Турбомолекулярный насос KYKY FF-200/1300N / FF-200/1300A
Турбомолекулярные насосы с консистентной смазкой
Подобрать оборудование
Назначение и конструкция
Керамические подшипники с консистентной смазкой уменьшают загрязнение вакуумного тракта. Серия предназначена для полупроводникового оборудования, покрытий, ускорителей, плазменных установок и контроля герметичности. Производитель допускает различные монтажные положения; ограничения выбранного исполнения проверяют по руководству.
Технические характеристики
Данные каталога KYKY, редакция декабря 2025 года. N₂ — азот, He — гелий, H₂ — водород, Ar — аргон. sccm — стандартные см³/мин; условия нормирования уточняются по документации производителя.
| Входной фланец | DN200 CF / DN200 ISO-K |
|---|---|
| Выходной фланец (ISO-KF) | DN40 |
| Быстрота откачки (л/с) | N₂: 1300 / He: 1000 / H₂: 480 / Ar: 1250 |
| Степень сжатия | N₂: 10⁹ / He: 10⁴ / H₂: 6×10³ / Ar: 10⁹ |
| Предельное давление (Па) | CF: 6×10⁻⁷ / ISO-K: 6×10⁻⁶ |
| Максимальное непрерывное форвакуумное давление (Па) | 240 |
| Максимальное форвакуумное давление (Па) | N₂: 600 |
| Максимальный газовый поток (sccm) | N₂: 2500 / He: 1850 / H₂: 1450 / Ar: 950 |
| Номинальная частота вращения (об/мин) | 24000 |
| Время разгона (мин) | ≤9 |
| Охлаждение | Водяное |
| Расход охлаждающей воды (л/мин) | ≥1 |
| Температура охлаждающей воды (°C) | ≤25 |
| Напряжение питания (В) | 24 В пост. / 220 В перем. |
| Максимальная мощность (Вт) | ≤500 |
| Совместимый контроллер | TCDP-II; FD-IIB; TD-II/TCP-II |
| Рекомендуемая быстрота форвакуумного насоса (л/с) | 15 |
| Масса (кг) | 29(ISO-K) 31(CF) |
| Подшипники | Керамические подшипники |
Подбор и внедрение в Ликлаб
| Задача | Согласуем рабочее давление, объём камеры, газовую нагрузку и состав среды. |
|---|---|
| Вакуумная обвязка | Проверяем фланцы, проводимость линии, форвакуумный насос, клапаны и защиту от частиц. |
| Управление | Выбираем совместимый контроллер, кабель, интерфейсы и блокировки; параметры — по руководству исполнения. |
| Пусконаладка | Проверяем герметичность соединений, охлаждение, питание, разгон и выход на режим. |
| Обслуживание | Регламент по руководству производителя: состояние подшипников и смазки, охлаждение, чистота и сообщения контроллера. |
Комплект поставки закрепляется в спецификации: наличие контроллера, форвакуумного насоса, клапанов и соединительных деталей не предполагается автоматически. Работа с агрессивными и конденсирующимися газами требует согласования защитного исполнения.
Фотографии, чертежи и рабочие кривые
Кривые откачки: давление в Па, быстрота откачки в л/с
Обозначения: In — вход, Out — выход, Controller — контроллер, Water — охлаждающая вода. Размеры — мм. На листе показаны несколько исполнений; используйте чертёж с нужным обозначением модели.
Габаритные чертежи серии, размеры в мм
Обозначения: In — вход, Out — выход, Controller — контроллер, Water — охлаждающая вода. Размеры — мм. На листе показаны несколько исполнений; используйте чертёж с нужным обозначением модели.
Габаритные чертежи серии, продолжение
Обозначения: In — вход, Out — выход, Controller — контроллер, Water — охлаждающая вода. Размеры — мм. На листе показаны несколько исполнений; используйте чертёж с нужным обозначением модели.
Источник: KYKY, «Vacuum Generation», декабрь 2025; печатные страницы 32–33. Значения из разных исполнений не следует объединять в одну спецификацию.