Откачной пост CBVAC JFJ-301 (300 л/с, до 5×10⁻⁷ Па) — модульная станция высокого вакуума с интеллектуальным управлением
Откачной пост JFJ-301 предназначен для получения высокого вакуума в технологических и исследовательских установках малого и среднего объёма. Узел построен на турбомолекулярном насосе JFB-100/301 с быстротой действия по азоту свыше 300 л/с и интегрированном контроллере JEJ-III. Конструкция поддерживает интерфейсы DN100 и DN160 с выбором стандарта фланцев ISO-K (LF) или CF и рассчитана на достижение остаточного давления до 5×10⁻⁷ Па в CF-исполнении при корректной подготовке трассы и уплотнений. Станция обеспечивает автоматизированную последовательность пуска/останова, контроль по вакуумметрии и координацию работы форвакуумной ступени, что повышает повторяемость процесса и снижает риски отказов.
Архитектура и функциональная схема
В состав JFJ-301 входят турбомолекулярный насос JFB-100/301, форвакуумный насос «сухого» или маслонаполненного типа, высоковакуумный отсечной клапан, обратный клапан форлинии, вент-контур с регулируемым дросселированием, продувка инертным газом, вакуумметрический модуль 10⁵–10⁻⁵ Па и шкаф управления на базе JEJ-III. Контроллер ведёт разгон турбонасоса по межблокировкам, контролирует достигнутое давление на форлинии, управляет арматурой и реализует аварийный останов с контролируемым вентилированием. Для длительной эксплуатации при повышенной газовой нагрузке предусмотрено водяное охлаждение турбонасоса как опция.
Ключевые отличия исполнения и варианты конфигурации
Отличительной особенностью JFJ-301 является гибкая механическая стыковка: на стороне объекта поддерживаются DN100 и DN160, причём интерфейс может быть ISO-K (быстросъём с эластомерным уплотнением) либо CF (ножевое уплотнение под медную прокладку) при одинаковой кинематике поста. ISO-K целесообразен при частых переналадках и регламенте со снятием агрегатов, CF — при повышенных требованиях к базовому вакууму и дегазации соединений. По форвакууму доступны «сухие» спиральные насосы Edwards nXDs10i (3,1 л/с) и Geowell GWSP150 (2,0 л/с) для чистых процессов и минимизации обратной миграции, а также пластинчато-роторные агрегаты CBVAC AVR-16 и Value VRD-16 (4,4 л/с) для ускоренного прохождения области 10³…10¹ Па и устойчивой работы с лёгкими парогазовыми нагрузками. Контроллер JEJ-III поддерживает Modbus/RS-485 штатно; по заказу доступно оптоволокно и гигабитный Ethernet для удалённого мониторинга и интеграции в АСУ.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Модель турбомолекулярного насоса | JFB-100/301 |
| Быстрота действия по N₂ | > 300 л/с |
| Впускной фланец к объекту | DN100 ISO-K (LF) или CF; DN160 ISO-K или CF |
| Предельное остаточное давление | < 5×10⁻⁶ Па (LF); < 5×10⁻⁷ Па (CF) |
| Охлаждение турбонасоса | Принудительное воздушное +5…+35 °C (стандарт); водяное +5…+40 °C (опция) |
| Допустимая напряжённость магнитного поля | ≤ 3 мТл (до 10 мТл по согласованию) |
| Диапазон измерения давления | 10⁵–10⁻⁵ Па, тип вакуумметра по выбору заказчика* |
| Контроллер | JEJ-III, встроенный, межблокировки и телеметрия |
| Форвакуум «сухой» | Edwards nXDs10i — 3,1 л/с (47 кг); Geowell GWSP150 — 2,0 л/с (36 кг) |
| Форвакуум масляный | CBVAC AVR-16 — 4,4 л/с (45 кг); Value VRD-16 — 4,4 л/с (47 кг) |
| Выходной фланец форлинии | KF25 (стандарт); KF16 для GWSP150 |
| Коммуникации | RS-485 (Modbus); опции — оптоволокно, гигабитный Ethernet |
| Электропитание | ~220 В, 50/60 Гц, допуск ±10 % |
| Максимальная потребляемая мощность | Около 1000 Вт |
| Уровень шума | ≤ 60 дБ |
| Примечания | * При использовании стороннего вакуумметра часть функций автоматического управления может быть недоступна; базовые функции сохраняются. |
Эксплуатационные аспекты
Последовательность пуска реализуется контроллером: запуск форвакуума, достижение порогового давления на форлинии, разгон турбомолекулярного насоса, открытие HV-клапана, переход в рабочий режим. Останов выполняется с продувкой инертным газом и регулируемым вентилированием. Для ISO-K рекомендуется регламентная замена эластомерных уплотнений (FKM/FKM-F) с контролем крутящего момента при затяжке скоб; для CF требуется чистота привалочных поверхностей и затяжка по диагонали с заданным моментом. При пыле- и парообразующих средах целесообразны входные ловушки и обогрев участков трассы для снижения конденсации. При повышенных газовых нагрузках водяное охлаждение турбонасоса стабилизирует тепловой режим и повышает ресурс подшипников.
Назначение и области применения
JFJ-301 применяется в шлюзовых камерах, исследовательских вакуумных камерах, стендах течеискания, узлах дегазации и аналитическом оборудовании. Интерфейс DN100 выбирают для малых и средних объёмов с короткой трассой; DN160 — при повышенных требованиях к проводимости и сокращению времени откачки. CF-исполнение предпочтительно для критичных по чистоте процессов с требованием к низкой дегазации соединений; ISO-K обеспечивает быструю перенастройку и сервисопригодность на поточных участках.
Поставка и сервис
Лаборатория контроля герметичности «Ликлаб» поставляет и интегрирует откачные посты CBVAC JFJ-301 в вакуумные линии заказчиков, выполняет шеф-монтаж, настройку межблокировок, подбор вакуумметрии и форвакуумной ступени под газовую нагрузку. Обеспечивается метрологическое сопровождение по ГОСТ 8.586, методическая поддержка испытаний на герметичность по ГОСТ Р 50.05.01-2018 и обучение персонала. Доступны сервисные комплекты уплотнений, фильтров, а также опции удалённого мониторинга.