Гелиевые масс-спектрометрические течеискатели NHJ 400, NHJ 600, NHJ 800
Руководство предназначено для специалистов, которые выполняют ввод в эксплуатацию, настройку режимов, контроль герметичности, обслуживание вакуумной системы и диагностику течеискателей серии NHJ.
Внедрением гелиевых течеискателей серии NHJ на территории России, техническим обслуживанием, ремонтом, настройкой, подготовкой к поверке и поставкой запасных частей занимается лаборатория контроля герметичности LeakLab. Пользователь может направить течеискатель на диагностику, профилактику, ремонт, замену расходных элементов или проверку работоспособности после длительного простоя.
Оглавление
- О руководстве
- Техника безопасности
- Технические параметры
- Габаритные размеры
- Подготовка к работе
- Сборка и схема прибора
- Включение и меню
- Настройка измерений
- Интерфейсы
- Методы течеискания
- Обслуживание
- Ошибки и неисправности
- Протокол обмена
- Сервис и паспортные данные
1. О данном руководстве по эксплуатации
Перед включением течеискателя оператор должен изучить руководство и убедиться, что условия эксплуатации соответствуют техническим требованиям прибора. Надежность гелиевого масс-спектрометрического течеискателя зависит от правильного подключения, чистоты вакуумной системы, корректного выбора режима и квалификации персонала.
Работы по ремонту, вскрытию корпуса, замене внутренних компонентов, обслуживанию масс-спектрометрической ячейки, вакуумных насосов и электронных модулей должны выполнять обученные специалисты.
| Обозначение | Смысл | Действие |
|---|---|---|
| Опасно | Ситуация может привести к тяжелой травме, поражению электрическим током, пожару или взрыву. | Прекратить работу и восстановить безопасное состояние. |
| Осторожно | Ситуация может привести к травме персонала или повреждению прибора. | Действовать строго по инструкции. |
| Внимание | Условие влияет на точность, ресурс или стабильность работы. | Проверить параметр и учесть ограничение. |
2. Техника безопасности
Течеискатель должен применяться только в исправном состоянии и в пределах технических характеристик. Владелец оборудования обязан организовать безопасное рабочее место, назначить обученный персонал, обеспечить исправное электропитание и исключить подключение объектов, которые могут повредить прибор.
| Разрешенное применение | Пояснение |
|---|---|
| Контроль вакуумным методом | Прибор подключается к откачиваемому объему, наружные поверхности обдуваются гелием. |
| Контроль методом щупа | Изделие заполняется гелием или смесью, зоны утечки проверяются щупом. |
| Локализация места течи | Прибор определяет участок нарушения герметичности при правильной схеме испытания. |
| Измерение потока пробного газа | При корректной калибровке прибор оценивает величину течи. |
| Запрещенное действие | Риск | Правильный подход |
|---|---|---|
| Подключать влажные изделия | Загрязнение вакуумного тракта и рост фона. | Предварительно просушить объект. |
| Откачивать агрессивные или токсичные вещества | Повреждение насосов, клапанов, анализатора и угроза персоналу. | Использовать специализированную систему. |
| Работать во взрывоопасной атмосфере | Прибор не является взрывозащищенным. | Применять безопасные газовые смеси. |
| Откачивать пары жидкостей | Конденсация внутри вакуумного тракта. | Удалить жидкость и использовать ловушки. |
| Подключать объект, не рассчитанный на вакуум | Деформация или разрушение объекта. | Проверить вакуумную прочность. |
Перед открытием корпуса или обслуживанием электрических узлов прибор необходимо полностью отключить от сети. Работы внутри прибора допускаются только для обученных специалистов.
Обслуживание уплотнений
Эластомерные и металлические уплотнения должны устанавливаться чистыми руками в перчатках. Нельзя применять острый инструмент, оставлять царапины на посадочных местах, использовать загрязненные кольца или наносить смазку без технической необходимости. Для очистки вакуумных поверхностей применяют безворсовые салфетки и совместимый спирт.
