Турбомолекулярный насос KYKY CXF-200/1401CVS
Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе
Подобрать оборудование
Назначение и конструкция
Пятиосевой активный магнитный подвес удерживает ротор без контакта в рабочем режиме. Смазка рабочего подвеса не требуется; защитные подшипники служат для аварийных режимов. Серия применяется в полупроводниковых процессах, покрытиях и исследовательских установках. Исполнения с подогревом и защитным газом подбирают под состав технологической среды.
Технические характеристики
Данные каталога KYKY, редакция декабря 2025 года. N₂ — азот, He — гелий, H₂ — водород, Ar — аргон. sccm — стандартные см³/мин; условия нормирования уточняются по документации производителя.
| Входной фланец | DN200 ISO-F / DN200 CF |
|---|---|
| Температура нагрева | 60…70 °C |
| Выходной фланец | KF40 |
| Быстрота откачки (л/с) | N₂: 1280 / Ar: 1100 / He: 880 / H₂: 560 |
| Степень сжатия | N₂: >10⁸ / Ar: >10⁸ / He: >10⁴ / H₂: >10³ |
| Предельное давление (Па) | 10⁻⁷(эластомерное уплотнение) 10⁻⁸(металлическое уплотнение) |
| Максимальный мгновенный поток на входе (sccm) | 1100 |
| Вход защитного газа, опция | KF10 |
| Рекомендуемый расход защитного газа (sccm) | 20 |
| Допустимая магнитная индукция (мТл) | радиально: 3 аксиально: 15 |
| Номинальная частота вращения (об/мин) | 30000 |
| Время разгона (мин) | ≤6 |
| Время остановки (мин) | ≤8 |
| Охлаждение | Водяное |
| Расход охлаждающей воды (л/мин) | 2 |
| Температура охлаждающей воды (°C) | 20±5 |
| Напряжение питания (В) | 220±10%, 50 Гц 110±10%, 60 Гц |
| Максимальная мощность (Вт) | 1000 |
| Совместимый контроллер | CXFD-1001S |
| Длина кабеля (м) | 5 или 10 (опция) |
| Рекомендуемая быстрота форвакуумного насоса (л/с) | ≥16 |
| Масса (кг) | 44(ISO-F) |
Подбор и внедрение в Ликлаб
| Задача | Согласуем рабочее давление, объём камеры, газовую нагрузку и состав среды. |
|---|---|
| Вакуумная обвязка | Проверяем фланцы, проводимость линии, форвакуумный насос, клапаны и защиту от частиц. |
| Управление | Выбираем совместимый контроллер, кабель, интерфейсы и блокировки; параметры — по руководству исполнения. |
| Пусконаладка | Проверяем герметичность соединений, охлаждение, питание, разгон и выход на режим. |
| Обслуживание | Регламент по руководству производителя: состояние подшипников и смазки, охлаждение, чистота и сообщения контроллера. |
Комплект поставки закрепляется в спецификации: наличие контроллера, форвакуумного насоса, клапанов и соединительных деталей не предполагается автоматически. Работа с агрессивными и конденсирующимися газами требует согласования защитного исполнения.
Фотографии, чертежи и рабочие кривые
Кривые откачки и габаритные чертежи соответствующего типоразмера
Обозначения: In — вход, Out — выход, Controller — контроллер, Water — охлаждающая вода. Размеры — мм. На листе показаны несколько исполнений; используйте чертёж с нужным обозначением модели.
Источник: KYKY, «Vacuum Generation», декабрь 2025; печатные страницы 38–39. Значения из разных исполнений не следует объединять в одну спецификацию.