Русское справочное издание · версия 24.08.2026
Полный русскоязычный текст руководства по монтажу, подключению, эксплуатации, управлению и техническому обслуживанию турбомолекулярных вакуумных насосов CBVAC серии JFB размещен непосредственно на этой странице. Доступен поиск по 119 страницам; PDF сохранен как дополнительный визуальный источник схем и чертежей.
Объем HTML119 страниц исходного текста
Исходное руководство119 страниц CBVAC
Основной форматоткрытый HTML на русском языке
Критические разделыDB15, DB37, RS485, Modbus RTU
Назначение русского руководства CBVAC JFB
Серия JFB объединяет турбомолекулярные вакуумные насосы различных типоразмеров и исполнений. Руководство предназначено для инженеров, проектировщиков вакуумных систем, специалистов по автоматизации, наладчиков и сервисного персонала. Оно помогает сопоставить конкретную модель насоса с допустимым способом монтажа, контроллером, электрическим интерфейсом, требованиями к форвакуумной ступени, охлаждению и алгоритму управления.
Русская версия не заменяет идентификационную табличку конкретного изделия, проектную документацию установки и требования безопасности предприятия. Перед работами следует проверить точное обозначение насоса и контроллера, вариант фланцев, питание, комплект кабелей и принадлежностей. При различии между общей информацией серии и маркировкой поставленного оборудования приоритет имеют данные конкретного изделия и оригинальные страницы производителя, сохраненные в PDF.
Как обеспечена проверяемость перевода
В PDF каждая исходная страница сохранена без изменения и сопровождается русской страницей перевода. Такой формат позволяет одновременно работать с русским текстом и контролировать геометрию схем, кривые графиков, номера контактов, регистры, коды неисправностей и исходные числовые значения.
Поддерживаемые модели турбомолекулярных насосов JFB
Руководство охватывает следующие обозначения оборудования CBVAC. Обозначения моделей в переводе не изменялись:
- JFB-63/81M
- JFB-63/81MJ
- JFB-63/81
- JFB-100/251
- JFB-100/301
- JFB-160/401
- JFB-160/450D
- JFB-160/700
- JFB-160/701
- JFB-200/1400
- JFB-200/1401
- JFB-250/2200
- JFB-250/2201
- JFB-400/4201
Для выбора конкретной модели следует учитывать требуемую быстроту действия, состав откачиваемого газа, входной фланец, допустимое форвакуумное давление, пространственное положение, способ охлаждения, контроллер и условия процесса. Точные характеристики приведены в соответствующих таблицах и графиках PDF; их нельзя переносить с одной модели на другую без проверки.
Что входит в руководство
Документ последовательно описывает устройство и применение насосов, подготовку места установки, механический и вакуумный монтаж, подключение охлаждения, защитного газа, питания и управления. Отдельные главы посвящены контроллерам, внешнему управлению, последовательному интерфейсу, параметрам протокола, диагностике и принадлежностям.
| Раздел | Практическая задача | Что проверять особенно внимательно |
|---|---|---|
| Технические данные | Сопоставление модели и условий процесса | Единицы, газ, фланец и принадлежность строки конкретной модели |
| Графики | Оценка быстроты действия и степени сжатия | Название модели, газ N2, He, Ar или H2, шкалы и диапазоны осей |
| Габаритные чертежи | Проектирование присоединения и опор | Тип фланца, размерная линия, положение патрубков и кабелей |
| Монтаж | Безопасное включение насоса в вакуумную систему | Крепление, ориентация, форвакуумная линия, вибрация и защита ротора |
| Контроллеры | Подключение питания и внешних сигналов | Модель контроллера, разъем, номер контакта и уровень сигнала |
| RS485 / Modbus RTU | Интеграция с ПЛК или системой диспетчеризации | Адрес устройства, код функции, регистр, масштабирование, ответ и CRC |
| Диагностика | Определение причины остановки или невозможности пуска | Код, фактические условия установки и рекомендуемая последовательность проверки |
Требования безопасности
Турбомолекулярный насос содержит ротор, работающий с высокой частотой вращения. Ошибка монтажа, попадание постороннего предмета, резкий напуск газа, механический удар или работа вне разрешенных условий могут повредить оборудование и создать опасность для персонала. Монтаж, ввод в эксплуатацию и обслуживание должны выполнять специалисты, знакомые с вакуумной и электротехнической безопасностью.
В переводе сохранена иерархия предупреждений производителя: ОПАСНО, ПРЕДУПРЕЖДЕНИЕ, ОСТОРОЖНО и ВНИМАНИЕ. Нельзя исключать предупреждение из рабочей инструкции только потому, что конкретная операция кажется стандартной.
- Не запускайте турбомолекулярный насос без исправного форвакуумного насоса и подготовленной форвакуумной линии.
- Не допускайте попадания жидкостей, твердых частиц и загрязнений, не разрешенных для выбранного исполнения и процесса.
- Обеспечьте надежное механическое крепление и заземление до подачи питания.
- Не отсоединяйте насос, кабель, контроллер, линии охлаждения или защитного газа до безопасной остановки и снятия энергии.
- Не разбирайте высокоскоростной узел и не изменяйте заводскую балансировку ротора.
- Не ослабляйте требования к охлаждению, вентиляции контроллера, температуре окружающей среды и допустимой вибрации.
Важно
Перечень выше служит навигацией по теме, а не заменой полных предупреждений. Перед операцией откройте соответствующий раздел PDF и прочитайте все относящиеся к ней условия производителя.
Монтаж насоса и компоновка вакуумной системы
Работа турбомолекулярного насоса зависит не только от паспортной быстроты действия. На фактический результат влияют проводимость трубопроводов, диаметр и длина коммуникаций, количество поворотов, состояние уплотнений, газовая нагрузка, производительность форвакуумной ступени и алгоритм включения клапанов. Поэтому насос рассматривают как часть единой вакуумной системы.
Входной высоковакуумный фланец
Насос устанавливают так, чтобы присоединение к камере было коротким, жестким и чистым. Фланец, крепеж и уплотнение должны соответствовать конкретному исполнению. При проектировании опоры учитывают массу оборудования, реакцию при аварийной остановке и недопустимость передачи внешних нагрузок на корпус насоса. Габаритные чертежи в PDF сохранены в исходной геометрии.
Форвакуумная линия
Форвакуумный насос должен обеспечивать условия, необходимые выбранной модели JFB во время разгона и установившейся работы. Чрезмерное сопротивление форвакуумной линии повышает давление на выходе турбомолекулярной ступени и может вызвать перегрев, длительный разгон либо аварийную остановку. Для диагностики полезно контролировать давление в линии и состояние форвакуумного насоса независимо от показаний контроллера JFB.
Чистота и подготовка
Перед соединением удаляют транспортные заглушки только в чистой зоне, проверяют уплотнительные поверхности и исключают попадание инструмента или частиц. Загрязненные детали очищают способом, совместимым с материалами и технологическим процессом. После монтажа выполняют проверку герметичности вакуумных соединений.
Информация LeakLab для пользователей в России
При интеграции насоса специалисты LeakLab могут проверить форвакуумную ступень, вакуумные коммуникации, герметичность соединений, охлаждение, электропитание и последовательность управления клапанами. Это отдельная инженерная услуга и не изменяет требований руководства производителя.
Охлаждение, вентиляция и защитный газ
Выбор способа охлаждения зависит от модели, тепловой нагрузки, процесса и условий размещения. Если предусмотрено водяное охлаждение, до запуска проверяют направление подключения, расход, давление, температуру и отсутствие утечек. Водяные каналы не должны быть пережаты или загрязнены. Контроллер устанавливают с учетом свободной циркуляции воздуха и теплового режима электрического шкафа.
Защитный или продувочный газ применяют только в тех исполнениях и режимах, где это предусмотрено документацией. Его задача и точка ввода зависят от процесса. Состав, чистота, давление и расход должны соответствовать требованиям конкретной модели; произвольное увеличение подачи не является способом повысить ресурс насоса.
Если система содержит клапан напуска, его алгоритм связывают с частотой вращения ротора и состоянием форвакуумной линии. Слишком быстрый напуск может создать недопустимую нагрузку. Параметры остановки и напуска следует брать из раздела соответствующего контроллера и модели.
Контроллеры JFB и электрические интерфейсы
Руководство описывает несколько поколений контроллеров. Перед подключением необходимо сверить обозначение на корпусе: одинаковое название серии насоса не означает одинаковую распиновку или одинаковый набор функций контроллера.
| Контроллер | Что описано в руководстве | Контроль перед подключением |
|---|---|---|
JFB-I | Органы управления, индикация, подключение насоса и внешние сигналы | Разъем, питание, заземление и назначение каждого контакта |
JFB-II | Управление, отображение состояния и интерфейсы | Исполнение контроллера и соответствующая схема подключения |
JFB-II-G3 | Отдельный вариант контроллера с собственными схемами | Не переносить распиновку с JFB-II без сверки |
JFB-III / JFB-III-B | Панель, внешнее управление, сигналы состояния и неисправности | Суффикс исполнения, тип разъема, сухие контакты и уровни сигналов |
JFB-VI / JFB-VI-B | Расширенное управление, последовательный интерфейс и параметры | Версия, адрес устройства, скорость обмена и карта регистров |
DB15 и DB37
Распиновки DB15 и DB37 относятся к критически важным данным. В PDF сохранены оригинальные изображения разъемов и номера контактов. При монтаже выполняют проверку по цепочке «номер контакта → имя сигнала → электрический тип → назначение». Названия сигналов на английском сохранены там, где это помогает исключить неоднозначность при сопоставлении с маркировкой контроллера.
Особое внимание требуется выходам неисправности, разрешению запуска, выбору локального или удаленного режима, общему проводу, экранированию и сухим контактам. Не следует определять назначение контакта по расположению на соседней модели контроллера.
Информация LeakLab для пользователей в России
Для подключения к шкафу управления LeakLab может подготовить таблицу сигналов, проверить кабель, логику разрешения запуска, аварийные блокировки и фактическое соответствие распиновки модели контроллера. Изменения в заводские цепи выполняются только после документированной сверки.
RS485 и Modbus RTU
Последовательный интерфейс позволяет получать состояние насоса и передавать поддерживаемые команды внешней системе управления. В руководстве сохранены параметры обмена, структура запросов и ответов, коды функций, коэффициенты масштабирования и карта регистров.
В русской версии без изменения оставлены шестнадцатеричные адреса, включая 0x0001, диапазон 0x1000–0x1021 и регистры 0x2000–0x2010, присутствующие в исходном документе. Наличие адреса в общем перечне не означает, что каждая версия контроллера поддерживает одинаковый режим чтения и записи: перед программированием необходимо открыть таблицу конкретного контроллера.
Порядок безопасной интеграции
- Сверить модель и версию контроллера, физический разъем и линии
RS485. - Проверить адрес устройства, формат кадра, скорость и параметры последовательного соединения.
- Начать с разрешенных операций чтения и сопоставить полученные значения с дисплеем контроллера.
- Для каждой команды записи проверить код функции, адрес регистра, допустимый диапазон и масштабирование.
- Реализовать тайм-аут, проверку ответа и
CRC, а также безопасное состояние при потере связи. - Не использовать канал связи как единственный уровень аварийной защиты оборудования.
Критическая сверка
Карта Modbus в PDF предназначена для точного чтения. Нельзя автоматически смещать адреса на единицу из-за соглашений конкретной SCADA или библиотеки: сначала выясните, ожидает ли программный инструмент адрес регистра или его отображаемый номер.
Пуск, рабочий режим и останов
Перед пуском проверяют механическое крепление, вакуумные соединения, форвакуумный насос, клапаны, охлаждение, защитный газ при его применении, питание, заземление, кабели и выбранный режим управления. Контроллер должен распознавать насос и не показывать активную неисправность.
Последовательность пуска
Систему предварительно откачивают в соответствии с проектным алгоритмом, после чего разрешают разгон турбомолекулярного насоса. Во время разгона контролируют давление, частоту вращения, ток, температуру, состояние охлаждения и отсутствие необычного шума или вибрации. Продолжительный выход на режим нельзя считать нормальным без проверки форвакуумного давления и газовой нагрузки.
Рабочий режим
В установившемся режиме фиксируют параметры, которые затем можно использовать как опорные при диагностике: давление на входе и в форвакуумной линии, состояние контроллера, тепловой режим, параметры охлаждения и характер процесса. Изменение одного показателя оценивают вместе с остальными условиями системы.
Останов и напуск
Останов выполняют штатной командой, сохраняя форвакуум и охлаждение на требуемом этапе замедления. Клапан напуска открывают только по разрешенному алгоритму. Перед демонтажем дожидаются полной остановки ротора, отключают питание, исключают повторный запуск и безопасно выравнивают давление.
Техническое обслуживание
Обслуживание включает регулярный визуальный контроль, проверку кабелей и разъемов, состояния охлаждающих каналов, чистоты фланцев, работы форвакуумного насоса и истории диагностических сообщений. Интервалы зависят от модели, среды и режима эксплуатации; точные значения в часах или годах следует брать из таблиц PDF.
Загрязнение процесса может потребовать сокращения интервала. Наличие стабильного вакуума не отменяет контроль охлаждения и форвакуумной ступени. Работы, связанные с высокоскоростным ротором, подшипниковым узлом, балансировкой или внутренней электрической частью, выполняют только в объеме, разрешенном изготовителем.
Что фиксировать в журнале
- модель и серийный номер насоса и контроллера;
- дату ввода в эксплуатацию и фактическую наработку;
- параметры форвакуумной ступени и охлаждения;
- изменения процесса, состава газа и газовой нагрузки;
- коды неисправностей, обстоятельства их появления и выполненные действия;
- замененные принадлежности, кабели и компоненты системы.
Если оригинал предписывает возврат оборудования изготовителю, эта рекомендация сохранена в переводе по смыслу и не заменена локальным рекламным текстом.
Коды неисправностей и поиск причины
Диагностическое сообщение указывает направление проверки, но не всегда однозначно определяет отказ. Например, невозможность разгона может быть связана с повышенным форвакуумным давлением, утечкой, газовой нагрузкой, охлаждением, питанием, кабелем, внешней блокировкой или самим насосом. Поэтому код сопоставляют с фактическим состоянием всей установки.
- Записать точный код, показания дисплея и момент технологического цикла.
- Без повторных запусков проверить условия безопасности, питание, кабели и охлаждение.
- Сверить код с таблицей именно того контроллера, который установлен на объекте.
- Проверить форвакуумное давление, герметичность, положение клапанов и газовую нагрузку.
- После устранения внешней причины выполнить только разрешенную процедуру сброса и контролируемый пуск.
- При повторении неисправности сохранить журнал параметров и обратиться к квалифицированному сервисному специалисту.
Информация LeakLab для пользователей в России
LeakLab выполняет диагностику вакуумной системы и может отделить неисправность насоса или контроллера от проблем форвакуумной ступени, утечки, охлаждения, кабельных соединений и внешнего алгоритма управления. Для первичного разбора полезны фотографии шильдиков, код ошибки, схема установки и журнал параметров.
Полный текст руководства CBVAC JFB на русском языке
Ниже размещен полный текст всех 119 страниц исходного руководства. Текст открыт в HTML, доступен браузерному поиску и поисковым системам. На 93 страницах дополнительно приведены оригинальные схемы, графики, фотографии, интерфейсы, распиновки и таблицы из PDF. Модели, электрические сигналы, коды неисправностей, адреса регистров, единицы и протоколы сохранены в исходных обозначениях.
Поиск по руководству
Введите слово, модель, код неисправности или адрес регистра.
Страница исходного PDF 1 из 119
К поиску и содержаниюРУКОВОДСТВО ПО ЭКСПЛУАТАЦИИ
Турбомолекулярные вакуумные насосы CBVAC серии JFB
МОДЕЛИ:
JFB-63/81M; JFB-63/81MJ; JFB-63/81; JFB-100/251; JFB-100/301;
JFB-160/401; JFB-160/450D; JFB-160/700; JFB-160/701;
JFB-200/1400; JFB-200/1401; JFB-250/2200; JFB-250/2201; JFB-400/4201.
Русский инженерный перевод подготовлен LeakLab. Обозначения, размеры, распиновки,
регистры и числовые характеристики сопоставлены с оригиналом CBVAC.
Страница исходного PDF 2 из 119
К поиску и содержаниюОГЛАВЛЕНИЕ
Указания по безопасности — 1
1. Описание изделия — 2
1.1 Обзор изделия — 2
1.2 Преимущества — 2
1.3 Области применения — 2
Схемы насосов серии JFB — 3
1.4 Расшифровка обозначения изделия — 5
1.5 Состав изделия — 5
1.6 Технические характеристики — 6
1.6.1 Перечень параметров — 6
1.6.2 Кривые быстроты действия — 13
1.6.3 Требования к условиям монтажа — 15
1.6.4 Габаритные и присоединительные размеры — 15
2. Транспортирование и хранение — 21
3. Монтаж — 22
3.1 Указания и ограничения — 22
3.2 Проверка комплектности — 22
3.3 Подготовительные работы — 22
3.4 Монтаж — 23
4. Подключение системы управления — 28
4.1 Контроллеры JFB-I, JFB-II и JFB-II-G3 — 28
4.1.1 Органы управления и функции — 28
4.1.2 Индикаторы — 29
4.1.3 Внешний интерфейс ввода-вывода — 29
4.1.4 Подключение внешнего управления — 31
4.1.5 Интерфейс RS485 — 34
4.1.6 Протокол RS485 (Modbus RTU) — 34
4.1.7 Коды неисправностей — 42
4.2 Контроллер JFB-III — 44
4.2.1 Органы управления и функции — 44
4.2.2 Индикаторы состояния — 45
4.2.3 Рабочие индикаторы — 45
4.2.4 Внешний интерфейс управления — 46
4.2.5 Интерфейс RS485 — 48
4.2.6 Modbus RTU — 48
4.2.7 Коды неисправностей JFB-III — 48
4.3 Контроллер JFB-III-B — 51
4.3.1 Панель управления — 51
4.3.2 Интерфейсы задней панели — 54
4.3.3 RS485 — 57
4.3.4 Внешний интерфейс ввода-вывода — 59
Страница исходного PDF 3 из 119
К поиску и содержаниюОГЛАВЛЕНИЕ (ПРОДОЛЖЕНИЕ)
4.3.5 Работа с контроллером JFB-III-B — 62
4.3.6 Монтаж JFB-III-B и JFB-VI — 62
4.3.7 Коды неисправностей JFB-III-B — 63
4.4 Контроллер JFB-VI — 67
4.4.1 Внешний вид — 67
4.4.2 Рабочие показатели — 68
4.4.3 Внешний интерфейс DB15 — 69
4.4.4 RS485 / Modbus RTU — 70
4.4.5 Задняя панель контроллера с питанием 220 VAC — 72
4.4.6 Эксплуатация — 72
4.4.7 Коды неисправностей — 73
4.4.8 Поиск типовых неисправностей — 74
4.5 Контроллер JFB-VI-B — 77
4.5.1 Внешний вид и размеры — 77
4.5.2 Рабочие показатели — 78
4.5.3 Внешний интерфейс DB15 — 79
4.5.4 RS485 / Modbus RTU — 80
4.5.5 Экран контроллера — 83
4.5.6 Эксплуатация — 83
4.5.7 Коды неисправностей и предупреждений — 87
4.5.8 Поиск типовых неисправностей — 94
5. Эксплуатация — 97
5.1 Условия пуска — 97
5.2 Пуск системы охлаждения — 97
5.3 Подача защитного газа — 97
5.4 Условия пуска насоса — 97
5.5 Пуск — 98
5.6 Разгон — 98
5.7 Работа — 98
5.8 Останов — 98
5.9 Напуск после останова — 99
6. Работа в специальных условиях — 100
6.1 Сильное магнитное поле — 100
6.2 Повышенный радиационный фон — 100
6.3 Запылённая среда — 100
6.4 Вибрация — 101
6.5 Условия, требующие водяного охлаждения — 101
7. Техническое обслуживание — 102
7.1 Малое обслуживание — 102
7.2 Расширенное обслуживание — 102
7.3 Общие принципы обслуживания — 103
7.3.1 Гарантийные условия — 103
Страница исходного PDF 4 из 119
К поиску и содержаниюОГЛАВЛЕНИЕ (ОКОНЧАНИЕ)
7.3.2 Сервисное обслуживание — 104
8. Анализ неисправностей — 105
9. Данные для заказа принадлежностей — 108
9.1 Перечень принадлежностей A — 108
9.2 Перечень принадлежностей B — 110
10. Сертификация CE и SEMI — 113
Страница исходного PDF 5 из 119
К поиску и содержаниюУКАЗАНИЯ ПО БЕЗОПАСНОСТИ
Перед монтажом и наладкой насоса внимательно прочитайте настоящее руководство. Соблюдение приведённых требований необходимо для устойчивой, безопасной и эффективной работы оборудования.
• Эксплуатируйте турбомолекулярный вакуумный насос только в условиях, указанных в руководстве.
• К эксплуатации и техническому обслуживанию допускается только обученный персонал.
