Турбомолекулярный насос KYKY DFF-63/80
Приборные турбомолекулярные насосы
Подобрать оборудование
Назначение и конструкция
Компактные насосы для масс-спектрометрии, анализа поверхности, электронных микроскопов и приборных вакуумных систем. Модульная конструкция объединяет откачную часть, привод, управление и охлаждение. Для малых насосов особенно важны проводимость соединений и правильный подбор форвакуумной ступени.
В высоковакуумной части гибридной опоры применяется бесконтактный постоянный магнитный подшипник. Конструкция повышает допустимое форвакуумное давление и эффективность откачки лёгких газов.
Технические характеристики
Данные каталога KYKY, редакция декабря 2025 года. N₂ — азот, He — гелий, H₂ — водород, Ar — аргон. sccm — стандартные см³/мин; условия нормирования уточняются по документации производителя.
ISO-K
| Входной фланец | DN63 ISO-K |
|---|---|
| Быстрота откачки (л/с) | N₂: 85 / He: 73 / H₂: 61 / Ar: 83 |
| Степень сжатия | N₂: >1×10¹¹ / He: >1.3×10⁷ |
| Предельное форвакуумное давление по газам (Па) | N₂: 2200 / He: 2200 |
| Минимальное рабочее давление (Па) | <8×10⁻⁶ |
| Номинальная частота вращения (об/мин) | 90000 |
| Время разгона (мин) | <2.5 |
| Уровень шума (дБ) | <48 |
| Вибрация (мкм) | <0.05 |
| Расчётное время безотказной работы (ч) | >15000 |
| Положение при монтаже | Любое положение |
| Охлаждение | Естественное, воздушное или водяное |
| Выходной фланец | DN16 ISO-K |
| Рекомендуемая быстрота форвакуумного насоса (л/с) | 0.5-2 |
| Температура прогрева высоковакуумного фланца (°C) | 100 |
| Температура окружающей среды (°C) | 5-30(естественное охлаждение); 5-35 (воздушное охлаждение); 5-40 (водяное охлаждение) |
| Масса (кг) | 2.8 |
CF-F
| Входной фланец | DN63 CF-F |
|---|---|
| Быстрота откачки (л/с) | He: 73 / H₂: 61 / Ar: 83 |
| Степень сжатия | N₂: >1×10¹¹ / He: >1.3×10⁷ |
| Предельное форвакуумное давление по газам (Па) | N₂: 2200 / He: 2200 |
| Минимальное рабочее давление (Па) | <2×10⁻⁷ |
| Номинальная частота вращения (об/мин) | 90000 |
| Время разгона (мин) | <2.5 |
| Уровень шума (дБ) | <48 |
| Вибрация (мкм) | <0.05 |
| Расчётное время безотказной работы (ч) | >15000 |
| Положение при монтаже | Любое положение |
| Охлаждение | Естественное, воздушное или водяное |
| Выходной фланец | DN16 ISO-K |
| Рекомендуемая быстрота форвакуумного насоса (л/с) | 0.5-2 |
| Температура прогрева высоковакуумного фланца (°C) | 100 |
| Температура окружающей среды (°C) | 5-30(естественное охлаждение); 5-35 (воздушное охлаждение); 5-40 (водяное охлаждение) |
| Масса (кг) | 4.5 |
Подбор и внедрение в Ликлаб
| Задача | Согласуем рабочее давление, объём камеры, газовую нагрузку и состав среды. |
|---|---|
| Вакуумная обвязка | Проверяем фланцы, проводимость линии, форвакуумный насос, клапаны и защиту от частиц. |
| Управление | Выбираем совместимый контроллер, кабель, интерфейсы и блокировки; параметры — по руководству исполнения. |
| Пусконаладка | Проверяем герметичность соединений, охлаждение, питание, разгон и выход на режим. |
| Обслуживание | Регламент по руководству производителя: состояние подшипников и смазки, охлаждение, чистота и сообщения контроллера. |
Комплект поставки закрепляется в спецификации: наличие контроллера, форвакуумного насоса, клапанов и соединительных деталей не предполагается автоматически. Работа с агрессивными и конденсирующимися газами требует согласования защитного исполнения.
Фотографии, чертежи и рабочие кривые
Кривые откачки приборных насосов: давление в Па, быстрота откачки в л/с
Обозначения: In — вход, Out — выход, Controller — контроллер, Water — охлаждающая вода. Размеры — мм. На листе показаны несколько исполнений; используйте чертёж с нужным обозначением модели.
Габаритные чертежи приборной серии, размеры в мм
Обозначения: In — вход, Out — выход, Controller — контроллер, Water — охлаждающая вода. Размеры — мм. На листе показаны несколько исполнений; используйте чертёж с нужным обозначением модели.
Источник: KYKY, «Vacuum Generation», декабрь 2025; печатные страницы 24–25, 24–25. Значения из разных исполнений не следует объединять в одну спецификацию.