Турбомолекулярный насос KYKY FF-160/700
Турбомолекулярные насосы с консистентной смазкой
Подобрать оборудование
Назначение и конструкция
Керамические подшипники с консистентной смазкой уменьшают загрязнение вакуумного тракта. Серия предназначена для полупроводникового оборудования, покрытий, ускорителей, плазменных установок и контроля герметичности. Производитель допускает различные монтажные положения; ограничения выбранного исполнения проверяют по руководству.
Характеристики ранее опубликованного исполнения
Таблица сохранена из действующей карточки. В каталоге декабря 2025 года полной таблицы для этой модели нет; значения для конкретной поставки необходимо подтвердить паспортом. Иллюстрации и чертежи ниже добавлены из нового каталога.
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Присоединительный фланец на входе | DN160 CF; DN216 ISO-K |
| Выходной фланец | DN40 KF |
| Скорость откачки по N₂ | 700 л/с |
| Скорость откачки по He | 580 л/с |
| Скорость откачки по H₂ | 260 л/с |
| Скорость откачки по Ar | 680 л/с |
| Степень сжатия по N₂ | 10⁹ |
| Степень сжатия по He | 10⁷ |
| Степень сжатия по H₂ | 10⁶ |
| Степень сжатия по Ar | 10⁹ |
| Предельное давление при фланце CF | 6×10⁻⁸ Па |
| Предельное давление при фланце ISO-K | 6×10⁻⁷ Па |
| Максимальное непрерывное форвакуумное давление | 300 Па |
| Максимальное форвакуумное давление по N₂ | 550 Па |
| Производительность по газу N₂ | 1400 см³ |
| Производительность по газу He | 1000 см³ |
| Производительность по газу H₂ | 800 см³ |
| Производительность по газу Ar | 550 см³ |
| Скорость вращения ротора | 36 000 об/мин |
| Время разгона до номинальной скорости | не более 7 мин |
| Тип охлаждения | водяное или воздушное (опционально) |
| Расход охлаждающей жидкости | не менее 1 л/мин |
| Температура охлаждающей жидкости | не выше 25 °C |
| Питание | DC 24 В / AC 220 В через контроллер |
| Максимальная потребляемая мощность | не более 500 Вт |
| Совместимые контроллеры | FD-II, FD-IIB, TCDP-II, TD-II |
| Рекомендуемый форвакуумный насос | 4–8 л/с (пластинчато-роторный) |
| Масса | 19 кг (LF-исполнение); 24,5 кг (CF-исполнение) |
Технические характеристики
Данные каталога KYKY, редакция декабря 2025 года. N₂ — азот, He — гелий, H₂ — водород, Ar — аргон. sccm — стандартные см³/мин; условия нормирования уточняются по документации производителя.
| Данные каталога | В этой редакции для данной модели приведены иллюстрация и габаритный чертёж; отдельная полная таблица характеристик отсутствует. Числовую спецификацию следует согласовать по паспорту выбранного исполнения. |
|---|
Подбор и внедрение в Ликлаб
| Задача | Согласуем рабочее давление, объём камеры, газовую нагрузку и состав среды. |
|---|---|
| Вакуумная обвязка | Проверяем фланцы, проводимость линии, форвакуумный насос, клапаны и защиту от частиц. |
| Управление | Выбираем совместимый контроллер, кабель, интерфейсы и блокировки; параметры — по руководству исполнения. |
| Пусконаладка | Проверяем герметичность соединений, охлаждение, питание, разгон и выход на режим. |
| Обслуживание | Регламент по руководству производителя: состояние подшипников и смазки, охлаждение, чистота и сообщения контроллера. |
Комплект поставки закрепляется в спецификации: наличие контроллера, форвакуумного насоса, клапанов и соединительных деталей не предполагается автоматически. Работа с агрессивными и конденсирующимися газами требует согласования защитного исполнения.
Фотографии, чертежи и рабочие кривые
Кривые откачки: давление в Па, быстрота откачки в л/с
Обозначения: In — вход, Out — выход, Controller — контроллер, Water — охлаждающая вода. Размеры — мм. На листе показаны несколько исполнений; используйте чертёж с нужным обозначением модели.
Габаритные чертежи серии, размеры в мм
Обозначения: In — вход, Out — выход, Controller — контроллер, Water — охлаждающая вода. Размеры — мм. На листе показаны несколько исполнений; используйте чертёж с нужным обозначением модели.
Габаритные чертежи серии, продолжение
Обозначения: In — вход, Out — выход, Controller — контроллер, Water — охлаждающая вода. Размеры — мм. На листе показаны несколько исполнений; используйте чертёж с нужным обозначением модели.
Источник: KYKY, «Vacuum Generation», декабрь 2025; печатные страницы 28–29. Значения из разных исполнений не следует объединять в одну спецификацию.
