Откачные посты CBVAC JFJ — модульные станции на базе турбомолекулярных насосов
Откачные посты серии CBVAC JFJ представляют собой готовые к эксплуатации вакуумные станции для откачки технологических и исследовательских камер до высокого вакуума. В составе поста интегрируются турбомолекулярный насос с керамическими подшипниками или магнитным подвесом (в зависимости от конфигурации), сухой форвакуумный насос, блок клапанов и дросселей, вакуумметрия, система продувки и вентилирования, а также электрический шкаф управления с контроллером насоса. Конструкция рассчитана на непрерывную работу, быстрый выход на режим и минимальную загрязняемость процесса, что критично для линий PVD/CVD/PECVD, шлюзовых камер, аналитического оборудования и стендов контроля герметичности.
Состав и функциональные узлы
Типовая компоновка включает турбомолекулярный насос заданного типоразмера (DN63…DN250), сухой форвакуумный насос соответствующей производительности, форвакуумный обратный клапан, высоковакуумный отсечной клапан на входе к объекту, ручной или автоматический вентиль продувки азотом, дроссель и клапан вентилирования, сборочную плиту/рама на виброопорах, комплект кабелей и межблочных соединений, а также систему измерения давления (Пирани/Пеннинг + баротрон по требованию). Посты JFJ поставляются с контроллером турбонасоса и логикой межблокировок, обеспечивающей безопасную последовательность пуска и останова.
Отличие серий и обозначений
Индекс JFJ обозначает семейство откачных постов CBVAC с турбомолекулярным насосом и сухим форвакуумом; индекс JRJ используется для альтернативной линейки на тех же типоразмерах, отличающейся компоновкой рамы, расположением клапанов и опциями по вакуумметрии. Суффиксы CF и ISO-K указывают тип входного фланца поста к объекту: CF для сверхвысоковакуумных соединений на медной прокладке; ISO-K для быстросъёмных соединений с затяжными скобами. Суффикс «A» в моделях JFJ-701A/1401A/2201A означает поколение с обновлённой аппаратной платформой контроллера, расширенной телеметрией и оптимизированной трассой газовоздушных линий; индекс «D» в JFJ-450D указывает на двойной функциональный канал или расширенный комплект аппаратуры (двойная вакуумметрия/двухканальный ввод), применяемый для параллельного обслуживания двух объёмов либо режимов.
Модельный ряд и назначение типоразмеров
| Модель | Тип входного фланца к объекту | Класс турбомолекулярного насоса | Рекомендуемые задачи | Особенности компоновки |
|---|---|---|---|---|
| JFJ-63 (CF 63) | CF DN63 | DN63, быстрый разгон, CF-узел | Лабораторные камеры, локальные откачные посты, UHV-переходы | UHV-ввод, минимальные газовые нагрузки, медная прокладка |
| JFJ-63 (ISO-K 63) | ISO-K DN63 | DN63, компакт | Шлюзовые камеры малых объёмов, быстрая стыковка | Скобовое крепление, упрощённый сервис |
| JRJ-301 (ISO-K 301) | ISO-K DN160/200 (условно «301» класс) | Средний класс производительности | PVD/CVD камеры среднего объёма, аналитические стенды | Универсальные порты обслуживания, быстрая перенастройка |
| JRJ-301 (CF 301) | CF DN160/200 | Средний класс, CF-узел | Процессы с повышенными требованиями к чистоте | СВВ-герметика, низкая дегазация |
| JRJ-401 (CF 401) | CF DN200/250 | Высокая быстрота действия | Большие камеры, высокие газовые нагрузки | Расширенная форлиния, увеличенный вент-контур |
| JRJ-401 (ISO-K 401) | ISO-K DN200/250 | Высокая производительность | Гибкая стыковка в поточных линиях | ISO-крепёж, быстрая разборка |
| JRJ-701 (CF) | CF DN250 | Класс ~700 л/с и выше | Оптические и плазменные процессы с жёсткими режимами | CF-ввод, повышенная стойкость к загрязнениям |
