Откачной пост CBVAC JFJ-2201 (2200 л/с, до 5×10⁻⁷ Па) — промышленный вакуумный пост для крупных систем и высоких потоков газа
Откачной пост CBVAC JFJ-2201 представляет собой мощный, промышленный агрегат для создания высокого и сверхвысокого вакуума в системах большого объёма. Основан на турбомолекулярном насосе JFB-250/2201 с быстротой действия по азоту более 2050 л/с и предельным остаточным давлением до 5×10⁻⁷ Па (в CF-исполнении). Установка разработана для эксплуатации в условиях интенсивной газовой нагрузки, применяясь в вакуумных технологических линиях, системах напыления, термовакуумных камерах, испытательных установках и комплексах контроля герметичности.
Назначение и особенности конструкции
JFJ-2201 предназначен для эксплуатации в составе установок, где требуется высокая производительность при стабильных параметрах вакуума. Модульная структура платформы позволяет формировать различные конфигурации, подбирая тип фланцев (ISO-K или CF), вид охлаждения (воздушное или водяное) и форвакуумный насос. Станция оснащена встроенным контроллером CBVAC собственной разработки, обеспечивающим автоматический запуск, управление арматурой, защиту по давлению и температуре, а также безопасное вентилирование при остановке.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Модель турбомолекулярного насоса | JFB-250/2201 |
| Быстрота действия (по N₂) | ≥ 2050 л/с |
| Впускной фланец | DN250 ISO-K (LF) или CF |
| Предельное остаточное давление | < 5×10⁻⁶ Па (LF); < 5×10⁻⁷ Па (CF) |
| Рабочая температура | +5...+35 °C (воздушное охлаждение), +5...+40 °C (водяное охлаждение) |
| Способ охлаждения | Принудительное воздушное (стандарт); водяное — опционально |
| Индукция магнитного поля в рабочей зоне | ≤ 3 мТл (макс. 10 мТл при индивидуальной адаптации) |
| Измерение давления | 10⁵–10⁻⁵ Па (вакуумметр по выбору заказчика) |
| Контроллер | Встроенный, CBVAC собственной разработки |
| Форвакуумный насос | CBVAC DVJ30 (9 л/с) |
| Выходной фланец | KF40 |
| Питание | 220 В, 50/60 Гц, допуск ±10 % |
| Потребляемая мощность | до 2700 Вт |
| Уровень шума | ≤ 65 дБ |
| Масса | 145 кг |
| Связь и интерфейсы | Базовая версия без коммуникационных портов (по запросу — RS-485 или Ethernet) |
Ключевые преимущества
Пост JFJ-2201 отличается высокой пропускной способностью и устойчивостью к повышенным газовым потокам. Благодаря крупному входному фланцу DN250 обеспечивается минимальное гидравлическое сопротивление и высокая эффективность откачки даже при работе с большими объёмами камер. Встроенные ролики и подъемные проушины обеспечивают мобильность и простоту интеграции в технологические комплексы. Конструкция допускает установку дополнительных элементов — ловушек, фильтров, предохранительных клапанов и датчиков давления для интеграции в системы управления технологическими процессами.
Отличия JFJ-2201 от JFJ-1401
Основное отличие модели JFJ-2201 от JFJ-1401 — это значительно увеличенная быстрота действия (2050 против 1350 л/с), больший диаметр входного фланца (DN250 против DN160) и расширенные возможности по охлаждению и обслуживанию. JFJ-2201 предназначен для крупногабаритных камер, где требуется высокая скорость снижения давления при больших объёмах и повышенной газовой нагрузке. В отличие от JFJ-1401, станция комплектуется более мощным форвакуумным насосом CBVAC DVJ30 и имеет повышенную электрическую мощность для стабильной работы турбонасоса при непрерывных циклах.
Эксплуатационные особенности
Рекомендуется использовать JFJ-2201 в помещениях с температурой не выше +30 °C, с обеспечением достаточного охлаждения и стабильного электропитания. При установке следует применять виброизоляционные опоры и соблюдать требования к чистоте трассы. Для задач с высокими требованиями к чистоте вакуума предпочтительно использовать CF-исполнение с металлическими уплотнениями. В ISO-K конфигурации рекомендуется периодический контроль состояния эластомерных прокладок и гермовводов.
Области применения
JFJ-2201 применяется в промышленных и исследовательских установках: в системах вакуумного напыления, производстве микроэлектроники и оптоэлектроники, испытаниях герметичности крупногабаритных сосудов, ускорительных модулях, криогенных и термовакуумных стендах. Благодаря высокой быстроте откачки и надёжной конструкции пост устойчив к длительным эксплуатационным нагрузкам и многократным циклам включения.
Поставка и сервис лаборатории «Ликлаб»
Лаборатория контроля герметичности «Ликлаб» является официальным поставщиком и сервисным центром CBVAC в России. Специалисты лаборатории выполняют монтаж, настройку и аттестацию вакуумных постов JFJ-2201, проводят обучение персонала, диагностику и профилактику насосов, а также метрологическое сопровождение в соответствии с ГОСТ 8.586 и требованиями ГОСТ Р 50.05.01-2018. Доступны комплекты запасных частей, фильтров, уплотнений и модулей дистанционного мониторинга.