ОПАСНО
1. Турбомолекулярные вакуумные насосы не предназначены для откачки химически активных, коррозионно-активных и токсичных сред.
2. При подъёме и ручном перемещении насоса исключите его выскальзывание и падение.
3. Электрические подключения должен выполнять обученный персонал.
4. До начала технического обслуживания или ремонта отключите электропитание.
ОСТОРОЖНО
1. Во время работы насос может нагреваться. Не прикасайтесь к нагретым поверхностям во избежание ожогов.
2. Для транспортирования насоса и соединительных кабелей используйте оригинальную упаковку.
ВНИМАНИЕ
Во время работ не допускайте повреждения форвакуумной части турбомолекулярного насоса, наружных кромок насоса и контроллера.
Изделия этой серии предназначены только для получения высокого и сверхвысокого вакуума и откачки сухих инертных газов. Насос должен работать совместно с соответствующим требованиям форвакуумным насосом. В процессе эксплуатации необходимо регулярно выполнять техническое обслуживание.
Насосы не предназначены для откачки жидкостей, конденсирующихся паров и взрывоопасных веществ. Не допускается эксплуатация в теплоизолированном герметичном объёме. При транспортировании, монтаже и эксплуатации не подвергайте оборудование сильной вибрации и ударам.
CBVAC сохраняет право окончательного толкования содержания руководства. Изменения, связанные с совершенствованием продукции, могут вноситься без отдельного уведомления.
Страница исходного PDF 6 из 119
К поиску и содержанию1. ОПИСАНИЕ ИЗДЕЛИЯ
1.1 Общие сведения
Турбомолекулярный вакуумный насос представляет собой высокоскоростной кинетический вакуумный насос. Для оборудования этой серии характерны быстрый разгон, широкий рабочий диапазон, низкое энергопотребление, высокая чистота создаваемого вакуума и удобное управление. Насосы применяются для получения высокого и сверхвысокого вакуума.
Руководство охватывает насосы на магнитном подвесе, модели со смазываемыми керамическими подшипниками и модели с масляной смазкой. В документ включены исполнения JFB-63/81M, JFB-63/81MJ, JFB-63/81, JFB-100/251, JFB-100/301, JFB-160/401, JFB-160/450D, JFB-160/700, JFB-160/701, JFB-200/1400, JFB-200/1401, JFB-250/2200, JFB-250/2201 и JFB-400/4201, в том числе раздельные исполнения. Номинальные диаметры входных фланцев: DN63, DN100, DN160, DN200, DN250 и DN400.
1.2 Преимущества
Технические характеристики:
• устойчивость к осаждению технологических загрязнений и пыли;
• высокая степень сжатия, высокая частота вращения и большая быстрота действия;
• эффективное охлаждение и высокая надежность;
• высокая допустимая газовая нагрузка.
Особенности конструкции и управления:
• возможность монтажа в разных пространственных положениях в пределах требований конкретной модели;
• удобное подключение системы напуска и продувки;
• интегрированные контроллеры для компактной компоновки;
• раздельные контроллеры для дистанционного управления;
• управление пуском и остановом одной командой, настройка рабочей частоты вращения.
1.3 Области применения
Нанесение декоративных, инструментальных, стекольных и оптических покрытий; производство токопроводящего стекла и солнечных элементов; светотехническая промышленность; производство LCD-панелей; камеры имитации внешних условий; вакуумная металлургия; вакуумная дегазация; системы контроля герметичности и другие технологические установки высокого вакуума.
Страница исходного PDF 7 из 119
К поиску и содержаниюJFB-63/81M(J)
Рисунок 1: Схематическая схема насосов серии JFB на магнитном подвесе
JFB-63/81 JFB-100/251 JFB-100/301
JFB-160/401(JFB-160/450D) JFB-160/700(701)
JFB-200/1400(1401) JFB-250/2200(2201)
Рисунок 2: Схематическая схема JFB Серия смазочных турбомолекулярные вакуумные насосы
Страница исходного PDF 8 из 119
К поиску и содержаниюJFB-100/301 JFB-160/401(450D) JFB-160/700(701)
JFB-200/1400(1401) JFB-250/2200(2201)
Рисунок 3: Схематическая схема JFB Серия смазочных турбомолекулярные вакуумные насосы - типы разбрызгивания
JFB-400/4201
Рисунок 4: Схематическая схема JFB Серия смазочных масел с турбомолекулярным вакуумным насосом (комплексный и раздельный тип))
Страница исходного PDF 9 из 119
К поиску и содержанию1.4 Разъяснение кода продукта
Обозначение модели: JFB-XX/XXXX-X
1.5 Структурная единица
Забрать JFB-200/1401 В качестве примера можно привести смазанный смазочный встроенный турбомолекулярный вакуумный насос, как показано на следующей картине::
Рисунок 5: Схематическая схема структурного состава
1- Форвакуумный патрубок 2- Штуцер охлаждающей воды 3- LF Фланец 4- Кожух насоса 5- Корпус насоса
6- Индикатор состояния 7- контроллер 8- Интерфейс питания 9- Выключатель 10- Аварийная сигнализация
11- Интерфейс вентилятора 12- RS485 13- Запуск/остановка кнопки 14- DB15 внешний интерфейс управления
11
6
7
10 12
4 2
1
13 14 9 8
3
5
10 11 12
Код характеристик, представленный буквами.
Например, D представляет собой антивибрационный тип; M представляет собой однократный тип магнитной ливитации.
Номинальная частота вращения насоса: L/s (последний 0 представляет турботип, последний 1 и другие номера представляют собой составный тип)
Диаметр входа
Страница исходного PDF 10 из 119
К поиску и содержаниюЗабрать JFB-200/1401 В качестве примера можно привести турбомолекулярный вакуумный насос с смазкой жира (расщепленный тип), как показано на следующей фотографии:
Рисунок 6: Схематическая схема структурного состава
1- Форвакуумный патрубок 2- Штуцер охлаждающей воды 3- LF Фланец 4- Кожух насоса
5- Корпус насоса 6- Расположение разъема 7- Заглушка 8- Опорные ножки
1.6 Технический параметр
1.6.1 Список параметров
тип JFB-63/81M JFB-63/81MJ
5 Вакуумные параметры
Абсолютное давление(Pa) ≤8×10^-6 (LF)/ ≤8×10^-7 (CF)
≤1×10^-5 (A)/ ≤1×10^-4 (B)/
≤1×10^-3 (C)
быстрота действия(L/s)
N2 He N2 He
85 55
A:40 A:45
B:8 B:10
C:4 C:5
Коэффициент сжатия 3×10
9
3×10
6
A:2×10
9
A:2×10
6
B:5×10
7
B:7×10
4
C:3×10
4
C:2×10
2
Максимальное непрерывное давление на входе(Pa)
3 5
A:5 A:10
B:40 B:50
C:160 C:180
Максимальное непрерывное давление на выходе(Pa) 1200
Критическое давление на выходе(Pa) 1800
3
4
5
6 7 8
1
2
Страница исходного PDF 11 из 119
К поиску и содержанию5 Физические параметры
Фланец впускного отверстия DN63 ISO-K(LF)или CF Потоки с несколькими потоками(A; B; C)
Экспортный фланец DN16 ISO-KF
Штуцер продувки DN16 ISO-KF
Предлагаемый форвакуумный насос(L/s) 0.5~2
Вес (kg)
LF 2.9
CF 3.9
Потоки с несколькими потоками 3.1
Вибрация(g ) ≤0.05
Шум(dB) ≤50(Стандартное воздушное охлаждение)
Провозглашение магнитной ливитации + точные керамические подшипники
Угол установки
Магнитное поле рабочей среды(mT) ≤3(Radial)/≤5(Axial)
Окружающая среда
Температура
Воздушное охлаждение
0~35 °C(Природное охлаждение конвекции может быть достигнуто при 0- °C без соблюдения условий нагрузки на воздух)
Охлаждение воды
0~40 °C(Фланцы требуют водяного охлаждения из-за прогрев, внешней нагрузки воздуха и других условий работы)
Параметры водяного охлаждения
Температура воды:15~25 °C /Давление:0.15Mpa /PH 6~8; чистый/объем потока≥1L/min/Наружный диаметр трубки с водяным охлаждением 6mm
5 Электрические параметры
Контрольная модель JFB-I
Метод связи RS485
Напряжение источника питания 24VDC±5%
Максимальная мощность(W) 100
Номинальная мощность(W) ~7
Режим запуска/остановки
Запуск и остановка контрольных кнопок/RS485 запустить и остановить органы управления/DB15 запустить и остановить органы управления
Функция защиты
Защита контроллера от сверхтока, перенапряжения, пониженного напряжения и перегрева; защита турбомолекулярного вакуумного насоса от сверхтока, перегрузки и перегрева.
Номинальная скорость(r/min) 84000 (1400Hz)
Скорость холостого хода(r/min) 58800 (980Hz)
Страница исходного PDF 12 из 119
К поиску и содержаниюОбычный рабочий ток(A) ≤0.5
Максимальное начало тока(A) ≤3.5
Время ускорения(min) ~2.5
Внеурочное время(min) ~3.5
CBVAC может также обеспечивать использование турбомолекулярные вакуумные насосы для конкретных отраслей, таких, как масс-спектрометрия.
Дополнительную информацию можно получить у наших технических инженеров.
Таблица 1: Перечень параметров JFB-63/81M и JFB-63/81MJ
тип JFB-63/81 JFB-100/251 JFB-100/301 JFB-160/401 JFB-160/450D
5 Вакуумные параметры
Абсолютное давление(Pa)
≤8×10^-6 (LF);
≤8×10^-7 (CF)
≤5×10^-6 (LF);
≤5×10^-7 (CF)
≤5×10^-6 (LF);
≤5×10^-7 (CF)
≤8×10^-6 (LF);
≤8×10^-7 (CF)
быстрота действия (L/s)
N2 He N2 He N2 He N2 He N2 He
85 55 250 200 300 230 460 380 380 310
Коэффициент сжатия 1×10
8
1×10
6
1×10
10
1×10
6
1×10
10
5×10
3
1×10
10
5×10
3
1×10
8
1×10
3
Максимальное непрерывное давление на входе (Pa)
2 4 2 5 10 2 10 2 20 5
Максимальное непрерывное давление на выходе (Pa)
650 300 1200 800 300 200 300 200 20 10
Критическое давление на выходе (Pa)
950 500 2200 1500 1000 500 1000 500 50 20
5 Физические параметры
Фланец впускного отверстия
DN63 ISO-K (LF)или CF
DN100 ISO-K(LF)или CF DN160 ISO-K(LF)или CF
Экспортный фланец DN16 ISO-KF DN25 ISO-KF;KF40 Факультативно
Штуцер продувки DN16 ISO-KF
Предлагаемый форвакуумный насос (L/s)
0.5~2 1~4 2~6 3~8
Вес (kg)
LF 2.7 6 9.6 10
CF 3.9 7.9 10 11
Вибрация (g ) ≤0.05
Шум(dB) ≤50( Стандартное воздушное охлаждение )
Нанесение точных керамических подшипников
Установить любой угол
Страница исходного PDF 13 из 119
К поиску и содержаниюугол
Магнитное поле рабочей среды (mT)
≤3( радиальное ) /≤5( осевое )
Окружающая среда
Температура
Воздушное охлаждение
0~35 °C
Охлаждение воды
0~40 °C( Фланцы требуют водяного охлаждения из-за прогрев, внешней нагрузки воздуха и других условий работы )
Параметры водяного охлаждения
Температура воды:15~25 °C /Давление:0.15Mpa /PH 6~8;Чистый/
Объем потока≥1L/min/
Наружный диаметр трубки с водяным охлаждением
6mm 10mm
5 Электрические параметры
Контрольная модель
JFB-I JFB-II-G3 JFB-II / JFD-II (раздельное исполнение)
Метод связи
RS485
Напряжение источника питания 24VDC±5% 48VDC±5%/220VAC±10%( раздельное исполнение )
Максимальная мощность(W)
100 300 400
Номинальная мощность (W)
~10 ~18 ~30 ~25
Режим запуска/остановки
Запуск и остановка контрольных кнопок/RS485 запустить и остановить органы управления/
DB15 запустить и остановить органы управления
Функция защиты
Защита контроллера от сверхтока, перенапряжения, пониженного напряжения и перегрева; защита турбомолекулярного вакуумного насоса от сверхтока, перегрузки и перегрева.
Номинальная скорость (r/min)
75000 (1250Hz) 54000 (900Hz) 48000 (800Hz) 36000 (600Hz)
Скорость холостого хода (r/min)
52500 (875Hz) 37800 (630Hz) 33600 (560Hz) 25200 (420Hz)
Обычный рабочий ток(A)
≤1
Максимальное начало тока(A)
≤5 ~10 ≤5
Страница исходного PDF 14 из 119
К поиску и содержаниюТаблица 2: Перечень параметров JFB-63/81, JFB-100/251, JFB-100/301, JFB-160/401, JFB-160/450D
тип JFB-160/700 JFB-160/701 JFB-200/1400 JFB-200/1401 JFB-250/2200 JFB-250/2201
5 Вакуумные параметры
Абсолютное давление
(Pa)
≤5×10^-6 (LF) /≤5×10^-7 (CF)
быстрота действия (L/s)
N2 He N2 He N2 He N2 He N2 He N2 He
650 550 650 550 1350 1200 1350 1200 2050 1800 2050 1800
Коэффициент сжатия 1×10
9
1×10
4
1×10
11
1×10
4
1×10
9
1×10
4
1×10
11
1×10
4
1×10
8
1×10
4
1×10
10
1×10
4
Максимальное непрерывное давление на входе(Pa)
2 1 2 1 2 1 2 1 2 1 2 1
Максимальное непрерывное давление на выходе(Pa)
30 10 300 200 20 10 300 200 20 10 200 100
Критическое давление на выходе(Pa)
100 50 1000 500 100 50 1000 500 50 20 500 200
5 Физические параметры
Фланец впускного отверстия DN160 ISO-K(LF)или CF DN200 ISO-K(LF)или CF DN250 ISO-K(LF)или CF
Экспортный фланец DN25 ISO-KF;KF40 Факультативно DN40 ISO-KF;KF50 Факультативно
Штуцер продувки DN16 ISO-KF
Предлагаемая передняя сторона
4~10 8~16 16~24
Вес (kg)
LF 20(16) 30(26) 40(36)
CF 23(19) 34(30) 45(41)
Вибрация(g ) ≤0.05
Шум(dB) ≤60
Нанесение точных керамических подшипников
Угол установки
Магнитное поле рабочей среды(mT)
≤3(Radial)/≤5(Axial)
Время ускорения (min)
~2 ~3 ~5
Внеурочное время(min) ~4 ~10 ~10
Наша компания может также предоставлять турбомолекулярные вакуумные насосы для конкретных отраслей, такие, как масс-спектрометрия.
Дополнительную информацию можно получить у наших технических инженеров.
Страница исходного PDF 15 из 119
К поиску и содержаниюОкружающая среда
Температура
Охлаждение воздуха
5~35 °C
Водоснабжение
-
5~40 °C(Фланцы должны быть охлаждены водой в таких условиях, как прогрев и наружная нагрузка на воздух)
Параметры водяного охлаждения
Температура воды:15~30 °C /Давление:0.15Mpa /PH 6~8;Очистить;
Без масла и взвешенных твердых частиц/объем потока:≥1.5L/min/
Наружный диаметр трубки с водяным охлаждением 10mm
5 Электрические параметры
Контрольная модель JFB-III(-A)интегрированное исполнение; JFB-III-B раздельное исполнение
Метод связи
RS-485
Напряжение источника питания 220VAC±10%
Частота подачи энергии
50/60( 5%)
Максимальная мощность(W) 1000
Номинальная мощность(W) ~65 ~70 ~75
Режим запуска/остановки
Запуск и остановка контрольной кнопки/RS485 запуска и остановки управления/
DB15 Запуск и остановка внешнего контроля
Функция защиты
Защита контроллера от сверхтока, перенапряжения, пониженного напряжения и перегрева; защита турбомолекулярного вакуумного насоса от сверхтока, перегрузки и перегрева.
Номинальная скорость(r/min) 36000 (600Hz) 30000 (500Hz) 24000 (400Hz)
Скорость холостого хода(r/min) 25200 (420Hz) 21000 (350Hz) 16800 (280Hz)
Обычный рабочий ток
≤0.6 ≤1 ≤1
Максимальное начало тока
≤5.5 ≤6.5 ≤6.5
Время ускорения
~5 ~6 ~7
Внеурочное время(min) ~5 ~10
~12
Таблица 3: Перечень параметров JFB-160/700, JFB-160/701, JFB-200/1400, JFB-200/1401,
JFB-250/2200, JFB-250/2201
тип JFB-400/4201
5 Вакуумные параметры
Абсолютное давление(Pa) <2×10^-6 (LF)
быстрота действия(L/s)
N2 He
4200 3000
Коэффициент сжатия 10
8
10
3
Страница исходного PDF 16 из 119
К поиску и содержаниюМаксимальное непрерывное давление на входе(Pa) 10 1.5
Максимальное непрерывное давление на выходе(Pa) 300 200
Критическое давление на выходе(Pa) 560 280
5 Физические параметры
Фланец впускного отверстия DN400 ISO-K(LF)
Экспортный фланец KF40
Штуцер продувки KF16
Предлагаемый форвакуумный насос(L/s) 30~70
Вес(kg)
~95 (интегрированное исполнение)
~90 (раздельное исполнение)
Вибрация(g ) ≤0.25
Шум(dB) ≤60
Нанесение точных керамических подшипников
Вертикальный угол установки ±5°
Магнитное поле рабочей среды(mT) ≤3mT
Температура окружающей среды( °C) 5~40 °C(Охлаждение воды)
Параметры водяного охлаждения
Температура воды≤20 °C;Объем потока:≥3L/min;Давление
0.15Mpa/Наружный диаметр трубки с водяным охлаждением 10mm
5 Электрические параметры
Контроллер типа " Разделение "
Контрольная модель JFB-VI(4U Тип раздела) JFB-VI-A
Краткое описание
440mm×350mm×177mm (L×W×Н)
Обычный октагон; длина борта 350mm;
Высота 90mm
Модель связи RS-485 RS-485
Напряжение источника питания 220VAC±10% 220VAC±10%
Частота подачи энергии(Hz) 50/60(±5%) 50/60( 5%)
Максимальная мощность(W) 1500 2200
Режим запуска/остановки
Запуск и остановка контрольной кнопки/RS485 запуска и остановки управления/DB15 Запуск и остановка внешнего контроля
Функция защиты
Защита контроллера от сверхтока, перенапряжения, пониженного напряжения и перегрева; защита турбомолекулярного вакуумного насоса от сверхтока, перегрузки и перегрева.
Номинальная скорость(r/min) 18000 (300Hz)
Страница исходного PDF 17 из 119
К поиску и содержаниюОбычный рабочий ток(A) 5.4 4.5
Максимальное начало тока(A) ≤10 ≤12
Время ускорения(min) ~20 ~20
Внеурочное время(min) ~30 ~25
Состояние окружающей среды
Отсутствие коррозионных газов и видимых частиц пыли; температура окружающей среды:-10 °C~50 °C/Влажность окружающей среды:≤90%;
Сила вибрации:≤0.5g
Таблица 4: Перечень параметров JFB-400/4201
1.6.2 Кривая быстроты действия
Примечание 1: Вертикальная ось: быстрота действия; горизонтальная ось: давление
Note2: Зелено-нитроген, оранжево-гелий, сине-аргон, красный-гидроген
JFB-63/81M JFB-63/81
JFB-100/251 JFB-100/301
Страница исходного PDF 18 из 119
К поиску и содержаниюJFB-160/401 JFB-160/450D
JFB-160/700(701) JFB-200/1400(1401)
JFB-250/2200(2201) JFB-400/4201
Рисунок 7: Кривая быстроты действия каждого насоса
Страница исходного PDF 19 из 119
К поиску и содержанию1.6.3 Требования к условиям установки
Параметр | Допустимое значение
Место установки | В помещении
Температура окружающей среды | от +5 до +40 °C
Относительная влажность | ≤ 85%
Атмосферное давление | (0,75~1,06) × 10⁵ Pa
Высота над уровнем моря | ≤ 2000 m
Магнитное поле | ≤ 3 mT в радиальном направлении; ≤ 5 mT в осевом направлении
Степень загрязнения | 2, в соответствии с IEC 61010
Радиационный фон | ≤ 10⁵ rad
1.6.4 Габаритные и присоединительные размеры
Модель JFB-63/81M
Исполнение | DN | H | H1 | D | d | n
LF63 | 63 | 163,6 | 113,6 | 95 | — | —
CF63 | 63 | 179,4 | 129,4 | 114 | 92,2 | 8
Размеры приведены в миллиметрах. При проектировании установки необходимо сверять таблицу с габаритным чертежом конкретного исполнения.
