Гелиевый масс-спектрометрический течеискатель ZQJ-Leaklab-3300. Руководство по эксплуатации.

Гелиевый масс-спектрометрический течеискатель ZQJ-Leaklab-3300. Руководство по эксплуатации содержит описание интерфейса прибора, режимов работы, настроек вакуумного и щупового контроля, калибровки, регистрации данных, обработки предупреждений и ошибок. Материал подготовлен для специалистов, которые выполняют испытания на герметичность, настраивают течеискатели, обслуживают вакуумные системы и интегрируют оборудование контроля герметичности в производственные стенды. В статье приведены основные параметры прибора, порядок подготовки к измерениям, требования к внутренней калибровке, особенности работы с интерфейсами I/O, RS232 и RS485, а также рекомендации по безопасной эксплуатации и сервисному обслуживанию.

Гелиевый масс-спектрометрический течеискатель ZQJ-Leaklab-3300

Руководство по эксплуатации. Русская редакция для поставки, внедрения, сервисного обслуживания и обучения персонала.

Настоящий документ описывает требования безопасности, технические характеристики, устройство, принцип работы, порядок установки и основные функции интерфейса гелиевого масс-спектрометрического течеискателя ZQJ-Leaklab-3300.

Прибор имеет полностью русифицированный интерфейс. Перевод выполнен специалистами Лаборатории Ликлаб с учетом корректной технической терминологии, применяемой в вакуумной технике, гелиевом масс-спектрометрическом течеискании и промышленном контроле герметичности.

Русскоязычное меню прибора адаптировано для специалистов, работающих по действующим нормативным документам в области испытаний на герметичность. Термины, обозначения режимов, сообщения об ошибках, предупреждения, параметры калибровки и настройки прибора приведены в технически корректной форме, понятной оператору, инженеру ОТК, специалисту лаборатории контроля и сервисному инженеру.

При подготовке русифицированного интерфейса учтены требования ГОСТ Р 50.05.01, применяемого при контроле герметичности оборудования и трубопроводов атомной промышленности, а также положения современных нормативных документов в сфере испытаний на герметичность. Это позволяет использовать прибор в производственных, лабораторных и сервисных задачах, где требуется единая терминология, корректное отображение единиц измерения, понятная настройка режимов контроля и документально обоснованная интерпретация результатов измерений.

Информация о поставке и сервисной поддержке в России

Лаборатория ЛИКЛАБ является официальным сервисным и торговым представителем компании KYKY в России по направлению гелиевых масс-спектрометрических течеискателей, вакуумных насосов, вакуумной арматуры и средств контроля герметичности.

Лаборатория ЛИКЛАБ обеспечивает поставку течеискателей ZQJ-Leaklab-3300, ZQJ-Leaklab-3301 и соответствующих модификаций серии ZQJ-Leaklab-3300, выполняет внедрение приборов на предприятиях, обучение персонала, настройку режимов контроля, техническое обслуживание, диагностику, ремонт, поставку запасных частей и методическую поддержку.

Лаборатория ЛИКЛАБ проводит работы по внесению новых моделей течеискателей серии ZQJ-Leaklab-3300 в Государственный реестр средств измерений. На момент поставки конкретная модификация может быть внесена в реестр средств измерений и поставляться с действующей поверкой, если данная процедура завершена для соответствующей версии прибора.

Новая серия отличается от стандартных течеискателей расширенными возможностями удаленного контроля. Прибор может использовать беспроводное подключение Wi-Fi, удаленную передачу экрана и дистанционное наблюдение сигнала течи. Это удобно при контроле крупногабаритных изделий, когда течеискатель подключен в одной точке установки, а оператор перемещается по объекту с дистанционным дисплеем и наблюдает результат измерения в реальном времени.

Модельный ряд и назначение

Модель	Описание применения
ZQJ-Leaklab-3300	Базовая модель гелиевого масс-спектрометрического течеискателя для вакуумного метода контроля герметичности, точной локализации течей и количественного измерения потока гелия.
ZQJ-Leaklab-3301	Модификация серии ZQJ-Leaklab-3300 для поставок под конкретные требования заказчика, включая состав насосного блока, интерфейсы, комплектацию и метрологическое оформление.
ZQJ-Leaklab-3302 и последующие подмодели	Специализированные исполнения, которые могут отличаться комплектацией, интерфейсами, программными функциями, условиями поставки, наличием поверки и степенью готовности к интеграции в производственные стенды.

