Вакуумное оборудование KYKY
Русский технический каталог: насосы с масляной и консистентной смазкой, приборные модели, насосы CXF на магнитной подвеске, контроллеры и откачные посты FJ. Фотографии, параметры по газам, габаритные чертежи и файлы характеристик.
Практика Ликлаб в деталях
Устройство турбомолекулярной ступени на реальном образце
Разрез демонстрационного насоса серии CBVAC MTP позволяет рассмотреть многоступенчатую конструкцию. Отдельный ротор помогает увидеть, насколько компактно расположены рабочие элементы.
При подборе турбомолекулярного насоса одновременно рассматривают входной фланец, форвакуумную ступень, контроллер и охлаждение. Для обслуживания необходим доступ к присоединениям и возможность безопасного демонтажа. Фотография относится к семейству MTP и не подменяет изображение конкретной модели другого семейства.
Турбомолекулярные насосы
Турбомолекулярные насосы предназначены для создания высокого и сверхвысокого вакуума в технологических и исследовательских установках. Принцип их действия основан на передаче импульса от быстро вращающихся лопастей ротора молекулам газа, что обеспечивает направленное движение молекул от входного фланца к выпуску.
Современные турбомолекулярные насосы отличаются высокой скоростью откачки, компактными габаритами и минимальным уровнем вибраций. Ротор вращается со скоростью до 90 000 об/мин, обеспечивая достижение предельного давления до 10−8 Па. Благодаря безмасляной конструкции исключается загрязнение вакуумной системы углеводородами, что особенно важно для чистых производственных процессов.
Серия FF представляет собой компактные насосы со встроенным контроллером производительностью от 25 до 300 л/с. Их использование не требует отдельного блока управления, что облегчает монтаж и интеграцию в лабораторные или промышленные системы.
Серия CXF разработана для задач, требующих максимальной чистоты и стабильности вакуума. Ротор в этих насосах установлен на магнитном подвесе, что полностью исключает трение и износ подшипников, снижает уровень вибраций и увеличивает срок службы. Производительность моделей CXF достигает 1280 – 3260 л/с при предельном давлении до 10−8 Па.
Конструкция турбомолекулярного насоса представляет собой многокаскадный модуль из чередующихся подвижных и неподвижных лопастей. Каждая ступень последовательно снижает давление газа, обеспечивая плавное и стабильное течение потока. Электронная система управления контролирует скорость вращения ротора, предотвращает разбалансировку и обеспечивает безопасный запуск и останов.
Для отвода тепла при длительной работе применяются воздушное или водяное охлаждение. В состав вакуумной системы обычно входят форвакуумные насосы, снижающие давление до уровня 10–50 Па перед запуском турбомолекулярного насоса.
Благодаря сочетанию высокой производительности, компактности и чистоты работы турбомолекулярные насосы используются в полупроводниковом производстве, в установках напыления и травления, в криогенной и аналитической технике, а также в научных лабораториях и вакуумной металлургии.
Насосы серий FF и CXF обеспечивают стабильную работу в диапазоне давлений от 10 Па до 10−8 Па и являются оптимальным решением для большинства современных высоковакуумных процессов.
Подбор турбомолекулярного насоса
Турбомолекулярный насос передаёт импульс молекулам газа вращающимися лопатками ротора. Для работы ему необходимы согласованные форвакуумная ступень, контроллер и система охлаждения.
Быстрота откачки и степень сжатия зависят от газа. Предельное давление определяется исполнением насоса, уплотнением входного фланца и состоянием вакуумной системы. Поэтому параметры следует сравнивать по таблицам конкретных моделей, а не по общему названию серии.
Ликлаб помогает подобрать насос, присоединительную арматуру, форвакуумный насос и управление под рабочее давление, газовую нагрузку и технологию предприятия. Комплектацию и условия эксплуатации согласуют до поставки.