Страница исходного PDF 20 из 119
К поиску и содержаниюJFB-63/81MJ
JFB-63/81
JFB-100/251
Страница исходного PDF 21 из 119
К поиску и содержаниюJFB-100/301(JFB-160/401; JFB-160/450D)
тип DN D D h h1 h2 n
JFB-63/81
63 LF 95 161.9 82.5
63 CF 114 92.2 179.4 100 8
JFB-100/251
100 LF 130 201.6 191.6 161.6
100 CF 152 130.3 208 198 168 16
JFB-100/301
100 LF 130 260 192.5 178.5
100 CF 152 130.3 279 211.5 197.5 16
JFB-160/401
160 LF 180 240 173 159
160 CF 202 181 239 172 158 20
JFB-160/450D
160 LF 180 240 173 159
160 CF 202 181 239 172 158 20
Страница исходного PDF 22 из 119
К поиску и содержаниютип DN D D h h1 h3 L
JFB-160/700
JFB-160/701
160 LF 180 218.5 241.8 336.8 201.8 124.8
160 CF 202 218.5 268.8 359.8 224.8 124.8
JFB-200/1400
JFB-200/1401
200 LF 240 267 257.5 352.5 231.5 155.1
200 CF 253 267 274.5 369.5 248.5 155.1
JFB-250/2200
JFB-250/2201
250 LF 290 296 229.8 324.8 203.8 165.3
250 CF 305 296 259.8 354.8 233.8 165.3
Предпосылки
Страница исходного PDF 23 из 119
К поиску и содержаниютип DN D D h h1 h2 L
JFB-160/700
JFB-160/701
160LF 180 218.5 241.8 331.8 201.8 124.8
160CF 202 218.5 268.8 354.8 224.8 124.8
JFB-200/1400
JFB-200/1401
200LF 240 267 257.5 347.5 231.5 155.1
200CF 253 267 274.5 364.5 248.5 155.1
JFB-250/2200
JFB-250/2201
250LF 290 296 229.8 219.8 203.8 165.3
250CF 305 296 259.8 349.8 233.8 165.3
Предпосылки
Страница исходного PDF 24 из 119
К поиску и содержаниюJFB-400/4201 интегрированное исполнение
тип DN D D D h h1 h2 W
JFB-400/4201 400LF 450 400 380 447 269.5 309.5 350
JFB-400/4201 Разделённый тип
тип DN D D D h h1 h2 h3
JFB-400/4201 400LF 450 400 380 439 269.5 309.5 90
Предпосылки
Предпосылки
Впускной отруб
Впускной отруб
Страница исходного PDF 25 из 119
К поиску и содержанию2. Транспортировка и хранение
2.1 а) Удалить оборудование из транспортной ячейки и обеспечить, чтобы продукт не был поврежден во время перевозки. b) Будьте осторожны, чтобы не повредить розетки и соединители во время перевозки.
2.2 a) Во время хранения, пожалуйста, поместите турбомолекулярный вакуумный насос в мешок самоуплотнения с обезжириванием. b) Перед открытием ящика он должен храниться внутри помещений в сухом, вентилируемом и некоррозионном газовом окружении. c) Защита от дождя, сильного холода и прямого солнечного света.: - °C °C e) Хранение в сухой среде.
2.3 a) при перевозке турбомолекулярные вакуумные насосы не использовать в качестве опорных точек переднюю стадию, Штуцер охлаждающей воды и контроллер; b) определить метод и численность персонала для перевозки турбомолекулярного вакуумного насоса на основе веса насоса, указанного в таблице. 1-4 (Глава 1.6.1); с) турбомолекулярные вакуумные насосы представляют собой высокоточное оборудование и должны быть аккуратно установлены в положении установки.
Страница исходного PDF 26 из 119
К поиску и содержанию3. Установка
3.1 Советы и отказы
• Рекомендации: строго запрещается использовать турбомолекулярные вакуумные насосы для удаления газов, содержащих жидкие или твердые частицы.!
• Отказ: требования к энергоснабжению турбомолекулярного вакуумного насоса должны выполняться в соответствии с положениями настоящего руководства.!
3.2 а) Первая проверка запасных частей внутри ящика в соответствии с перечнем упаковки. b) Удалить турбомолекулярный вакуумный насос из ящика для упаковки и проверить на наличие повреждений во время транспортировки. с) Удалить пластиковую оболочку и защитную сетку с высоко вакуумного интерфейса турбомолекулярного вакуумного насоса, надеть чистые перчатки, осторожно повернуть турбинный ротор и следить за тем, насколько гибко он вращается, существуют ли какие-либо ненормальные явления, такие, как глушение или глушение, или
d) Наконец, перезакрепить защитную сетку и пластиковую крышку в порядке.
Осторожность!
• После открытия ящика с упаковкой турбомолекулярного вакуумного насоса, если вы находите какие-либо поврежденные или отсутствующие части, просьба своевременно связаться с нами. Не ремонтируйте или не найдите альтернативных вариантов самостоятельно. z Для предотвращения попадания мусора и пыли внутрь корпуса насоса не держите высокополосный интерфейс и интерфейс форвакуумной ступени открытым в течение длительного времени. z Рекомендуется устанавливать насос в чистой среде. z.
3.3 Подготовка работы до установки
3.3.1 b) Инструменты, используемые в процессе сборки, полностью подготовлены. c) Повторно проверить, был ли вакуумная камера подвергнута воздействию атмосферы. d) Подтвердить положение и угол установки насоса. е) В соответствии с перечнем упаковки, дважды проверяйте насос и его вспомогательные элементы.
3.3.2 Антивибрационные меры:: CBVAC JFB Серия " турбомолекулярный вакуумный насос " представляет собой точное оборудование, и
Страница исходного PDF 27 из 119
К поиску и содержаниюПри эксплуатации следует исключить сильные удары и вибрацию. Насос рекомендуется размещать как можно дальше от источников вибрации. Для установок с повышенной вибрационной нагрузкой предусмотрена антивибрационная модель JFB-160/450D.
3.4 Монтаж
3.4.1 Соединение с вакуумной камерой
Обычно насос устанавливают под соответствующим патрубком вакуумной камеры. Схемы соединения показаны на рисунках 8 и 9. Рекомендуется применять короткий трубопровод того же условного прохода, что и входной фланец насоса. Увеличение длины или уменьшение диаметра трубопровода повышает время откачки камеры и ухудшает достижимое предельное остаточное давление.
Правильное положение и два нерекомендуемых варианта показаны на рисунке 8. При выборе ориентации необходимо учитывать требования таблицы характеристик конкретной модели.
Рисунок 8. Соединение насоса интегрированного исполнения с вакуумной камерой.
Страница исходного PDF 28 из 119
К поиску и содержаниюПравильная установка | Не рекомендуется A | Не рекомендуется B
Рисунок 9: Схематическая схема разреженного насоса и соединения вакуумной камеры
Осторожность!
• Соединение между турбомолекулярным вакуумным насосом и интерфейсом вакуумной камеры должно устанавливаться с помощью соединителей, отвечающих требуемому уровню прочности. z турбомолекулярные вакуумные насосы должны использоваться в сочетании с подходящими передними насосами, и строго запрещается запускать турбомолекулярный вакуумный насос в одиночку! z При подъеме и установке турбомолекулярного вакуумного насоса следует обращать внимание на устойчивость подъемных насосов, с тем чтобы не допустить возникновения на месте неравномерного напряжения, вызывающего растрескивание.!
Страница исходного PDF 29 из 119
К поиску и содержаниюМетоды соединения различных фланцев:
Вакуумный фланг
Тип насоса
Подключиться к инструменту камеры
LF Фленж
LF Фленж Калиперский винт
Слепая дыра в камере
Слепая дыра в камере
Страница исходного PDF 30 из 119
К поиску и содержаниюВакуумный фланг
Тип насоса
Подключиться к инструменту камеры
CF Фленж
CF Проделать дырку
Свободный от кислорода медная прокладка,
Гексагональный болт,
Нут
CF Слепая фланцевая дыра
Гексагональные болты или двойные болты,
гайка
Осторожность!
• соединение Эффективная глубина нити болта/студа ввергнута в слепое отверстие.
≥ z Если фланцы и близлежащие конструкции нагреваются и охлаждаются, то болты должны быть укреплены и ужесточены еще раз. z На диаграмме показаны только два общих метода соединения фланцев, и больше форм соединения будет определяться на основе фактических ситуаций.
Страница исходного PDF 31 из 119
К поиску и содержанию3.4.2 Соединение с форвакуумным насосом
• Между турбомолекулярным и форвакуумным насосами рекомендуется применять металлический или гидроформованный сильфон, частично изолирующий вибрацию.
• Желательно использовать форвакуумный насос с отсечным клапаном и напуском при останове либо установить на его входе отсечной клапан с напуском. Клапан должен срабатывать согласованно с остановом насоса, чтобы предотвратить обратную диффузию масла в вакуумную камеру.
• Для маслозаполненного механического насоса рекомендуется установить на входе сорбционную ловушку, снижающую обратный перенос масла.
3.4.3 Подключение защитного газа
В качестве защитного газа обычно используют чистый технический азот или аргон. Схема подключения показана на рисунке 10. Внутренним ключом выверните штатную пробку штуцера напуска, установите соединение KF16 и подключите узел продувки.
Рисунок 10. Схема подключения защитного газа
1 — штуцер напуска на корпусе насоса;
2 — уплотнительное кольцо;
3 — пробка штуцера напуска;
4 — узел продувки.
ОСТОРОЖНО
• Температура защитного газа должна находиться в диапазоне от +5 до +30 °C.
• Давление защитного газа: 1~1,5 atm.
Страница исходного PDF 32 из 119
К поиску и содержанию4. Инструкции по подключению системы управления
4.1 Контроллеры JFB-I, JFB-II и JFB-II-G3
Рисунок 11: JFB-I/JFB-II/JFB-II-G3 Контрольная группа по операциям
4.1.1 JFB-I/JFB-II/JFB-II-G3 Описание функции контролера
Кнопки/коктейли
Наименование | Описание
Разъем питания (1+;3-)
Разъем входной мощности (JFB-I/JFB-II-G3 контроллер
24VDC Вход;JFB-II контроллер 48VDC Вход)
Плавный пуск
Долговременная установка или первый запуск турбомолекулярного вакуумного насоса требует использования кнопки мягкого запуска для перехода на мягкий режим запуска, а затем нажатие кнопки запуска/остановки для запуска.
Пуск/останов
Долговременная установка или первый запуск турбомолекулярного вакуумного насоса требует использования кнопки мягкого запуска для перехода на мягкий режим запуска, а затем нажатие кнопки запуска/остановки для запуска.
RS485
Этот контроллер может контролироваться верхним компьютером, который может контролировать запуск и остановку
Страница исходного PDF 33 из 119
К поиску и содержаниюмножество устройств, а также контроль и регистрация таких данных, как напряжение, ток, скорость, температура двигателя, состояние работы и состояние неисправностей.
Выпуск в области внешнего контроля
Конкретные определения синглов для PLC внешнее устройство управления (см. 4.1.3 Определение параметров внешнего контроля)
Цифровая трубка, используемая для отображения скорости или состояния неисправности в режиме реального времени
4.1.2 Показатели эффективности работы контролера (см. 1.6.1)
4.1.3 Определение интерфейса внешнего контроля
DB15 соединитель:
Назначение контактов внешнего управления:
Описание функции размера контакт
1
Публичный конец, может быть связан с 24V или COM
Внутри используется двунаправленный оптокупитель, который может быть связан с 24V или COM. Она совместима с двумя общими методами проводки: 24V Эффективный контроль низкого уровня
2
Цифровой ввод данных 1, Приоритет дистанционного управления
V+;Ввод представляет собой приоритет дистанционного контроллера, PC не контролируется
3
Цифровой ввод данных 2, Регулировать функцию дыхательного воздуха
V+;Указания контакт 11 включено, низкое напряжение указывает на
контакт 11 выключено
15
1 8
9
Страница исходного PDF 34 из 119
К поиску и содержанию4
Цифровой ввод данных 3, насосный контроллер включен/отключен
V+;Запустить турбомолекулярный вакуумный насос до установленной скорости. контакт 5 - высокое напряжение, ускорение в соответствии с программой мягкого запуска.
Если контакт 5 - низкое напряжение, ускорение непосредственно до установленной частоты вращения;;
V-;турбомолекулярный вакуумный насос отключение или перезаключение (т.е. короткое замыкание) 4 и 7 для запуска турбомолекулярного вакуумного насоса, отсоединение 4 и 7 для остановки турбомолекулярного вакуумного насоса)
5 Цифровой ввод данных 4, мягкое начало V+;Включить плавный пуск/V-;Выключить плавный пуск
6 Цифровой ввод данных 5, частота вращения холостого хода
V+;Работать на холостом ходу с максимальной частотой вращения по умолчанию 70%
7 +24 V Выход напряжения(V+) +24 V Выходное значение в качестве исходного напряжения для всех цифровых входных данных
8
Цифровые результаты 1, выходной насос при нормальном функционировании
GND: Нет/V+;Да; (I макс.) = 50 mA / 24 V);Если установленная скорость достигает 80% и выходной сигнал является высоким, и считается, что насос запущен нормально
9
Цифровые результаты 2, выводимая информация о подключении мощности
После подключения к электросети, поддержание высокого уровня производительности 24V b) если есть ошибки, выводите низкий уровень (эквивалентно функции выходной мощности при самоиспытании).)
10
Цифровые результаты 3, выходной сигнал неисправности
Если в турбомолекулярный вакуумный насосе имеется какой-либо сбой, он может поддерживать высокий уровень выходной мощности: 24V - турбомолекулярный вакуумный насос является нормальным и обеспечивает низкий уровень работы;
11
Выпуск приложения A1, которая может обеспечивать питание очистного клапана
Высокоуровневая производительность, способная иметь максимальную нагрузку
24V/200mA, может привести в действие очистный клапан и обеспечить его питание
12
Аналоговая выходная мощность, выходное напряжение в соответствии с соотношением фактической частоты вращения/численной частоты вращения
Фактическая скорость;0 -10VDC, Равно 0-100% номинальное число оборотов;
Р≥10КΩ
13 Заземление
Провод заземления, исходная заземление для всех цифровых и аналоговых количеств
Страница исходного PDF 35 из 119
К поиску и содержанию14 RS485A+/ Удаление сухого узла
JFB-I контроллер RS485 Серийный контакт связи /JFB-II/III
Контроллер сухого контакта: Обычно при запуске турбомолекулярного вакуумного насоса контакты открываются, а частота вращения турбомолекулярного вакуумного насоса составляет 0, контакты закрываются, подавая молекулярный сигнал остановки насоса
15 RS485B-/ Удаление сухого узла
4.1.4 Инструкции по проводам для внешнего интерфейса управления
1) Определение и метод проводки пяти каналов DI
Этот контроллер имеет пять DI входные сигналы и функции каждого DI можно найти в определении внешнего контрольного интерфейса в 4.1.3; Пользователи могут использовать вспомогательные результаты 24V энергоснабжение, как DI Электрический источник питания и метод проводки рекомендуется конструировать в соответствии с рисунком 12; Внешние 24V Можно также использовать источник питания, а входящий сигнал может быть сконструирован как высокоэффективный или низкоэффективный, как показано на рисунке 13 и фотографии 14.
Рисунок 12: Применение метода вспомогательного выходного провода и высокоэффективной конфигурации
DB15, контакт 2
DB15, контакт 1
D I5
D I4
D I3
D I1
D I2
DB15, контакт 4
DB15, контакт 3
DB15, контакт 6
DB15, контакт 5
DB15, контакт 7
DB15, контакт 13
+24V/300mA
24V _пользователь
GND_мы er
Страница исходного PDF 36 из 119
К поиску и содержаниюРисунок 13: Принятие внешних решений 24V электропитание и высокоэффективный метод конфигурации
Рисунок 14: Принятие внешних решений 24V Электропитание, метод низкой эффективной конфигурации, внимание к полярности мощности
DB15, контакт 2
DB15, контакт 1
D I5
D I4
D I3
D I1
D I2
DB15, контакт 4
DB15, контакт 3
DB15, контакт 6
DB15, контакт 5
+24V/50mA
+
DB15, контакт 2
DB15, контакт 1
D I5
D I4
D I3
D I1
D I2
DB15, контакт 4
DB15, контакт 3
DB15, контакт 6
DB15, контакт 5
+24V/50mA
+
Страница исходного PDF 37 из 119
К поиску и содержанию2) Четыре форвардных и аналоговых выпуска
Этот контроллер имеет четыре выходных сигнала, все из которых высокоэффективны, с высоким уровнем 24V.:: DO функции каждого сигнала можно найти в определении выводного интерфейса внешнего контроля 4.1.3. Типичная схема соединения показана на рисунке 15.
Рисунок 15: Типичная схема электропроводки для четырехстороннего выходного импульса и аналогового вывода
3) Меры предосторожности для внешних интерфейсов управления проводкой:
• Просьба использовать защищенный провод или извилистую пару для проводки терминалов системы управления, длина провода которых не превышает 3 z Для предотвращения неправильного функционирования, вызванного помехами, линию соединения управляющей цепи следует держать как можно дальше от линии соединения с высоким напряжением.;
• Аналоговый выходной сигнал принимает набор изогнутых парных кабелей, которые могут быть соединены с AO выходной сигнал и GND во избежание вмешательства других цепей в аналоговый сигнал;
+24V
DB15, контакт 8
DB15, контакт 9
DB15, контакт 10
+24V
+24V
DB15, контакт 11
+24V
DB15, контакт 12 AOAO
0~10V
DB15_13Pin GND_UE er
Страница исходного PDF 38 из 119
К поиску и содержанию4.1.5 RS485 Определение интерфейса связи
JFB-I/II-G3 Серийный интерфейс JFB -II Серийный интерфейс
Конкретные определения синглов являются следующими: (Пользователям рекомендуется использовать один метод заземления при подсоединении турбомолекулярного вакуумного насоса. 485 линия связи.:: 485 Воздушный винт на турбомолекулярный вакуумный насосе против оллерного конца не должен быть заземлен, а верхний компьютерный конец клиента должен быть заземлен.)
JFB-I JFB-II-G3 JFB-II Определение
14 13 1 RS485 Серийный порт A+
15 14 2 RS485 Серийный порт B-
/ / 3 /
4.1.6 RS485 (Модбусский протокол Рту))
4.1.6.1 Обзор модбуса
• Модбус - это серийный и асинхронный протокол связи, который является универсальным языком, используемым в PLC или других регуляторах. Этот протокол определяет структуру сообщения, которую контроллер может распознавать и использовать, независимо от сети, через которую они передаются.
• Протокол Modbus не требует специального интерфейса, типичный физический интерфейс: RS485.
4.1.6.2 Протокол связи Modbus для приводного контроллер
A. Общее описание
1) Режим передачи
В RTU режим, отправляемые символы представлены в виде гексадековых чисел. Например, при отправке 31Х, просто отправь 31H в пакет данных. Эта серия контроллер не поддерживает ASCII режим передачи.
Страница исходного PDF 39 из 119
К поиску и содержанию2) Скорость обмена: 9600 bit/s.
3) Структура кадра в режиме RTU
Параметр | Значение
Стартовый бит | 1
Биты данных | 8
Контроль четности | отсутствует
Стоповый бит | 1
4) Контроль ошибок
В режиме RTU применяется контрольная сумма CRC-16. Сообщение рассматривается как непрерывная двоичная последовательность, содержащая биты данных без стартового, стопового и необязательного бита четности. Для Modbus RTU используется обращенное представление полинома 0xA001.
Порядок вычисления CRC-16:
1. Загрузить в 16-битный регистр значение 0xFFFF.
2. Выполнить операцию XOR между очередным байтом сообщения и младшим байтом регистра CRC.
3. Сдвинуть регистр CRC вправо на один бит.
4. Если вышедший младший бит равен 1, выполнить XOR регистра с полиномом 0xA001; если бит равен 0, перейти к следующему сдвигу.
5. Повторить сдвиг восемь раз для текущего байта.
6. Повторить операции для всех байтов сообщения.
7. Добавить к сообщению младший, затем старший байт полученной контрольной суммы CRC.
Страница исходного PDF 40 из 119
К поиску и содержаниюБ. Типы и формат команд
1) Основные коды функций
Код | Наименование | Назначение
03 | Чтение регистров хранения | Получение текущих значений одного или нескольких регистров; не более 10 регистров за один запрос
06 | Запись одного регистра | Запись заданного значения в один регистр хранения
2) Формат пакета данных в режиме RTU
Начальный интервал T1-T2-T3-T4 | Адрес контроллера | Код функции | Область данных | Младший байт CRC | Старший байт CRC | Конечный интервал T1-T2-T3-T4
3) Адреса связи и назначение команд
Команды оперативного контроля позволяют наблюдать параметры и управлять работой двигателя. Команды настройки применяются для задания скорости обмена и адреса контроллера.
Контроллер всегда является ведомым устройством и самостоятельно данные не передает. Ответ формируется только после получения корректной команды от управляющего компьютера. После отправки запроса управляющий компьютер должен дождаться ответа перед передачей следующей команды. Рекомендуемый тайм-аут ответа — 1 s; при меньшем времени возможна потеря данных.