Содержание руководства

Требования безопасности
Введение
Описание руководства
Знаки безопасности
Общие требования безопасности
Гарантийные условия
Требования к персоналу
Комплект поставки
Технические параметры
Основные параметры
Электрические параметры
Параметры окружающей среды
Параметры контроля герметичности
Коммуникационные интерфейсы
Форвакуумный насос
Молекулярный насос
Обзор прибора
Измерительная система
Принцип контроля
Метод контроля
Индикаторный газ
Обнуление фона
Установка прибора
Распаковка и сборка
Транспортирование
Выхлопная линия форвакуумного насоса
Подключение питания
Работа с прибором
Включение
Основной интерфейс
Экран графиков
Системная конфигурация
Настройки течеискания
Начало контроля
Просмотр информации о приборе
Выключение
Устранение неисправностей
Ошибки и предупреждения
Утилизация прибора
Приложения: интерфейсы, заводские параметры, протокол связи, декларация загрязнения

1. Требования безопасности

1.1 Описание руководства

В настоящем разделе приведены требования безопасности, которые пользователь обязан соблюдать при применении гелиевого масс-спектрометрического течеискателя ZQJ-Leaklab-3300. Все лица, выполняющие эксплуатацию, настройку, техническое обслуживание или ремонт прибора, должны внимательно изучить руководство и полностью понять изложенные требования.

1.2 Знаки безопасности

В руководстве применяются следующие категории предупреждений. Перед началом работы необходимо внимательно изучить все требования и ограничения.

Категория	Значение
Опасность	Указывает на угрозу жизни и здоровью персонала.
Серьезное предупреждение	Указывает на риск необратимого повреждения прибора.
Предупреждение	Указывает на фактор, который может нарушить нормальную работу прибора.

2. Общие требования безопасности

2.1 Назначение прибора

Гелиевый масс-спектрометрический течеискатель ZQJ-Leaklab-3300 предназначен для обнаружения и количественного измерения малых течей в системах и изделиях. При вакуумном методе контроля проверяемая система или изделие откачиваются до требуемого давления, после чего возможные места течи обдуваются гелием.

Прибор использует газовый метод контроля герметичности. В качестве индикаторного газа применяется гелий 4He.

2.2 Области промышленного применения

Контроль качества в процессе изготовления изделий.
Контроль качества в производственном цикле.
Испытания и диагностика при ремонте оборудования.
Проверка вакуумных систем, герметичных объемов, узлов и технологических сборок.

Опасность. Токсичные, горючие и коррозионно-активные газы могут причинить вред персоналу. Не приближайтесь к вакуумному выхлопу прибора, если рядом с ним могут присутствовать вредные газы.

Опасность. Запрещается опираться на прибор, садиться на него или ложиться на корпус. Опрокидывание прибора может привести к травмам персонала.

Опасность. Устанавливайте прибор на свободной, ровной и устойчивой поверхности. Нестабильное размещение повышает риск опрокидывания.

Опасность. При работе прибора на входе течеискателя действует перепад давления до одной атмосферы. Не допускайте контакта частей тела, одежды и посторонних предметов с входным фланцем течеискателя.

Серьезное предупреждение. При хранении и эксплуатации запрещается допускать попадание жидкости или кислотных веществ внутрь прибора либо в зону вокруг прибора. Повреждение, возникшее из-за неправильного обращения, не относится к гарантийному случаю.

Серьезное предупреждение. При откачке конденсируемых газов или водяного пара необходимо открыть газобалластный клапан и обеспечить непрерывную работу не менее 20 минут до удаления соответствующих газов. Запрещается немедленно или принудительно выключать прибор, так как конденсируемые пары могут попасть в форвакуумный насос и вызвать коррозионное повреждение его узлов.

Серьезное предупреждение. ZQJ-Leaklab-3300 допускается использовать только для работ по контролю герметичности. Прибор не предназначен для высоконагруженной технологической откачки под давлением, так как это может повредить форвакуумный насос, вакуумную систему и уплотнительные элементы.