3. Технические параметры
Течеискатели серии NHJ представляют собой гелиевые масс-спектрометрические приборы с турбомолекулярной высоковакуумной ступенью, встроенным форвакуумным насосом, сенсорным дисплеем и интерфейсами для связи с внешними системами.
Гелиевый течеискатель NHJ 400
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Минимально определяемая течь, вакуумный метод | 3×10-13 Па·м3/с |
| Минимально определяемая течь, метод щупа | 5×10-9 Па·м3/с |
| Диапазон индикации течи | от 1×10-1 до 5×10-13 Па·м3/с |
| Время выхода на готовность | около 100 с |
| Время отклика | 0,3 с |
| Максимальное давление на входе | 2000 Па / 20 мбар / 15,4 Торр |
| Рекомендуемое давление на входе | 1000 Па / 10 мбар / 7,7 Торр |
| Скорость откачки по гелию | 2,5 л/с |
| Высоковакуумный насос | турбомолекулярный насос с гибридной опорой |
| Скорость ТМН по азоту и гелию | 90 л/с на основном фланце |
| Встроенные вакуумметры | 2 датчика Пирани, диапазон 1000 до 5×10-4 мбар |
| Входной порт | DN 25 ISO-KF |
| Питание | 230 В, ±5 %, 50/60 Гц |
| Температура эксплуатации | от +5 до +40 °C |
| Относительная влажность | не более 80 % |
| Дисплей | 7-дюймовый цветной сенсорный ЖК-дисплей, поворот до 330° |
| Интерфейсы | RS232, RS485, USB, 8 цифровых входов/выходов, 2 изолированных аналоговых выхода |
| Тип форвакуумного насоса | маслозаполненный двухступенчатый пластинчато-роторный насос |
| Скорость форвакуумной откачки | 16 м3/ч |
| Мощность форвакуумного насоса | 750 Вт |
| Габаритные размеры | 620×370×1027 мм |
| Масса | 55 кг |
Гелиевый течеискатель NHJ 600
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Минимально определяемая течь, вакуумный метод | 3×10-13 Па·м3/с |
| Минимально определяемая течь, метод щупа | 5×10-9 Па·м3/с |
| Диапазон индикации течи | от 1×10-1 до 5×10-13 Па·м3/с |
| Время выхода на готовность | около 100 с |
| Время отклика | 0,3 с |
| Максимальное давление на входе | 2000 Па / 20 мбар / 15,4 Торр |
| Рекомендуемое давление на входе | 1000 Па / 10 мбар / 7,7 Торр |
| Скорость откачки по гелию | 2,5 л/с |
| Высоковакуумный насос | турбомолекулярный насос с гибридной опорой |
| Скорость ТМН по азоту и гелию | 90 л/с на основном фланце |
| Встроенные вакуумметры | 2 датчика Пирани, диапазон 1000 до 5×10-4 мбар |
| Входной порт | DN 25 ISO-KF |
| Питание | 230 В, ±5 %, 50/60 Гц |
| Температура эксплуатации | от +5 до +40 °C |
| Относительная влажность | не более 80 % |
| Дисплей | 7-дюймовый цветной сенсорный ЖК-дисплей, поворот до 330° |
| Интерфейсы | RS232, RS485, USB, 8 цифровых входов/выходов, 2 изолированных аналоговых выхода |
| Тип форвакуумного насоса | маслозаполненный двухступенчатый пластинчато-роторный насос |
| Скорость форвакуумной откачки | 1,8 м3/ч |
| Мощность форвакуумного насоса | 100 Вт |
| Габаритные размеры | 620×370×480 мм |
| Масса | 55 кг |
Гелиевый течеискатель NHJ 800
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Минимально определяемая течь, вакуумный метод | 3×10-13 Па·м3/с |
| Минимально определяемая течь, метод щупа | 5×10-9 Па·м3/с |