CLO и CHI обозначают соответственно младший и старший байты контрольной суммы CRC. Адреса регистров приведены в шестнадцатеричном виде: например, 0x1000 соответствует 4096, а 0x2000 — 8192 в десятичной системе.
Страница исходного PDF 41 из 119
К поиску и содержаниюЧтение (03 функции, только функция считывания
Описание функции
0x1000 Разрешение частоты вывода:0.1Hz;0~1500.0Hz
0x1001 Прочитать адрес турбомолекулярного вакуумного насоса ID Адрес турбомолекулярного вакуумного насоса:1~247
0x1002 Тип насоса
80:300 тип
81:700 тип
82:1400 тип
83:2200 тип
……
90:450
0x1003 Контрольная модель
Номер версии программного обеспечения (или дата)):
0:v3.20
1:v3.21
2:v3.22 …
0x1004 Текущее состояние сигнализации 0:Обычная система
1:Неисправность системы
0x1005 Текущее положение дел
Представленность в настоящее время:
0- Отключение
1- Беги.
2- Скорость холостого хода
3- плавный пуск
4- неисправность
5- Ускорение
6- Замедление
0x1006 Выпускное напряжение: 1V, Диапазон:0~65535V
0x1007 Текущая резолюция: 0.01A, 100x передача данных
0x1008 Выпускная мощность: 1W, Диапазон:0~65535W
0x1009 Разрешение на температуру двигателя: °C:0~255 °C
0x100A Контрольная температура °C:0~255 °C
0x100B Разрешение на напряжение в шине:1V
0x100C Фактическая скорость 0.1Hz, Диапазон 0~1500.0Hz
0x100D Текущее время работы 1мин.
0x100E Общее время работы/резолюция по мин. 1мин.
Страница исходного PDF 42 из 119
К поиску и содержанию0x100F Общее время работы/час: 1 час
0x1010 Общее число пробегов 0-65535
0x1011 Общее число неисправностей 0-65535
0x1012 Частота технического обслуживания 0-65535
0x1013 Сохранить время отсчета 26280h
0x1014 Положение в области контроля мощности B (Вентный клапан)
0x1015 Текущий код неисправностей (прием JFB-II модель в качестве примера):
E1: Err (Типовая ошибка распознавания)
E2: OC (Чрезмерная защита)
E3: OV (Защита от избыточного напряжения)
E4: LV (Защита под напряжением)
E5: OF (Перегрузка двигателя)
E6: MOT (Перегрева двигателя)
E7: DOT (Преобразователь частоты перегрева)
E8: PM (Быстрое техническое обслуживание, показ Pn)
E9: STE (Не удалось начать)
EA: SPE (Запертый ротор)
EB: Мотор не подключен. и т.д.
0x1016 Последний код неисправности
0x1017 Второй-последний код неисправности
0x1018 Код с третьего по последний
0x1019 Резерв
0x101A Статус местного дистанционного управления
1: Местный орган управления терминалом: механическая кнопка
2: Статус внешнего контроля: DB15 внешний контроль
3: RS485 Контроль за связью
0x101B Целевая скорость вращения
0x101C Максимальная скорость
0x101D Минимальная скорость
0x101E Температура защиты рабочего двигателя
0x101F Скорость холостого хода
0x1020 Время ускорения
0x1021 Только время замедления
Страница исходного PDF 43 из 119
К поиску и содержаниюУстановить (06 Код функции, только функция записи
Описание функции
0x2000 Номинальная частота
Резолюция: 0.1Hz, мягкий запуск/пуск достигает номинальной частоты вращения
0x2001 Максимальная скорость ≥
0x2002 Минимальная скорость:0.1Hz
0x2003
Рабочая температура защиты двигателя
Резолюция:1 °C;Диапазон 25-125 °C
0x2004
Позволить контроллер защищать температуру
Изменения не допускаются
0x2005 Время ускорения
Резолюция: 1ms, дальность: (фактическое ускорение))
JFB-I:80-300мс/Hz; По умолчанию стоимость
100мс/Hz
JFB-II: 300-600мс/Hz, значение по умолчанию 300мс/Hz
JFB-III: Изменения не допускаются
0x2006 Время замедления
Резолюция: 1ms, диапазон: (фактическое замедление))
JFB-I:100-300мс/Hz; По умолчанию стоимость 150мс/Hz
JFB-II: 300-600мс/Hz, значение по умолчанию 500мс/Hz
JFB-III: Изменения не допускаются
0x2007 Скорость холостого хода
В процентах от номинальной частоты вращения диапазон
50% -100%, Представляет 50% -100% номинальной частоты вращения при заводской величине 70%
0x2008
Переключатель мощности A (очистный клапан)
1 - мощность включена, 0 отключается
0x2009
Мощность В (пусковой клапан))
1 - мощность включена, 0 отключается
Страница исходного PDF 44 из 119
К поиску и содержанию0x200A
Команда управления турбомолекулярные вакуумные насосыи
0- Отключение
1- Беги.
2- Скорость холостого хода
3- плавный пуск (каждый) 100Hz, Оставайтесь здесь. 5 минуты)
4- Неисправность
0x200B Установить турбомолекулярный вакуумный насос ID Диапазон 1~247
0x200C Реставрационные установки заводов
0- Неверно
1- Реставрационные установки заводов
2- Перезагрузить время технического обслуживания и увеличить частоту технического обслуживания
0x200D
Целевая скорость (частота))
Резолюция: 0.1Hz, диапазон от самой низкой скорости до самой высокой скорости
0x200E Чистая продолжительность работы
0: Неверно
1: Эффективные
0x200F Резерв
0x2010
485 Заявка на получение контрольных прав
0: Неверно
1: Эффективные
Пример 1: Прочитать данные из 0x0001 в адрес 0x101
Ведущее устройство передает
Добавить код функции
Первый регистр - высокий бит
Первый регистр - низкий бит
Большие количества
Зарегистрировать низкое количество
CRC высокая CRC низкий
0x01 0x03 0x10 0x01 0x00 0x19 CLO CHI
Страница исходного PDF 45 из 119
К поиску и содержаниюОтвет ведомого устройства
Добавить код функции
Количество байт
Регистрация 1 высокая бита
Регистрация
1 Низкий бит
Регистрация
2 высокая бита
Регистрация
2 Низкий бит. CRC высокая CRC низкий
0x01 0x03 0x32
турбомолекулярный вакуумный насос ID Количество байт
турбомолекулярный вакуумный насос ID Количество нижний байт
Высокое положение насоса
Низкое положение насоса. CLO CHI
Пример 2: Считывание исторических ошибок
Ведущее устройство передает
Добавить код функции
Первый регистр - высокий бит
Первый регистр - низкий бит
Большие количества
Зарегистрировать низкое количество
CRC высокая CRC низкий
0x01 0x03 0x10 0x16 0x00 0x03 CLO CHI
Ответ ведомого устройства
Добавить код функции
Количество байт
Регистрация
1 высокая бита
Регистрация
1 Низкий бит
Регистрация
2 высокая бита
Регистрация
2 Низкий бит. CRC высокая CRC низкий
0x01 0x03 0x06
Самый последний высокий байт Малфункти
Самый последний нижний байт Малфункти на
Вторая - последняя неисправность
Вторая-последняя неисправность. CLO CHI
Пример 3: Записать данные 0x2000
Ведущее устройство передает
Добавить код функции
Регистрация
Адрес
Старший байт
Регистрация
Низкий адрес
Обязательная высокая стоимость
Обязательная низкая стоимость
CRC высокая
CRC низкий
0x01 0x06 0x20 0x00 Высокая номинальная частота
Низкая номинальная частота CLO CHI
Страница исходного PDF 46 из 119
К поиску и содержаниюОтвет ведомого устройства
Добавить код функции
Регистрация
Адрес
Старший байт
Регистрация
Низкий адрес
Высокое значение мандатской руды
Мандато малоценный
CRC высокая CRC низкий
0x01 0x06 0x20 0x00 Высокая номинальная частота
Низкая номинальная частота CLO CHI
Пример 4: Настроить адрес
Ведущее устройство передает
Добавить код функции
Регистрация
Адрес
Старший байт
Регистрация
Низкий адрес
Обязательная высокая стоимость
Обязательная низкая стоимость
CRC высокая
CRC низкий
0x01 0x06 0x20 0x0B 0x00 0x01 CLO CHI
Ответ ведомого устройства
Добавить код Код функции
Регистрация
Адрес
Старший байт
Регистрация
Низкий адрес
Обязательная высокая стоимость
Обязательная низкая стоимость
CRC высокая
CRC низкий
0x01 0x06 0x20 0x0B 0x00 0x01 CLO CHI
Внимание:
После успешного установления параметров JFB -I/II контроллер, новые параметры будут введены в действие после включения контроллер снова!
4.1.7 Контроллер Сбой Таблица кода
4.1.7.1 JFB-I/JFB-II Контроллер Сбой Таблица кода
Код неисправности | Тип неисправности e1 Ошибка распознавания модели e2 Аппаратные средства защиты в режиме течения e3 Защита от избыточного напряжения e4 Защита под напряжением e5 Перегрузка двигателя e6 Перегрева двигателя
Страница исходного PDF 47 из 119
К поиску и содержаниюe7 Контроллер перегрева e8 Напоминание о техническом обслуживании, показываемое Pn e9 Ошибка запуска eA Запертый ротор eb Мотор не подключен или отсутствует фаза ec Неисправность торможения ed Сбой в расшифровке ee Погрешность идентификации резистора системы eF Программное обеспечение для защиты тока (может быть сброшена, удалено и возобновлено))
4.1.7.2 JFB-II-G3 Контроллер Сбой Таблица кода
Код неисправности | Тип неисправности e1 Ошибка распознавания модели e2 Аппаратные средства защиты в режиме течения e3 Защита от избыточного напряжения e4 Защита под напряжением e5 Перегрузка двигателя e6 Перегрева двигателя e7 Контроллер перегрева e8 Напоминание о техническом обслуживании, показываемое Pn e9 Ошибка запуска eA Мотор не подключен или отсутствует фаза
Страница исходного PDF 48 из 119
К поиску и содержанию4.2 Контроллер JFB-III
Операционная панель показана на следующей картинке::
Рисунок 16: Контрольная группа по операциям
1-Индикация состояния 2-Внешнее управление 3-Аварийная сигнализация 4-Вентилятор 5-Пуск/останов
4.2.1 JFB-III описание функций и функций:
Описание кнопок/ кнопок
Переключатель, используемый для открытия и закрытия контроллер
Интерфейс Входная электрическая розетка (220V Ввод)
Вентилятор(1-;4+)
Используется для питания вентиляторов в элементах с воздушным охлаждением, по умолчанию 24V DC выходная мощность, 1-контакт 24V -, 4-контакт 24V+
Аварийная сигнализация
Когда возникает неожиданная ситуация с приводным контроллер, этот сигнализатор будет подавать сигнал тревоги, чтобы сообщить пользователю
RS485(1A+;2B-)
Этот привод имеет верхний компьютерный контроль, который может контролировать запуск и остановку нескольких устройств, а также контролировать и регистрировать такие данные, как напряжение, ток, скорость, температура двигателя, рабочее состояние и состояние неисправностей. 1 контакт
A+и 2 контакт B-
1 2
5 4 3
Страница исходного PDF 49 из 119
К поиску и содержаниюЗапуск/остановить управление запуском и остановкой турбомолекулярного вакуумного насоса через внешнюю кнопку запуска/остановки
Выпуск в области внешнего контроля
Конкретные определения синглов для PLC внешнее устройство управления (см. 4.1.3 Результаты внешнего контроля
Определения)
Светопоказатель состояния, используемый для отображения режима работы в режиме реального времени или состояния неисправности
4.2.2 Схематическая схема огней указателя положения
Запуск/запуск/исключение
4.2.3 Контрольные показатели деятельности (см. 1.6.1 список параметров)
Индикатор состояния | Значение
Зеленый свет
Выключено, питание не подключено.
Непрерывное и стабильное освещение
Желтый огонь
Остановка турбомолекулярного вакуумного насоса
Быстрое проблесковое ускорение турбомолекулярного вакуумного насоса (раз в миг) 0.5с)
Медленный проблесковый турбомолекулярный вакуумный насос 2 секунды)
Нормальное замедление турбомолекулярного вакуумного насоса (раз в миг) 1 вторая)
турбомолекулярный вакуумный насос работает при заданной скорости
Красный свет
турбомолекулярный вакуумный насос и контроллер работают нормально
Непрерывное и устойчивое освещение
Страница исходного PDF 50 из 119
К поиску и содержанию4.2.4 Определение внешнего интерфейса результатов контроля (так же, как и 4.1.3)
DB15 соединитель:
Назначение контактов внешнего управления:
Размеры контакт
Описание функции
1 Публичный конец, может быть связан с 24V или COM
Внутреннее использование двухнаправленных оптокуплеров, способных подключаться к 24V или COM, совместимо с двумя общими методами проводки, по умолчанию COM связь
2 Цифровой ввод данных 1, Приоритет дистанционного управления
V+, Ввод представляет собой приоритет дистанционного контроллера, не контролируемого
PC конец
3 Цифровой ввод данных 2, Регулировать функцию дыхательного воздуха
V+, Означает контакт 11 включено, низкое напряжение указывает на контакт 11 выключено
4 Цифровой ввод данных 3, насосный контроллер включен/отключен
V+; Запустить турбомолекулярный вакуумный насос до установленной скорости. контакт 5 - высокое напряжение, ускорение в соответствии с программой мягкого запуска. контакт 5 - низкое напряжение, ускорение непосредственно до установленной частоты вращения;;
V-, турбомолекулярный вакуумный насос отключение или перезаключение (т.е. короткое замыкание) 4 и 7 для запуска турбомолекулярного вакуумного насоса, отсоединение 4 и 7 для остановки турбомолекулярного вакуумного насоса)
5 Цифровой ввод данных 4, мягкое начало V+;Включить плавный пуск; V-, Выключить плавный пуск
6 Цифровой ввод данных 5, частота вращения холостого хода V+;Работать на холостом ходу с максимальной частотой вращения по умолчанию 70%
7 +24 V Выход напряжения(V+) +24 V;Выходное значение в качестве исходного напряжения для всех цифровых входных данных
8
Цифровые результаты 1, выходной насос при нормальном функционировании
GND: Нет; V+, Да, (I макс. = 50 mA / 24 V);Если установленная скорость достигает 80% и выходной сигнал является высоким, и считается, что насос запущен нормально
15 9
8 1
Страница исходного PDF 51 из 119
К поиску и содержанию9
Цифровые результаты 2, выводимая информация о подключении мощности
После подключения к электросети, поддержание высокого уровня производительности
24V b) если есть ошибки, выводите низкий уровень (эквивалентно функции выходной мощности при самоиспытании).)
10 Цифровые результаты 3, выходной сигнал неисправности
Если в турбомолекулярный вакуумный насосе имеется какой-либо сбой, он может поддерживать высокий уровень выходной мощности: 24V - турбомолекулярный вакуумный насос является нормальным и обеспечивает низкий уровень работы;
11
Выпуск приложения A1, которая может обеспечивать питание очистного клапана
Высокоуровневая производительность, способная иметь максимальную нагрузку 24V/200mA, может привести в действие очистный клапан и обеспечить его питание
12
Аналоговая выходная мощность, выходное напряжение в соответствии с соотношением фактической частоты вращения/численной частоты вращения
Фактическая скорость, 0-10VDC, эквивалентная 0-100% номинальное число оборотов;
Р≥10КΩ
13 Наземная проволока, исходная заземление для всех цифровых и аналоговых количеств
14 При запуске турбомолекулярного вакуумного насоса сухие контакты обычно закрываются, контакты открываются, а частота вращения частота вращения турбомолекулярного вакуумного насоса равна 0, контакты закрываются, подавая молекулярный сигнал остановки насоса
15 Удаление сухого узла
Внутренний DB15 Схема схемы JFB-III контроллер:
Внутренняя диаграмма
DB15 интерфейс
Страница исходного PDF 52 из 119
К поиску и содержанию4.2.5 Интерфейс связи RS485
На передней панели контроллера расположен четырехконтактный круглый разъем RS485.
Контакт | Назначение
1 | RS485 A+
2 | RS485 B-
3, 4 | не используются
Для линии RS485 рекомендуется одностороннее заземление экрана: экран не заземляют со стороны контроллера насоса, а подключают к заземлению со стороны управляющего компьютера.
4.2.6 Протокол RS485, Modbus RTU
Параметры протокола соответствуют разделу 4.1.6. После изменения адреса контроллера JFB-III необходимо перезапустить питание, чтобы новая настройка вступила в силу.
4.2.7 Коды неисправностей контроллера JFB-III
Код | Неисправность или защита
E01 | Перегрев турбомолекулярного вакуумного насоса
E02 | Сверхток турбомолекулярного вакуумного насоса
E03 | Перегрузка турбомолекулярного вакуумного насоса
E04 | Превышено время пуска
E05 | Требуется техническое обслуживание
Страница исходного PDF 53 из 119
К поиску и содержаниюE06 Защита контроллера от перегрева
E07 Защита контроллера от короткого замыкания
E08 Защита контроллера от перенапряжения
E09 Защита контроллера от пониженного напряжения
E10 Другая неисправность
E10.10 Перенапряжение при разгоне
E10.11 Избыточное напряжение при замедлении
E10.12 Перенапряжение при постоянной частоте вращения
E10.13 Пониженное напряжение шины постоянного тока
E10.20 AC Потеря энергии на этапе подачи энергии
E10.21 AC/DC Перегрузка мощности
E10.22 AC/DC Чрезмерное напряжение
E10.23 AC/DC Перегрев источника энергии
E10.24 DC перегрузка входной мощности
E10.25 Сбой в работе контактного устройства
E10.26 Ошибка отключения питания
E10.27 AC избыточное напряжение входной мощности
E10.28 AC Недостаток напряжения в входном питании
E10.30 Короткая цепь в выходном режиме силовой цепи
E10.31 Выходная нагрузка водителя
E10.32 Нагрузка на тормозной резистент(I2t)
E10.33 Неисправность оборудования тормозного сопротивления
E10.34 Сбой в работе датчика температуры водителя
E10.36 Температура окружающей среды слишком высока
E10.37 Температура окружающей среды слишком низкая
E10.38 Температура силового устройства слишком высока
E10.39 Короткая цепь силового устройства
E10.40 Неисправность вентилятора
E10.41 CPU перегрева
E10.42 Неисправность оборудования для малоскоростного тормозного сопротивления
E10.43 3.1.2 Неисправность системы перегрева тормозного резистента
E10.50 Разблокировка двигателя
Страница исходного PDF 54 из 119
К поиску и содержаниюE10.51 Потеря моторной фазы
E10.52 Короткая замыкание двигателя
E10.53 Перегрузка двигателя
E10.55 Сбой в работе двигателя
E10.56 Сбой в работе датчика температуры двигателя
E10.60 RS485 Ошибка связи
E10.61 CAN Неисправность связи с автобусами
E10.62 Имитировать неисправность в разъединении входа
E10.70 Чрезмерное отклонение скорости
E10.71 Неисправность регулировки двигателя
E10.72 Фактическая скорость превышает верхнее предельное значение
E10.73 Частота отклонения превышает границу
E10.74 Ошибка замены моторной системы
E10.80 Неправильный выбор параметров шпинделя
E10.81 флеш-память Выключить аномалию
E10.82 Неверный пароль 3 время
E10.83 Параметры водителя не включены
E10.84 FPGA Запущена собака
E10.85 Параметры водителя не загружены
E10.86 PWM Сбой в выходе
E10.87 Модель абнормальных чипов
E10.88 Исключение из флеш-память-записи
E10.89 PS Запущена собака
E10.90 Погрешность регистрации времени выхода
Страница исходного PDF 55 из 119
К поиску и содержанию4.3 JFB-III-B контроллер
Эксплуатационный щит и его размеры показаны на рисунках 17 и 18:
Рисунок 17: Схематическая схема операционной панели
1. Индикатор мощности 6. [Кнопка " Стоп/сохранение ".
2 — кнопка «Меню»
4 [Настройка] 9 Неисправность индикатора
5 переключатели мощности, 10 Показать экраны
Рисунок 18: Схематическая схема размеров операционной панели
4.3.1 JFB-III-B Описание группы контролеров
Общая панель состоит из нескольких частей, включая: LCD экран экрана, индикатора мощности, индикатора неисправностей, пуговицы и переключателя мощности.
1) POWER SWITCH: Контроллер включается/выключается. "ON" Когда выключатель поворачивается в положение, контроллер включается. "OFF" положение, контроллер выключается.
2):: LCD На экране дисплея может быть выключена кнопка с помощью. Основной интерфейс отображает текущее рабочее состояние вакуумного насоса и меню
1 234
5678910
Страница исходного PDF 56 из 119
К поиску и содержаниюПанель управления JFB-III-B
В области индикации отображаются установленные параметры и текущее состояние. Кнопки «Меню», «Настройка», «Вверх» и «Вниз» используются совместно для просмотра и изменения параметров.
