Турбомолекулярный насос KYKY FF-160/620N
Турбомолекулярные насосы с масляной смазкой
Подобрать оборудование
Назначение и конструкция
Масляная смазка керамических подшипников рассчитана на промышленную эксплуатацию. Серия применяется для нанесения покрытий PVD и CVD, вакуумных печей, электронно-лучевой сварки, изготовления электронных компонентов и контроля герметичности. Условия работы с газами и монтажное положение проверяют по паспорту конкретного исполнения.
Технические характеристики
Данные каталога KYKY, редакция декабря 2025 года. N₂ — азот, He — гелий, H₂ — водород, Ar — аргон. sccm — стандартные см³/мин; условия нормирования уточняются по документации производителя.
| Входной фланец | DN160 CF / DN160 ISO-K |
|---|---|
| Выходной фланец (ISO-KF) | DN40 |
| Быстрота откачки (л/с) | N₂: 600 / He: 380 / H₂: 240 / Ar: 580 |
| Степень сжатия | N₂: 10⁹ / He: 10⁴ / H2 : 6×10³ / Ar: 10⁹ |
| Предельное давление (Па) | CF: 6×10⁻⁷ / ISO-K: 6×10⁻⁶ |
| Максимальное непрерывное форвакуумное давление (Па) | 240 |
| Максимальное форвакуумное давление (Па) | N₂: 350 |
| Максимальный газовый поток (sccm) | N₂: 1200 / He: 880 / H₂: 700 / Ar: 450 |
| Номинальная частота вращения (об/мин) | 27000 |
| Время разгона (мин) | ≤7 |
| Охлаждение | Водяное |
| Расход охлаждающей воды (л/мин) | ≥1 |
| Температура охлаждающей воды (°C) | ≤25 |
| Напряжение питания (В) | 220±22 |
| Максимальная мощность (Вт) | ≤500 |
| Совместимый контроллер | TCDP-II; FD-IIB; TD-II/TCP-II |
| Рекомендуемая быстрота форвакуумного насоса (л/с) | 4…8 |
| Масса (кг) | 29 (LF) 30.5 (CF) |
| Подшипники | Керамические подшипники с масляной смазкой |
Подбор и внедрение в Ликлаб
| Задача | Согласуем рабочее давление, объём камеры, газовую нагрузку и состав среды. |
|---|---|
| Вакуумная обвязка | Проверяем фланцы, проводимость линии, форвакуумный насос, клапаны и защиту от частиц. |
| Управление | Выбираем совместимый контроллер, кабель, интерфейсы и блокировки; параметры — по руководству исполнения. |
| Пусконаладка | Проверяем герметичность соединений, охлаждение, питание, разгон и выход на режим. |
| Обслуживание | Регламент по руководству производителя: состояние подшипников и смазки, охлаждение, чистота и сообщения контроллера. |
Комплект поставки закрепляется в спецификации: наличие контроллера, форвакуумного насоса, клапанов и соединительных деталей не предполагается автоматически. Работа с агрессивными и конденсирующимися газами требует согласования защитного исполнения.
Фотографии, чертежи и рабочие кривые
Кривые откачки серии; по горизонтали давление, Па; по вертикали быстрота откачки, л/с
Обозначения: In — вход, Out — выход, Controller — контроллер, Water — охлаждающая вода. Размеры — мм. На листе показаны несколько исполнений; используйте чертёж с нужным обозначением модели.
Габаритные чертежи серии, размеры в мм
Обозначения: In — вход, Out — выход, Controller — контроллер, Water — охлаждающая вода. Размеры — мм. На листе показаны несколько исполнений; используйте чертёж с нужным обозначением модели.
Продолжение габаритных чертежей серии, размеры в мм
Обозначения: In — вход, Out — выход, Controller — контроллер, Water — охлаждающая вода. Размеры — мм. На листе показаны несколько исполнений; используйте чертёж с нужным обозначением модели.
Источник: KYKY, «Vacuum Generation», декабрь 2025; печатные страницы 14–15. Значения из разных исполнений не следует объединять в одну спецификацию.