| Диапазон индикации течи | от 1×10-1 до 5×10-13 Па·м3/с |
| Время выхода на готовность | около 100 с |
| Время отклика | 0,3 с |
| Максимальное давление на входе | 2000 Па / 20 мбар / 15,4 Торр |
| Рекомендуемое давление на входе | 1000 Па / 10 мбар / 7,7 Торр |
| Скорость откачки по гелию | 2,5 л/с |
| Высоковакуумный насос | турбомолекулярный насос с гибридной опорой |
| Скорость ТМН по азоту и гелию | 90 л/с на основном фланце |
| Встроенные вакуумметры | 2 датчика Пирани, диапазон 1000 до 5×10-4 мбар |
| Входной порт | DN 25 ISO-KF |
| Питание | 230 В, ±5 %, 50/60 Гц |
| Температура эксплуатации | от +5 до +40 °C |
| Относительная влажность | не более 80 % |
| Дисплей | 7-дюймовый цветной сенсорный ЖК-дисплей, поворот до 330° |
| Интерфейсы | RS232, RS485, USB, 8 цифровых входов/выходов, 2 изолированных аналоговых выхода |
| Тип форвакуумного насоса | сухой спиральный вакуумный насос |
| Скорость форвакуумной откачки | 14 м3/ч |
| Мощность форвакуумного насоса | 280 Вт |
| Габаритные размеры | 620×370×1027 мм |
| Масса | 110 кг |
| Параметр | NHJ 400 | NHJ 600 | NHJ 800 |
|---|---|---|---|
| Форвакуумный насос | масляный | масляный | сухой спиральный |
| Скорость форвакуумной откачки | 16 м3/ч | 1,8 м3/ч | 14 м3/ч |
| Габариты | 620×370×1027 мм | 620×370×480 мм | 620×370×1027 мм |
| Масса | 55 кг | 55 кг | 110 кг |
3.2. Габаритные размеры
Габаритные размеры необходимо учитывать при размещении течеискателя на рабочем месте, проектировании участка, транспортировке и организации сервисного доступа.
4. Общие сведения
Течеискатели NHJ 400, NHJ 600 и NHJ 800 предназначены для локализации и количественной оценки течей. Прибор регистрирует поток гелия через входной порт и преобразует сигнал масс-спектрометрической системы в показание потока течи.
Ионизирует молекулы гелия и регистрирует ток ионов.
Создает высокий вакуум в анализаторе и обеспечивает отбор газа.
Переключает режимы предварительной откачки, измерения, калибровки и напуска.
5. Подготовка к работе
Перед вводом течеискателя в эксплуатацию необходимо проверить комплектность, состояние упаковки, отсутствие повреждений, условия помещения и готовность персонала. NHJ 600 поставляется собранным. NHJ 400 и NHJ 800 требуют соединения верхнего модуля течеискателя с нижним насосным модулем.
| Комплект | Наименование | Количество |
|---|---|---|
| NHJ 400 / NHJ 800 | верхний модуль течеискателя | 1 |
| NHJ 400 / NHJ 800 | нижний насосный модуль | 1 |
| Все модели | пистолет для обдува гелием | 1 |
| Все модели | комплект документации | 1 |
| Все модели | кабель питания 3 м | 1 |
| Все модели | гелиевая подушка с клапаном | 1 |
| Все модели | центрирующее кольцо DN 25 ISO-KF | 2 |
| Все модели | хомут DN 25 ISO-KF | 2 |
| Все модели | сильфон DN 25 ISO-KF длиной 1500 мм | 1 |
LeakLab может дополнительно подобрать вакуумные шланги, переходники, фильтры, контрольные течи, редукторы для гелия, щупы, комплекты уплотнений, запорную арматуру и принадлежности для проверки конкретных изделий.