Кнопка | Назначение
Меню | Переход между главным экраном и страницами меню
Настройка | Выбор параметра и подтверждение изменения
Вверх | Перемещение вверх или увеличение значения
Вниз | Перемещение вниз или уменьшение значения
Пуск | Пуск турбомолекулярного вакуумного насоса в локальном режиме
Останов/сброс | Краткое нажатие останавливает насос; при активной неисправности длительное нажатие выполняет разрешенный сброс контроллера
3) Работа с передней панелью
Дисплей LCD включает главный экран и меню.
а) Главный экран
На главном экране отображаются модель насоса, линейное выходное напряжение, фазный ток, температура двигателя DT, температура силового модуля MT, текущее состояние, наработка, источник управления, фактическая и заданная частота вращения.
Страница исходного PDF 57 из 119
К поиску и содержаниюб) Меню
Нажмите кнопку «Меню», чтобы перейти с главного экрана в меню. Повторные нажатия переключают страницы. На странице «Настройки» кнопка «Меню» открывает страницу «Отображение параметров», а на странице параметров возвращает к главному экрану.
в) Настройка параметров
1. Выбор параметра
Кнопками «Вверх» и «Вниз» выберите нужный пункт, затем нажмите «Настройка». Например, при выборе источника управления открывается список допустимых вариантов.
2. Сохранение параметров
Если параметры изменены, при выходе кнопкой «Меню» контроллер запрашивает подтверждение сохранения. Кнопками «Вверх» и «Вниз» выберите действие и подтвердите его кнопкой «Настройка». При успешном сохранении открывается страница отображения параметров; при ошибке контроллер остается на странице настроек.
Страница исходного PDF 58 из 119
К поиску и содержаниюЕсли параметры не изменялись, кнопка «Меню» сразу открывает страницу отображения параметров.
г) Страница отображения параметров
Кнопками «Вверх» и «Вниз» можно просматривать значения параметров. Для возврата к главному экрану нажмите «Меню».
4.3.2 Интерфейсы задней панели контроллера JFB-III-B
Рисунок 19. Задняя панель
1 GROUND — клемма защитного заземления
2 X3 RS485 — интерфейс последовательной связи
3 X4 FAN — выход питания внешнего вентилятора
4 ALARM — зуммер или индикатор аварии
5 X5 HMI — интерфейс панели оператора
6 X7 REMOTE — разъем дистанционного управления
7 X6 REMOTE — разъем дистанционного управления
8 X2 CONTROL OUTPUT — выход управления приводом
9 X1 AC220V INPUT — вход питания 220 VAC
Клемма заземления должна быть надежно подключена; сопротивление цепи заземления не должно превышать 4 Ω. Интерфейс RS485 служит для обмена данными с внешними устройствами. Разъем X4 FAN питает внешний вентилятор. USB используется изготовителем для загрузки и обновления встроенной программы. Интерфейс DB37 предназначен для внешних управляющих сигналов; его распиновку необходимо сверять с таблицей данного руководства.
Страница исходного PDF 59 из 119
К поиску и содержаниюПродолжение описания задней панели JFB-III-B
X6 REMOTE, DB15 — интерфейс обмена дискретными сигналами между контроллером и внешней системой управления.
X2 CONTROL OUTPUT — основной разъем подключения контроллера к двигателю турбомолекулярного вакуумного насоса.
X1 AC220V INPUT — вход питания. Контроллеры JFB-III-B выпускаются для 110 VAC и 220 VAC; исполнение указывается при заказе. Для 220 VAC применяется встроенный предохранитель 10 A / 250 VAC, для 110 VAC — 15 A.
1) Выход привода X2 CONTROL OUTPUT
13-контактный разъем содержит линии питания двигателя, контроля температуры и идентификации насоса.
Контакт | Назначение
1 | PE, защитное заземление контроллера
2 | Фаза U двигателя
3 | Фаза V двигателя
4 | Фаза W двигателя
5 | NC, не подключен
6 | NC, не подключен
7 | Измерение температуры двигателя
8 | NC, не подключен
9 | Измерение температуры двигателя
10 | NC, не подключен
11 | Резистор идентификации насоса
12 | Резистор идентификации насоса
13 | NC, не подключен
2) Разъем связи X3 RS485
Линии A+ и B- поддерживают протокол Modbus. Схема контактов приведена на рисунке 21. При подключении необходимо соблюдать полярность и требования к экрану кабеля.
Страница исходного PDF 60 из 119
К поиску и содержаниюЭкран линии RS485 допускается подключать к металлическому корпусу круглого разъема со стороны контроллера без соединения с сигнальной землей.
Рисунок 21. Интерфейс RS485
Через интерфейс управляющий компьютер может выполнять пуск и останов, считывать напряжение, ток, частоту и состояние неисправностей. При наличии только RS232 требуется преобразователь RS485/RS232; интерфейс RS485 подключается непосредственно.
3) ALARM
При неисправности включается зуммер. Точный код следует определять по дисплею LCD.
4) X6 REMOTE, DB15
Разъем содержит сигналы пуска, останова, нормальной работы и аварии. Нумерацию контактов необходимо сверять с фактическим изделием и рисунком 22.
5) X4 FAN
Выход питания внешнего вентилятора: контакт 4 — 24 V, контакт 1 — 0 V. Максимальный выходной ток: 0,2 A.
Сигнальные обозначения DB15: TC, TB, CM, +24V, OUT, OP6, OP7, RLY, COM.
Страница исходного PDF 61 из 119
К поиску и содержаниюРисунок 23. Разъем питания вентилятора
4.3.3 Интерфейс RS485 контроллера JFB-III-B
Разъем X3 485: контакт 1 — A+; контакт 2 — B-. Интерфейс поддерживает протокол Modbus. Встроенный приемопередатчик гальванически изолирован; экран кабеля допускается подключать к корпусу круглого разъема.
Рисунок 24. Интерфейс RS485
Управляющий компьютер может выполнять пуск и останов, считывать напряжение, ток, частоту и неисправности. Для компьютера с RS232 требуется преобразователь RS485/RS232; при наличии RS485 линия подключается непосредственно.
Режим протокола выбирается согласно рисунку 25:
1. IDW — пользовательский протокол.
2. BKY — адрес 1 по умолчанию; скорость 19200 bit/s; 8 бит данных; без контроля четности; 1 стоповый бит.
Страница исходного PDF 62 из 119
К поиску и содержаниюИспользование различных типов параметров в качестве адресов (адреса и описания параметров, представленные в настоящем разделе, являются, например, гексадекимальными., 1000 представляет 4096 десятичной дробью)
1. Параметры режима работы
Описание Параметра (читать-
1000 Периодичность вывода
1001 Выходное напряжение
1002 Текущий результат
1003
Статус контроллера турбомолекулярного вакуумного насоса:
00: Режим резервирования
01: Работает
02: Ошибка функционирования (err)
03: Защита короткого замыкания (0C)
04: DC Чрезмерное напряжение (OE)
05: Зарезервировано
06:RLU
07: Превышение (OL2)
08: Перегрузка турбомолекулярного вакуумного насоса (SL)
09: Перегрев турбомолекулярного вакуумного насоса (ESP)
0A: Недостаток напряжения (LU)
0B: Контроллер турбомолекулярного вакуумного насоса перегрева (OH)
2. Команда управления
Описание Параметра (читать-
2000
Значение содержания команды:
0003: Замедление и отключение
0004: Свободное отключение
0008: Бег (без направления))
0009: Неисправность
2001
Параметры блокировки
0001: Замок системы сброса (блокировочный блок))
0002: Заблокировать дистанционное управление (любая дистанционная команда управления недействительна до открытия)
Страница исходного PDF 63 из 119
К поиску и содержанию3. Ненормальная реакция параметров чтения и записи
Команда
Область данных
Реакция на параметры субординации машины
Самый высокий бит в области кода функции становится 1.
Значение содержания команды
0001: Код незаконной функции
0002: Незаконный адрес данных
0003: Незаконные данные
0004: Неисправность с использованием рабского оборудования
Описание добавления: В ходе процесса связи указывается, что: z Значение параметра частоты равно фактическому значению, умноженному на 10 z Значение параметра времени равно фактическому значению, умноженному на 10 z Значение параметра течения равно фактическому значению, умноженному на 10 z Значение параметра напряжения = фактическое значение × 1 z Значение параметра мощности = фактическое значение × 100 z Значение параметра версий = фактическое значение x 100
Объяснение: Значение параметра представляет собой фактическое значение, переданное пакетом данных. Фактическое значение представляет собой фактическое значение параметра в контроллер турбомолекулярного вакуумного насоса. После получения значений параметра управляющий компьютер разделяет их на соответствующие пропорциональные коэффициенты для получения фактических значений соответствующих параметров контроллер турбомолекулярного вакуумного насоса.
Внимание:
При отсылке команд к контроллер турбомолекулярного вакуумного насоса в пакете данных не учитываются десятичные точки. Все значения данных не могут превышать 65535,:: Переполненность данных по ширине.
(3) MMT: То же, что и 4.1.6, JFB-I контроллер RS485 протокол связи
4.3.4 Определение интерфейса внешнего контроля
(1) Деятельность по внешнему контролю (X6 REMOTE):
Это компьютерное разъемное устройство, содержащее линии старта, линии стоп-сигнала, линии индикатора работы и линии сигнализации. Конкретные определения и распределение стержней показаны в таблице ниже. На внешнем интерфейсе для вывода контрольного сигнала используется интерфейс внешнего управления.
15 контакт DB15 соединитель (номера контакты определяется фактическим продуктом), который используется для контроля режима работы вакуумного насоса с помощью внешнего контрольного оборудования, как показано на рисунке 26.
Страница исходного PDF 64 из 119
К поиску и содержаниюРисунок 26: DB15 Определение интерфейса
Назначение контактов внешнего управления:
Рекомендуемые дефинити ns для функций каждого штыря являются следующими (которые могут корректироваться с учетом фактической ситуации при обеспечении научной рациональности)):
Описание функции
1 Начать контроль OP6 Обычно в режиме открытой цепи с внешним реле (или переключателем)).
Для запуска турбомолекулярного вакуумного насоса подключите мгновенный пассивный сигнал короткого замыкания примерно 0,5~1 s. После короткого замыкания 1 контакт и 2 - после отсоединения насоса; 1-контакт и 2-контакт, вакуумный насос может быть остановлен. 2 Начать контроль CM
3 Остановить контроль CM Для остановки турбомолекулярного вакуумного насоса подключите сигнал пассивного открытия цепи примерно на одну секунду. 0,5~1 s. После отсоединения 3-контакт и
4-контакт, вакуумный насос может быть остановлен. 4 Остановить контроль OP7
5 Обычный выходной сигнал
В процессе ускорения вакуумного насоса выходное напряжение отсутствует. DC24V электрический сигнал, где контакт 5 - положительный и контакт 6 отрицательный, с максимальным током 0.1A. 6 Обычный выходной сигнал
7 Выход неисправности TB
Нет контактного сигнала напряжения, не может управлять сигналом связи и т.д. или воротной цепи. 24VDC, и максимально допустимый ток: 0.1A. Когда нет вины, TB и TC соединены, и когда есть ошибка,
TB и TC отсоединены.
8 Выход неисправности TC
9 NC NC
10 NC NC
TC
TB
CM
+24V
OUT
OP6
OP7
CM
1
9
2
10
3
11
4
12
5
13
6
14
7
15
8
RLY
COM
Страница исходного PDF 65 из 119
К поиску и содержанию11 NC NC
12 NC NC
13 NC NC
14 Обычная производительность RLY
Нет контактного сигнала напряжения, не может управлять сигналом связи и т.д. или воротной цепи. 24VDC, и максимально допустимый ток: 0.1A. Когда вакуумный насос ускоряется, RLY и COM отсоединены.
После нормальной работы вакуумного насоса, RLY и COM соединены.
15 Обычная производительность COM
Примечание: Не использовать входное напряжение 220VAC или 110VAC в качестве входного сигнала запуска или остановки контроллер.
(2) Выпуск в области внешнего контроля (X7 REMOTE)::: JFB-III-B Контроллер совместим с несколькими широко используемыми молекулярными контроллер насосов Эдвардса, включая DB37 Определение интерфейса является следующим::
контакт-но. контакт-но.
1 COM 20 NC
2 NC 21 СТОП_IN
3 ИСПЫТАНИЕ 22 РЕСЕТ_IN
4 REM_IN_OPT1 23 REM_IN_OPT2
5 INHIBIT_IN 24 ПРЕДУПРЕЖДЕНИЕ [Н.О.].)
6 ПРЕДУПРЕЖДЕНИЕ(COM) 25 ПРЕДУПРЕЖДЕНИЕ_Out(N.C.)
7 L. VALVE_Out(N.O.) 26 L. VALVE_Out(N.O.)
8 МЕЖПРАВИТЕЛЬСТВЕННАЯ ЧАСТЬ.) 27 МЕЖПРАВИТЕЛЬСТВЕННАЯ ЧАСТЬ.)
9 POWER_Out(N.O.) 28 POWER_Out(N.O.)
10 АВАРИЯ 29 АВАРИЯ
11 NORMAL_Out (N.O.) 30 NORMAL_(COM)
12 NORMAL_OUT(N.C.) 31 NC
13 ПРЕКРАЩЕНИЕ ВЫБРОСОВ.) 32 ПРЕКРАЩЕНИЕ ВЫБРОСОВ.)
14 ARARM_Out (N.O.) 33 ARARM_ ВЫХОД(COM)
Страница исходного PDF 66 из 119
К поиску и содержанию15 ARARM_OUT(N.C.) 34 NC
16 AT_TEMP.OUT(Н.У.) 35 AT_TEMP.OUT(Н.К.)
17 AT_TEMP.OUT(COM) 36 OPT.1_Выход (Н.О.)
18 OPT.1_Выход(COM) 37 OPT.1_(Н.К.)
19 NC
4.3.5 Использование JFB-III-B i) Подключить 8-на турбомолекулярный вакуумный насосе 13 ii) если контроллер не использует функцию внешнего управления, то перед включением (краткое замыкание замыкание замыкания на запчасти) не следует подключать наружную управляющую стержню в мешке для запасных частей к внешнему блоку управления на задней панели контроллер. 3/4 Щекотка в DB15 внешняя
при использовании функции внешнего управления просьба следовать инструкциям, касающимся проводки, и подсоединить вилку внешнего управления к розетке внешнего управления. iii) После подсоединения силового шнура включить выключатель на задней панели контроллер. LCD на экране контроллер показано состояние турбомолекулярного вакуумного насоса. 4.3.1 JFB-
III-B) Инструкции группы контролеров по операциям.
4.3.6 Инструкции по установке (JFB-III-B/JFB-VI)
Установка помещений:
1) Отсутствие дождя, капель воды, пара, пыли или маслянистой пыли; отсутствие коррозионных, легковоспламеняющихся газов или жидкостей;
Нет металлических частиц или металлических порошков и т.д.
2) Температура окружающей среды должна находиться в диапазоне: - °C °C
3) Относительная влажность окружающей среды должна быть ниже 90% и не должно быть конденсации капель воды.
4) Отсутствие серьезных электромагнитных помех.
5) Сила вибрации ниже 0.5g (ускорение)).
6) Если контроллер установлен в шкафу управления, то он должен обеспечивать плавную вентиляцию между шкафом управления и наружной частью.
Как показано на фотографии 27. Вокруг него должно быть обеспечено эффективное вентиляционное пространство.
Рисунок 27: Схема установки контролера
B B
Страница исходного PDF 67 из 119
К поиску и содержаниюВ следующей таблице приведены рекомендуемые монтажные зазоры для установки контроллеров.
Тип контроллера | Монтажный зазор
JFB-III-B | A ≥ 150 mm; B ≥ 50 mm
JFB-VI | A ≥ 200 mm; B ≥ 100 mm
4.3.7 Коды неисправностей контроллера JFB-III-B
При возникновении аварийного сигнала турбомолекулярный вакуумный насос отключается. После останова и устранения причины неисправность можно сбросить.
Код неисправности | Тип неисправности
E01 | Перегрев турбомолекулярного вакуумного насоса
E02 | Сверхток турбомолекулярного вакуумного насоса
E03 | Перегрузка турбомолекулярного вакуумного насоса
E04 | Превышено время пуска турбомолекулярного вакуумного насоса
E05 | Требуется техническое обслуживание
E06 | Защита контроллера от перегрева
E07 | Защита контроллера от короткого замыкания
E08 | Защита контроллера от перенапряжения
E09 | Защита контроллера от пониженного напряжения
E10 | Другая неисправность
E10.10 | Перенапряжение при разгоне
E10.11 | Перенапряжение при замедлении
E10.12 | Перенапряжение при постоянной частоте вращения
E10.13 | Пониженное напряжение шины постоянного тока
Страница исходного PDF 68 из 119
К поиску и содержаниюE10.14 шина перегружен
E10.20 AC Потеря энергии на этапе подачи энергии
E10.21 AC/DC Перегрузка мощности
E10.22 AC/DC Чрезмерное напряжение
E10.23 AC/DC Перегрев источника энергии
E10.24 DC перегрузка входной мощности
E10.25 Сбой в работе контактного устройства
E10.26 Ошибка отключения питания
E10.27 AC избыточное напряжение входной мощности
E10.28 AC Недостаток напряжения в входном питании
E10.30 Короткая цепь в выходном режиме силовой цепи
E10.31 Выходная нагрузка водителя
E10.32 Нагрузка на тормозной резистент(I2t)
E10.33 Сбой саморегулировки датчика тока
E10.34 Сбой в работе датчика температуры водителя
E10.35 Слишком высокая температура привода
E10.36 Температура окружающей среды слишком высока
E10.37 Температура окружающей среды слишком низкая
E10.38 Температура силового устройства слишком высока
E10.39 Короткая цепь силового устройства
E10.40 Неисправность вентилятора
E10.41 CPU перегрева
Страница исходного PDF 69 из 119
К поиску и содержаниюE10.42 Неисправность оборудования для малоскоростного тормозного сопротивления
E10.43 3.1.2 Неисправность системы перегрева тормозного резистента
E10.44 Время остановки тормозного сопротивления
E10.50 Разблокировка двигателя
E10.51 Потеря моторной фазы
E10.52 Короткая замыкание двигателя
E10.53 Перегрузка двигателя
E10.54 Температура двигателя слишком высока.
E10.55 Сбой в работе двигателя
E10.56 Неисправность идентификационного сопротивления модели насоса
E10.60 RS485 Ошибка связи
E10.61 CAN Неисправность связи с автобусами
E10.62 Имитировать неисправность в разъединении входа
E10.70 Чрезмерное отклонение скорости
E10.71 Неисправность регулировки двигателя
E10.72 Фактическая скорость превышает верхнее предельное значение
E10.73 Частота отклонения превышает границу
E10.74 Ошибка замены моторной системы
E10.75 Ошибка запуска двигателя
E10.80 Неправильный выбор параметров шпинделя
E10.81 Исключения в отношении инженерного считывания параметров флеш-память- Параметра
E10.82 Неверный пароль 3 время
Страница исходного PDF 70 из 119
К поиску и содержаниюE10.83 Параметры водителя не включены
E10.84 FPGA Запущена собака
E10.85 Параметры водителя не загружены
E10.86 PWM Сбой в выходе
E10.87 Модель абнормальных чипов
E10.88 Исключительное исключение в отношении инженерного параметра
E10.89 PS Запущена собака
E10.90 Погрешность регистрации времени выхода
E10.91 флеш-память Чип B0S0 ошибка чтения
E10.92 флеш-память Чип B0S0 ошибка записи
E10.93 Погрешность считывания сигнала
E10.94 Ошибка ввода в память
E10.99 Время технического обслуживания
(2) Таблица оперативных кодов предупреждения (когда происходит сигнализация, она не влияет на нормальное функционирование турбомолекулярного вакуумного насоса, и после остановки турбомолекулярного вакуумного насоса может быть вновь установлен и удален предупреждающий код).)
Основные коды охранной сигнализации
Выходной поток водителя из избыточного тока и перегрузки(W0x) W1 Инвертор выходной перегрузки
Автобусная сигнализация (W1x)
W11 Сигнал тревоги в случае перенапряжения шина
W12 Сигнализация в связи с дефицитом напряжения в шина
Аппаратурная сигнализация водителя (W3x-W4x)
W31 Инвертер перегрева сигнализации
W38 Срабатывание датчика температуры мощности
W39 Срабатывание датчика температуры
Страница исходного PDF 71 из 119
К поиску и содержаниюW40 Сбой в работе вентилятора
W41 Водитель IO Ошибка идентификации доски
Моторная сигнализация (W5x)
W50 Напоминание с перезагрузкой двигателя
W51 Сигнал перегрева двигателя
W52 Запуск двигателя
W53 Срабатывание датчика температуры двигателя
Сигнал тревоги (W6x)
W60 RS485 Ошибка связи
W61 CAN Ошибка связи с шина
W62 Имитируемая ошибка разъединения входа
W63 Коммуникационная тревога " ЭтерКАТ "
W64 Коммуникационная тревога Profibus
Напоминание программного обеспечения (W8x)
W81 Погрешность считывания сигнала
W82 Ошибка ввода в память
4.4 JFB-VI контроллер
4.4.1 Внешний вид
Рисунок 28: JFB-VI (4U) Контроллер разделки
Шасси и вентиляционное ограждение
Справка
Контроллер клавиш
Страница исходного PDF 72 из 119
К поиску и содержанию4.4.2 JFB-VI Показатели деятельности
тип JFB-VI
Входное напряжение
220VAC±10
Частота поступления энергии 50/60Hz( 5%)
Максимальная выходная мощность 1500W
Частота выпуска 0-1000 Hz
Выходное напряжение ≤66VAC
Обычный рабочий ток ≤8A
Максимальное начало тока ≤17A
Время начала ускорения ~20мин.