Серьезное предупреждение. Запрещается наступать на прибор, сдавливать корпус или создавать механическую нагрузку на элементы конструкции.

Серьезное предупреждение. Не допускайте контакта прибора с галогенсодержащими газами, включая SF6 и аналогичные вещества. Такие газы могут повредить нить источника ионов в масс-спектрометрической системе.

Предупреждение. Прибор прошел испытания по применимым стандартам, однако специфика оборудования не позволяет полностью исключить риски при неправильном применении. Перед использованием необходимо внимательно изучить руководство, особенно разделы по безопасности.

Предупреждение. Прибор должен эксплуатироваться при температуре окружающей среды от +10 °C до +35 °C и относительной влажности менее 80%, если иное не указано в поставочной документации. Неподходящие условия окружающей среды могут повредить прибор.

Предупреждение. В процессе эксплуатации необходимо регулярно проверять техническое состояние прибора. При обнаружении неисправности прибор следует корректно остановить и направить на диагностику или ремонт.

2.3 Гарантийные ограничения

Если пользователь или третья сторона нарушает приведенные ниже требования, производитель и сервисная организация не несут гарантийной ответственности за последствия неправильной эксплуатации:

прибор используется не по назначению;
не соблюдаются требования руководства по эксплуатации;
в конструкцию прибора внесены изменения;
используются принадлежности и запасные части, не предусмотренные эксплуатационной документацией.

2.4 Требования к персоналу

Категория персонала	Требования
Оператор	Должен применять прибор в соответствии с нормальными эксплуатационными требованиями и выполнять предусмотренные регламентом операции ухода.
Персонал технического обслуживания	Должен уверенно работать с прибором и после инструктажа выполнять ежедневное обслуживание, обеспечивающее нормальную эксплуатацию.
Ремонтный персонал	Должен обладать знаниями в области электроники, вакуумной техники или смежных технических дисциплин, пройти специализированную подготовку и уметь устранять эксплуатационные неисправности.

2.5 Дополнительные общие требования

Кроме требований настоящего руководства необходимо соблюдать действующие нормы промышленной безопасности, электробезопасности, охраны труда и защиты окружающей среды. Особое внимание следует уделять работе с токсичными веществами, средствами индивидуальной защиты и безопасной вентиляцией помещения.

Ситуации, при которых прибор необходимо немедленно вывести из эксплуатации

имеются механические повреждения корпуса или узлов прибора;
внутрь прибора попала вода или другая жидкость;
прибор не включается или работает некорректно;
прибор длительное время хранился в неблагоприятных условиях;
прибор получил повреждения при транспортировании.

Питание и заземление

Перед подключением убедитесь, что напряжение питания соответствует требованиям прибора, а защитное заземление выполнено надежно.

Опасность. Питание прибора должно подключаться только через исправную трехпроводную сеть с защитным заземлением.

Выхлоп форвакуумного насоса

В условиях повышенных требований к чистоте помещения или при работе с потенциально вредными газами необходимо подключать выхлоп форвакуумного насоса к вытяжной линии.

Предохранители

Используйте и заменяйте предохранители только в соответствии с требованиями эксплуатационной документации.

Корпус прибора

Опасность. Запрещается самостоятельно демонтировать корпус прибора. Внутри находятся элементы питания, форвакуумный насос, вентиляторы и другие узлы, которые могут представлять опасность для персонала.

Возврат на ремонт

Перед передачей прибора в ремонт необходимо убедиться, что внутри прибора отсутствуют опасные вещества, включая токсичные, коррозионно-активные, радиоактивные и микробиологические загрязнения.

Запасные части

Для ремонта допускается применять только запасные части, поставляемые производителем или официальным сервисным представителем.

3. Комплект поставки

Полный комплект прибора включает следующие основные позиции:

гелиевый масс-спектрометрический течеискатель ZQJ-Leaklab-3300;
руководство по эксплуатации;
комплект принадлежностей и монтажных элементов согласно поставочной спецификации;
документы для ввода в эксплуатацию, поверки и сервисного сопровождения при наличии соответствующего исполнения поставки.