5.2. Сборка NHJ 400 и NHJ 800
Порядок сборки
Распакуйте оборудование, установите нижний насосный модуль на ровный пол, зафиксируйте колеса, снимите боковые крышки, соедините верхний и нижний модули болтами М5, установите выпускную линию насоса, соедините вакуумные патрубки сильфоном DN 25 ISO-KF, установите боковые панели и подключите питание насосного модуля.
6. Принципиальная схема
Схема показывает взаимодействие форвакуумного насоса, турбомолекулярного насоса, масс-спектрометрической ячейки, датчиков давления, встроенной калибровочной течи, входного порта и клапанного блока.
| Узел | Назначение |
|---|---|
| Механический вакуумный насос | создает предварительное разрежение и поддерживает давление на выходе ТМН |
| ТМН | создает высокий вакуум и обеспечивает отбор газа |
| Масс-спектрометр | регистрирует ионы гелия |
| P1 | измеряет давление во входном патрубке |
| P2 | контролирует давление на выходе ТМН |
| V1 | соединяет выход ТМН с форвакуумной ступенью |
| V2 | открывается при предварительной откачке |
| V3 | режим средней чувствительности |
| V4 | режим точного измерения |
| V5 | клапан встроенной калибровочной течи |
| V6 | клапан напуска воздуха во входную область |
7. Применение по назначению
Основными элементами управления являются входной патрубок, сенсорный экран и кнопки ZERO, START, STOP. Входной патрубок используют для подключения проверяемого объема, вакуумной камеры или щупа.
Включение
Перед включением проверьте условия помещения, защитное заземление, напряжение сети, целостность кабеля и состояние входного порта. Для включения нажмите общий выключатель питания. После автоматического запуска прибор переходит в режим готовности.
Смена языка
Если прибор запускается с китайским интерфейсом, перейдите в настройки языка, выберите русский язык и вернитесь на главный экран.
Экран готовности
| Параметр | Назначение |
|---|---|
| Режим | вакуумный метод или метод щупа |
| Фоновое значение | текущий уровень фонового сигнала гелия |
| P1 | давление во входном патрубке |
| P2 | давление на выходе ТМН |
| Громкость | уровень звуковой сигнализации |
Меню
Для входа в меню нажмите кнопку в верхнем левом углу экрана. Базовый пароль доступа к меню: 8.
| Раздел меню | Назначение |
|---|---|
| Звуковая сигнализация | уставки и громкость сигналов |
| Измерение | режим, фильтрация, ZERO, единицы измерения |
| Калибровочная течь | параметры калибровки |
| Аналоговый выход | вывод давления или потока |
| Цифровой интерфейс | обмен данными и внешнее управление |
| Прочие настройки | пароль, время, язык |
| Установки | сервисные параметры |
7.4. Настройка измерений
| Настройка | Возможные значения | Смысл |
|---|---|---|
| Режим работы | Вакуум или щуп | выбор метода испытания |
| Входной порт | стоп без продувки, отдельная продувка, продувка с задержкой | порядок завершения измерения |
| Выбор катода | автоматически, катод 1, катод 2 | выбор катода ионного источника |
| Давление ULTRA | задается пользователем | давление открытия V4 |
| Фильтрация | динамическая или статическая | устойчивость показаний или скорость отклика |
| Режим измерений | Авто, GROSS, FINE, ULTRA | внутренний путь газа к масс-спектрометру |
| Единицы течи | Па·м³/с, мбар·л/с, атм·см³/с | единицы для протокола |
| Режим ZERO | ручной или автоматический | вычитание фонового сигнала |
Режим грубого измерения при более высоком давлении. Открыты V1 и V2.
Режим точного измерения. Открыты V1 и V3.
Режим максимальной чувствительности. Открыты V1 и V4.
Калибровочная течь
| Параметр | Варианты |
|---|---|
| Тип течи | внутренняя, внешняя без клапана, внешняя с клапаном |
| Проверка на утечку | включена или выключена |
| Величина течи | значение из паспорта калибровочной течи |
| Режим калибровки | сканирование, быстрая калибровка, фиксированное значение |
Нельзя вводить произвольное значение калибровочной течи. Ошибка в этом параметре напрямую искажает результат контроля.
