Откачной пост CBVAC JFJ-401 (400 л/с, до 5×10⁻⁷ Па) — высокопроводящая станция для камер среднего объёма
Откачной пост JFJ-401 предназначен для получения высокого вакуума в технологических и исследовательских установках с повышенными требованиями к проводимости магистралей и устойчивости к газовой нагрузке. Базируется на турбомолекулярном насосе JFB-160/401 с быстротой действия по азоту свыше 460 л/с, интегрированным контроллером JEJ-III и модульной платформой арматуры. Конструкция поддерживает интерфейсы DN100 и DN160 с выбором стандарта фланцев ISO-K (LF) или CF и рассчитана на достижение остаточного давления до 5×10⁻⁷ Па в CF-исполнении при корректной подготовке трассы и уплотнений. Логика управления реализует автоматическую последовательность пуска и останова, контроль по вакуумметрам и межблокировки форвакуумной ступени, что обеспечивает воспроизводимость процесса и защиту оборудования.
Архитектура и функциональная схема
Состав поста включает турбомолекулярный насос JFB-160/401, форвакуумный насос сухого или маслонаполненного типа, высоковакуумный отсечной клапан, обратный клапан форлинии, вент-контур с регулируемым дросселированием, продувку инертным газом, модуль вакуумметрии 10⁵–10⁻⁵ Па и шкаф управления на базе JEJ-III. Контроллер управляет разгоном турбонасоса по межблокировкам, контролирует достижение допустимого давления на форлинии, управляет арматурой и выполняет аварийный останов с контролируемым вентилированием. Для длительной эксплуатации при повышенной газовой нагрузке предусмотрено водяное охлаждение турбонасоса (опционально), стандартом является принудительное воздушное охлаждение.
Ключевые отличия JFJ-401 относительно JFJ-301
По сравнению с постом JFJ-301, модель JFJ-401 рассчитана на более высокую быстроту действия и проводимость линии: рекомендуется применение входного интерфейса DN160 и минимизация гидравлических сопротивлений в высоковакуумной трассе (короткий участок между объектом и TМН, плавные повороты, арматура с проходными сечениями не ниже DN160). При идентичной номенклатуре форвакуумной ступени и контроллера, JFJ-401 обеспечивает сокращение времени выхода на рабочее давление для камер среднего объёма и более устойчивую работу в условиях повышенного поступления газов и паров. Опция водяного охлаждения для JFB-160/401 является рекомендуемой при интенсивных циклах и длительной работе на повышенной нагрузке, тогда как для JFJ-301 такая опция целесообразна преимущественно в нагрузочных режимах.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Модель турбомолекулярного насоса | JFB-160/401 |
| Быстрота действия по N₂ | > 460 л/с |
| Впускной фланец к объекту | DN100 ISO-K (LF) или CF; DN160 ISO-K или CF |
| Предельное остаточное давление | < 5×10⁻⁶ Па (LF); < 5×10⁻⁷ Па (CF) |
| Охлаждение турбонасоса | Принудительное воздушное +5…+35 °C (стандарт); водяное +5…+40 °C (опция) |
| Допустимая напряжённость магнитного поля | ≤ 3 мТл (до 10 мТл по согласованию) |
| Диапазон измерения давления | 10⁵–10⁻⁵ Па, тип вакуумметра по выбору заказчика* |
| Контроллер | JEJ-III, встроенный, межблокировки, телеметрия |
| Форвакуум «сухой» | Edwards nXDs10i — 3,1 л/с (47 кг); Geowell GWSP150 — 2,0 л/с (36 кг) |
| Форвакуум масляный | CBVAC AVR-16 — 4,4 л/с (45 кг); Value VRD-16 — 4,4 л/с (47 кг) |
| Выходной фланец форлинии | KF25 (стандарт); KF16 для GWSP150 |
| Коммуникации | RS-485 (Modbus); опции — оптоволокно, гигабитный Ethernet |
| Электропитание | ~220 В, 50/60 Гц, допуск ±10 % |
| Максимальная потребляемая мощность | Около 1000 Вт |
| Уровень шума | ≤ 60 дБ |
| Примечания | * При использовании стороннего вакуумметра отдельные функции автоматического управления могут быть недоступны; базовые функции сохраняются. |
Рекомендации по трассе и эксплуатации
Для реализации заявленной быстроты действия необходимо обеспечивать высокую проводимость соединения: использовать DN160 на участке «камера—насос», избегать острых поворотов, отводов малого диаметра и избыточной арматуры. В конфигурации ISO-K следует регламентно контролировать состояние эластомерных уплотнений (FKM) и момент затяжки скоб; в конфигурации CF необходимо выдерживать чистоту и моментную затяжку по диагонали. Для процессов с паро- и пылегенерацией целесообразны входные ловушки, фильтры и обогреваемые участки форлинии для снижения конденсации. При повышенной газовой нагрузке рекомендуется водяное охлаждение турбонасоса для стабилизации теплового режима и повышения ресурса опор.
Области применения
Шлюзовые камеры и транспортные узлы средних объёмов, технологические камеры PVD/CVD/PECVD, аналитические стенды, установки дегазации и течеискания, термовакуумные и исследовательские камеры. CF-исполнение применяют для задач с критичными требованиями к базовому вакууму и дегазации, ISO-K — при частых переналадках и необходимости быстроразъёмного интерфейса.
Поставка и сервис
Лаборатория контроля герметичности «Ликлаб» поставляет, интегрирует и обслуживает откачные посты CBVAC JFJ-401. Выполняются шеф-монтаж, настройка межблокировок, подбор вакуумметрии и форвакуумной ступени по газовой нагрузке, обучение персонала, а также метрологическое сопровождение по ГОСТ 8.586 и методическая поддержка испытаний на герметичность по ГОСТ Р 50.05.01-2018. Доступны сервисные комплекты уплотнений, фильтров и опции удалённого мониторинга.