Откачной пост CBVAC JFJ (85 л/с, до 5×10⁻⁷ Па) — компактная станция высокого вакуума для лабораторий и технологических линий
Откачной пост CBVAC JFJ на базе турбомолекулярного насоса JFB-63/81 предназначен для получения высокого вакуума при стартовой откачке от атмосферы с последующим выходом на остаточное давление до 5×10⁻⁷ Па (в исполнении с фланцем CF). Станция ориентирована на задачи шлюзовых камер, аналитического оборудования, вакуумных исследований и стендов контроля герметичности, где требуются короткое время выхода на режим, чистая безмасляная трасса высокого вакуума и интегрированная логика управления.
Конфигурация и принцип работы
В основе поста — турбомолекулярный насос JFB-63/81 с быстротой действия по азоту не менее 85 л/с. В качестве форвакуумного ступенчатого агрегата применяются либо мембранный насос DIVAC 0.8T (0,2 л/с), обеспечивающий полностью «сухую» трассу, либо компактный пластинчато-роторный Ulvac GHD-031B (0,5 л/с) для ускоренного выхода из области промежуточных давлений. Управление построено на встроенном контроллере турбонасоса с координацией пуска форвакуумной ступени, контролем по вакуумметру и автоматическим открытием/закрытием высоковакуумного канала. Предусмотрены функции продувки инертным газом и вентилирования для контролируемого останова.
Отличительные особенности и варианты исполнения
Основное конструктивное отличие — выбор входного фланца LF63 (ISO-K 63) или CF63. Исполнение ISO-K повышает сервисопригодность и скорость переналадки, обеспечивая предельное давление менее 5×10⁻⁶ Па при корректной эксплуатации. Исполнение CF ориентировано на процессы с повышенными требованиями к чистоте и дегазации соединений, позволяет достигать остаточного давления менее 5×10⁻⁷ Па за счёт ножевого уплотнения на медной прокладке. Дополнительно различаются форвакуумные модули: мембранный DIVAC 0.8T формирует полностью безмасляную трассу с минимальным риском обратной миграции, а GHD-031B оптимален при повышенной газовой нагрузке и необходимости ускоренного прогона области 10³…10¹ Па. Для интеграции в АСУ предусмотрен интерфейс RS-485 (Modbus), опционально доступен гигабитный Ethernet для удалённого мониторинга.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Модель турбомолекулярного насоса | JFB-63/81 |
| Быстрота действия, азот | ≥ 85 л/с |
| Впускной фланец к объекту | LF63 (ISO-K 63) или CF63 |
| Выходной фланец турбонасоса | KF16 |
| Предельное остаточное давление | < 5×10⁻⁶ Па (LF); < 5×10⁻⁷ Па (CF) |
| Измерение давления | 10⁵–10⁻⁵ Па, тип вакуумметра по выбору заказчика |
| Форвакуумный насос, «сухое» исполнение | DIVAC 0.8T, 0,2 л/с; масса поста ориентировочно 32 кг |
| Форвакуумный насос, «маслонаполненное» исполнение | Ulvac GHD-031B, 0,5 л/с; масса поста ориентировочно 38 кг |
| Охлаждение турбонасоса | Принудительное воздушное, +5…+35 °C |
| Допустимая напряжённость магнитного поля | ≤ 3 мТл (до 10 мТл по согласованию) |
| Контроллер | Встроенный; управление пуском/остановом, межблокировки, телеметрия |
| Коммуникации | RS-485 (Modbus); опция — Gigabit Ethernet |
| Электропитание | ~220 В, 50/60 Гц, допуск ±10 % |
| Максимальная потребляемая мощность | Около 250 Вт |
| Уровень шума | ≤ 60 дБ |
Интеграция и эксплуатация
Станция устанавливается непосредственно у объекта откачки с минимальной длиной высоковакуумной трассы. Для ISO-K исполнения рекомендуется применение эластомерных колец из FKM с проверкой состояния уплотнений в регламентные интервалы; для CF соединений соблюдается моментная затяжка фланцев и чистота контактных поверхностей. При работе с паро- и пылегенерирующими средами целесообразны ловушки и отстойники на входе турбонасоса. Последовательность пуска реализуется автоматически: запуск форвакуумного насоса, контроль достижения допустимого давления, разгон турбомолекулярного насоса, открытие высоковакуумного канала, выход на рабочий режим. Останов осуществляется с продувкой инертным газом и контролируемым вентилированием для защиты подшипников и лопаточного пакета.
Области применения
Шлюзовые камеры и загрузочные узлы технологических линий, лабораторные вакуумные камеры малых и средних объёмов, аналитические приборы, стенды течеискания и метрологические установки. Конфигурация с CF предпочтительна для задач, критичных к базовому уровню вакуума и дегазации соединений; конфигурация с ISO-K — для участков с частыми переналадками, где важны скорость обслуживания и модульность.
Поставка и сервис на базе лаборатории «Ликлаб»
Лаборатория контроля герметичности «Ликлаб» поставляет, интегрирует и обслуживает откачные посты CBVAC JFJ на территории России. Выполняются шеф-монтаж, проектная привязка к объекту, настройка межблокировок, подбор вакуумметрии, а также метрологическое сопровождение по ГОСТ 8.586 и методическая поддержка испытаний на герметичность по ГОСТ Р 50.05.01-2018. Доступны сервисные комплекты уплотнений, фильтров и расходных материалов, а также обучение персонала эксплуатации поста в составе технологической линии.