Турбомолекулярный насос KYKY FF-63/80 (80 л/с, 5×10-6 Па)
Турбомолекулярный насос KYKY FF-63/80 предназначен для создания высокого и сверхвысокого вакуума в компактных лабораторных и приборных установках, течеискателях, малых вакуумных камерах, установках сверхвысоковакуумного анализа и газоаналитических системах. Конструкция насоса выполнена на базе многокаскадного турбомолекулярного ротора с частотой вращения 72 000 об/мин и керамических подшипников, смазываемых консистентной смазкой. Такое решение обеспечивает устойчивую работу при любых пространственных ориентациях, низкий уровень вибраций и стабильные вакуумные параметры при длительной непрерывной эксплуатации.
Насос рассчитан на работу в составе откачных систем с форвакуумным насосом и допускает установку в любом положении относительно оси вакуумной линии. Максимальное форвакуумное давление не должно превышать 500 Па, а рекомендуемое стартовое давление камеры — ниже 10 Па, что соответствует требованиям к приборным и технологическим системам с малым объёмом. Благодаря высокой степени сжатия по азоту и аргону (до 1×109) и хорошим характеристикам по гелию и водороду насос может применяться в системах, где требуется быстрое понижение парциального давления лёгких газов и поддержание низкого фонового давления.
Входной фланец насоса может выполняться в исполнении ISO-K 63 или CF 63, что упрощает встраивание в существующие линии высокого вакуума и позволяет использовать стандартную арматуру, центрирующие кольца и уплотнения. Выходное соединение KF16 предназначено для подключения к форвакуумному насосу через гибкий сильфон, что дополнительно снижает передачу вибраций на высоковакуумную часть системы. Насос поддерживает два варианта охлаждения: воздушное (стандартное) и водяное (опциональное) с расходом охлаждающей воды не менее 1 л/мин и температурой 10–25 °C, что рекомендуется при длительной работе на высокой газовой нагрузке.
Применение керамических шариковых подшипников и многоступенчатой конструкции ротора обеспечивает малый износ, стабильность динамической балансировки и предсказуемый ресурс. Температура отжига до 100 °C позволяет проводить регенерацию и дегазацию вакуумной системы без демонтажа насоса (при соблюдении требований по скорости нагрева и охлаждения), что особенно важно для приборных установок с жёсткими требованиями к остаточным газам.
В состав поставки входит блок управления и комплект кабелей, что позволяет эксплуатировать насос как самостоятельный вакуумный модуль без необходимости разрабатывать собственную систему пуска, защиты и мониторинга. Поставляемые центрирующие элементы и уплотнения (Viton для ISO и медь для CF) обеспечивают герметичное и повторяемое соединение с минимальными утечками, что соответствует требованиям ГОСТ и международных стандартов по вакуумной технике.
Область применения
Насос KYKY FF-63/80 рекомендуется для комплектации гелиевых течеискателей, вакуумных стендов малой и средней производительности, прецизионных измерительных установок, систем масс-спектрометрического анализа, вакуумных камер НК и ОТК, а также как высоковакуумная ступень в составе модульных вакуумных систем, поставляемых в опытное и мелкосерийное производство. Высокое сжатие по азоту и аргона делает данный насос удобным для работы с технологическими и инертными газами, а хорошая производительность по гелию — для задач по обслуживанию и калибровке гелиевых течеискателей.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Модель | KYKY FF-63/80 |
| Быстрота откачки по N2, л/с | 62 |
| Быстрота откачки по He, л/с | 55 |
| Быстрота откачки по H2, л/с | 34 |
| Быстрота откачки по Ar, л/с | 65 |
| Коэффициент сжатия по N2 | ≥ 1×109 |
| Коэффициент сжатия по He | ≥ 1×105 |
| Коэффициент сжатия по H2 | ≥ 1×104 |
| Коэффициент сжатия по Ar | ≥ 1×109 |
| Предельное остаточное давление, Па | ≤ 3×10-5 (исполнение ISO-K) |
| Максимальная газовая нагрузка, ст. см³/мин | N2: 35; He: 30; H2: 19; Ar: 38 |
| Входное соединение | ISO-K 63 или CF 63 |
| Выходное соединение | KF16 |
| Тип подшипников | Керамические шариковые, консистентная смазка |
| Скорость вращения ротора, об/мин | 72 000 |
| Время запуска до номинала, мин | ≤ 2 |
| Рекомендуемое стартовое давление, Па | < 10 |
| Максимальное давление запуска, Па | N2: 1500 |
| Допустимое форвакуумное давление, Па | < 500 |
| Монтажное положение | Произвольное |
| Температура отжига, °C | ≤ 100 |
| Охлаждение | Воздушное (5–32 °C) / водяное (5–40 °C) |
| Параметры охлаждающей воды | 10–25 °C; давление 0,15 МПа; расход > 1 л/мин |
| Максимальная потребляемая мощность, Вт | 90 |
| Масса, кг | 2,6 (ISO-K); 3,5 (CF) |
| Комплект поставки | Насос, блок управления, кабель питания, кабель управления, комплект крепежа и уплотнений в зависимости от типа фланца, руководство на русском языке, гарантийный талон |
Особенности эксплуатации
Для достижения паспортных характеристик насос должен работать совместно с исправным форвакуумным насосом, обеспечивающим давление на выходе не выше 500 Па. Запуск при более высоком давлении допускается только кратковременно и в пределах, указанных в паспорте, иначе возможен рост времени выхода на режим и увеличение температуры подшипников. При длительной работе на повышенной газовой нагрузке рекомендуется переход на водяное охлаждение и установка газобалластных или криосорбционных элементов на форвакуумной линии для исключения обратной диффузии масла.
Насос KYKY FF-63/80 может использоваться как штатная высоковакуумная ступень в составе гелиевых масс-спектрометрических течеискателей, поставляемых и обслуживаемых компанией «Лаборатория ВАКТРОН», что обеспечивает совместимость по фланцам, типам охлаждения и электрическим интерфейсам, а также упрощает сервис и планово-предупредительные работы.
