Описание
Турбомолекулярный насос KYKY CXF-250/2301 (2150 л/с, 1×10⁻⁸ Па)
Турбомолекулярный насос KYKY CXF-250/2301 — это высокопроизводительный насос с активной магнитной подвеской ротора, предназначенный для создания и поддержания высокого вакуума в промышленных и исследовательских установках. Он обеспечивает быстроту откачки по азоту до 2150 л/с и достижение предельного давления уровня 1×10⁻⁸ Па. Конструкция насоса разработана для эксплуатации в установках магнетронного напыления, в линиях химического осаждения из газовой фазы (CVD), в установках ионно-плазменного травления, а также в крупногабаритных вакуумных камерах, требующих стабильного, чистого и безмасляного вакуума.
Главной особенностью модели CXF-250/2301 является применение магнитно-левитирующей системы с замкнутым контуром управления, которая обеспечивает полное отсутствие механического контакта ротора с опорными элементами. Электромагнитные подшипники с цифровым управлением стабилизируют положение ротора по пяти осям, что исключает трение, вибрации и износ. За счёт этого насос может работать непрерывно в течение тысяч часов, сохраняя точность параметров и чистоту вакуумной среды.
Ротор изготовлен по композитной технологии — лёгкий сплав алюминия в сочетании с элементами из углеродного волокна. Такое решение снижает массу вращающейся части, уменьшает нагрузку на магнитную систему и позволяет достичь частоты вращения до 27 000 об/мин при высокой стабильности и минимальном уровне шума. Встроенный контроллер CXF-2301 обеспечивает плавный пуск, управление магнитной подвеской, защиту от перегрузок и контроль температуры.
Все газонапряжённые элементы имеют антикоррозионное покрытие, что позволяет использовать насос для откачки инертных, реакционноспособных и фторсодержащих газов при обязательной подаче защитного (барьерного) газа через порт KF10. Для защиты внутренних узлов используется поток азота до 50 см³/мин. В системе предусмотрено водяное охлаждение, обеспечивающее стабильность работы при температуре 10–25 °C и расходе воды не менее 3 л/мин.
Конструкция и принцип работы
CXF-250/2301 использует многоступенчатую схему ротора и статора, оптимизированную для эффективного перекачивания как тяжёлых (Ar, CO₂), так и лёгких газов (He, H₂). Турбинные лопатки обеспечивают высокую степень сжатия — более 1×10⁸ по азоту и аргону и до 1×10⁴ по гелию. Электромагнитные подшипники управляются системой обратной связи, которая в режиме реального времени корректирует положение ротора в зависимости от газовой нагрузки и температуры.
Встроенные температурные сенсоры и нагреватели предотвращают конденсацию паров на рабочих поверхностях и исключают осаждение продуктов процессов, что особенно важно при работе с фтор- и хлорсодержащими газами. Контроллер автоматически регулирует тепловой баланс, обеспечивая стабильность рабочих параметров в течение всего цикла.
Интеграция и управление
Насос KYKY CXF-250/2301 подключается к технологическим камерам через стандартный фланец DN250 ISO-F, также доступны исполнения с DN250 ICF и DN250 LF. Выходной фланец KF40 позволяет подключать насос к форвакуумной линии без переходников. Насос совместим с большинством промышленных систем управления и может интегрироваться в автоматизированные комплексы. Питание осуществляется от сети 220 В 50 Гц либо 110 В 60 Гц, а интерфейсы контроллера обеспечивают выдачу сигналов состояния и аварий для систем верхнего уровня.
Области применения
CXF-250/2301 применяется в технологических процессах, где требуется быстрое достижение высокого вакуума в больших объёмах: в производстве полупроводников, оптических и наноструктурных покрытий, в вакуумной металлургии, при испытаниях герметичности крупногабаритных изделий и в исследовательских физических установках. Высокая устойчивость к газовым нагрузкам делает этот насос оптимальным для динамических процессов, сопровождающихся частыми впусками газа.
Технические характеристики турбомолекулярного насоса KYKY CXF-250/2301
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Тип насоса | Турбомолекулярный с активной магнитной подвеской |
| Входной фланец | DN250 ISO-F (варианты DN250 ICF, DN250 LF) |
| Выхлопной фланец | KF40 |
| Быстрота откачки по N₂ | 2150 л/с |
| Быстрота откачки по Ar | 1900 л/с |
| Быстрота откачки по He | 1500 л/с |
| Быстрота откачки по H₂ | 850 л/с |
| Степень сжатия по N₂ / Ar | >1×10⁸ |
| Степень сжатия по He | >1×10⁴ |
| Степень сжатия по H₂ | >1×10³ |
| Предельное давление при Viton-уплотнении | 1,0×10⁻⁷ Па |
| Предельное давление при металлическом уплотнении | 1,0×10⁻⁸ Па |
| Максимальное форвакуумное давление | 1300 Па |
| Порт защитного газа | KF10 |
| Расход защитного газа | 50 см³/мин (N₂) |
| Скорость вращения ротора | 27 000 об/мин |
| Время запуска | не более 8 мин |
| Время останова | не более 11 мин |
| Охлаждение | водяное, расход ≥3 л/мин, температура 10–25 °C |
| Питание | AC 220 В ±10 % 50 Гц или AC 110 В ±10 % 60 Гц |
| Контроллер | модель CXF-2301 |
| Монтажное положение | любое |
| Масса | 60 кг |
Преимущества модели CXF-250/2301
Отсутствие смазочных материалов в рабочей зоне исключает загрязнение высоковакуумных объёмов и повышает стабильность технологических процессов. Низкий уровень вибраций и акустического шума делает возможным использование насоса в чувствительных измерительных системах. Магнитная подвеска снижает затраты на обслуживание и обеспечивает длительный срок службы. Высокая степень сжатия по всем видам газов позволяет использовать CXF-250/2301 в тяжёлых технологических циклах с переменной газовой нагрузкой.
Официальный сервис и метрологическая поддержка насосов KYKY CXF обеспечиваются на базе лаборатории «Ликлаб» в России, что гарантирует оперативное обслуживание, поставку оригинальных комплектующих и восстановление параметров в полном соответствии с заводскими стандартами производителя.