Турбомолекулярный насос KYKY CXF-250/2302 — это усиленная модель с повышенной скоростью откачки и надёжной магнитной левитацией ротора. Благодаря активной системе балансировки и устойчивости к перегрузкам, насос идеально подходит для тяжёлых вакуумных процессов, включая травление, PVD/CVD и производство оптических покрытий. Поддерживается сервисом «Ликлаб» и рекомендован для непрерывной эксплуатации.
Описание
Турбомолекулярный насос KYKY CXF-250/2302 (2360 л/с, 1×10⁻⁸ Па)
Турбомолекулярный насос KYKY CXF-250/2302 — это усовершенствованная модель серии CXF с активной магнитной подвеской, предназначенная для работы в системах, где требуется повышенная производительность и устойчивость при высоких газовых потоках. Насос обеспечивает быстроту откачки по азоту до 2360 л/с и достигает предельного давления 1×10⁻⁸ Па, что делает его идеальным выбором для промышленных, исследовательских и технологических установок, работающих в диапазоне высокого и сверхвысокого вакуума.
Модель CXF-250/2302 разработана для применения в современных вакуумных процессах — от нанесения многослойных покрытий (PVD, CVD) и травления до производства полупроводников, микросхем, солнечных элементов и оптоэлектронных компонентов. Насос отличается высокой надёжностью, низким уровнем вибрации и полным отсутствием масляных загрязнений, что особенно важно при работе с чувствительными технологическими материалами и чистыми процессами.
Конструкция и принцип работы
В основе насоса лежит высокоскоростной турбомолекулярный ротор, вращающийся на электромагнитных подшипниках с цифровым управлением по пяти координатам. Ротор полностью левитирует в магнитном поле и не имеет механического контакта с корпусом, благодаря чему исключаются износ, трение и шум. Контроллер CXF-2302 управляет магнитной подвеской в режиме реального времени, поддерживая устойчивость положения ротора при изменении газовой нагрузки или температурных условий.
Композитный ротор выполнен из алюминиевого сплава и углеродного волокна, что обеспечивает малую инерцию и высокую механическую прочность. Благодаря этому CXF-250/2302 способен развивать скорость до 30 000 об/мин при стабильном тепловом режиме. Встроенная система нагрева и охлаждения предотвращает осаждение конденсируемых веществ и поддерживает стабильную температуру корпуса.
Особенности и эксплуатационные преимущества
Все внутренние детали насоса, контактирующие с рабочим газом, имеют коррозионностойкое покрытие, рассчитанное на длительное воздействие агрессивных сред, включая фтор- и хлорсодержащие газы. Для дополнительной защиты применяется барьерная подача азота через порт KF10 с расходом до 50 см³/мин.
Насос рассчитан на непрерывную эксплуатацию при форвакуумном давлении до 1500 Па и требует стабильного водяного охлаждения с расходом не менее 3 л/мин при температуре 10–25 °C. Благодаря высокой степени сжатия (по азоту и аргону >1×10⁸, по гелию >1×10⁴), насос CXF-250/2302 обеспечивает быстрый отвод газов при сохранении чистоты вакуумного объёма и стабильности давления.
Модель полностью совместима с современными системами управления и контроля. Контроллер CXF-2302 обеспечивает плавный запуск, регулировку оборотов, защиту по температуре и давлению, а также интерфейс для подключения к АСУ ТП.
Интеграция и подключение
Насос комплектуется входным фланцем DN250 ISO-F, также доступны исполнения с DN250 ICF и DN250 LF. Выходной патрубок имеет стандартное соединение KF40, что позволяет использовать широкий спектр форвакуумных насосов. Электропитание осуществляется от сети 220 В 50 Гц либо 110 В 60 Гц. Монтаж допускается в любом положении без потери эксплуатационных характеристик.
Области применения
CXF-250/2302 предназначен для высокопроизводительных технологических процессов, где требуется стабильный вакуум при большой площади обрабатываемых поверхностей или при динамических газовых потоках. Он применяется в установках магнетронного напыления, плазмохимического травления, вакуумной металлургии, испытательных стендах и системах контроля герметичности, а также в криогенных и ускорительных установках.
Технические характеристики турбомолекулярного насоса KYKY CXF-250/2302
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Тип насоса | Турбомолекулярный с активной магнитной подвеской ротора |
| Входной фланец | DN250 ISO-F (опции: DN250 ICF, DN250 LF) |
| Выхлопной фланец | KF40 |
| Быстрота откачки по N₂ | 2360 л/с |
| Быстрота откачки по Ar | 2260 л/с |
| Быстрота откачки по He | 1980 л/с |
| Быстрота откачки по H₂ | 1250 л/с |
| Степень сжатия по N₂ / Ar | >1×10⁸ |
| Степень сжатия по He | >1×10⁴ |
| Степень сжатия по H₂ | >1×10³ |
| Предельное давление при Viton-уплотнении | 1,0×10⁻⁷ Па |
| Предельное давление при металлическом уплотнении | 1,0×10⁻⁸ Па |
| Максимальное форвакуумное давление при длительной работе | 1500 Па |
| Порт защитного газа | KF10 |
| Расход защитного газа | 50 см³/мин (N₂) |
| Скорость вращения ротора | 30 000 об/мин |
| Время запуска | ≤9 мин |
| Время останова | ≤12 мин |
| Охлаждение | водяное, расход ≥3 л/мин, температура 10–25 °C |
| Питание | AC 220 В ±10 % 50 Гц или AC 110 В ±10 % 60 Гц |
| Контроллер | модель CXF-2302 |
| Монтажное положение | любое |
| Масса | 60 кг |
Преимущества модели CXF-250/2302
Отсутствие механических подшипников и смазочных материалов обеспечивает исключительную чистоту рабочего объёма и минимальные вибрации. CXF-250/2302 устойчив к температурным и газовым нагрузкам, не требует регулярного обслуживания и имеет увеличенный ресурс эксплуатации. Высокая степень сжатия по тяжёлым и лёгким газам делает насос универсальным решением для сложных технологических линий, а система активного управления магнитной подвеской гарантирует стабильную работу даже в динамических режимах.
Официальное сервисное обслуживание и метрологическая поддержка насосов серии CXF в России выполняются лабораторией «Ликлаб», являющейся сертифицированным центром KYKY. Это обеспечивает пользователям надёжность, техническое сопровождение и сохранение заводских параметров оборудования в течение всего жизненного цикла.