| JRJ-701 (ISO-K) | ISO-K DN250 | Класс ~700 л/с | Шлюзовые камеры панелей/подложек | Быстросъём, сервис за смену |
| JRJ-1401 (CF) | CF DN250/320 | Класс ~1400 л/с | Напыление, травление, высокие нагрузки H₂/N₂/Ar | Водяное охлаждение, расширенный вакуумметрический пакет |
| JRJ-1401 (ISO-K) | ISO-K DN250/320 | Класс ~1400 л/с | Производственные линии, быстрые переналадки | ISO-интерфейс, усиленная рама |
| JFJ-450D (CF) | CF DN200/250 | Класс ~400–500 л/с | Двухобъектные стенды, параллельные режимы | Двойная функциональность, расширенная арматура |
| JFJ-450D (ISO-K) | ISO-K DN200/250 | Класс ~400–500 л/с | Интеграция в техпроцессы с быстрым сервисом | Двухканальная логика, ISO-интерфейс |
| JFJ-701A (CF) | CF DN250 | Класс ~700 л/с | Промышленные камеры с загрязняющими средами | Платформа «A», расширенный контроллер |
| JFJ-701A (ISO-K) | ISO-K DN250 | Класс ~700 л/с | Высокая сменность, модульный сервис | Быстросъёмные соединения, доп. телеметрия |
| JFJ-1401A (CF) | CF DN250/320 | Класс ~1400 л/с | Линии PVD/CVD, крупные объёмы | Платформа «A», усиленная форлиния |
| JFJ-1401A (ISO-K) | ISO-K DN250/320 | Класс ~1400 л/с | Производственные конвейеры | ISO-интерфейс, сервисопригодность |
| JFJ-2201A (CF) | CF DN320/400 | Класс ~2000–2200 л/с | Очень большие камеры, интенсивные газопотоки | Мощная форлиния, водяное охлаждение |
| JFJ-2201A (ISO-K) | ISO-K DN320/400 | Класс ~2000–2200 л/с | Крупные шлюзовые объёмы, панели/подложки | ISO-интерфейс, расширенная автоматика |
Технические особенности эксплуатации
Логика межблокировок контролирует порядок: проверка готовности форвакуумного насоса, достижение допустимого давления по Пирани на форлинии, мягкий разгон турбомолекулярного насоса, открытие высоковакуумного клапана, разрешение процессу. Встроенные функции продувки азотом защищают подшипники и лопаточный пакет от агрессивных сред; вент-контур обеспечивает контролируемый набор давления при останове. Вакуумметрия подбирается под задачу: Пирани для 10⁵…10⁻¹ Па, Пеннинг/КНД для 10⁻²…10⁻⁶ Па, баротрон для метрологического контроля и калибровки рабочих уставок.
Критерии выбора CF или ISO-K
Соединение CF выбирают при повышенных требованиях к чистоте, низкой дегазации и долговременной стабильности соединения; применяется медная прокладка и моментная затяжка. Интерфейс ISO-K целесообразен для станций с частыми перестыковками и регламентными работами; уплотнение эластомерным кольцом допускает быстрое снятие/установку с сохранением герметичности для высокого вакуума.
Инжиниринговые опции
Доступны опции нагрева форвакуумной линии для подавления конденсации, увеличенные ловушки и фильтры на входе, коррозионностойкие исполнения с продувкой подшипников, расширенные пакеты датчиков температуры/вибрации, удалённый мониторинг по RS-485/Modbus или Ethernet через контроллер турбонасоса, а также интеграция с внешними ПЛК. Подбор форвакуумного насоса выполняется по расчётной газовой нагрузке и требуемому времени откачки; для «грязных» процессов рекомендуются винтовые сухие насосы с подогревом корпуса.
Поставка, интеграция и сервис
Лаборатория контроля герметичности «Ликлаб» поставляет и обслуживает откачные посты CBVAC JFJ на территории России. Выполняются шеф-монтаж, настройка межблокировок, привязка к объекту, обучение персонала, а также метрологическое сопровождение по ГОСТ 8.586 и методикам испытаний на герметичность по ГОСТ Р 50.05.01-2018. Доступны заводские и полевые комплекты ЗИП, регламентные наборы уплотнений и сервисных фильтров.