4. Технические параметры

4.1 Основные параметры

Параметр	Значение
Габаритные размеры	757 × 482 × 944 мм, Д × Ш × В
Масса	82 кг
Вход течеискателя	KF25
Выхлоп форвакуумного насоса	KF25
Максимальное давление на линии напуска	1,1 × 10⁵ Па
Степень защиты корпуса	IP30

4.2 Электрические параметры

Параметр	Значение
Напряжение питания	220 В ±10%, 50 Гц
Класс защиты	Класс I
Категория перенапряжения	II
Ток потребления	менее 8 А

4.3 Условия окружающей среды

Параметр	Значение
Рабочая температура	от +5 °C до +45 °C
Относительная влажность	менее 80%

4.4 Параметры контроля герметичности

Параметр	Значение
Режим течеискания	Вакуумный режим
Время запуска	менее 3 минут, время запуска молекулярного насоса
Максимальное давление начала течеискания	1200 Па
Нити источника ионов	2 шт., иридиевые нити с покрытием оксидом иттрия
Минимально обнаруживаемая течь по 4He	менее 5 × 10^-13 Па·м³/с
Максимально измеряемая течь по 4He	1 × 10^-1 Па·м³/с
Единица отображения	Па·м³/с
Индикаторный газ	4He
Время отклика	не более 1 с

4.5 Коммуникационные интерфейсы

Параметры обмена данными приведены в отдельном руководстве по протоколу связи. В составе прибора предусмотрены интерфейсы для связи, дискретных сигналов и интеграции в испытательные установки.

4.6 Форвакуумный насос

Параметр	Значение
Тип насоса	Пластинчато-роторный масляный насос
Производительность	14,4 м³/ч

4.7 Молекулярный насос

Параметр	Значение
Тип	Молекулярный насос FF63/80J
Скорость откачки по N2	60 л/с

5. Обзор прибора

ZQJ-Leaklab-3300 представляет собой полностью автоматизированный интеллектуальный прибор для контроля герметичности. Общий внешний вид прибора показан на рисунке 1.

Рисунок 1. Общий внешний вид прибора

5.1 Основные элементы

Вход течеискателя. Стандартный интерфейс KF25 для подключения проверяемого изделия.
Сенсорный экран и панель управления. Состоят из жидкокристаллического дисплея и органов управления.
Задняя панель. Основные интерфейсы включают входы IO, выходы IO, аналоговый выход, RS232, RS485 и выход 24 В.
Динамик. Используется для звуковой сигнализации.
Системный вход газа. Используется в составе газовой схемы прибора.
Системный выхлоп. Используется для отвода газов из вакуумной системы.

5.2 Измерительная система

Измерительная система включает вход течеискателя, форвакуумный насос, молекулярный насос, блок электромагнитных клапанов и масс-спектрометрическую систему.

Схема измерительной системы ZQJ-Leaklab-3300

Рисунок 2. Схема измерительной системы прибора

Во время контроля проверяемое изделие подключают к входу течеискателя. Электромагнитные клапаны V1, V2, V3 и V4 автоматически переключаются в зависимости от давления на вакуумметре P2, установленном на входе течеискателя. Это обеспечивает безопасное давление в масс-спектрометрической системе.
Встроенная контрольная течь управляется электромагнитным клапаном V5.
Электромагнитный клапан V6 в вакуумном режиме управляет напуском газа в изделие. В режиме щупа он управляет подключением щуповой линии, если такая конфигурация предусмотрена.
Все электромагнитные клапаны открываются при подаче питания на катушку и закрываются при снятии питания.
Форвакуумный датчик P1 измеряет давление на форвакуумной стороне молекулярного насоса. Вакуумметр P2 измеряет давление на входе течеискателя.

5.3 Принцип контроля

Перед началом контроля необходимо надежно соединить проверяемое изделие с входом течеискателя. Электромагнитный клапан V1 открывается, форвакуумный насос и молекулярный насос запускаются в штатной последовательности. Кроме открытого клапана V2, остальные клапаны находятся в закрытом состоянии. Газ из проверяемого изделия предварительно откачивается форвакуумным насосом.