7.5. Интерфейсы
| Интерфейс | Назначение |
|---|---|
| RS232 | локальная связь с компьютером или регистратором |
| RS485 | промышленная линия связи |
| I/O Interface | цифровые входы и выходы управления |
| AOUT | аналоговый сигнал давления или потока |
| Remote | подключение внешнего пульта |
| Канал | Назначение |
|---|---|
| IN_CH1 | калибровка |
| IN_CH2 | переключение вакуум / щуп |
| IN_CH3 | функция ZERO |
| IN_CH4 | STOP |
| IN_CH5 | STOP при 0, START при 1 |
| OUT_CH1-OUT_CH4 | триггеры 1-4 |
| OUT_CH5 | уставка по P1 |
| OUT_CH6 | уставка по P2 |
| OUT_CH7 | готовность |
| OUT_CH8 | ошибка |
Подключение к внешнему контроллеру выполняют только после проверки распиновки, уровней сигналов и электрической совместимости.
8. Методы гелиевого течеискания
Вакуумный метод
Внутренняя полость изделия или вакуумная камера откачивается, затем наружная поверхность обдувается гелием. При наличии сквозного дефекта гелий проходит внутрь и регистрируется течеискателем.
Метод щупа
Изделие заполняют гелием или гелиевой смесью под давлением выше атмосферного. Оператор перемещает щуп вдоль вероятных зон утечки и регистрирует выход пробного газа.
Метод вакуумной камеры
Изделие заполняют гелием, помещают в вакуумную камеру и измеряют суммарный поток гелия из всех дефектов без локализации. При превышении критерия выполняют дополнительную локализацию.
LeakLab помогает выбрать метод гелиевого течеискания, определить схему подачи пробного газа, подобрать давление, концентрацию гелия, оснастку, вакуумную камеру и порядок оформления результатов.
9. Обслуживание
Если течеискатель длительное время не используется, его рекомендуется включать один раз в 2-3 недели на 2-3 часа. После длительного простоя следует проверить фон и выполнить калибровку.
Масло механического насоса
В исправном насосе масло должно быть чистым, прозрачным и светло-желтым. Потемнение, помутнение, запах перегрева, влага или механические частицы указывают на необходимость замены. Первую замену выполняют через 100 часов работы, далее через 2000-3000 часов, но не реже одного раза в год.
| Операция | Действие |
|---|---|
| Подготовка | остановить прибор и сливать масло из теплого насоса |
| Слив | открутить сливную пробку и слить масло в емкость |
| Удаление остатков | кратковременно включить насос и повторно слить масло |
| Контроль уплотнения | заменить кольцо пробки при повреждении |
| Заливка | залить масло до максимального уровня и повторно проверить после пуска |
Запасные части
| № | Наименование | Характеристика | Количество |
|---|---|---|---|
| 1 | Кольцо уплотнительное круглого сечения, резина | 10×1,8 | 1 шт. |
| 2 | Кольцо уплотнительное круглого сечения, резина | 10,6×1,8 | 1 шт. |
| 3 | Кольцо уплотнительное круглого сечения, резина | 19×1,8 | 1 шт. |
| 4 | Кольцо уплотнительное круглого сечения, резина | 38,7×1,8 | 2 шт. |
| 5 | Кольцо уплотнительное круглого сечения, резина | 9×2,65 | 1 шт. |
| 6 | Кольцо уплотнительное круглого сечения, резина | 11,2×2,65 | 1 шт. |
| 7 | Кольцо уплотнительное круглого сечения, резина | 12,5×2,65 | 1 шт. |
| 8 | Кольцо уплотнительное круглого сечения, резина | 15×2,65 | 1 шт. |
| 9 | Кольцо уплотнительное круглого сечения, резина | 17×2,65 | 1 шт. |
| 10 | Кольцо уплотнительное круглого сечения, резина | 20×2,65 | 2 шт. |
| 11 | Кольцо уплотнительное круглого сечения, резина | 53×2,65 | 1 шт. |
