Откачной пост CBVAC JFJ-701 (700 л/с, до 5×10⁻⁷ Па) — высокопроводящая станция для камер среднего и большого объёма
Откачной пост JFJ-701 предназначен для быстрого получения высокого вакуума в технологических и исследовательских установках с существенной газовой нагрузкой и повышенными требованиями к проводимости магистралей. Узел построен на турбомолекулярном насосе JFB-160/701 с быстротой действия по азоту не менее 650 л/с и встроенным контроллером JFJ-III. Конструкция поддерживает интерфейс DN160 (ISO-K или CF), обеспечивает автоматизированную последовательность пуска/останова, контроль по вакуумметрии и координацию форвакуумной ступени. В CF-исполнении достигается базовый уровень до 5×10⁻⁷ Па при корректной подготовке трассы и уплотнений.
Состав и функциональная схема
Типовая компоновка включает турбомолекулярный насос JFB-160/701, форвакуумный насос «сухого» или маслонаполненного типа, высоковакуумный отсечной клапан, обратный клапан форлинии, контур вентилирования с регулированием расхода, узел продувки инертным газом и вакуумметрический модуль 10⁵–10⁻⁵ Па. Встроенный контроллер JFJ-III ведёт разгон турбонасоса по межблокировкам, контролирует достижение допустимого давления на форлинии, управляет арматурой и выполняет контролируемый останов с продувкой для защиты опор и лопаточного пакета.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Модель турбомолекулярного насоса | JFB-160/701 |
| Быстрота действия по N₂ | ≥ 650 л/с |
| Степень сжатия по N₂ | > 1×10¹¹ |
| Впускной фланец к объекту | DN160 ISO-K (LF) или CF |
| Предельное остаточное давление | < 5×10⁻⁶ Па (LF); < 5×10⁻⁷ Па (CF) |
| Охлаждение турбонасоса | Принудительное воздушное +5…+35 °C (стандарт); водяное +5…+40 °C (опция) |
| Допустимая напряжённость магнитного поля | ≤ 3 мТл (до 10 мТл по согласованию) |
| Диапазон измерения давления | 10⁵–10⁻⁵ Па, тип вакуумметра по выбору заказчика*¹ |
| Контроллер | JFJ-III, встроенный (межблокировки, телеметрия) |
| Форвакуум, «сухой» | Edwards nXDs20i — 5,5 л/с (≈70 кг); Geowell GWSP 600 — 8,7 л/с (≈75 кг) |
| Форвакуум, масляный | CBVAC AVR-30 — 8,5 л/с; (варианты Value VRD-24/VRD-30 — 78/86 кг) |
| Выходной фланец форлинии | KF25/KF40 |
| Коммуникации | RS-485 (Modbus); опции — оптоволокно, гигабитный Ethernet |
| Электропитание | ~220 В, 50/60 Гц, допуск ±10 % |
| Максимальная потребляемая мощность | Около 1500 Вт |
| Уровень шума | ≤ 65 дБ |
| Примечания | *¹ При использовании стороннего вакуумметра некоторые функции автоуправления могут быть недоступны; базовые функции сохраняются. *² Водяное охлаждение предназначено прежде всего для турбонасоса; систему водоснабжения на стороне заказчика необходимо реализовать согласно требованиям. |
Отличия JFJ-701 относительно JFJ-401/301
JFJ-701 рассчитан на существенно большую быстроту действия и устойчивую работу при высоких расходах и парогазовых нагрузках. В сравнении с JFJ-401 (≈460 л/с) и JFJ-301 (≈300 л/с) пост JFJ-701 требует полноразмерной трассы DN160 от камеры до входа турбонасоса, применения арматуры с проходными сечениями не ниже DN160 и минимального числа поворотов/переходов — это позволяет реализовать паспортную проводимость и сократить время выхода на режим. Водяное охлаждение рекомендуется как штатная опция для длительной работы на высокой нагрузке и при плотной застройке оборудования. CF-исполнение выбирают для процессов, критичных к базовому вакууму и дегазации; ISO-K — для участков с частыми переналадками и требованием быстросъёмного интерфейса.
Эксплуатационные аспекты
Последовательность пуска выполняется контроллером: запуск форвакуума, подтверждение порогового давления на форлинии, разгон JFB-160/701, открытие HV-клапана, выход на рабочий режим. Останов — с продувкой инертным газом и регулируемым вентилированием. Для процессов с пыле- и парообразованием рекомендуется входная ловушка, обогреваемые участки и фильтры; при интенсивной нагрузке — обязательное водяное охлаждение турбонасоса. В ISO-K-исполнении необходимо регламентно контролировать состояние эластомерных уплотнений и момент затяжки скоб; для CF-узлов — чистоту привалочных поверхностей и затяжку по диагонали с заданным моментом.
Области применения
Шлюзовые камеры и межоперационные транспортные узлы, технологические камеры PVD/CVD/PECVD, напыление и травление в средах Ar/N₂/H₂, аналитические стенды, установки дегазации и течеискания, термовакуумные камеры среднего и крупного объёма.
Поставка и сервис на базе лаборатории «Ликлаб»
Лаборатория контроля герметичности «Ликлаб» выполняет поставку, интеграцию и сервисное сопровождение откачных постов CBVAC JFJ-701. Предусмотрены шеф-монтаж, настройка межблокировок и вакуумметрии, подбор форвакуумной ступени под газовую нагрузку, обучение персонала, метрологическое сопровождение по ГОСТ 8.586 и методическая поддержка испытаний по ГОСТ Р 50.05.01-2018. Доступны сервис-киты уплотнений, фильтров и опции удалённого мониторинга.