Грубый контроль

Когда давление на входе течеискателя, измеряемое датчиком P2, становится ниже 1000 Па, открывается электромагнитный клапан V1, соединяющий молекулярный насос и форвакуумный насос. Гелий, поступающий через течь проверяемого изделия, в противоточном режиме попадает в масс-спектрометрическую систему. Благодаря высокому коэффициенту сжатия молекулярного насоса для тяжелых газов основная часть тяжелых молекул удаляется насосом, а поток гелия, попадающий в масс-спектрометрическую систему, определяется скоростью откачки форвакуумного насоса по гелию и коэффициентом сжатия молекулярного насоса по гелию.

Точный контроль

Когда давление P2 становится ниже 100 Па, клапан V1 остается открытым, клапан V2 закрывается, а клапан V3 открывается. Низкоэффективный вход молекулярного насоса совместно с форвакуумным насосом переводит проверяемое изделие в более глубокий вакуум. Гелий быстрее поступает в масс-спектрометрическую систему и непрерывно регистрируется.

Сверхточный контроль

Когда давление P2 становится ниже 10 Па, клапан V1 остается открытым, клапан V3 закрывается, а клапан V4 открывается. Высокоэффективный вход молекулярного насоса совместно с форвакуумным насосом создает наиболее глубокий вакуум в проверяемом изделии. Гелий поступает в масс-спектрометрическую систему с максимальной скоростью и непрерывно регистрируется.

После завершения контроля можно открыть клапан V6 и закрыть остальные клапаны, чтобы восстановить в проверяемом изделии атмосферное давление и отсоединить изделие от входа течеискателя.

5.4 Метод контроля

Перед течеисканием необходимо убедиться, что проверяемое изделие допускает вакуумирование. При вакуумном методе внешнюю сторону возможного дефекта обдувают гелием. Гелий проходит через течь из внешней атмосферной стороны во внутренний вакуумный объем, затем поступает в масс-спектрометрическую систему. Чувствительность прибора повышается ступенчато: от грубого контроля к точному контролю, затем к сверхточному контролю.

5.5 Индикаторный газ

Опасность. Подавайте гелий корректно и обеспечивайте вентиляцию рабочей зоны. Неправильное применение индикаторного газа может создать риск вытеснения кислорода.

ZQJ-Leaklab-3300 использует 4He в качестве индикаторного газа для определения потока через течь проверяемого изделия.

5.6 Обнуление фонового сигнала

Фоновый сигнал может изменяться в зависимости от условий применения, например при повышении концентрации гелия в воздухе. В этом случае функция подавления фона позволяет измерять малые течи на фоне изменяющегося сигнала. Функцию обнуления можно включать и отключать в процессе контроля. Также ее можно настроить для автоматического включения при каждом запуске прибора.

Рисунок 3. Пример увеличения фонового сигнала

Если фоновый сигнал увеличивается, как показано кривой 1 на рисунке 3, оператор нажимает кнопку «Подавление нуля» на сенсорном экране или кнопку «Z» на панели в момент t1. Прибор переходит в состояние обнуления. Сигнал кривой 1 в момент t1 автоматически сохраняется как значение фона и далее вычитается из последующих измеренных значений. В результате отображается фактическая кривая течи, показанная кривой 2.

Рисунок 4. Пример уменьшения фонового сигнала

Если фоновый сигнал уменьшается, как показано кривой 1 на рисунке 4, оператор нажимает кнопку «Подавление нуля» на сенсорном экране или кнопку «Z» на панели в момент t1. Если текущий сигнал меньше ранее сохраненного значения фона, прежнее значение заменяется текущим значением сигнала в момент t1. Когда измеренный сигнал снова возрастает в момент t2, сохраненное значение фона остается неизменным, а увеличившийся сигнал отображается как фактическая течь.

Рисунок 5. Возврат к абсолютному измерению

Чтобы отключить функцию обнуления и восстановить отображение абсолютной течи без вычитания фона, необходимо повторно нажать «Подавление нуля» на сенсорном экране или кнопку «Z» на панели. Функция обнуления будет отменена, а сохраненное значение фона автоматически установится равным нулю.

6. Установка прибора

6.1 Требования к месту установки

Несмотря на то что форвакуумный насос ZQJ-Leaklab-3300 установлен на виброизолирующих элементах, остаточная вибрация неизбежна. Чтобы исключить резонанс между прибором и опорной поверхностью, прибор необходимо устанавливать на ровный пол без выраженной внешней вибрации.