| 12 | Кольцо уплотнительное круглого сечения, резина | 28×5,3 | 1 шт. |
| 13 | Хомут | DN 25 ISO-KF | 1 шт. |
| 14 | Вакуумное масло для версии NHJ 400 | LVO100 | 1 л |
| 15 | Ионный источник | По комплектации прибора | 1 шт. |
| 16 | Плата питания | По комплектации прибора | 1 шт. |
| 17 | Блок питания ионного источника | По комплектации прибора | 1 шт. |
| 18 | Плата управления блоком клапанов | По комплектации прибора | 1 шт. |
| 19 | Вентилятор | 12038, 24 В / 8024 | 1 шт. |
| 20 | Блок питания | NES-200-24 | 1 шт. |
LeakLab поставляет запасные части и расходные материалы для течеискателей серии NHJ, выполняет диагностику, замену уплотнений, обслуживание насосов, настройку калибровки и ремонт электронных узлов.
9.4. Устранение неисправностей
Диагностику начинают с проверки сетевого питания, предохранителей, кабелей, положения выключателей, герметичности входного соединения и показаний датчиков давления.
| Узел | Признак | Причина | Действие |
|---|---|---|---|
| Блок питания | Прибор не включается. | Нет питания от сети, отключен выключатель, перегорел предохранитель. | Проверьте подсветку выключателя, кабель, розетку, заземление и предохранители. |
| Дисплей | Экран не включается. | Отсутствует питание дисплея или нарушен контакт разъема. | Проверьте разъем питания дисплея и целостность кабеля. |
| Вентилятор | Вентилятор не вращается. | Нарушено подключение, отсутствует питание 24 В или заблокирована крыльчатка. | Проверьте питание вентилятора и отсутствие механической блокировки. |
| Механический насос | Насос не включается. | Насос не подключен, выключен локальный выключатель или отсутствует питание. | Проверьте подключение насоса и состояние разъема питания. |
| Механический насос | Насос не обеспечивает требуемое давление. | Негерметичность соединений, загрязнено масло, недостаточный уровень масла или открыта крупная течь. | Проверьте вакуумные соединения, масло, выпускную линию и наличие крупных течей. |
| Турбомолекулярный насос | ТМН не запускается. | Недопустимое давление на выходе, отсутствует питание или нарушено подключение кабеля управления. | Проверьте давление на выходе ТМН, индикацию контроллера и кабель управления. |
| Входной патрубок | Прибор не может откачать подключенный объем. | Объем негерметичен, открыта крупная течь или не срабатывает клапан V2. | Проверьте входное соединение, уплотнения, хомуты, клапан V2 и объект контроля. |
| Ионный источник | Отсутствует питание ионного источника. | ТМН не вышел на режим или нарушено подключение источника. | Проверьте состояние ТМН, кабель питания источника и отсутствие активных ошибок. |
| Ионный источник | Постоянное переключение между катодами. | Нестабильный контакт проводов, повреждение катода или нарушение цепи питания. | Проверьте подключение проводов. При повторении требуется диагностика. |
| Кнопки управления | Не работают ZERO, START или STOP. | Неисправна кнопка, загрязнен контакт или повреждена цепь управления. | Проверьте контакты кнопок и состояние панели управления. |
| Кнопки управления | Прибор сам переходит из измерения в готовность. | Ложное срабатывание STOP, внешний сигнал или ошибка управляющей цепи. | Проверьте кнопку STOP, внешние сигналы и входы интерфейса. |
9.5. Коды ошибок
| Код | Сообщение | Причина | Действие |
|---|---|---|---|
| E01 | защита катода | колебание давления или крупная течь | проверить входной порт и повторить измерение |