Время выключения ~30мин.
Вес 27.5kg
Запуск/остановка контроля
Клавиатура, внешний контрольный терминал и верхний компьютерный контроль
Функция отображения:: LCD экран показывает текущую выходную частоту, выходной ток, выходное напряжение, тип неисправности, а также параметры кода функции, эксплуатационные параметры и молекулярную модель насоса; LED указатели поворота указывают на мощность контроллер по состоянию и степени неисправности.
Функция защиты
Контроллер вводимое напряжение, избыточное напряжение, избыточное напряжение, перегрева, перегрузка турбомолекулярные вакуумные насосы, ограниченная выходная мощность, защита от перегрева и перегрева, ошибка пароля пользователя, защита внешних помех.
Состояние окружающей среды
Местоположение оборудования: отсутствие твердых коррозионных газов или пыли;
Температура окружающей среды: - °C °C
Экологическая влажность: ниже 90% (Отсутствие конденсации капель воды);
Сила вибрации: ниже 0.5g (ускорение))
Страница исходного PDF 73 из 119
К поиску и содержанию4.4.3 Внешний интерфейс управления DB15
Пуск: контакты 1 и 2 (OP6, CM) в исходном состоянии разомкнуты. Для пуска подайте пассивный импульс замыкания длительностью 0,5~1 s.
Останов: контакты 3 и 4 (CM, OP7) в исходном состоянии замкнуты. Для останова подайте пассивный импульс размыкания длительностью 0,5~1 s.
ВНИМАНИЕ: контакты внешнего реле или переключателя должны быть беспотенциальными. Подача внешнего напряжения может повредить контроллер.
Сигнал нормальной работы:
• активный выход: контакты 5 и 6 (+24V, OUT) после выхода насоса на рабочий режим выдают 24 VDC, максимальный ток 0,1 A;
• пассивный выход: контакты 14 и 15 (RLY, COM) разомкнуты во время разгона и замкнуты после выхода на рабочий режим. Максимально допустимые параметры внешней цепи: 24 VDC, 0,1 A.
Сигнал неисправности: контакты 7 и 8 (TB, TC) формируют беспотенциальный выход. При нормальной работе контакты замкнуты, при неисправности разомкнуты. Максимально допустимые параметры внешней цепи: 24 VDC, 0,1 A.
Обозначения DB15: TC, TB, CM, +24V, OUT, OP6, OP7, RLY, COM.
Страница исходного PDF 74 из 119
К поиску и содержаниюПримечание: При использовании упомянутых выше режимов запуска и остановки внешнего органа управления следует добавить дополнительную функцию запуска и остановки внешнего органа управления без нарушения функций запуска передней панелью и остановки кнопки. 3 и 4 внешней вилки управления и подсоединение внешней вилки управления к внешнему разъему управления, в противном случае контроллер не будет контролироваться передней панелью.
• Специальный метод запуска: некоторым пользователям необходимо контролировать как входное, так и выключенное состояние с помощью только одного ключа или терминала. 1 и 2 внешней вилки управления и соединительных контактов 3 и 4 Внешний внешнего управления выключатель или контакт с реле (требуется пассив). Когда обычно открывается, он прекращается; когда обычно закрывается, начинается. В этой точке механизм управления передней панелью не работает.
Примечание: Не использовать входное напряжение 220VAC или 110VAC в качестве входного сигнала запуска или остановки контроллер.
4.4.4 RS485 Протокол о сообщениях
RS485 терминалы контроля связи A+и B - оснащены международно признанным протоколом связи Modbus, подробные контакты показаны на фотографии 29:
Рисунок 29: RS485 интерфейс связи
Этот контроллер может контролироваться микрокомпьютером для запуска, остановки, наблюдения напряжения, тока, частоты и контроля неисправностей.
Примечание: При использовании микрокомпьютера для контроля за функционированием через последовательный порт связи, если микрокомпьютер r имеет RS232 интерфейс, RS485/RS232 Если микрокомпьютер имеет микрокомпьютер RS485 интерфейс, он может быть непосредственно подключен.
Использование различных типов параметров в качестве адресов (адреса и описания параметров, представленные в настоящем разделе, являются гексадекимальными, например:, 1000 представляет 4096 десятичной дробью)
A+
B-
1
23
4
Страница исходного PDF 75 из 119
К поиску и содержанию1. Параметры режима работы
Описание Параметра-
1000 Частота выпуска
1001 Выходное напряжение
1002 Текущий результат
1003
Статус контроллера турбомолекулярного вакуумного насоса:
00: Режим резервирования
01: Работает
02: Ошибка функционирования (err)
03: Защита короткого замыкания (0C)
04: DC Чрезмерное напряжение (OE)
05: Зарезервировано
06:RLU
07: Превышение (OL2)
08: Перегрузка турбомолекулярного вакуумного насоса (SL)
09: Перегрев турбомолекулярного вакуумного насоса (ESP)
0A: Недостаток напряжения (LU)
0B: Контроллер турбомолекулярного вакуумного насоса перегрева (OH)
2. Команда управления
Параметр
2000
Значение содержания команды:
0003: Замедление и отключение
0004: Свободное отключение
0008: Бег (без направления))
0009: Неисправность
2001
Параметры блокировки
0001: Замок системы сброса (блокировочный блок))
0002: Заблокировать дистанционное управление (любая дистанционная команда управления недействительна до открытия)
Страница исходного PDF 76 из 119
К поиску и содержанию3. Ненормальная реакция параметров чтения и записи
Область данных
Ведомое устройство
Реакция параметра
Самый высокий бит в области кода функции становится 1
Значение содержания команды
0001: Код незаконной функции
0002: Незаконный адрес данных
0003: Незаконные данные
0004: Неисправность субординированного оборудования
4.4.5 Схематическая схема элементов задней панели контроллер 220VAC Ввод
Рисунок 30: Схематическая схема задней панели контроллер
4.4.6 Инструкции по использованию
1) Подключите 8-на турбомолекулярный вакуумный насосе 13 розетка для вывода привода на задней панели контроллер с помощью кабеля.
2) Если контроллер не использует функцию внешнего управления, то следует соединить вилку внешнего управления в мешке для запасных частей с розеткой внешнего управления на задней панели контроллер до включения;.
3) После соединения силового шнура включить переключатель на задней панели контроллер. LCD экран контроллер отображает резервный режим, и максимальная рабочая частота контроллер составляет "400.0" Hz, с миганием.
4) Нажмите кнопку "Беги", чтобы запустить турбомолекулярный вакуумный насос, и LCD Скриншот показывает "Скорость"
" Слежение. ":
Незавершенное отслеживание скорости…
Страница исходного PDF 77 из 119
К поиску и содержанию5) Через некоторое время LCD экранные переключатели основного рабочего интерфейса, показывающие текущую молекулярную частоту вращения насоса, частоту, значение напряжения и текущее значение в режиме реального времени до завершения ускорения. Содержание рабочего интерфейса является следующим::
Текущая скорость: 24000
Текущая частота: 400.0
Текущее напряжение: 54
Текущее: 5.1
6) Когда необходимо отключиться, нажмите кнопку "Стоп/отменить". LCD На экране будут показаны частота вращения, частота, значение напряжения и текущее значение в процессе снижения скорости до тех пор, пока он не вернется в резервный режим, что указывает на то, что отключение завершено. В это время выключатель может быть выключен. Время замедления каждого типа контроллер указано в таблице технических характеристик.
1.6.1.
7) Когда контроллер обнаруживает неисправность во время использования, он имеет звуковые и световые сигналы тревоги и дисплеи знаков. Код неисправности можно найти в таблице кода неисправности. Для очистки напоминания нажмите кнопку "остановить/замедлить" на клавиатуре управления, с тем чтобы перезапустить или выключить главный переключатель питания.
8) Когда контроллер сталкивается с внезапной неисправностью при вводе энергии, нажмите кнопку "Run" после восстановления энергии, и LCD На экране будет показана "Скорость отслеживания
Спустя некоторое время LCD экран будет отображать текущее состояние отслеживаемого турбомолекулярного вакуумного насоса до тех пор, пока он не достигнет наивысшей рабочей частоты.
4.4.7 Код неисправности
Код неисправности | Тип неисправности
ERR Ошибка работы кнопки
OC Защита контроллера от короткого замыкания
OL2 Защита турбомолекулярного вакуумного насоса от сверхтока
SL Защита от перегрузки турбомолекулярные вакуумные насосы
OE Защита контроллера от перенапряжения
LU Защита контроллера от пониженного напряжения
ESP Защита турбомолекулярного вакуумного насоса от перегрева
OH Защита контроллера от перегрева
Страница исходного PDF 78 из 119
К поиску и содержанию4.4.8 Обычная обработка неисправностей
Метод обработки данных о нарушениях
Подключите питание и включите главный переключатель на задней панели, но вентилятор не поворачивается.
Пробки внутри питающего розетки сломаны.
Заменить предохранитель новым предохранителем
Ненадежный контакт входной линии электропитания
Заменить входящий электрический кабель
Включите главный переключатель, вентилятор поворачивается, но LCD экран не отображается
Кабель, соединяющий головную доску контроллер с LCD У экрана плохой контакт или он вышел из строя.
Просьба связаться с изготовителем
LCD экранировать саму неисправность
Просьба связаться с изготовителем:: LCD экран показывает нормально, но двигатель не вращается
Контакт выходного соединителя привода задней панели является ненадежным
Заглушить и отключить соединитель
Поврежден кабель между выходным соединителем привода и турбомолекулярным вакуумным насосом
Заменить кабель
Снижение нагрузки
U/V/W Ненормальный выпуск
Выключите электричество и включите его обратно, свяжитесь с изготовителем.
Поездка с электричеством
Короткая замыкание сбоку ввода
Проверьте входное подключение
Вместимость переключателя воздуха слишком мала
Увеличение пропускной способности воздухо переключателя
Снижение нагрузки
Нестабильная моторная скорость
Проверьте циркуляцию воды
Страница исходного PDF 79 из 119
К поиску и содержаниюДавление и расход являются ненормальными
Охота на утечку системы
Регулярная защита (OC)
Выходная боковая короткая замыкание
Проверить, поврежден ли моторный кабель
Перезапустить вращающийся двигатель
Подождите, пока двигатель полностью остановится, прежде чем снова запустить его.
Защита контроллера от перенапряжения (OE)
Входное напряжение слишком высокое
Проверить, является ли входное напряжение нормальным
Защита контроллера от пониженного напряжения (LU)
Низкое входное напряжение питания
Проверить, работает ли источник питания должным образом
Незамедлительное прекращение подачи электроэнергии
Обычные указания
Защита турбомолекулярного вакуумного насоса от сверхтока (OL2)
Утечка системы, чрезвычайно низкий уровень вакуума
Проверка системного оборудования
Защита турбомолекулярного вакуумного насоса от перегрева (ESP)
Долгосрочная утечка воздуха и низкая степень вакуума в системе
Проверка системного оборудования
Невключенная вода или недостаточный объем воды и давление в воде
Откройте или проверьте циркуляцию воды
Контроллер заблокирует защиту, предусмотренную правилами (SL)
турбомолекулярный вакуумный насос ускоряется в средне- и долгосрочной перспективе с утечкой газа и чрезмерным током
Проверка системного оборудования
Ошибка связи кабель, соединяющий диспетчерскую доску с LCD у экрана
Просьба связаться с изготовителем
Страница исходного PDF 80 из 119
К поиску и содержаниюплохой контакт или разорвался.
Защита контроллера от перегрева (OH)
Температура окружающей среды слишком высока
Снижение температуры окружающей среды
Поврежден вентилятор
Просьба связаться с изготовителем
Контроллер слишком грязный внутри.
Очистить вход и выход воздуха, а также теплопоглотитель
Место установки не подходит для вентиляции
Установка в соответствии с требованиями руководства по улучшению вентиляции
Модуль аномальной мощности
Запрос на обслуживание завода-изготовителя
Страница исходного PDF 81 из 119
К поиску и содержанию4.5 JFB-VI-B контроллер
4.5.1 Внешний вид и размеры контролера
Внешняя структура встроенного контроллер представляет собой металлический листовый корпус, изготовленный из Q235A Верхняя обложка изготовлена из алюминиевого сплава, а поверхность также окрашена.
Внешний вид и размеры JFB-VI-B Контроллер показан на рисунках 31 и 32.
Рисунок 31: JFB-VI-B Диаграмма размеров контрольного покрытия
Рисунок 32: JFB-VI-B Рисунок, предполагающий внешний вид
RS485 Порт
Сенсорный экран
DB15 Порт
круглый разъем
Мощность переключателя
Страница исходного PDF 82 из 119
К поиску и содержанию4.5.2 Показатели деятельности
тип JFB-VI-B
Входное напряжение
220VAC±10
Частота поступления энергии 50/60Hz( 5%)
Максимальная выходная мощность 2200W
Периодичность вывода 0-600Hz
Выходное напряжение ≤70VAC
Обычный рабочий ток ≤6A
Максимальное начало тока ≤13A
Время начала ускорения ~20мин.
Время выключения ~25мин.
Вес 11kg
Запуск/остановка контроля
Прикосновение экрана, внешний контроль IO контроль и последовательный порт 485 контроль
Функция отображения
Сенсор показывает текущую выходную частоту, выходной ток, выходное напряжение, тип неисправности, а также параметры кода функции, эксплуатационные параметры и молекулярную модель насоса
Функция защиты
Контроллер подается пониженное напряжение, перенапряжение, перенагревание, перегрев, перегрузка турбомолекулярные вакуумные насосы, ограниченная выходная мощность тока, защита от перенагрева и перегрева и т.д.
Состояние окружающей среды
Местоположение оборудования: отсутствие твердых коррозионных газов или пыли;
°C °C
Экологическая влажность: ниже 90% (- интенсивность вибрации: ниже 0.5g (ускорение))
Страница исходного PDF 83 из 119
К поиску и содержанию4.5.3 Внешний интерфейс управления DB15
Пуск: контакты 1 и 2 (OP6, CM) в исходном состоянии разомкнуты. Для пуска подайте пассивный импульс замыкания длительностью 0,5~1 s.
Останов: контакты 3 и 4 (CM, OP7) в исходном состоянии замкнуты. Для останова подайте пассивный импульс размыкания длительностью 0,5~1 s. Контакты реле или переключателя должны быть беспотенциальными.
Нормальная работа: активный выход 5 и 6 (+24V, OUT) после завершения разгона выдает 24 VDC при токе до 0,1 A. Пассивный выход 14 и 15 (RLY, COM) разомкнут во время разгона и замкнут после выхода на рабочий режим.
Неисправность: контакты 7 и 8 (TB, TC) формируют беспотенциальный выход. При нормальной работе они замкнуты, при неисправности разомкнуты. Максимально допустимые параметры внешних цепей: 24 VDC, 0,1 A.
Сигнальные обозначения: TC, TB, CM, +24V, OUT, OP6, OP7, RLY, COM.
Страница исходного PDF 84 из 119
К поиску и содержаниюПри использовании управления с передней панели контакты 3 и 4 внешнего разъема должны быть замкнуты, а разъем установлен в гнездо внешнего управления. Иначе кнопки пуска и останова на передней панели не работают.
Специальный способ управления одним переключателем: замкните контакты 1 и 2 внешнего разъема, а контакты 3 и 4 подключите к внешнему выключателю или пассивному контакту реле. Разомкнутое состояние соответствует останову, замкнутое — пуску. При таком подключении управление с передней панели отключено.
ВНИМАНИЕ: запрещается подавать 220 VAC или 110 VAC на вход пуска или останова. Это приведет к повреждению контроллера.
4.5.4 Последовательная связь RS485, протокол Modbus RTU
Контакты связи: 1 — RS485 A+; 2 — RS485 B-; 3 и 4 не используются. Разъем поддерживает протокол Modbus RTU. Схема подключения приведена на рисунке 33.
Через интерфейс управляющий компьютер может выполнять пуск и останов, считывать напряжение, ток, частоту и диагностические состояния. Интерфейс подходит как для индивидуального управления, так и для группового управления насосами в составе производственной линии.
Modbus RTU — последовательный асинхронный протокол, применяемый в ПЛК и других системах автоматизации. Он задает структуру запросов и ответов, которую распознает контроллер. Перед подключением необходимо проверить адрес устройства, скорость обмена, формат кадра и карту регистров конкретной версии контроллера.
Страница исходного PDF 85 из 119
К поиску и содержаниюнезависимо от сети, по которой они передаются.
Примечание: При использовании микрокомпьютера для контроля за функционированием через последовательный порт связи, если микрокомпьютер имеет RS232 интерфейс, RS485 в адрес 232 Если микрокомпьютер является микрокомпьютером RS485 Для уменьшения воздействия помех на связь рекомендуется использовать метод подключения, показанный на рисунке 34.
Рисунок 34: Метод соединения между верхним компьютером и контроллер
Использование различных типов параметров в качестве адресов
Адреса и описания параметров, представленные в настоящем разделе, содержатся, например, в гексадекемальной форме., 1000 представляет 4096 десятичной дробью.
1. Параметры режима работы (03 Код функции)
Описание Параметра-
1000 Периодичность вывода
1001 Выходное напряжение
1002 Текущий результат
1003
Статус контроллера турбомолекулярного вакуумного насоса:
00: Стой.
01: Замедление
02: Режим резервирования
03: Работает
Страница исходного PDF 86 из 119
К поиску и содержанию2. Команда управления (06 Код функции)
Параметр (W
2000
Значение содержания команды:
0003: Замедление и отключение
0004: Свободное отключение
0008: Бег (без направления))
0009: Неисправность
2001
Параметры блокировки
0001: Замок системы сброса (блокировочный блок))
0002: Заблокировать дистанционное управление (любая дистанционная команда управления недействительна до открытия)
3. Ненормальная реакция параметров чтения и записи
Команда
описание
Код функции
Район
Область данных
Реакция на параметры субординации машины
Самый высокий бит в области кода функции становится 1
Значение содержания команды
0001: Код незаконной функции
0002: Незаконный адрес данных
0003: Незаконные данные
0004: Неисправность субординированного механизма
Описание добавления: В ходе процесса представления сообщений указывается, что:
• Значение параметра частоты равно фактическому значению, умноженному на 10
• Значение параметра времени равно фактическому значению, умноженному на 10
• Значение параметра течения равно фактическому значению, умноженному на 10
• Значение параметра напряжения = фактическое значение × 1
• Значение параметра мощности = фактическое значение × 100
• Значение параметра версии = фактическое значение x 100
Объяснение: Значение параметра представляет собой фактическое значение, переданное пакетом данных. Фактическое значение представляет собой фактическое значение параметра в контроллер турбомолекулярного вакуумного насоса. После получения значений параметра управляющий компьютер разделяет их на соответствующее пропорциональное значение.
Страница исходного PDF 87 из 119
К поиску и содержаниюКоэффициенты для получения фактических значений соответствующих параметров контроллер турбомолекулярного вакуумного насоса.
Примечание: При отсылке команд к контроллер турбомолекулярного вакуумного насоса в пакете данных не учитываются десятичные точки. Все значения данных не могут превышать 65535, в противном случае происходит переполнение данных.
4.5.5 Схематическая схема экрана дисплея контроллера
Рисунок 35: Схематическая схема экрана дисплея контроллера
4.5.6 Инструкции по использованию
1. Подключите 8-на турбомолекулярный вакуумный насосе 13 розетка для вывода привода на задней панели контроллер с помощью кабеля.
2. Если контроллер использует функцию внешнего управления, то перед включением в него внешнего винта управления в мешке для запасных частей следует соединить его с внешним разъемом управления на задней панели контроллер.
3. После подключения силового шнура включите выключатель на задней панели контроллер. 36. Нажмите область кнопки "Ввод" на экране, чтобы войти в резервный интерфейс, показанный на картинке 37.
Страница исходного PDF 88 из 119
К поиску и содержаниюРисунок 36: Первоначальный
Рисунок 37: Резерв
4. У этой машины есть три режима управления: местный режим управления, параллельный контроль порта (внешний контроль) и дистанционный контроль. (RS485). При нажатии области кнопки в нижнем левом углу резервного интерфейса параметры связи режима управления и дистанционного режима могут быть изменены. Интерфейс настройки показан на картинке 38. Прикоснуться к соответствующей области в последовательности для вскрытия соответствующих опций. Выберите значение настройки и нажмите кнопку подтверждения для возвращения в резервное интерфейс.
