Описание
Турбомолекулярный насос KYKY CXF-320/3001 с магнитной подвеской ротора
Турбомолекулярный насос KYKY CXF-320/3001 относится к старшей линейке высокопроизводительных молекулярных насосов на активной магнитной подвеске и предназначен для вакуумных систем крупного объёма, высоковакуумных технологических линий и установок с интенсивной газовой нагрузкой. Насос обеспечивает быстроту откачки по азоту до 2950 л/с и стабильно работает в диапазоне давлений вплоть до 1×10⁻⁷ Па при использовании эластомерных уплотнений. Конструкция рассчитана на применение в плазмохимических процессах, системах напыления на большие подложки, в установках для обработки оптики и материалов ЭКБ, а также в современных полупроводниковых и НВЧ-технологиях.
Отличительной особенностью модели CXF-320/3001 является сочетание большого входного сечения DN320 ISO-F и активной электромагнитной подвески ротора. В штатном режиме ротор полностью левитирует в магнитном поле без механического контакта с опорами, что исключает износ, смазывающие материалы и вибронагружение вакуумной камеры. За счёт этого насос может длительно работать в непрерывных технологических циклах и поддерживать воспроизводимый фон даже при периодических импульсах газа.
Конструктивные особенности
В насосе используется многоступенчатый турбомолекулярный ротор с оптимизированным профилем лопаток для эффективной откачки как тяжёлых (Ar), так и лёгких (He, H₂) газов. Ротор выполнен по композитной технологии с использованием облегчённых материалов, что позволяет при крупном входном фланце DN320 сохранять устойчивость вращения на скорости 21 000 об/мин и не перегружать систему магнитной подвески. Управление положением ротора осуществляется контроллером CXF-3001 в замкнутом контуре по нескольким координатам с автоматической компенсацией смещений.
Все газообмываемые детали имеют коррозионностойкое покрытие. Конструкция рассчитана на работу с технологическими и слабоагрессивными газами, применяемыми в микроэлектронике, травлении и напылении. Для защиты низковакуумной части предусмотрен порт продувки под KF10 и подача защитного N₂ с расходом 50 см³/мин.
Тепловой режим и охлаждение
Модель CXF-320/3001 рассчитана на обязательное водяное охлаждение. При производительности почти 3000 л/с и крупном входном фланце требуется обеспечивать расход охлаждающей воды не менее 3 л/мин при температуре 10–25 °C. Контроллер контролирует тепловой режим и при ухудшении охлаждения ограничивает режим работы, что защищает магнитную подвеску, силовую электронику и ротор.
Встроенный подогрев и управляемая температура корпуса позволяют предотвращать конденсацию и осаждение продуктов процесса внутри насоса, что критично для установок, работающих с фторсодержащими смесями и плазмохимическими реакциями.
Интеграция в вакуумные системы
Входной патрубок DN320 ISO-F обеспечивает прямое подключение к высоковакуумным камерам большого диаметра, к реакторам напыления на массивные подложки, к системам вакуумной изоляции и к установкам испытаний на герметичность большого объёма. Выход выполнен под KF40, что позволяет использовать стандартные форвакуумные линии и согласовать насос с пластинчато-роторными, спиральными или винтовыми предвакуумными насосами. Допускается работа при форвакуумном давлении до 2100 Па, что упрощает выбор преднасоса и повышает помехоустойчивость системы при технологических импульсах.
Питание насоса и управление магнитной подвеской выполняет внешний контроллер серии CXF-3001 с питанием от сети 220 В 50 Гц или 110 В 60 Гц. Контроллер передаёт сигналы состояния, аварий и параметры работы в АСУ ТП, что позволяет использовать насос в составе автоматизированных линий.
Области применения
Турбомолекулярный насос KYKY CXF-320/3001 применим в крупногабаритных вакуумных камерах напыления, в линиях по производству дисплейных и оптоэлектронных структур, в установках плазмохимического травления с высокой производительностью, в вакуумной металлургии опытного уровня, в научных установках с требованием низкой вибрации и отсутствия масла, а также в стендах, где необходимо быстрое восстановление высокого вакуума после подачи технологического газа.
Технические характеристики турбомолекулярного насоса KYKY CXF-320/3001
| Параметр | Значение для CXF-320/3001 |
|---|---|
| Тип | Турбомолекулярный насос с активной магнитной подвеской |
| Входной фланец | DN320 ISO-F |
| Выхлопной фланец | KF40 |
| Быстрота откачки по N₂ | 2950 л/с |
| Быстрота откачки по Ar | 2750 л/с |
| Быстрота откачки по He | 2300 л/с |
| Быстрота откачки по H₂ | 1100 л/с |
| Степень сжатия по N₂ | >1×10⁸ |
| Степень сжатия по Ar | >1×10⁸ |
| Степень сжатия по He | >1×10⁴ |
| Степень сжатия по H₂ | >1×10³ |
| Предельное остаточное давление (Viton) | 1,0×10⁻⁷ Па |
| Предельное остаточное давление (металл) | не применяется для данного исполнения |
| Максимальное форвакуумное давление (длительно) | 2100 Па |
| Порт защитного газа | KF10 |
| Расход защитного газа | 50 см³/мин (N₂) |
| Скорость вращения ротора | 21 000 об/мин |
| Время запуска | ≤9 мин |
| Время останова | ≤12 мин |
| Охлаждение | водяное, расход ≥3 л/мин, 10–25 °C |
| Питание | AC 220 В ±10 % 50 Гц или AC 110 В ±10 % 60 Гц |
| Контроллер | модель CXF-3001 |
| Монтажное положение | любое |
| Масса | 76 кг |
Преимущества эксплуатации
Полное отсутствие смазки в зоне высокого вакуума, низкий уровень вибраций и высокая газопропускная способность при крупном входном фланце делают CXF-320/3001 оптимальным насосом для чувствительных, чистых и длительных технологических процессов. Магнитная подвеска снижает потребность в регламентном обслуживании, а наличие сервисной поддержки KYKY и лаборатории «Ликлаб» в России позволяет эксплуатировать оборудование в промышленном режиме с поддержанием паспортных характеристик.