Описание
Турбомолекулярный насос KYKY CXF-200/1402 с активной магнитной подвеской
Турбомолекулярный насос KYKY CXF-200/1402 предназначен для построения высоковакуумных технологических и аналитических систем, в которых требуется сочетание высокой быстроты откачки (1400 л/с по азоту), достижения остаточного давления до 1×10⁻⁸ Па и полной безмасляности процесса. Насос относится к серии CXF с магнитным подвесом ротора и ориентирован на применение в полупроводниковом производстве, установках PVD/CVD, плазмохимическом травлении, вакуумных стендах для испытаний и научных установках с повышенными требованиями к чистоте вакуума и низким уровням вибраций.
От базовой модификации CXF-200/1401 данная версия отличается увеличенной быстротой откачки по лёгким и инертным газам, доработанным блоком управления CXF-1402 и расширенной областью устойчивой работы при переменной и импульсной газовой нагрузке. Насос сохраняет все преимущества магнитной левитации: отсутствие контактных подшипников, отсутствие смазки в вакуумной части, минимальное собственное газовыделение и большой ресурс безразборной эксплуатации.
Конструкция и принцип работы
В модели CXF-200/1402 реализована полноценная активная магнитная подвеска с замкнутым контуром управления по пяти степеням свободы. Положение ротора контролируется датчиками, сигнал с которых поступает в контроллер, после чего система в реальном времени корректирует токи в магнитных подшипниках и удерживает ротор в строго осевом положении. Отсутствие механического контакта между ротором и корпусом устраняет износ, вибрации и загрязнение вакуумного объёма продуктами смазок, что критично для процессов микролитографии, ионно-плазменной обработки и измерительных систем.
Ротор изготовлен по композитной технологии: несущий элемент из высокопрочного алюминиевого сплава совмещён с деталями из углеродного волокна. Такое решение снижает инерцию вращающейся системы и позволяет безопасно эксплуатировать насос на скорости 33 000 об/мин при высокой производительности. Проточный тракт оптимизирован под фланец DN200, обеспечивая равномерный поток и высокую степень сжатия по азоту, аргону и гелию.
Тепловой и средовой режим
Насос охлаждается водой и рассчитан на длительную непрерывную работу в автоматическом режиме. Контроллер отслеживает температуру корпуса, канала охлаждения и узлов магнитной подвески. При работе с коррозионно-активными или склонными к конденсации газами рекомендуется использовать подогрев и постоянную подачу барьерного азота через порт KF10 с расходом 20 см³/мин, что предотвращает загрязнение низковакуумных зон и электроники.
Интеграция и управление
KYKY CXF-200/1402 поставляется для работы с внешним промышленным контроллером CXF-1402. Контроллер обеспечивает пуск и разгон насоса, управление магнитной подвеской, защиту по давлению форвакуума, температуре и питанию, а также выдаёт диагностические и аварийные сигналы на систему АСУ ТП. Питание возможно как от сети 220 В 50 Гц, так и от сети 110 В 60 Гц, что упрощает установку насоса в составе импортных технологических линий.
Входной патрубок выполняется в вариантах DN200 ISO-F, DN200 ICF или DN200 LF. Такое исполнение позволяет подключать насос к крупным вакуумным камерам, реакторам осаждения и плазменным модулям без переходных элементов. Выхлоп — KF40, рассчитан на подключение к стандартной форвакуумной линии со спиральным или пластинчато-роторным насосом. Допустимое форвакуумное давление при длительной работе — до 1200 Па.
Области применения
Модель CXF-200/1402 целесообразно применять там, где предыдущее поколение турбомолекулярных насосов с механическими подшипниками не обеспечивает необходимую чистоту или вибрационную устойчивость: в линиях изготовления полупроводниковых пластин, в установках ионно-плазменного травления с агрессивными газами (Cl₂, BCl₃, SF₆, CF₄), в вакуумных установках напыления оптических и функциональных покрытий, при высокочувствительном гелиевом течеискателировании и в метрологических вакуумных стендах. Наличие магнитной подвески и защищённого проточного тракта позволяет эксплуатировать насос в тяжёлых циклах без сокращения межсервисных интервалов.
Технические характеристики турбомолекулярного насоса KYKY CXF-200/1402
| Параметр | Значение для CXF-200/1402 |
|---|---|
| Тип | Турбомолекулярный насос с активной магнитной левитацией ротора |
| Входной фланец | DN200 ISO-F (варианты DN200 ICF, DN200 LF) |
| Выхлопной фланец | KF40 |
| Быстрота откачки по N₂ | 1400 л/с |
| Быстрота откачки по Ar | 1300 л/с |
| Быстрота откачки по He | 1100 л/с |
| Быстрота откачки по H₂ | 820 л/с |
| Степень сжатия по N₂ | > 1×10⁸ |
| Степень сжатия по Ar | > 1×10⁸ |
| Степень сжатия по He | > 1×10⁴ |
| Степень сжатия по H₂ | > 1×10³ |
| Предельное давление на витоновом уплотнении | 1,0×10⁻⁷ Па |
| Предельное давление на металлическом уплотнении | 1,0×10⁻⁸ Па |
| Максимальное форвакуумное давление (непрерывно) | 1200 Па |
| Порт защитного газа | KF10 |
| Расход защитного (барьерного) газа | 20 см³/мин (N₂) |
| Скорость вращения ротора | 33 000 об/мин |
| Время разгона | не более 7 мин |
| Время останова | не более 9 мин |
| Охлаждение | водяное, расход ≥ 2 л/мин, 10–25 °C |
| Питание | AC 220 В ±10 % 50 Гц или AC 110 В ±10 % 60 Гц |
| Контроллер | модель CXF-1402 |
| Монтажное положение | любое |
| Масса | ≈ 51 кг |
Преимущества применения CXF-200/1402
Полная безмасляность рабочего объёма, минимальные вибрации, высокая быстрота откачки по лёгким газам, устойчивость к агрессивным технологическим средам и наличие штатного промышленного контроллера делают турбомолекулярный насос KYKY CXF-200/1402 универсальным элементом современных высоковакуумных комплексов. Официальное сервисное сопровождение и ремонт на базе лаборатории «Ликлаб» в России позволяют поддерживать насос в состоянии, близком к заводскому, и использовать его в ответственных производственных циклах контроля герметичности и вакуумных испытаний.