Рисунок 38: Параметры последовательных параметров порта Modbus
Страница исходного PDF 89 из 119
К поиску и содержанию5. Если выбран режим локального управления, касайтесь области кнопки для установки скорости для входа в интерфейс настройки скорости, показанный на рисунке 39. Введите значение рабочей скорости (единица): rpm) на клавиатуре, нажмите Ввод, и новая частота вращения будет отображаться в заданном положении скорости на резервном интерфейсе.
Рисунок 39: Набор скоростей
6. Нажмите кнопку "Пуск" на резервном интерфейсе, чтобы запустить турбомолекулярный вакуумный насос, и прикосновение экрана будет отображать "Посмотрите скорость".".
Рисунок 40: Начать поиск
7. Через некоторое время прикосновение экрана переключается на основной операционный интерфейс, демонстрируя текущую частоту, частоту, значение напряжения и текущее значение турбомолекулярного вакуумного насоса в режиме реального времени до завершения ускорения.
Содержание операционного интерфейса является следующим::
Страница исходного PDF 90 из 119
К поиску и содержаниюРисунок 41: Ускорить
8. Когда необходимо отключиться, нажмите кнопку "заглушить". В это время на экране будут отображаться частота в реальном времени, частота, значение напряжения и текущее значение в процессе снижения скорости до тех пор, пока он не вернется в резервный режим, что указывает на то, что отключение завершено. В это время выключатель может быть отключен.
Рисунок 42: Замедлить
9. Когда контроллер обнаруживает неисправность во время использования, экран отображает сигнализацию и символы ошибки. Код неисправности можно найти в таблице кода неисправности. Чтобы очистить сигнализацию, нажмите кнопку
"Отменить кнопку " на экране, чтобы перезапустить или выключить главный выключатель.
10. Когда контроллер сталкивается с внезапным отключением мощности и восстановлением энергии, он может начинаться в соответствии с тем же процессом запуска, как описано выше. На экране все еще показана "Смотри скорость." сначала, а через некоторое время экран показывает текущую скорость отслеживаемого турбомолекулярного вакуумного насоса, а затем "Ускоряется" до тех пор, пока он не достигнет максимальной рабочей скорости.
11. Кнопка нажатия на нижний правый угол экрана используется для установки сигнала реле с перегрева турбомолекулярного вакуумного насоса. 55 степени
После ввода пароля "12345678", есть три варианта:
Страница исходного PDF 91 из 119
К поиску и содержанию1) Ошибка отключения означает, что, когда турбомолекулярный вакуумный насос достигает температуры сигнализации 55 градусы Цельсия, экран показывает перегрев и автоматические тормоза для отключения.
2) Ошибка скольжения означает, что когда турбомолекулярный вакуумный насос достигает температуры сигнала тревоги
55 градусы Цельсия, экран показывает перегрев и автоматические слайды и остановки.
3) 'Никакая сигнализация не означает, что, когда турбомолекулярный вакуумный насос достигает температуры сигнализации. 55 градусов по Цельсию, он не будет сигнализировать и не будет никаких защитных действий.
После выбора параметра действия нажмите кнопку "Сохранить и вернуться" для сохранения настройок и возвращения к главному интерфейсу
Рисунок 43: Введите пароль для изменения настройок
Рисунок 44: Контроллер параметров
4.5.7 Коды неисправностей и предупреждения
Код неисправности:
Кодовая неисправность
0 Никаких аномальных записей
1 Превышение тока (ocA)
Страница исходного PDF 92 из 119
К поиску и содержанию2 Избыток тока при замедлении (ocd)
3 Избыток тока в режиме постоянной скорости (ocn)
4 Защитное действие цепи (GFF)
5 IGBT Короткая цепь между верхним и нижним мостами (occ)
6 Остановите перенапряжение в середине (ocS)
7 Перенапряжение при разгоне (ovA)
8 Избыточное напряжение при замедлении (ovd)
9 Перенапряжение в условиях постоянной скорости (ovn)
10 Остановить перенапряжение (ovS)
11 Низкое напряжение происходит во время ускорения (LvA)
12 Низкое напряжение происходит при замедлении (Lvd)
13 Низкое напряжение происходит при постоянной частоте вращения (Lvn)
14 Низкое напряжение происходит во время остановки (LvS)
15 Вклад в фазную защиту (OrP)
16 IGBT Высокая температура (oH1)
17 Температура внутреннего компонента - слишком высокая. (oH2)
18 IGBT Обнаружение ненормальной температуры (tH1o)
19 Обнаружение ненормальной температуры конденсатора (tH2o)
21 Перегрузка (oL))
22 Электронная теплоэнергетическая станция 1 Защита (EoL1)
23 Электронная теплоэнергетическая станция 2 Защита (EoL2)
24 Перегрева двигателя PTC / PT100 (oH3)
26 Сверхурочные 1 (ot1)
27 Сверхурочные 2 (ot2)
28 Низкий ток (uC))
29 Погрешности ограничения (LiT)
Страница исходного PDF 93 из 119
К поиску и содержанию31 Исключения из памяти (cF2)
33 Погрешность обнаружения течения U-фаз (cd1)
34 V-ошибка обнаружения тока в фазе (cd2)
35 W-ошибка обнаружения тока в фазе (cd3)
36 cc Аппаратная ненормальность цепи (Hd0)
37 OC Аппаратные аномалии цепи (Hd1)
40 Погрешность автоматического измерения двигателя (AUE)
41 PID Разъединение ACI (AFE)
42 PG Ошибка установки обратной связи (PGF1)
43 PG Отключение обратной связи (PGF2)
44 PG Обратная связь застопорилась (PGF3)
45 PG Ненормальное проскальзывание (PGF4)
48 ACI Разъединение (ACE)
49 Внешние терминальные отклонения (EF)
50 Чрезвычайная остановка на внешнем терминале (EF1)
51 Внешний перерыв (bb))
52 Пароль вошёл неправильно три раза (Pcod)
54 Незаконное командование связью (CE1)
55 Незаконный почтовый адрес (CE2)
56 Погрешность в стоимости данных связи (CE3)
57 Написать сообщение на адрес только для чтения (CE4)
58 Время передачи Modbus (CE10)
61 Ошибка переключения двигателя Y-D (ydc)
62 Замедление процесса регенерации энергии (dEb)
63 Проскользнуть (oSL)
65 PG ошибка аппаратных средств карточки (PGF5)
Страница исходного PDF 94 из 119
К поиску и содержанию72 S1 Аномалии внутренней цепи (STL1)
76 STO (STO)
77 S2 Аномалии внутренней цепи (STL2)
78 Аномалии внутренней цепи (STL3)
79 Обнаружение короткого замыкания U-фазы перед началом операции(Aoc)
80 Обнаружено V-фаза короткого замыкания перед функционированием (boc)
81 W-Фаза короткого замыкания, обнаруженная до работы (coc)
82 Мероприятие в рамках этапа U (oPL1)
83 Мероприятие на этапе осуществления V этап (oPL2)
84 Мероприятие на этапе осуществления W этап (oPL3)
87 Защита от перегрузки при низкой частоте (oL3)
89 Погрешность обнаружения положения вращателя (roPd)
101 Разъединение (CGdE)
128 Сверхурочные 3 (ot3)
102 Разъединение (CHbE)
104 Разъединение аппаратных средств (CbFE)
105 Ошибка индекса CANopen (CIdE)
106 Ошибка номера станции CANopen (CAdE)
107 Ошибка в памяти CANopen (CFrE)
121 Конкретный код ошибки внутреннего сообщения (CP20)
123 Конкретный код ошибки внутреннего сообщения (CP22)
124 Конкретный код ошибки внутреннего сообщения (CP30)
126 Конкретный код ошибки внутреннего сообщения (CP32)
127 Ошибка исключения версий (CP33)
129 Сверхурочные 4 (ot4)
134 Конкретный код ошибки внутреннего сообщения (EoL3)
Страница исходного PDF 95 из 119
К поиску и содержанию135 Конкретный код ошибки внутреннего сообщения (EoL4)
140 OC Аппаратные аномалии цепи (Hd6)
141 Обнаружено короткое замыкание к поверхности земли до начала операции (b4GFF)
142 Погрешность автоматического измерения двигателя (AuE1)
143 Погрешность автоматического измерения двигателя (AuE2)
144 Погрешность автоматического измерения двигателя (AuE3)
149 Погрешность автоматического измерения двигателя (AuE5)
Код предупреждения:
Код предупреждения
0 Никаких аномальных записей
1 Ошибка связи (CE1)
2 Погрешность в местоположении передачи данных (CE2)
3 Погрешность значения содержания сообщения (CE3)
4 Преобразователь частоты не может с этим справиться. (CE4)
5 Временное отключение связи (CE10)
7 Ошибка копирования параметра (SE1)
8 Ошибка копирования параметра (SE2)
9 IGBT Предупреждение о перегреве (oH1)
11 PID Погрешность сигнала обратной связи (PID)
12 ACI Потеря сигнала моделирования режима (AnL)
13 Предупреждение с низким током (uC))
17 Предупреждение о превышении скорости (oSPd)
18 Чрезмерное отклонение скорости (dAvE)
19 Вклад на этапе (PHL)
20 Сверхурочные (ot1)
21 Сверхурочные (ot2)
Страница исходного PDF 96 из 119
К поиску и содержанию22 Перегрева двигателя (oH3) PTC/KTY-84 / PT100
24 Проскользнуть (oSL)
25 Автоматическое измерение параметров (tUn)
28 Мероприятие в рамках фазового предупреждения (OPHL)
30 Ошибка копирования из-за различных моделей (SE3)
31 Сверхурочные (ot3)
32 Сверхурочные (ot4)
36 Разъединение программного обеспечения CANopen (CGdn)
37 Разъединение программного обеспечения CANopen (CHbn)
39 Разъединение аппаратных средств (CbFn)
40 Ошибка индекса CANopen (CIdn)
41 Ошибка номера станции CANopen (CAdn)
42 Ошибка в памяти CANopen (CFrn)
43 CANopen SDO Временное отключение передачи (CSdn)
44 CANopen SDO Получение избыточного количества (CSbn)
45 Предупреждение об ошибке в стартовом сообщении CANopen (Cbtn)
46 Ошибка формата CANopen (CPtn)
50 PLC Ошибка загрузки (PLod)
51 PLC Ошибка загрузки и хранения (PLSv)
52 Погрешность данных во время операции (PLdA)
53 Ошибка загрузки кода функции (PLFn)
54 PLC Переполненность буффера (PLor)
55 Ошибка кода функции во время операции (PLFF)
56 Ошибка проверки (PLSn)
57 Нет конечной инструкции (PLEd)
58 PLC MCR Ошибка команды (PLCr)
Страница исходного PDF 97 из 119
К поиску и содержанию59 PLC Ошибка загрузки (PLdF)
60 PLC Сканировать время выключения (PLSF)
70 Ошибка узла карточки связи (ECid)
71 Слишком низкое напряжение на карточке связи (ECLv)
72 Режим проверки карточки связи (ECtt)
73 Разъединение аппаратных средств карточки связи (ECbF)
74 Карточка связи без источника питания (ECnP)
75 Ошибка адаптации предприятия (ECFF)
76 Серьезная внутренняя ошибка (ECiF)
78 Погрешность параметризации данных (ECPP)
79 Ошибка настройки данных (ECPi)
80 Ошибка в сети Ethernet (ECEF)
81 Время связи с преобразователем частоты (ECto)
82 Ошибка проверки (ECCS)
83 Возвращение на фабрику (ECrF)
84 Превышение максимального числа сообщений (Eco0)
85 Превышение максимального числа сообщений (ECo1)
86 IP ошибка (ECiP)
87 Ошибка почтовой рассылки (EC3F)
88 Карточка связи занята (ECbY)
89 Отсоединенная карточка связи (ECCb)
90 PLC Копировать: ошибка пароля (CPLP)
91 PLC Копировать: Режим чтения (CPL0)
92 PLC Копировать: режим записи (CPL1)
93 PLC Копировать: ошибка в версии (CPLv)
94 PLC Копировать: ошибка пропускной способности (CPLS)
Страница исходного PDF 98 из 119
К поиску и содержанию95 PLC Копировать: PLC нужно выключить (CPLF)
96 PLC Копировать: ошибка во времени выхода (CPLt)
4.5.8 Обычная обработка неисправностей
Причина возникновения
Подключите питание и включите главный переключатель на задней панели, но вентилятор не поворачивается.
Пробки внутри питающего розетки сломаны.
Заменить предохранитель новым предохранителем
Ненадежный контакт входной линии электропитания
Заменить входящий электрический кабель
Включите главный переключатель, вентилятор поворачивается, но LCD экран не отображается
Кабель, соединяющий головную доску контроллер с LCD У экрана плохой контакт или он вышел из строя.
Связаться с изготовителем
LCD экранировать саму неисправность
Связаться с изготовителем:: LCD экран показывает нормально, но двигатель не вращается
Контакт выходного соединителя привода задней панели является ненадежным
Заглушить и отключить соединитель
Поврежден кабель между выходным соединителем привода и турбомолекулярным вакуумным насосом
Заменить кабель
Снижение нагрузки
U/V/W Ненормальный выпуск
Выключите электричество и включите его обратно, свяжитесь с изготовителем.
Входная боковая короткая замыкание
Проверьте входное подключение
Страница исходного PDF 99 из 119
К поиску и содержаниюВместимость переключателя воздуха слишком мала
Увеличение пропускной способности воздухо переключателя
Снижение нагрузки
Нестабильная скорость двигателя
Вода, циркулирующая в турбомолекулярный вакуумный насосе, не подсоединяется или давление воды и расход воды являются ненормальными.
Проверьте циркуляцию воды
Обнаружение утечки в системе
Регулярная защита (OC)
Выходная боковая короткая замыкание
Поврежден ли моторный кабель
Перезапустить вращающийся двигатель
Подождите, пока двигатель полностью остановится, прежде чем снова запустить его.
Защита контроллера от перенапряжения (OE)
Входное напряжение слишком высокое
Проверить, является ли входное напряжение нормальным
Защита контроллера от пониженного напряжения (LU)
Низкое входное напряжение питания
Проверить, работает ли источник питания должным образом
Незамедлительное прекращение подачи электроэнергии
Обычные указания
Защита турбомолекулярного вакуумного насоса от сверхтока (OL2)
Утечка системы, чрезвычайно низкий уровень вакуума
Проверка системного оборудования
Защита турбомолекулярного вакуумного насоса от перегрева (ESP)
Долгосрочная утечка воздуха и низкая степень вакуума в системе
Проверка системного оборудования
Вода, не включенная, не открывающая или не проверяющая
Страница исходного PDF 100 из 119
К поиску и содержаниюНедостаточный объем воды и расход воды под давлением
Контроллер заблокирует защиту, предусмотренную правилами (SL)
турбомолекулярный вакуумный насос ускоряется в средне- и долгосрочной перспективе с утечкой газа и чрезмерным током
Проверка системного оборудования
Ошибка связи
Кабель, соединяющий головную доску контроллер с LCD У экрана плохой контакт или он вышел из строя.
Связаться с изготовителем
Защита контроллера от перегрева (OH)
Температура окружающей среды слишком высока
Снижение температуры окружающей среды
Поврежден вентилятор
Связаться с изготовителем
Контроллер слишком грязный внутри.
Очистить вход и выход воздуха, а также теплопоглотитель
Место установки не подходит для вентиляции
Установка в соответствии с требованиями руководства по улучшению вентиляции
Модуль аномальной мощности
Связаться с изготовителем
Страница исходного PDF 101 из 119
К поиску и содержанию5. ЭКСПЛУАТАЦИЯ
Меры безопасности перед началом работы
ОПАСНО: не откачивайте горючие смеси.
ПРЕДУПРЕЖДЕНИЕ: насосы этой серии не предназначены для откачки газов, содержащих жидкость или твёрдые частицы.
5.1 Условия пуска турбомолекулярного вакуумного насоса
Условия пуска зависят от быстроты действия K форвакуумного насоса и объёма V откачиваемой камеры. Турбомолекулярный насос разрешается запускать только при соблюдении указанного соотношения.
K/V (h⁻¹) | Порядок пуска
> 40 | Турбомолекулярный и форвакуумный насосы можно запускать одновременно.
≤ 40 | Сначала запустите форвакуумный насос.
5.2 Пуск системы охлаждения
1. Подключите охлаждающую воду к штуцеру на корпусе насоса.
2. Параметры охлаждающей воды должны соответствовать требованиям раздела 1.6.1.
5.3 Подача защитного газа
Условия | Расход газа (sccm)
Умеренно коррозионная среда | 20~50
Сильно коррозионная среда | Помимо продувки защитным газом необходимы дополнительные меры защиты.
После подачи продувочного газа необходимо соответствующим образом увеличить быстроту действия форвакуумного насоса. Для выбора режима под конкретную задачу обратитесь к техническому специалисту.
Страница исходного PDF 102 из 119
К поиску и содержанию5.4 Запуск
Осторожность
1) Подтвердите, что форвакуумный насос работает надлежащим образом.!
2) При использовании JFB турбомолекулярный вакуумный насос первого раза или после длительного хранения
≥ Равномерно распределять подушечную смазку!
5.5 Ускорить
Осторожность
1) Фактическое время ускорения насоса меньше или приблизительно равно времени запуска в перечне параметров насоса 1.6.1 турбомолекулярный вакуумный насос.
2) Если выявляется аномальное ускорение, просьба своевременно остановить насос.!
5.6 Рабочие
Предупреждение
1) Роджер турбин JFB Пропуск между турбинным ротором и корпусом насоса очень мал, поэтому необходимо избегать удара и вибрации снаружи корпуса насоса во время работы.!
2) Избегать опасности попадания твердых предметов в насос внутри вакуумной камеры!
5.7 Отключение
Предупреждение
1) В процессе замедления турбомолекулярного вакуумного насоса постарайтесь не отключать как можно больше энергопитания.!
2) После прекращения работы турбомолекулярного вакуумного насоса охлаждающую воду следует немедленно отключить, с тем чтобы не допустить образования конденсации внутри корпуса насоса.
Страница исходного PDF 103 из 119
К поиску и содержаниюПеред длительным простоем остаточную воду из каналов охлаждения необходимо удалить сжатым газом.
3. Для останова нажмите кнопку «Пуск/останов» на контроллере либо команду «Останов» в интерфейсе управляющего компьютера. Дождитесь полной остановки ротора, затем отключите форвакуумный насос и подачу охлаждающей воды.
5.8 Напуск после останова
Штатный вариант — выполнять напуск только после полной остановки турбомолекулярного вакуумного насоса, постепенно доводя давление внутри насоса до атмосферного. Напуск после останова снижает риск переноса загрязнений из форвакуумной линии в насос и вакуумную камеру.
Другие допустимые варианты:
• после снижения частоты вращения ниже 50 Hz допускается прямой напуск воздуха; форвакуумный насос перед этим должен быть остановлен;
• при частоте вращения ниже 50% максимальной допускается управляемый напуск при строгом ограничении скорости роста давления в насосе и камере;
• для постепенного выравнивания давления можно использовать линию защитного газа после отключения;
• клапан напуска между насосом и камерой следует открывать медленно, чтобы твердые частицы из камеры не попали в насос.
ПРЕДУПРЕЖДЕНИЕ
1. Выполняйте напуск медленно, исключая перенос паров масла и твердых частиц из форвакуумной ступени.
2. Давление внутри турбомолекулярного вакуумного насоса не должно превышать атмосферное.
Страница исходного PDF 104 из 119
К поиску и содержанию6. ЭКСПЛУАТАЦИЯ В ОСОБЫХ УСЛОВИЯХ
6.1 Сильное магнитное поле
В сильном магнитном поле во вращающемся роторе возникают вихревые токи и дополнительный нагрев, способный снизить прочность материала. Допустимая напряженность поля: не более 5 mT в осевом направлении и не более 3 mT в радиальном направлении. В других условиях следует применять магнитное экранирование и согласовать режим с техническим специалистом.
6.2 Повышенный радиационный фон
Высокий радиационный фон изменяет свойства материалов, особенно смазочных материалов, уплотнений и полупроводниковых компонентов. Допустимый уровень в зоне эксплуатации насоса — менее 10⁵ rad.
6.3 Большое количество пыли и осаждаемых частиц
Для устойчивой работы при значительной пылевой нагрузке:
1. Подключите клапан продувки и подавайте защитный газ — азот, аргон или другой совместимый инертный газ — под давлением 1~1,5 atm.
2. Установите дополнительные фильтрующие элементы.
3. Применяйте защитную сетку с меньшим размером ячейки, согласованную для конкретной модели.
4. При необходимости прогревайте корпус насоса, чтобы уменьшить образование отложений.
5. Если конструкция допускает, устанавливайте насос над рабочей камерой входным фланцем вниз.
