Вакуумное оборудование KYKY: насосы, контроллеры и откачные посты
Технический каталог лаборатории контроля герметичности Ликлаб
Подобрать оборудование
Подбор по типу подшипников, рабочей среде, быстроте откачки и системе управления. Технические таблицы переведены на русский язык с сохранением единиц, газов и различий между исполнениями.
Турбомолекулярные насосы с масляной смазкой
Масляная смазка керамических подшипников рассчитана на промышленную эксплуатацию. Серия применяется для нанесения покрытий PVD и CVD, вакуумных печей, электронно-лучевой сварки, изготовления электронных компонентов и контроля герметичности. Условия работы с газами и монтажное положение проверяют по паспорту конкретного исполнения.
FF-160/620F
Быстрота откачки, л/с: N₂: 600 / He: 380 / H₂: 240 / Ar: 580
Открыть карточку →FF-160/620N
Быстрота откачки, л/с: N₂: 600 / He: 380 / H₂: 240 / Ar: 580
Открыть карточку →FF-200/1200
Быстрота откачки, л/с: N₂: 1200 / He: 750 / H₂: 480 / Ar: 1160
Открыть карточку →FF-200/1200C
Быстрота откачки, л/с: N₂: 1200 / He: 750 / H₂: 480 / Ar: 1160
Открыть карточку →FF-200/1200G
Быстрота откачки, л/с: N₂: 900 / He: 560 / H₂: 360 / Ar: 870
Открыть карточку →FF-200/1200N
Быстрота откачки, л/с: N₂: 1200 / He: 750 / H₂: 480 / Ar: 1160
Открыть карточку →
F-250/1500
Быстрота откачки, л/с: N₂: 1500 / He: 1100 / H₂: 550 / Ar: 1350
Открыть карточку →F-250/1500N
Быстрота откачки, л/с: N₂: 1500 / He: 1100 / H₂: 550 / Ar: 1350
Открыть карточку →
FF-250/1600G
Быстрота откачки, л/с: N₂: 1600 / He: 1000 / H2 : 640 / Ar: 1550
Открыть карточку →
F-400/3500B
Быстрота откачки, л/с: N₂: 3500 / He: 2750 / H₂: 1300 / Ar: 3300
Открыть карточку →
F-400/4500
Быстрота откачки, л/с: N₂: 4500 / He: 3200 / H₂: 2000 / Ar: 4200
Открыть карточку →
FF-400/5000 / FF-400/5000Y
Быстрота откачки, л/с: N₂: 4800 / He: 3550 / H₂: 2500 / Ar: 4500
Открыть карточку →
F-100/150
Характеристики, исполнения и документация
Открыть карточку →
FF-160/620
Характеристики, исполнения и документация
Открыть карточку →Приборные турбомолекулярные насосы
Компактные насосы для масс-спектрометрии, анализа поверхности, электронных микроскопов и приборных вакуумных систем. Модульная конструкция объединяет откачную часть, привод, управление и охлаждение. Для малых насосов особенно важны проводимость соединений и правильный подбор форвакуумной ступени.
FF-40/25
Быстрота откачки, л/с: N₂: 20 / He: 18 / H₂: 11 / Ar: 25
Открыть карточку →
FF-63/80
Быстрота откачки, л/с: N₂: 82 / He: 58 / H₂: 44 / Ar: 87
Открыть карточку →
FF-63/80HV
Быстрота откачки, л/с: N₂: 62 / He: 55 / H₂: 34 / Ar: 65
Открыть карточку →
FF-100/150
Быстрота откачки, л/с: N₂: 140 / He: 130 / H₂: 75 / Ar: 145
Открыть карточку →
FF-100/300
Быстрота откачки, л/с: N₂: 296 / He: 250 / H₂: 200 / Ar: 305
Открыть карточку →
DFF-63/80
Быстрота откачки, л/с: N₂: 85 / He: 73 / H₂: 61 / Ar: 83
Открыть карточку →
DFF-100/300
Быстрота откачки, л/с: N₂: 280 / He: 265 / H₂: 220 / Ar: 255
Открыть карточку →Турбомолекулярные насосы с консистентной смазкой
Керамические подшипники с консистентной смазкой уменьшают загрязнение вакуумного тракта. Серия предназначена для полупроводникового оборудования, покрытий, ускорителей, плазменных установок и контроля герметичности. Производитель допускает различные монтажные положения; ограничения выбранного исполнения проверяют по руководству.
