Откачной пост KYKY FJ-150

Откачной пост KYKY FJ-150 относится к классу компактных высоковакуумных станций, предназначенных для быстрого получения и поддержания вакуума на уровне до 5×10⁻⁵ Па в лабораторных и технологических установках. Конструкция поста выполнена по классической схеме «форвакуумный насос + турбомолекулярный насос», что обеспечивает устойчивый запуск, воспроизводимость параметров и возможность работы с различными типами вакуумных нагрузок. Откачной модуль собран на вертикальной раме размером 500×510×840 мм, имеет собственную систему управления и воздушное охлаждение, благодаря чему не требует подключения к водяному контуру и может эксплуатироваться в обычных производственных и лабораторных помещениях при температуре от +5 до +32 °C.

Высоковакуумная ступень поста обеспечивает скорость откачки 140 л/с по азоту, 130 л/с по гелию, 75 л/с по водороду и 145 л/с по аргону. Такие значения характерны для турбомолекулярных насосов среднего типоразмера и позволяют использовать FJ-150 не только в системах контроля герметичности, но и в установках поверхностного анализа, плазменной и ионной обработке, при вакуумных измерениях и при работе со сканирующими электронными микроскопами. Степень сжатия по азоту и аргону составляет 10⁷, по гелию 6×10³, по водороду 10³. Это означает, что пост уверенно поддерживает высокий вакуум даже при небольших подсосах и при остаточном газовыделении от стенок камеры.

Форвакуумная часть поста выполнена на базе насоса RV-4 и рассчитана на достижение рекомендуемого давления менее 10 Па перед запуском турбомолекулярной ступени. Такое значение выбрано с запасом для обеспечения стабильного разгона ротора и защиты от перегрузки по газу. Управление и последовательность пуска реализованы в контроллере TCP-100: сначала включается форвакуумный насос, далее отслеживается давление и при достижении порога запускается турбомолекулярная ступень. При отключении питания электромагнитный клапан перекрывает линию, исключая разгерметизацию откачиваемого объема. Это особенно важно в системах течеискания и в установках с дорогостоящими образцами, где недопустимо попадание атмосферного воздуха в вакуумную зону.

По присоединениям пост ориентирован на работу с лабораторными и приборными объемами. Входной и выходной фланцы выполнены в стандарте DN25 ISO-KF, что упрощает подключение к существующим вакуумным магистралям, к камерам малых объемов, к течеискателям и измерительным блокам. При необходимости пост может укомплектовываться переходными фланцами на DN40 или DN63, а также гибкими гофрированными трубами и комплектом уплотнений. Воздушное охлаждение реализовано в виде принудительного обдува и не требует обслуживания при эксплуатации в штатном диапазоне температур.

Область применения FJ-150 охватывает течеискание с использованием гелия и аргона, вакуумирование небольших технологических камер, откачку загрузочных шлюзов и вспомогательных объемов в составе сканирующих электронных микроскопов, работу с плазменными и ионно-плазменными установками, а также проведение высокочувствительных испытаний на герметичность по ГОСТ Р 50.05.01-2018 и смежным нормативным документам. Высокая скорость откачки по аргону (до 145 л/с) делает этот пост удобным для линий нанесения покрытий, где в процессе присутствует аргон как рабочий газ.

Лаборатория «Ликлаб» и использование поста FJ-150

Лаборатория «Ликлаб», специализирующаяся на разработке систем контроля герметичности, вакуумных камер и гелиевых течеискательных стендов, применяет откачной пост KYKY FJ-150 как стандартный высоковакуумный модуль среднего диапазона. В установках, предназначенных для испытаний запорной и регулирующей арматуры, теплообменников, криогенных и изотермических резервуаров, требуется не только быстрое получение вакуума, но и низкий фон по гелию. Применение турбомолекулярного поста с известными характеристиками даёт лаборатории возможность калибровать и повторять режимы на разных объектах без подстройки схемы откачки. Пост монтируется на раме и может подключаться к камере через запорный клапан; при необходимости в ту же систему включаются вакуумметры и сигнальные линии, что позволяет вести протокол испытаний.

В ряде проектов «Ликлаб» использует FJ-150 в мобильных или выездных системах, где нужно проверить вакуумную часть изделия на объекте заказчика. Наличие воздушного охлаждения и питание 220 В позволяют подключить пост в цехе без дополнительной инфраструктуры. При работе с течеискателями пост используется как внешняя высоковакуумная секция для ускорения цикла откачки, снижения фонового уровня и повышения чувствительности к малым утечкам. В отличие от полностью стационарных систем, FJ-150 может быть переставлен на другой стенд без перенастройки управляющей логики, так как контроллер TCP-100 уже содержит алгоритм безопасного запуска.

Для серийных поставок лаборатория «Ликлаб» дооснащает посты арматурой российского и европейского исполнения, вводит дополнительные ступени измерения вакуума и может устанавливать переходные фланцы для подключения к вакуумным камерам заказчика. Таким образом, FJ-150 выступает не как разрозненный насосный агрегат, а как компонент законченной системы контроля герметичности и вакуумирования, включающей камеру, течеискатель, блок продувки и панель управления.

Технические характеристики

Заключение

Откачной пост KYKY FJ-150 предназначен для тех случаев, когда требуется высоковакуумная станция с производительностью порядка 140 л/с, не зависящая от водяного охлаждения и готовая к работе сразу после подключения к сети. Он удобен для внедрения в лабораторные и испытательные комплексы «Ликлаб», подходит для течеискательных работ и вакуумных испытаний по российским и международным стандартам и может использоваться как универсальный модуль в составе различных вакуумных систем.