{
  "model": "CXF-320/3002",
  "group": "magnetic",
  "sections": [
    {
      "page": 23,
      "parameters": [
        [
          "Входной фланец",
          "DN320 ISO F\n (стандарт)"
        ],
        [
          "Выходной фланец",
          "KF40"
        ],
        [
          "Быстрота откачки (л/с)",
          "N₂: 3260 / Ar: 2900 / He: 2550 / H₂: 1730"
        ],
        [
          "Степень сжатия",
          "N : >10⁹ / Ar: >10⁹ / He: >10⁴ / H : >10³"
        ],
        [
          "Предельное давление (Па)",
          "10⁻⁷(эластомерное уплотнение)"
        ],
        [
          "Максимальный мгновенный поток на входе (sccm)",
          "2400"
        ],
        [
          "Вход защитного газа, опция",
          "KF10"
        ],
        [
          "Рекомендуемый расход защитного газа (sccm)",
          "50"
        ],
        [
          "Допустимая магнитная индукция (мТл)",
          "Радиально: 3; аксиально: 15"
        ],
        [
          "Номинальная частота вращения (об/мин)",
          "24000"
        ],
        [
          "Время разгона (мин)",
          "≤10"
        ],
        [
          "Время остановки (мин)",
          "≤14"
        ],
        [
          "Охлаждение",
          "Водяное"
        ],
        [
          "Расход охлаждающей воды (л/мин)",
          "3"
        ],
        [
          "Температура охлаждающей воды (°C)",
          "20±5"
        ],
        [
          "Напряжение питания (В)",
          "220±10%, 50 Гц\n110±10%, 60 Гц"
        ],
        [
          "Максимальная мощность (Вт)",
          "1500"
        ],
        [
          "Совместимый контроллер",
          "CXFD-1601"
        ],
        [
          "Рекомендуемая быстрота форвакуумного насоса (л/с)",
          "≥30"
        ],
        [
          "Масса (кг)",
          "76"
        ]
      ]
    }
  ],
  "slug": "cxf-320-3002",
  "url": "/product/vakuumnye-nasosy/turbomolekulyarnye-nasosy/turbomolekulyarnye-nasosy-na-magnitnom-podvese-kyky-cxf-1280-3260-l-s-10-8-pa/turbomolekulyarnyy-nasos-kyky-cxf-320-3002-na-magnitnom-podvese-3260-l-s-1-10-pa/",
  "existing": true,
  "title": "Турбомолекулярный насос KYKY CXF-320/3002",
  "description": "Пятиосевой активный магнитный подвес удерживает ротор без контакта в рабочем режиме. Смазка рабочего подвеса не требуется; защитные подшипники служат для аварийных режимов. Серия применяется в полупроводниковых процессах, покрытиях и исследовательских установках. Исполнения с подогревом и защитным газом подбирают под состав технологической среды.",
  "photo": "CXF-320-3001.png",
  "photo_caption": "Иллюстрация серии KYKY; исполнение может отличаться",
  "parameters": [
    [
      "Входной фланец",
      "DN320 ISO F\n (стандарт)"
    ],
    [
      "Выходной фланец",
      "KF40"
    ],
    [
      "Быстрота откачки (л/с)",
      "N₂: 3260 / Ar: 2900 / He: 2550 / H₂: 1730"
    ],
    [
      "Степень сжатия",
      "N : >10⁹ / Ar: >10⁹ / He: >10⁴ / H : >10³"
    ],
    [
      "Предельное давление (Па)",
      "10⁻⁷(эластомерное уплотнение)"
    ],
    [
      "Максимальный мгновенный поток на входе (sccm)",
      "2400"
    ],
    [
      "Вход защитного газа, опция",
      "KF10"
    ],
    [
      "Рекомендуемый расход защитного газа (sccm)",
      "50"
    ],
    [
      "Допустимая магнитная индукция (мТл)",
      "Радиально: 3; аксиально: 15"
    ],
    [
      "Номинальная частота вращения (об/мин)",
      "24000"
    ],
    [
      "Время разгона (мин)",
      "≤10"
    ],
    [
      "Время остановки (мин)",
      "≤14"
    ],
    [
      "Охлаждение",
      "Водяное"
    ],
    [
      "Расход охлаждающей воды (л/мин)",
      "3"
    ],
    [
      "Температура охлаждающей воды (°C)",
      "20±5"
    ],
    [
      "Напряжение питания (В)",
      "220±10%, 50 Гц\n110±10%, 60 Гц"
    ],
    [
      "Максимальная мощность (Вт)",
      "1500"
    ],
    [
      "Совместимый контроллер",
      "CXFD-1601"
    ],
    [
      "Рекомендуемая быстрота форвакуумного насоса (л/с)",
      "≥30"
    ],
    [
      "Масса (кг)",
      "76"
    ]
  ],
  "notes": [
    "В таблице декабря 2025 года для DN320 указано 10⁻⁷ Па с эластомерным уплотнением. Значение 10⁻⁸ Па для металлического уплотнения на этой странице не заявлено."
  ]
}