При высокой пылевой нагрузке интервалы обслуживания следует сократить. Изготовитель рекомендует определять необходимость заводского обслуживания с учетом процесса, ориентировочно каждые 6~12 месяцев.
Страница исходного PDF 105 из 119
К поиску и содержаниюДля удаления вязких частиц с лопаток ротора и дисков статора допускается периодическая продувка чистым газом с соблюдением следующих условий:
А. Давление газа не должно деформировать лопатки.
Б. Чистый газ рекомендуется подавать через входной фланец.
В. Во время очистки через клапан продувки следует непрерывно подавать защитный газ, чтобы загрязнения не попали в подшипниковый узел.
6.4 Работа при вибрации
Турбомолекулярные вакуумные насосы являются высокоскоростным прецизионным оборудованием и не должны эксплуатироваться при недопустимой вибрации. Для таких условий рекомендуется антивибрационная модель JFB-160/450D. Возможность применения других моделей необходимо согласовать с техническим специалистом.
6.5 Условия, требующие водяного охлаждения
Водяное охлаждение обязательно:
1. при температуре окружающей среды выше 35 °C;
2. при частых циклах пуска и останова;
3. при большой газовой нагрузке на входе или в форвакуумной линии;
4. при использовании продувки;
5. при прогреве насоса;
6. в иных режимах, указанных для конкретной модели или согласованных с техническим специалистом.
Страница исходного PDF 106 из 119
К поиску и содержанию7. ТЕХНИЧЕСКОЕ ОБСЛУЖИВАНИЕ
7.1 Малое техническое обслуживание
Модели JFB-63/81M(J):
• Пуск после простоя — если насос не использовался 3 месяца.
• Контроль вибрации и шума — 1 раз в год или через 4000h.
• Проверка масляного элемента — 1 раз в год или через 4000h.
• Очистка статического элемента — по условиям эксплуатации.
Модели JFB-63/81; JFB-100/251; JFB-100/301; JFB-160/401; JFB-160/450D; JFB-160/700; JFB-160/701; JFB-200/1400; JFB-200/1401; JFB-250/2200; JFB-250/2201:
• Плавный пуск после простоя — если насос не использовался 6 месяцев.
• Контроль вибрации и шума — 1 раз в год или через 4000h.
• Очистка статического элемента — по условиям эксплуатации.
7.2 Расширенное техническое обслуживание
Для JFB-63/81M(J):
• Полная очистка — с учётом фактической степени загрязнения.
• Замена масляного элемента — 1 раз в 3 года или через 20000h.
• Замена ротора турбины — после 80000h работы.
Точное конструктивное исполнение обслуживаемых элементов необходимо сверить с изготовителем для конкретной модификации насоса.
Страница исходного PDF 107 из 119
К поиску и содержаниютип
Крупномасштабное обслуживание
Период содержания
JFB-63/81; JFB-100/251; JFB-100/301; JFB-160/401; JFB-160/450D; JFB-160/700; JFB-160/701; JFB-200/1400; JFB-200/1401; JFB-250/2200; JFB-250/2201
Очистить все
В зависимости от состояния чистоты
Заменить подшипники 3 Годы или 20000h
Очистить водный путь
В зависимости от коррозии
Заменить турбинный ротор после 80000 часы работы
Осторожность
Когда скорость утечки и десорбции системы не меняется и даже долгосрочное прогрев не может восстановить ее вакуумные характеристики, или когда форвакуумный насос сильно возвращает масло, JFB-400/4201 Следует очистить турбомолекулярный вакуумный насос с маслом.
Если JFB Если эти насосы разобраны и собраны без подготовки, то последствия будут ощущаться самим собой.!
7.3 Принцип содержания
7.3.1 Политика обеспечения свободы действий
Продукты турбомолекулярные вакуумные насосы, продаваемые нашей компанией, имеют бесплатный гарантийный период: 12 В период предоставления бесплатной гарантии наша компания предоставляет клиентам бесплатные услуги по ремонту.
Политика бесплатного технического обслуживания применяется только к ремонтным услугам, связанным с качеством турбомолекулярные вакуумные насосы и их контроллер в нормальных условиях эксплуатации.
Если существуют и другие ситуации, выходящие за рамки настоящего руководства, то представитель нашей компании должен провести дружественные переговоры с клиентом в целях поиска решения.
Страница исходного PDF 108 из 119
К поиску и содержанию7.3.2 Ремонтно-эксплуатационные услуги
Наша компания торжественно обещает, что после того, как клиенты сделают эффективные запросы на обслуживание, наш персонал по обслуживанию клиентов предоставит четкие и эффективные решения в отношении технического обслуживания в рамках системы.
24 и предоставление нотариально заверенных и транспарентных услуг по техническому обслуживанию.
Осторожность
Клиенты обязаны сотрудничать с нашим персоналом по обслуживанию клиентов, давать подробное описание явления вины и сотрудничать с персоналом по обслуживанию клиентов в целях выявления причин и решения проблемы.
За пределами периода бесплатного ремонта, если наш персонал по обслуживанию клиентов должен отправиться на объект для клиентов, расходы на ремонт будут включать обычные путевые расходы.
Пожалуйста, сохраняйте договор о покупке, сертификат соответствия продукции и другие материалы, когда клиенты покупают продукцию нашей компании, с тем чтобы предоставить вам эффективные услуги в будущем.
Страница исходного PDF 109 из 119
К поиску и содержанию8. Анализ неисправности
Нет. Описание неисправностей
1
турбомолекулярный вакуумный насос не запускается
1. Насос не получил сигнала
2. Неисправность контроллер
3. Повреждение насоса
4. Другие причины
1. Проверить, ослаб ли силовой шнур или заменить шнур.;
2. Возвращение на фабрику для ремонта;
3. Возвращение на фабрику для ремонта;
2
Запуск или замедление или остановка после запуска
1. В вакуумной системе утечка.
2. Ненормальное давление до стадии
3. Повреждение
4. Бедная смазка
5. Неисправность контроллер
1. Обнаружение и обработка утечек;
2. Проверка правильности работы переднего насоса и наличия утечки воздуха в трубопроводе;
3. Проверить, нормально ли вращение турбин, и если подшипник поврежден, вернуть его на завод в целом.;
4. Возвращайтесь на завод, чтобы заменить подшипники.
3
Чрезмерная вибрация или шум во время работы турбомолекулярного вакуумного насоса
1. Резонанс оборудования
2. Неисправность динамического баланса насоса
3. Повреждение
1. Изменить положение в сборе или метод соединения насоса, зафиксировать подвижные части или добавить устройства для снижения вибрации;
2. Проводить отдельный испытательный прогон насоса, однако по-прежнему наблюдается значительная вибрация и шум.;
3. Полная машина возвращается на завод для технического обслуживания
4 Низкий вакуум
1. Высокое давление до стадии
2. Микроутечка системы
3. Насос загрязнен.
4. Ненормальная частота вращения насоса
5. Датчик измерения
1. Проверка правильности работы переднего насоса и наличия утечки воздуха в трубопроводе;
2. Обнаружение и обработка утечек приборов;
3. Возвращение на фабрику для ремонта, очистки и технического обслуживания;
4. Номинальная частота вращения насоса не достигла.
Страница исходного PDF 110 из 119
К поиску и содержаниюнеисправность
6. Загрязнение системы
7. Неразумная конструкция системы
Проверьте насос и систему управления;
5. Если вакуумный шаблон имеет большую выходную мощность газа или другие неисправности, то он осуществляет прогрев дегазации или техническое обслуживание;
6. Отключение, очистка или теплозапечь системы;
7. Рассчитать конфигурацию вакуума или конструкцию трубопровода
5
До стадий возврата назад
1. Перегородочный клапан не установлен
2. Другие эксплуатационные сбои
1. Устанавливать выпускной клапан между молекулярным и передним насосом.
2. После отключения турбомолекулярного вакуумного насоса работу механического насоса следует немедленно остановить, отключить или дефлировать.
6
Регулярная защита
1. Выходная боковая короткая замыкание
2. Перезапуск вращающегося двигателя
1. Проверить, поврежден ли моторный кабель;
2. Подождите, пока двигатель полностью остановится, прежде чем снова запустить его.
7
Защита контроллера от перенапряжения
Входное напряжение слишком высокое
Проверить, является ли входное напряжение нормальным
8
Защита контроллера от пониженного напряжения
1. Низкое входное напряжение питания
2. Незамедлительное прекращение подачи электроэнергии
1. Проверить, является ли входное напряжение нормальным;
2. Обычные указания;
9
Защита контроллера от перегрева
1. Температура окружающей среды слишком высока
2. Поврежден вентилятор
3. Контроллер слишком грязный внутри.
4. Место установки не способствует вентиляции
1. Снизить температуру окружающей среды;
2. Просьба связаться с изготовителем;
3. Очистить вход и выход воздуха, а также теплопоглотитель;
4. Улучшение вентиляционных условий
Страница исходного PDF 111 из 119
К поиску и содержанию10
Защита турбомолекулярного вакуумного насоса от сверхтока
Утечка системы, чрезвычайно низкий уровень вакуума
Проверка системного оборудования
11
Защита турбомолекулярного вакуумного насоса от перегрева
1. Долгосрочная утечка воздуха и низкая степень вакуума в системе
2. Невключенная вода или недостаточный объем воды и давление в воде
1. Проверьте системное оборудование;
2. Откройте или проверьте циркуляцию воды
12
Защита от перегрузки турбомолекулярные вакуумные насосы
турбомолекулярный вакуумный насос ускоряется в средне- и долгосрочной перспективе с утечкой газа и чрезмерным током
Проверка системного оборудования
13 Другая неисправность дефекты
За помощью просьба связаться с техническим инженером после продажи
Страница исходного PDF 112 из 119
К поиску и содержанию9. Заказ информации для насосных аксессуаров
9.1 Список вспомогательных служб A
Подходит для: JFB-63/81, JFB-100/251, JFB-100/301, JFB-160/401, JFB-160/450D Типы.
Категория Название/Описание.
1 Проводка 24VDC линия электропитания 1.5м
Стандартный силовой шнур турбомолекулярного вакуумного насоса, пригодный для использования: JFB-63/81; JFB-63/81M(J); JFB-100/251
2 Соединитель кабелей
48VDC линия электропитания 2.5м
Подходит для: JFB-100/301; JFB-160/401; JFB-160/450D
——
DB15 глава государственного сектора
Четыре основных RS485 коммуникационная вилка
3
Водоохлаждающие компоненты
Водоохлаждающие компоненты
Факультативные принадлежности
Потребитель должен обеспечить источник охлаждающей воды
——
4
Принадлежности для взрыва
Регулярно открытые высокие транспортные потоки
Факультативные принадлежности
Для применения, связанного с коррозионными газами
A3351
Регулярное открытие малых перевозок A3362
Электромагнитный клапан с высоким расходом потока
A3373
Электромагнитный клапан с низким расходом потока
A3384
5
Запасные элементы
Отапливаемая группа Ø150×80mm Факультативные принадлежности
Для низкотемпературных условий или сценариев с высоким уровнем вакуумного дегазации
——
Отапливаемая группа Ø90×45mm
6
Стандартные принадлежности
M8 Калиперский винт ISO-K Фланец (LF) стандартный
Комбинация калиперных винтов
M10 Калиперский винт 4.1.7738-2
M8 прижимная опорная площадка
Факультативная форма комбинации колодок калипера
4.1.7817
DN100 Гибкий фланец (с кольцевым кольцом) LF100 Гибкий фланец 4.1.7719
DN160 Гибкий фланец (с кольцевым кольцом) LF160 Гибкий фланец 4.1.7720
DN63 Без кислорода медная прокладка
CF63 Стандартная конфигурация фланцев
Комбинированная форма свободной от кислорода медной прокладки
DN100 Без кислорода медная прокладка CF100 Стандартная конфигурация фланцев
Страница исходного PDF 113 из 119
К поиску и содержанию9. Перечень принадлежностей, продолжение
Наименование | Исполнение или примечание | Номер для заказа
Медная бескислородная прокладка DN150 | Стандарт фланца CF160 | 4.1.7362
Болт M8×55 с гайкой, плоской и пружинной шайбами | Для фланцевого соединения | —
Зажим KF16 | Дополнительный вариант | —
Центрирующее кольцо KF16 с защитной сеткой | Дополнительный вариант | —
Уплотнительное кольцо для центрирующего кольца KF16 | Дополнительный вариант | —
Зажим KF25 | Дополнительный вариант | 4.1.7055
Центрирующее кольцо KF25 с защитной сеткой | Дополнительный вариант | 4.1.7040
Уплотнительное кольцо для центрирующего кольца KF25 | Дополнительный вариант | 7045.0.0010
Переходная камера LF100-CF35-KF40-KF25 | Дополнительный вариант | 4.5.3234
Переходная камера CF100-CF35-KF40-KF25 | Дополнительный вариант | 4.5.3235
Переходная камера LF160-CF35-KF40-KF25 | Дополнительный вариант | 4.5.3236
Переходная камера CF160-CF35-KF40-KF25 | Дополнительный вариант | 4.5.3237
Переходная камера LF200-CF35-KF40-KF25 | Дополнительный вариант | 4.5.3238
Переходная камера CF200-CF35-KF40-KF25 | Дополнительный вариант | 4.5.3239
Примечания изготовителя:
1. Состав стандартных принадлежностей согласуется с заказчиком с учетом фактического исполнения фланца вакуумной камеры.
2. В таблице дополнительных вариантов перечислена только часть доступных изделий.
3. Номера для заказа могут обновляться. Перед заказом необходимо подтвердить актуальный номер у поставщика.
Страница исходного PDF 114 из 119
К поиску и содержанию9.2 Список вспомогательных служб B
Подходит для: JFB-160/700; JFB-160/701; JFB-200/1400; JFB-200/1401
JFB-250/2200; JFB-250/2201 Типы.
Категория Название/Описание.
1
Соединитель кабелей
220VAC линия электропитания 2.5м
Стандартный источник питания на турбомолекулярный вакуумный насосе
——
D15 глава государственного сектора ——
Четыре основных RS485 коммуникационная вилка RS458 Соединительный соединитель
JFB-III-B Кабель 2.5m (длина по умолчанию))
Для разделенных турбомолекулярные вакуумные насосы
A3264-1
JFB-III-B Кабель 5.0м A3264-2
JFB-III-B Кабель 10м A3264-3
JFB-III-B Кабель 15м A3264-4
2
Воздушные охлаждающие компоненты
JFB-III Воздушные охлаждающие компоненты
Факультативные принадлежности
Объем воздуха достаточно, и нет необходимости настраивать отдельный источник питания.
A3331
3
Принадлежности для взрыва
Электромагнитный клапан с высоким расходом потока
Факультативные принадлежности
Для видов применения с коррозионными газами или пылью
A3351
Электромагнитный клапан с низким расходом потока A3362
Регулярно открытые высокие транспортные потоки A3373
Регулярное открытие малых перевозок A3384
4
Запасные элементы
Отапливаемая группа Ø197×80mm JFB-700 Функция нагрева корпуса насоса A3831
Отапливаемая группа Ø245×80mm JFB-1400 Функция нагрева корпуса насоса A3832
Отапливаемая группа Ø273×80mm JFB-2200 Функция нагрева корпуса насоса A3833
5
Стандартные принадлежности
M10 Калиперский винт
ISO-K Фланец (LF) стандартный
Комбинация калиперных винтов
4.1.7738-2
M8 Факультативная комбинация колодок калипера 4.1.7817
Страница исходного PDF 115 из 119
К поиску и содержаниюформа
DN160 Гибкий фланец (с кольцевым кольцом) LF160 Гибкий фланец 4.1.7720
DN200 Гибкий фланец (с кольцевым кольцом) LF200 Гибкий фланец 4.1.7721
DN250 Гибкий фланец (с кольцевым кольцом) LF250 Гибкий фланец 4.1.7722
DN150 Без кислорода медная прокладка CF160 Стандартная конфигурация фланцев
Комбинированная форма свободной от кислорода медной прокладки
4.1.7362
M8×55 болт (включая гайка, плоский шайба, пружинная шайба))
4.1.7900
DN200 Без кислорода медная прокладка CF200 Стандартная конфигурация фланцев
Комбинированная форма свободной от кислорода медной прокладки
4.1.7363
M8×60 болт (включая гайка, плоский шайба, пружинная шайба))
4.1.7901
DN250 Без кислорода медная прокладка CF250 Стандартная конфигурация фланцев
Комбинированная форма свободной от кислорода медной прокладки
4.1.7364
M8×65 Гексагональный болт, включая гайка, плоский шайба и пружинная шайба
4.1.7900
6 Дополнительные варианты
KF25 Зажим —— 7055(AL)
KF40 Зажим —— 7056(AL)
KF25 Сочетание с сетчатой сеткой —— 7040
KF40 Сочетание с сетчатой сеткой —— 7041
О-колец (для KF 25 центральная скоба) —— 7045.0.0010
О-колец (для KF 40 центральная скоба) —— 7046.0.0013
CF35 в адрес KF25 соединитель —— 7459
CF35 в адрес KF40 соединитель —— 7460
CF медная прокладка 35 —— 7357
CF медная прокладка 40 —— 7358
Переходная камера LF160-2KF40-CF35 —— 4.5.3866
Страница исходного PDF 116 из 119
К поиску и содержаниюПереходная камера CF160-2KF40-CF35 —— 4.5.3867
Переходная камера LF200-2KF40-CF35 —— 4.5.3868
Переходная камера CF200-2KF40-CF35 —— 4.5.3869
Переходная камера LF250-2KF40-CF35 —— 4.5.3870
Переходная камера CF250-2KF40-CF35 —— 4.5.3871
Замечания:
1. В колонке стандартных аксессуаров в таблице наши инженеры-продавцы должны договориться с клиентом и определиться с ним на основе фактической формы фланцевой полости;
2. В дополнительной колонке "Большие варианты" участвуют только некоторые продукты нашей компании.
3. Для окончательного точного номера заказа просьба связаться с нашим инженером по продажам перед покупкой.
Страница исходного PDF 117 из 119
К поиску и содержанию10. CE и SEMI Сертификация
Страница исходного PDF 118 из 119
К поиску и содержанию
Страница исходного PDF 119 из 119
К поиску и содержаниюГАРАНТИЙНАЯ ФОРМА ИЗДЕЛИЯ
Наименование изделия: ______________________
Серийный номер: ____________________________
Дата изготовления: _________________________
Заказчик: __________________________________
Дата | Содержание ремонта | Исполнитель
ГАРАНТИЙНОЕ ЗАЯВЛЕНИЕ
Для насосов серии JFB, изготовленных компанией CBVAC, применяются установленные изготовителем условия технического обслуживания.
Гарантийное обслуживание и компенсация гарантийных расходов не предоставляются в следующих случаях:
1. Пользователь без разрешения разобрал изделие или изменил его конструкцию.
2. Пользователь нарушил требования к хранению или эксплуатации.
3. Повреждение возникло по иным причинам, относимым к действиям пользователя.
ОБЛАСТЬ ДЛЯ ОТРЕЗАНИЯ И ПЕЧАТИ
Для последующего рассмотрения заполните сведения и направьте форму изготовителю:
Наименование изделия: _______________ Контактное лицо: _______________
Серийный номер: _____________________ Телефон: _______________________
Дата приобретения: __________________ Почтовый индекс: _______________
Заказчик: _____________________________________________________________
Адрес заказчика: _____________________________________________________
Дополнительная PDF-версия
PDF содержит 278 страниц. Первые страницы объясняют структуру издания. Далее исходная страница CBVAC следует перед соответствующим русским переводом; если объем перевода больше одной страницы, используются страницы продолжения. Это сохраняет исходные таблицы, графики, панели контроллеров, схемы подключения и габаритные чертежи как визуальный эталон.
Текст русских страниц доступен для поиска. Для работы с конкретным узлом используйте поиск по модели, обозначению контроллера, разъему DB15 или DB37, слову RS485, адресу регистра либо коду неисправности. Перед переносом значения в проект всегда просматривайте исходную страницу рядом.
Подбор, интеграция и сервисное сопровождение
Лаборатория контроля герметичности LeakLab осуществляет техническое сопровождение турбомолекулярных вакуумных насосов данной серии. Специалисты могут выполнить подбор оборудования, поставку, интеграцию в вакуумную установку, пусконаладочные работы, диагностику и сервисное сопровождение.
При внедрении может быть проверена форвакуумная ступень, вакуумные коммуникации, охлаждение, электропитание, внешнее управление, RS485/Modbus и алгоритмы безопасного пуска и останова. LeakLab не заявляется на этой странице как официальный представитель производителя; локальное сопровождение отделено от текста и гарантийных условий CBVAC.
Турбомолекулярные насосыКаталог оборудования и серий насосов
Насосы CBVAC JFBРаздел серии на керамических подшипниках
Сервис вакуумного оборудованияДиагностика, обслуживание и ремонт
Обучение вакуумной техникеКурс для инженерно-технических специалистов
Связаться с LeakLabНаправить данные установки и технический вопрос