FF-200/1300
Быстрота откачки, л/с: N₂: 1300 / He: 1000 / H₂: 480 / Ar: 1250
Открыть карточку →
FF-200/1300F
Быстрота откачки, л/с: N₂: 1300 / He: 1000 / H₂: 480 / Ar: 1250
Открыть карточку →FF-200/1300N / FF-200/1300A
Быстрота откачки, л/с: N₂: 1300 / He: 1000 / H₂: 480 / Ar: 1250
Открыть карточку →
FF-250/2000 / FF-250/2000A/N
Быстрота откачки, л/с: N₂: 2000 / He: 1600 / H₂: 740 / Ar: 1900
Открыть карточку →
FF-100/110
Характеристики, исполнения и документация
Открыть карточку →
FF-160/700
Характеристики, исполнения и документация
Открыть карточку →
FF-160/700F
Характеристики, исполнения и документация
Открыть карточку →Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе
Пятиосевой активный магнитный подвес удерживает ротор без контакта в рабочем режиме. Смазка рабочего подвеса не требуется; защитные подшипники служат для аварийных режимов. Серия применяется в полупроводниковых процессах, покрытиях и исследовательских установках. Исполнения с подогревом и защитным газом подбирают под состав технологической среды.
CXF-200/1401
Быстрота откачки, л/с: N₂: 1280 / Ar: 1100 / He: 880 / H₂: 560
Открыть карточку →CXF-200/1402
Быстрота откачки, л/с: N₂: 1400 / Ar: 1300 / He: 1100 / H₂: 820
Открыть карточку →
CXF-200/1401CV
Быстрота откачки, л/с: N₂: 1280 / Ar: 1100 / He: 880 / H₂: 560
Открыть карточку →
CXF-200/1401CS
Быстрота откачки, л/с: N₂: 1280 / Ar: 1100 / He: 880 / NH₂: 560
Открыть карточку →CXF-200/1402CS
Быстрота откачки, л/с: N₂: 1400 / Ar: 1300 / He: 1100 / H₂: 820
Открыть карточку →
CXF-200/1401CVS
Быстрота откачки, л/с: N₂: 1280 / Ar: 1100 / He: 880 / H₂: 560
Открыть карточку →
CXF-250/2301
Быстрота откачки, л/с: N₂: 2150 / Ar: 1900 / He: 1500 / H₂: 850
Открыть карточку →CXF-250/2302
Быстрота откачки, л/с: N₂: 2360 / Ar: 2260 / He: 1980 / H₂: 1250
Открыть карточку →
CXF-250/2301G
Быстрота откачки, л/с: N₂: 2150 / Ar: 1900 / He: 1500 / H₂: 850
Открыть карточку →
CXF-250/2301CV
Быстрота откачки, л/с: N₂: 2150 / Ar: 1900 / He: 1500 / H₂: 850
Открыть карточку →
CXF-250/2301CS
Быстрота откачки, л/с: N₂: 2150 / Ar: 1900 / He: 1500 / H₂: 850
Открыть карточку →CXF-250/2302CS
Быстрота откачки, л/с: N₂: 2360 / Ar: 2260 / He: 1980 / H₂: 1250
Открыть карточку →
CXF-250/2301CVS
Быстрота откачки, л/с: N₂: 2150 / Ar: 1900 / He: 1500 / H₂: 850
Открыть карточку →
CXF-320/3001
Быстрота откачки, л/с: N₂: 2950 / Ar: 2750 / He: 2300 / H₂: 1100
Открыть карточку →CXF-320/3002
Быстрота откачки, л/с: N₂: 3260 / Ar: 2900 / He: 2550 / H₂: 1730
Открыть карточку →
CXF-320/3001CV
Быстрота откачки, л/с: N₂: 2950 / Ar: 2750 / He: 2300 / H₂: 1100
Открыть карточку →
CXF-320/3001CS
Быстрота откачки, л/с: N₂: 2950 / Ar: 2750 / He: 2300 / H₂: 1100
Открыть карточку →CXF-320/3002CS
Быстрота откачки, л/с: N₂: 3260 / Ar: 2900 / He: 2550 / H₂: 1730
Открыть карточку →
CXF-320/3001CVS
Быстрота откачки, л/с: N₂: 2950 / Ar: 2750 / He: 2300 / H₂: 1100
Открыть карточку →Контроллеры турбомолекулярных насосов
Контроллер обеспечивает питание и управление приводом насоса. Выбор определяется точной моделью, рабочей частотой, током и напряжением двигателя, кабелями и интерфейсами. Приведённые настройки относятся к указанным сочетаниям насоса и контроллера; переносить их на другую модель без документации нельзя.
