Винтовой вакуумный насос CBVAC SSH610H (600 м³/ч, 0,5 Па)
CBVAC SSH610H — промышленный сухой винтовой насос с переменным шагом винта, рассчитанный на непрерывную работу при высокой газовой нагрузке и требовании к чистому безмасляному вакууму. Конструкция двухроторного винтового блока с синхронным электроприводом и инверторным управлением обеспечивает устойчивую откачку от атмосферного давления до предельного остаточного давления 0,5 Па при номинальной производительности 600 м³/ч (10 000 л/мин). Отсутствие масла в рабочей камере исключает риск контаминации и упрощает эксплуатацию в чистых производствах.
Назначение и особенности конструкции
Насос предназначен для технологических линий PVD/CVD, плазменных процессов, вакуумной сушки и дегазации, фармацевтических и химических установок, а также для систем контроля герметичности. Переменный шаг винта оптимизирует профиль сжатия по длине ротора, снижая удельные потери и акустическую нагрузку. Двойной электропривод с водоохлаждаемыми синхронными двигателями на постоянных магнитах поддерживает высокую энергоэффективность и стабильный температурный режим. Предусмотрены азотная продувка и уплотняющий газ для защиты внутренних полостей от конденсации и отложений при работе с влагосодержащими и химически нейтральными газами. Управление реализовано по RS-485 с удалёнными дискретными входами/выходами для интеграции в АСУТП.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Быстрота действия | 10 000 л/мин; 600 м³/ч; 353 cfm |
| Предельное остаточное давление | 0,5 Па (5×10⁻³ мбар; 3,75×10⁻³ Torr) |
| Рабочий диапазон окружающей среды | +5…+40 °С; относительная влажность ≤ 80 % |
| Электропитание | трёхфазное 380/220 В, 50/60 Гц |
| Номинальная установленная мощность приводов | 3,9 кВт + 5,5 кВт; тип привода — синхронный, водоохлаждаемый, с ПЧ |
| Ориентировочная потребляемая мощность в рабочем режиме | 0,4 кВт + 2,3 кВт |
| Соединение по входу | VG80 |
| Соединение по выходу | KF40 |
| Охлаждение | водяное; расход 4–8 л/мин; 3–5 кг/см²; 0–25 °С; подключение Swagelok Rc 3/8″ |
| Азотная система | уставка 0,1–0,2 МПа; расход разбавляющего газа 12–100 л/мин; уплотняющий газ 0–12 л/мин; подключение Swagelok 1/4″ |
| Интерфейсы управления | RS-485 (Modbus RTU), удалённые точки I/O |
| Уровень шума | ≤ 75 дБ(А) |
| Габаритные размеры | 850×400×800 мм |
| Масса | ≈ 310 кг |
| Номер для заказа | 4.5.A5005 |
Инжиниринговые преимущества применения SSH610H
Переменный шаг винта обеспечивает равномерное распределение сжимающей нагрузки, что уменьшает локальный нагрев и повышает ресурс подшипников. Полностью сухая камера исключает миграцию углеводородов в вакуумный объём и позволяет использовать насос в контуре, где предъявляются требования к чистоте по ISO классовым помещениям. Встроенная продувка азотом формирует инертную среду в критических зонах и предотвращает полимеризацию паров, а водяное охлаждение стабилизирует геометрию и зазоры роторов при длительной работе на высоком перепаде давлений. Управление по RS-485 обеспечивает мониторинг скорости, токов, температур и состояния уплотняющих газов, что упрощает предиктивное обслуживание.
Интеграция и типовые схемы
SSH610H устанавливается в любом положении на виброизолированные опоры. Рекомендуется прямой вакуумный тракт по входу VG80 с минимальным числом поворотов и конфузоров. По выхлопу KF40 допускается подключение к газоотводящему коллектору с акустическим глушителем и конденсатоуловителем. При работе с влажными средами целесообразен подогрев корпуса и использование азотной завесы. Для линий PVD/CVD насос часто эксплуатируется в составе каскада с бустером типа Roots; для систем контроля герметичности применяется как единый сухой форвакуум с низким фоном углеводородов.
Сервис и поддержка в РФ
Поставка, шеф-монтаж, ввод в эксплуатацию и регламентное обслуживание SSH610H выполняются сервисным центром CBVAC в России на базе лаборатории контроля герметичности «Ликлаб». Лаборатория обеспечивает подбор конфигурации под технологический процесс, поставку оригинальных комплектующих, метрологическое сопровождение систем вакуумирования и обучение обслуживающего персонала. Для действующих установок доступна модернизация с переводом на сухую откачку и интеграция по RS-485 в АСУТП заказчика.