Турбомолекулярный насос KYKY FF-63/80HV
Приборные турбомолекулярные насосы
Подобрать оборудование
Назначение и конструкция
Компактные насосы для масс-спектрометрии, анализа поверхности, электронных микроскопов и приборных вакуумных систем. Модульная конструкция объединяет откачную часть, привод, управление и охлаждение. Для малых насосов особенно важны проводимость соединений и правильный подбор форвакуумной ступени.
Технические характеристики
Данные каталога KYKY, редакция декабря 2025 года. N₂ — азот, He — гелий, H₂ — водород, Ar — аргон. sccm — стандартные см³/мин; условия нормирования уточняются по документации производителя.
| Входной фланец | DN63 CF / DN63 ISO-K |
|---|---|
| Выходной фланец (ISO-KF) | DN16 |
| Быстрота откачки (л/с) | N₂: 62 / He: 55 / H₂: 34 / Ar: 65 |
| Степень сжатия | N₂: 10⁹ / He: 10³ / H₂: 10³ / Ar: 10⁹ |
| Предельное давление (Па) | CF: 5×10⁻⁶ / ISO-K: 3×10⁻⁵ |
| Максимальное непрерывное форвакуумное давление (Па) | 500 |
| Максимальное форвакуумное давление (Па) | N₂: 1500 |
| Максимальный газовый поток (sccm) | N₂: 35 / He: 30 / H₂: 19 / Ar: 38 |
| Номинальная частота вращения (об/мин) | 72000 |
| Время разгона (мин) | ≤3 |
| Охлаждение | Водяное или воздушное |
| Расход охлаждающей воды (л/мин) | 1 |
| Температура охлаждающей воды (°C) | ≤25 |
| Напряжение питания (В) | 24 В пост. / 220 В перем. |
| Максимальная мощность (Вт) | 90 |
| Совместимый контроллер | TD-80HV/TCP-100/ TC-100 |
| Рекомендуемая быстрота форвакуумного насоса (л/с) | 0.5-2 |
| Масса (кг) | 3.5 (ISO-K) 4.5 (CF) |
| Подшипники | Керамические подшипники |
Подбор и внедрение в Ликлаб
| Задача | Согласуем рабочее давление, объём камеры, газовую нагрузку и состав среды. |
|---|---|
| Вакуумная обвязка | Проверяем фланцы, проводимость линии, форвакуумный насос, клапаны и защиту от частиц. |
| Управление | Выбираем совместимый контроллер, кабель, интерфейсы и блокировки; параметры — по руководству исполнения. |
| Пусконаладка | Проверяем герметичность соединений, охлаждение, питание, разгон и выход на режим. |
| Обслуживание | Регламент по руководству производителя: состояние подшипников и смазки, охлаждение, чистота и сообщения контроллера. |
Комплект поставки закрепляется в спецификации: наличие контроллера, форвакуумного насоса, клапанов и соединительных деталей не предполагается автоматически. Работа с агрессивными и конденсирующимися газами требует согласования защитного исполнения.
Фотографии, чертежи и рабочие кривые
Кривые откачки приборных насосов: давление в Па, быстрота откачки в л/с
Обозначения: In — вход, Out — выход, Controller — контроллер, Water — охлаждающая вода. Размеры — мм. На листе показаны несколько исполнений; используйте чертёж с нужным обозначением модели.
Габаритные чертежи приборной серии, размеры в мм
Обозначения: In — вход, Out — выход, Controller — контроллер, Water — охлаждающая вода. Размеры — мм. На листе показаны несколько исполнений; используйте чертёж с нужным обозначением модели.
Источник: KYKY, «Vacuum Generation», декабрь 2025; печатные страницы 24–25. Значения из разных исполнений не следует объединять в одну спецификацию.