TCP-100
Характеристики, исполнения и документация
Открыть карточку →
TCP-240
Характеристики, исполнения и документация
Открыть карточку →
TC-100
Характеристики, исполнения и документация
Открыть карточку →
TD-25B
Характеристики, исполнения и документация
Открыть карточку →TD-25BJ
Характеристики, исполнения и документация
Открыть карточку →TD-80BHV
Характеристики, исполнения и документация
Открыть карточку →TD-80B
Характеристики, исполнения и документация
Открыть карточку →TD-80D
Характеристики, исполнения и документация
Открыть карточку →TD-150BJ
Характеристики, исполнения и документация
Открыть карточку →TD-150BB
Характеристики, исполнения и документация
Открыть карточку →TD-150B
Характеристики, исполнения и документация
Открыть карточку →TD-300B
Характеристики, исполнения и документация
Открыть карточку →
TCDP-II, TD-II/TCP-II
Характеристики, исполнения и документация
Открыть карточку →
TCDP-III
Характеристики, исполнения и документация
Открыть карточку →
TCDP-IV
Характеристики, исполнения и документация
Открыть карточку →
FD-110A
Характеристики, исполнения и документация
Открыть карточку →
FD-110B
Характеристики, исполнения и документация
Открыть карточку →
FD-IIB
Характеристики, исполнения и документация
Открыть карточку →
FD-III
Характеристики, исполнения и документация
Открыть карточку →
CXFD-1001S
Характеристики, исполнения и документация
Открыть карточку →Турбомолекулярные откачные посты
Готовые откачные посты объединяют высоковакуумный насос, форвакуумную ступень и управление. Применяются в лабораторных и технологических вакуумных системах. Варианты с суффиксом G отличаются форвакуумной комплектацией; насосы, питание, габариты и массу нужно выбирать по соответствующей строке.
FJ-80 / FJ-80G
Быстрота откачки, л/с: N₂: 62 / He: 55 / H₂: 34 / Ar: 65
Открыть карточку →
FJ-300Z / FJ-300ZG
Быстрота откачки, л/с: N₂: 296 / He: 250 / H₂: 200 / Ar: 305
Открыть карточку →
FJ-110 / FJ-110G
Быстрота откачки, л/с: N₂: 110 / He: 100 / H₂: 50 / Ar: 100
Открыть карточку →
FJ-150 / FJ-150G
Быстрота откачки, л/с: N₂: 140 / He: 130 / H₂: 75 / Ar: 145
Открыть карточку →
FJ-300 / FJ-300G
Быстрота откачки, л/с: N₂: 296 / He: 250 / H₂: 200 / Ar: 305
Открыть карточку →
FJ-620 / FJ-620G
Быстрота откачки, л/с: N₂: 600 / He: 380 / H₂: 240 / Ar: 580
Открыть карточку →FJ-620C / FJ-620CG
Быстрота откачки, л/с: N₂: 600 / He: 380 / H₂: 240 / Ar: 580
Открыть карточку →FJ-620F / FJ-620FG
Быстрота откачки, л/с: N₂: 600 / He: 380 / H₂: 240 / Ar: 580
Открыть карточку →
FJ-700 / FJ-700G
Быстрота откачки, л/с: N₂: 700 / He: 580 / H₂: 260 / Ar: 680
Открыть карточку →FJ-700F / FJ-700FG
Быстрота откачки, л/с: N₂: 700 / He: 580 / H₂: 260 / Ar: 680
Открыть карточку →