насос рекомендуется там, где требуется чистая сухая откачка от атмосферы до высокого вакуума при ограничениях по месту и энергопотреблению.
Принцип и архитектура
В одном корпусе реализована многоступенчатая сухая схема с регенеративными и молекулярно-динамическими ступенями, обеспечивающая широкий рабочий диапазон давлений. Узел подшипников выполнен на керамических шарикоподшипниках с минимальным тепловыделением и вибрацией. Откачиваемый газ выводится в атмосферу либо в атмосферный отводящий трубопровод. Для расширения применимости предусмотрена азотная продувка трактов (варианты «N»), снижающая коррозионные риски и повышающая стойкость к влаге и мелкодисперсным частицам.
Диапазон действий и характеристики кривой откачки
Максимальная быстрота действия достигается в диапазоне порядка 1–100 Па, что обеспечивает быстрый пролет вязкостной области и эффективный выход в высокий вакуум. На низких давлениях сохраняется стабильная скорость благодаря ступенчатой геометрии каналов. Насос рассчитан на непрерывную работу при любых впускных давлениях, включая длительную откачку с уровня атмосферного.
Основные преимущества
- Прямой атмосферный впуск: не требуется форвакуумный насос.
- Сухой тракт: отсутствие масла и герметизирующих жидкостей в вакуумном объёме.
- Устойчивость к влаге и кратковременным загрязнениям; опциональная азотная продувка.
- Низкая вибрация и тепловая нагрузка; пригодность для чистых помещений (интеграция в ISO-классы до ISO 5 по проекту).
- Компактность и сниженная установленная мощность относительно пары «ТМН+форвакуум».
Технические характеристики
| Параметр | JZB-63/500 | Комментарии |
|---|---|---|
| Номинальная быстрота действия | 500 м³/ч | оптимум в области 1–100 Па |
| Предельное давление | до 1×10−4 Па (экв. 1×10−6 мбар) | при корректной герметичности и теплоразвязке камеры |
| Рабочий диапазон давлений | 105…10−4 Па | непрерывная работа от атмосферы |
| Впускной фланец | ISO-K 63 | альтернативы по проекту: ISO-K 160 для высокопоточных трактов |
| Выпускной фланец | KF-25 (атмосферный выпуск) | рекомендуется короткий и прямой отвод |
| Охлаждение | водяное 15–35 °C; 0,2–0,7 МПа; ≥2 л/мин | контроль протока и межблочных блокировок обязателен |
| Питание | 3×200–240 В; опция 3×380 В | частота 50 Гц; удалённый пуск/стоп по I/O |
| Номинальная мощность | ≈1,6 кВт | максимум при разгоне до ~3 кВт |
| Скорость ротора | номинальная ~18 000 об/мин; резерв ~6 000 об/мин (standby) | выбор режимов через интерфейс |
| Время разгона/торможения | ≈3 мин / ≈4 мин | типовые значения |
| Вибрация/шум | <0,25 g / ≤56 дБ | вертикальная установка ±5° |
| Масса | ≈47 кг | в зависимости от опций |
Исполнения и коды заказа
Структура обозначения: JZB-63/500 [L|N][E], где L — без азотной продувки, N — с продувкой; E — локальная панель управления. Варианты питания обозначаются дополнением «(380)» для исполнения 3×380 В. Примеры: JZB-63/500L, JZB-63/500LE, JZB-63/500N(380).
Рекомендации по проектированию системы
- Фланец ISO-K 63 допустим при умеренных потоках; для больших потоков или коротких тактов шлюзов целесообразно рассмотреть тракт DN160 и соответствующее исполнение насоса.
- Исключить локальные дросселирующие участки на выпуске; отвод на атмосферу делать максимально коротким и прямым.
- Обязательно межблочное условие «есть охлаждение → разрешён пуск»; контроль протока и температуры воды.
- При присутствии влаги, пластификаторов и слабокоррозионных компонентов активировать азотную продувку (варианты «N») и предусмотреть дренажные паузы.
- Для чистых помещений закладывать виброразвязку основания и мягкие подводы воды.
Эксплуатация и обслуживание
Насос не требует замены масла в вакуумном тракте. Регламент включает периодический контроль подшипникового узла, чистку газовых каналов по состоянию процесса, проверку расхода и температуры охлаждающей воды, диагностику вибраций и тока. Допускается перевод в режим пониженной скорости (standby) между циклами для снижения энергопотребления и тепловой нагрузки.
Сравнение с моделями серии
| Модель | Быстрота действия | Предельное давление | Типовой фланец впуска | Назначение |
|---|---|---|---|---|
| JZB-63/180 | ≈180 м³/ч | до ~1×10−2 Па | ISO-K 63 | шлюзы и модули с умеренными потоками |
| JZB-63/500 | 500 м³/ч | до 1×10−4 Па | ISO-K 63 | ускоренные циклы, более высокий вакуум при компактном тракте |
| JZB-160/500 | 500 м³/ч | до 1×10−4 Па и ниже | ISO-K 160 | высокопоточные камеры, большие сечения трактов |
Примечание инженера. В линейке также встречается конфигурация 500 м³/ч с впуском DN160. Для задач с малыми сопротивлениями тракта и крупными камерами она предпочтительнее. Обозначение JZB-63/500 отражает сохранение компактного интерфейса DN63 при повышенной производительности; подбор фланца следует выполнять по расчётной пропускной способности линии и допустимым скоростям потока.
Пусконаладка
- Проверить проток и температуру охлаждающей воды; настроить межблочную блокировку.
- Проверить правильность фазировок и заземления; выполнить холостой пуск, убедиться в штатных токах и вибрации.
- Запустить цикл откачки от атмосферного давления; при необходимости использовать ступенчатый профиль (быстрый разгон → standby → рабочая скорость).
- В «грязных» процессах — активировать азотную продувку; задать интервалы очистительных пауз.
Сервис и поддержка
Поставка, ввод в эксплуатацию, регламентное обслуживание и ремонт выполняются сервисным центром CBVAC в России на базе Лаборатории Ликлаб. Доступны запасные части, узлы охлаждения, интерфейсные кабели, комплекты для продувки и модернизации.