| E02 | недопустимое давление во входном порту | давление не снижается или неисправен V2 | проверить подключение, уплотнения, объект и V2 |
| E03 | превышено время калибровки по течи | калибровочная течь подключена некорректно | проверить внутреннюю или внешнюю калибровочную течь |
| E04 | превышено время измерения фона | высокий фон или неполное закрытие V5 | снизить фон, проверить V5 |
| E05 | малое отличие течи от фона в вакуумном режиме | ошибка калибровочной течи или катода | проверить течь и катод |
| E06 | течь меньше фона в вакуумном режиме | высокий фон или неверное значение течи | проверить фон и значение течи |
| E07 | малое отличие фона от измерения в режиме щупа | гелиевый фон в помещении или ошибка течи | проветрить зону и проверить течь |
| E08 | течь меньше фона в режиме щупа | высокий фон или ошибка калибровки | снизить фон и повторить калибровку |
| E09 | превышено число попыток вакуумирования течи | неисправна или негерметична течь | проверить калибровочную течь |
| E10 | малое значение измеренного сигнала | неисправность измерительной системы | проверить ионный источник и соединения |
| E11 | не достигнут режим измерения | крупная негерметичность входного объема | проверить фланцы, заглушки и объект |
| E12 | частые переключения клапанов | нестабильное давление на входе | использовать GROSS и стабилизировать давление |
| E13 | высокое давление на входе насоса | поступление атмосферного воздуха | устранить негерметичность |
| E14 | колебания давления P1 | плохой контакт датчика P1 | проверить датчик P1 и кабель |
| E15 | некорректное питание катода | плохой контакт или неисправность цепи | проверить ионный источник |
| E16 | истекло время запуска | ТМН не выходит на режим | проверить ТМН, питание и форвакуум |
| E17 | прорыв атмосферы через V1 | резкий приток воздуха | переподключить изделие и повторить измерение |
| E18 | прорыв атмосферы через V3 | приток воздуха в контур FINE | проверить входной тракт |
| E19 | прорыв атмосферы через V4 | приток воздуха в контур ULTRA | проверить входную линию |
| E20 | ошибка высокого напряжения анода | цепь анода или питание источника | остановить работу и выполнить сервис |
| E21 | низкий ток эмиссии | нестабильная эмиссия катода | перезапустить измерение, проверить катод |
| E22 | высокий ток эмиссии | отклонение режима эмиссии | перезапустить измерение, проверить источник |
| E23 | ошибка подсветки экрана | питание дисплея | проверить экран и кабель |
| E24 | ошибка питания 80 В | отклонение внутреннего питания | проверить цепь питания 80 В |
| E25 | ТМН не готов | насос не вышел на скорость | проверить ТМН и контроллер |
| E26 | ошибка связи с ТМН | нет обмена с контроллером ТМН | проверить кабель связи |
| E27 | таймаут обратной связи ТМН | нет ответа от контроллера насоса | проверить кабель управления и плату |
| E28 | нет потока через щуп | засорен фильтр или линия щупа | проверить входной фильтр и щуп |
| E29 | высокое давление в щупе | повреждение или утечка щупа | проверить щуп и линию отбора |
Если ошибки повторяются после базовой проверки, течеискатель рекомендуется направить в LeakLab на диагностику. Специалисты проверят кабели, контроллер ТМН, фильтры, щуповую линию, вакуумную схему, ионный источник и показания давления.
9.6. Протокол обмена
Команды передаются в текстовом виде и завершаются символом возврата каретки <CR>, который соответствует шестнадцатеричному значению 0x0D.
