Винтовой вакуумный насос CBVAC SSH2220H (2200 м³/ч, 0,5 Па)
CBVAC SSH2220H — это мощный промышленный сухой винтовой вакуумный насос с переменным шагом винта, предназначенный для непрерывной работы в условиях высоких газовых нагрузок и повышенных требований к чистоте вакуума. Модель обеспечивает производительность 2200 м³/ч (36 666 л/мин) при предельном давлении до 0,5 Па и используется в технологических процессах, где недопустимо применение маслосодержащих насосов: в полупроводниковом, химическом, фармацевтическом и исследовательском оборудовании.
Конструкция и принцип действия
SSH2220H основан на запатентованной схеме с переменным шагом двух винтовых роторов, вращающихся синхронно в корпусе без контакта. Благодаря этому отсутствует износ, вибрации минимальны, а рабочая камера остаётся полностью сухой. Газ засасывается через фланец ISO160, последовательно сжимается и выбрасывается через выхлопной порт KF40 без участия масла или уплотняющей жидкости. Встроенный водоохлаждаемый электропривод с постоянным магнитом и инверторным управлением обеспечивает плавный запуск, стабильную работу и высокий коэффициент энергоэффективности класса IE4.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Быстрота действия | 36 666 л/мин (2200 м³/ч; 1294 cfm) |
| Предельное остаточное давление | 0,5 Па (5×10⁻³ мбар; 3,75×10⁻³ Torr) |
| Электропитание | 380/220 В, 50/60 Гц, три фазы |
| Номинальная мощность двигателей | 5,5 + 5,5 кВт (7,4 + 7,4 л.с.) |
| Рабочая мощность | 0,8 + 2,5 кВт |
| Входное соединение | ISO160 |
| Выходное соединение | KF40 |
| Охлаждение | водяное, расход 4–8 л/мин, давление 3–5 кг/см², температура 0–25 °С, разъём Swagelok Rc 3/8″ |
| Азотная продувка | давление 0,1–0,2 МПа, расход 12–100 л/мин, подключение Swagelok 1/4″ |
| Интерфейс управления | RS-485 и удалённые дискретные I/O |
| Рабочая температура | +5…+40 °С |
| Влажность | до 80 % RH |
| Уровень шума | ≤ 75 дБ(А) |
| Габариты (Д×Ш×В) | 1006×520×885 мм |
| Масса | 500 кг |
| Номер для заказа | 4.5.A5033 |
Особенности и преимущества SSH2220H
- Переменный шаг винта повышает эффективность сжатия и снижает шумовую нагрузку.
- Сухой вакуум без масла обеспечивает чистоту технологического процесса и отсутствие углеводородного загрязнения.
- Синхронные двигатели с постоянными магнитами — высокая эффективность, минимальные потери энергии и низкая температура корпуса при длительной эксплуатации.
- Двойной привод позволяет стабильно поддерживать производительность при скачках давления или изменении газовой нагрузки.
- Система водяного охлаждения поддерживает постоянную температуру и исключает перегрев при непрерывной работе.
- Азотная продувка и уплотнение защищают роторный блок от конденсации паров, коррозии и загрязнений.
- Современная электроника управления (RS-485, Modbus RTU) обеспечивает мониторинг и интеграцию в системы АСУТП.
Области применения
SSH2220H используется в отраслях, где требуется мощная и чистая откачка без масляных загрязнений:
- полупроводниковая промышленность (вакуумное напыление, травление, дегазация);
- фарм- и химпроизводства с контролем чистоты среды;
- вакуумные камеры контроля герметичности;
- технологии PVD/CVD и плазменная обработка;
- вакуумная сушка, дегазация и откачка перед наполнением газом высокой чистоты;
- научные исследовательские установки и криогенные системы.
Сервис и поддержка «Ликлаб»
В России насосы серии SSH, включая модель SSH2220H, официально поставляются и обслуживаются Лабораторией контроля герметичности «Ликлаб» — аккредитованным центром по вакуумной технике и оборудованию CBVAC. Специалисты «Ликлаб» выполняют полный комплекс услуг: проектирование систем вакуумирования, подбор насосного оборудования, пусконаладку, калибровку и обучение персонала. Для промышленных предприятий предусмотрено сервисное обслуживание, модернизация действующих установок и метрологическое сопровождение испытаний на герметичность.
«Ликлаб» является официальным сервисным партнёром CBVAC в России и поддерживает всю линейку винтовых насосов SSH — от лабораторных моделей до крупных промышленных систем производительностью свыше 3000 м³/ч.