Турбомолекулярный насос KYKY F-400/4500
Турбомолекулярные насосы с масляной смазкой
Подобрать оборудование
Назначение и конструкция
Масляная смазка керамических подшипников рассчитана на промышленную эксплуатацию. Серия применяется для нанесения покрытий PVD и CVD, вакуумных печей, электронно-лучевой сварки, изготовления электронных компонентов и контроля герметичности. Условия работы с газами и монтажное положение проверяют по паспорту конкретного исполнения.
Технические характеристики
Данные каталога KYKY, редакция декабря 2025 года. N₂ — азот, He — гелий, H₂ — водород, Ar — аргон. sccm — стандартные см³/мин; условия нормирования уточняются по документации производителя.
| Входной фланец | DN400 ISO-K |
|---|---|
| Выходной фланец | DN100 ISO-K |
| Быстрота откачки (л/с) | N₂: 4500 / He: 3200 / H₂: 2000 / Ar: 4200 |
| Степень сжатия | N₂: 5×10⁷ / He: 10³ / H₂: 5×10² / Ar: 5×10⁷ |
| Предельное давление | ≤2×10 -6 |
| Максимальное непрерывное форвакуумное давление (Па) | 100 |
| Максимальное форвакуумное давление | N₂: 300 |
| Максимальный газовый поток | N₂: 5500 / He: 4000 / H₂: 3200 / Ar: 2100 |
| Номинальная частота вращения | 15300 |
| Время разгона | ≤10 |
| Охлаждение | Водяное |
| Расход охлаждающей воды | ≥1 |
| Температура охлаждающей воды | ≤25 |
| Напряжение питания | 24 В пост. / 220 В перем. |
| Максимальная мощность | ≤1100 |
| Совместимый контроллер | FD-III |
| Рекомендуемая быстрота форвакуумного насоса | 30 |
| Масса | 118 |
| Подшипники | Керамические подшипники с масляной смазкой |
Подбор и внедрение в Ликлаб
| Задача | Согласуем рабочее давление, объём камеры, газовую нагрузку и состав среды. |
|---|---|
| Вакуумная обвязка | Проверяем фланцы, проводимость линии, форвакуумный насос, клапаны и защиту от частиц. |
| Управление | Выбираем совместимый контроллер, кабель, интерфейсы и блокировки; параметры — по руководству исполнения. |
| Пусконаладка | Проверяем герметичность соединений, охлаждение, питание, разгон и выход на режим. |
| Обслуживание | Регламент по руководству производителя: состояние подшипников и смазки, охлаждение, чистота и сообщения контроллера. |
Комплект поставки закрепляется в спецификации: наличие контроллера, форвакуумного насоса, клапанов и соединительных деталей не предполагается автоматически. Работа с агрессивными и конденсирующимися газами требует согласования защитного исполнения.
Фотографии, чертежи и рабочие кривые
Кривые откачки серии; по горизонтали давление, Па; по вертикали быстрота откачки, л/с
Обозначения: In — вход, Out — выход, Controller — контроллер, Water — охлаждающая вода. Размеры — мм. На листе показаны несколько исполнений; используйте чертёж с нужным обозначением модели.
Габаритные чертежи серии, размеры в мм
Обозначения: In — вход, Out — выход, Controller — контроллер, Water — охлаждающая вода. Размеры — мм. На листе показаны несколько исполнений; используйте чертёж с нужным обозначением модели.
Продолжение габаритных чертежей серии, размеры в мм
Обозначения: In — вход, Out — выход, Controller — контроллер, Water — охлаждающая вода. Размеры — мм. На листе показаны несколько исполнений; используйте чертёж с нужным обозначением модели.
Источник: KYKY, «Vacuum Generation», декабрь 2025; печатные страницы 16–17. Значения из разных исполнений не следует объединять в одну спецификацию.