Общий формат строки: COMMAND<CR> или PARAMETER n1 n2 n3 ... <CR>.
| Команда | Назначение | Ответ | Пояснение |
|---|---|---|---|
| LR, G4 | считать поток течи и статус | LR=1.00E-09 MEAS | MEAS измерение, STBY готовность, CALI калибровка, ACCL запуск, ERRO ошибка |
| ZERO | включить или отключить ZERO | OK | изменяет состояние функции обнуления фона |
| S1 | считать состояние прибора | MEAS | возвращает MEAS, STBY, CALI, ACCL, ERRO или STOP |
| START | запустить измерение | OK или ER01 | OK означает успешный запуск, ER01 означает невозможность запуска |
| STOP | остановить измерение | OK или ER01 | OK означает корректную остановку |
| S2 | считать текущий статус | 00100001 | биты показывают превышение уставок, запуск, измерение, метод |
| S3 | считать состояние реле | 00100001 | биты показывают состояние триггеров и наличие ошибки |
| G3 | считать давление P1 | 1.0E-5 | пример означает 1,0×10-5 мбар |
| G5 | считать единицы течи | 1 | код единиц нужно сверять с версией интерфейса |
| G6 | считать единицы давления | 1 | 0 Па, 1 мбар, 2 атм или бар |
| U13412 | установить триггер 1 | OK | пример задает 3,4×10-12 |
| U50 | установить фильтр | OK | 0 динамическая фильтрация, 1 статическая |
| EXT CAL | проверить порт | OK | при отсутствии ответа проверить кабель и скорость порта |
| TESTC | проверить строку | OK или ER01 | проверка корректности обмена |
| U615 | установить громкость | OK | задает уровень звуковой сигнализации |
| U81508 | установить калибровочную течь | OK | пример задает 1,5×10-8 |
| U91 | установить режим измерения | OK | 0 авто, 1 грубый режим, 3 точный режим |
Автоматическая запись команд без проверки состояния может привести к неправильному режиму измерения, ошибочным уставкам и неверной оценке герметичности.
10. Техническая поддержка и сервисное обслуживание
Течеискатель серии NHJ включает масс-спектрометрическую ячейку, ТМН, форвакуумную ступень, клапанный блок, датчики давления, ионный источник, электронные платы управления и интерфейсы связи. Для сохранения чувствительности и ресурса необходимо выполнять регулярное обслуживание.
Внедрением течеискателей серии NHJ на территории России, техническим обслуживанием, ремонтом, диагностикой, настройкой, подготовкой к поверке и поставкой запасных частей занимается лаборатория контроля герметичности LeakLab.
Что подготовить перед отправкой прибора
Подготовьте описание неисправности, модель, серийный номер, фотографии экрана с ошибкой, условия возникновения проблемы, сведения о последнем обслуживании, применяемом масле, пробном газе, калибровочной течи и объектах, которые подключались к прибору.
Перед транспортировкой входной порт должен быть закрыт чистой заглушкой, прибор надежно упакован, а подвижные элементы и принадлежности зафиксированы.
11. Срок службы, гарантийные условия и паспортные сведения
Срок службы течеискателя определяется условиями эксплуатации, качеством обслуживания, чистотой подключаемых объектов, режимом работы насосов, состоянием катодов, правильностью хранения и соблюдением требований руководства.
| Ситуация | Влияние на гарантию и обслуживание |
|---|---|
| Прибор использовался согласно инструкции, но возник заводской дефект | неисправность устраняется в порядке гарантийного обслуживания |
| Прибор поврежден из-за неправильного подключения, загрязнения, влаги или недопустимых газов | восстановление выполняется как платный ремонт после диагностики |
| Пользователь самостоятельно вскрыл прибор без согласования | гарантийные обязательства могут быть ограничены |
| Требуется замена масла, уплотнений, фильтров или катодов | работы относятся к регламентному обслуживанию |
| Прибор направляется на диагностику или подготовку к поверке | проверяется вакуумная система, фон, насосы, отклик и интерфейсы |
Паспортные данные прибора
Для надежной эксплуатации течеискателя NHJ рекомендуется вести журнал включений, калибровок, ошибок, сервисных работ, замены масла, замены фильтров, проверки калибровочных течей и ремонта.