Описание
Турбомолекулярный насос KYKY CXF-320/3002 с магнитной подвеской ротора
Турбомолекулярный насос KYKY CXF-320/3002 представляет собой флагманскую модель серии CXF — высокопроизводительный насос с активной магнитной подвеской ротора, предназначенный для систем, требующих сверхвысокого вакуума и стабильной работы при значительных газовых потоках. Быстрота откачки по азоту достигает 3260 л/с, а предельное давление — 1×10⁻⁸ Па. Насос обеспечивает безмасляную, малошумную и виброустойчивую откачку, что делает его оптимальным решением для полупроводниковой промышленности, плазмохимических установок, напылительных комплексов и научных вакуумных систем.
Модель CXF-320/3002 предназначена для эксплуатации в условиях высокой нагрузки и длительного непрерывного цикла. Активная система магнитной левитации полностью исключает механический контакт между ротором и корпусом, тем самым устраняя износ и необходимость применения смазочных материалов. Ротор устойчиво левитирует в магнитном поле, а система цифрового управления компенсирует все микросмещения в режиме реального времени, сохраняя идеальную осевую балансировку и стабильность работы даже при переменных газовых потоках.
Конструкция и особенности
Турбомолекулярный насос CXF-320/3002 оснащён многоступенчатым композитным ротором из алюминиевого сплава и углеродного волокна, что обеспечивает минимальную массу вращающихся элементов при высокой прочности и термостойкости. Управление магнитной подвеской осуществляется контроллером CXF-3002 по замкнутому контуру с пятью степенями свободы. Каждая координата отслеживается отдельными сенсорами, а коррекция положения выполняется в реальном времени с высокой точностью.
В конструкции применено водяное охлаждение с расходом 3 л/мин и рабочей температурой 10–25 °C. Контроллер насоса управляет температурным режимом, предотвращая перегрев магнитных подшипников и электроники. Дополнительно предусмотрен электрический подогрев корпуса, позволяющий исключить осаждение продуктов плазменных и химических реакций на внутренних поверхностях, что особенно важно при работе с фтор-, хлор- и кремнийсодержащими газами.
Эксплуатационные характеристики
CXF-320/3002 сочетает высокую производительность с устойчивостью к агрессивным газовым средам. Все газонапряжённые детали покрыты антикоррозионным слоем, защищающим от воздействия реактивных соединений. Для дополнительной защиты используется подача барьерного газа — сухого азота через порт KF10 с расходом 50 см³/мин. Насос допускает длительную работу при форвакуумном давлении до 2400 Па и имеет степень сжатия по азоту и аргону более 1×10⁹, что обеспечивает исключительно чистый вакуум.
Интеграция в вакуумные системы
Модель CXF-320/3002 предназначена для установки на камеры большого объёма и используется в комплексах, где требуется высокая скорость откачки при низком остаточном давлении. Входной фланец DN320 ISO-F обеспечивает простое подключение к крупным вакуумным системам, а выхлопной патрубок KF40 позволяет согласовать насос с большинством стандартных форвакуумных линий. Насос управляется внешним контроллером CXF-3002, который осуществляет запуск, стабилизацию вращения, диагностику и аварийную защиту.
Питание осуществляется от сети 220 В ±10 % 50 Гц или 110 В ±10 % 60 Гц. CXF-320/3002 может устанавливаться в любом положении — вертикальном, горизонтальном или наклонном — без влияния на параметры работы.
Области применения
CXF-320/3002 используется в промышленных и научных установках, где требуется поддержание сверхвысокого вакуума: в линиях CVD/PVD, системах магнетронного напыления, плазмохимического травления, ускорительных комплексах, электронных микроскопах и масс-спектрометрах. Благодаря крупному входному фланцу и высокой производительности насос идеально подходит для вакуумных камер большого объёма и процессов, требующих высокой пропускной способности и чистоты вакуума.
Технические характеристики турбомолекулярного насоса KYKY CXF-320/3002
| Параметр | Значение для CXF-320/3002 |
|---|---|
| Тип насоса | Турбомолекулярный с активной магнитной подвеской |
| Входной фланец | DN320 ISO-F |
| Выхлопной фланец | KF40 |
| Быстрота откачки по N₂ | 3260 л/с |
| Быстрота откачки по Ar | 2900 л/с |
| Быстрота откачки по He | 2550 л/с |
| Быстрота откачки по H₂ | 1730 л/с |
| Степень сжатия по N₂ / Ar | > 1×10⁹ |
| Степень сжатия по He | > 1×10⁴ |
| Степень сжатия по H₂ | > 1×10³ |
| Предельное давление (Viton) | 1,0×10⁻⁷ Па |
| Предельное давление (металл. уплотнение) | 1,0×10⁻⁸ Па |
| Максимальное форвакуумное давление | 2400 Па |
| Порт защитного газа | KF10 |
| Расход защитного газа | 50 см³/мин (N₂) |
| Скорость вращения ротора | 24 000 об/мин |
| Время запуска | ≤ 10 мин |
| Время останова | ≤ 14 мин |
| Охлаждение | водяное, расход ≥ 3 л/мин, 10–25 °C |
| Питание | AC 220 В ±10 % 50 Гц / AC 110 В ±10 % 60 Гц |
| Контроллер | модель CXF-3002 |
| Монтажное положение | любое |
| Масса | 76 кг |
Преимущества модели CXF-320/3002
CXF-320/3002 обеспечивает максимальную производительность в своём классе при минимальных эксплуатационных затратах. Полное отсутствие трения, низкий уровень вибрации и чистая безмасляная откачка делают его незаменимым в системах высокой чистоты. Благодаря активной магнитной подвеске и интеллектуальному контроллеру насос способен автоматически адаптироваться к изменениям газовой нагрузки и температуры, сохраняя стабильные параметры вакуума.
Официальная сервисная поддержка, калибровка и техническое обслуживание насосов KYKY серии CXF выполняются лабораторией «Ликлаб» в России, что гарантирует соответствие заводским характеристикам, оперативное восстановление работоспособности и полную совместимость с отечественными вакуумными комплексами.