Предупреждение. Перед установкой необходимо убедиться, что температура, влажность, электропитание, степень защиты, допустимые механические воздействия и другие условия соответствуют требованиям руководства.

6.2 Распаковка и сборка

ZQJ-Leaklab-3300 поставляется в специальной транспортной упаковке. При распаковке и сборке следует использовать соответствующий инструмент и выполнять работы аккуратно.

Предупреждение. Перед вскрытием упаковки проверьте ее целостность. При обнаружении повреждения упаковки или открытого доступа к прибору необходимо связаться с поставщиком или сервисной службой.

6.3 Транспортирование

В составе прибора установлен масляный механический форвакуумный насос. При заполненном маслом насосе максимальный угол наклона прибора при транспортировании составляет 90°. При работе прибора угол наклона не должен превышать 10°.

ZQJ-Leaklab-3300 выполнен в передвижном корпусе. В верхней части предусмотрена рукоятка, а в нижней части установлены колеса. На колесах со стороны рукоятки предусмотрены тормозные педали, позволяющие фиксировать прибор на месте.

Рисунок 6. Элементы для перемещения прибора

6.4 Выхлопная линия форвакуумного насоса

Форвакуумный насос прибора является масляным механическим насосом. При длительной откачке изделий с высоким начальным давлением возможно образование масляного тумана. В этом случае выхлоп форвакуумного насоса необходимо соединить с трубопроводом, выводящим пары и масляный туман за пределы помещения или в систему вытяжной вентиляции.

Опасность. Во время работы форвакуумного насоса необходимо обеспечить свободный проход выхлопной линии. Закупорка выхлопа или выброс масляного тумана в рабочую зону может быть опасен для персонала.

6.5 Подключение питания

Опасность. Перед эксплуатацией убедитесь, что трехконтактная вилка подключена правильно. Запрещается использовать прибор при неподключенном защитном проводнике.

Предупреждение. Перед подачей питания проверьте параметры электросети и убедитесь, что они соответствуют требованиям нормальной работы прибора.

7. Работа с прибором

7.1 Включение

Убедитесь, что выхлоп форвакуумного насоса подключен к наружной или вытяжной линии, если это требуется условиями эксплуатации.
Перед подачей питания убедитесь, что все необходимые узлы и принадлежности установлены.
После подачи питания прибор запускается автоматически.
После включения молекулярный насос запускается примерно за 2-3 минуты. Сенсорный экран отображает состояние запуска и степень готовности в виде индикатора прогресса. После завершения запуска прибор переходит на страницу «Ожидание».
Перед началом контроля или калибровки рекомендуется выдержать прибор во включенном состоянии не менее 20 минут для стабилизации и обеспечения точности измерений.

7.2 Операционный интерфейс

7.2.1 Главный экран

После завершения запуска прибор переходит на страницу «Ожидание», показанную на рисунке 8.

Рисунок 8. Главный экран

Стандартный главный экран состоит из следующих областей.

Зона числового отображения

Числовое отображение. В научной форме отображаются текущая течь, давление на входе и форвакуумное давление. Единицы измерения можно изменить в меню «Настройки → Системная конфигурация → Единицы / время / язык».

Визуализация значения. Под текущим значением течи отображается столбчатая шкала. Черные обозначения в верхней части шкалы соответствуют порядку величины течи. Зеленые обозначения соответствуют коэффициенту течи. Красная отметка показывает порог сигнализации по течи. Порог можно изменить в меню «Настройки → Точка сигнализации». Цвет фона зоны числового отображения связан с состоянием прибора: синий означает ожидание, зеленый означает контроль, красный означает тревогу по течи.

Нижняя функциональная область

Элемент	Назначение
Состояние прибора	Отображает текущий рабочий режим: ожидание, предварительная откачка, грубый контроль, точный контроль, сверхточный контроль, внутренняя калибровка и другие состояния.
Ошибки и предупреждения	Если ошибок и предупреждений нет, значок остается серым. При наличии ошибки или предупреждения значок становится желтым. При нажатии открывается экран активных тревог с указанием причины.
Зуммер	Зуммер связан с порогом сигнализации 1 или 2. Его можно настроить в меню «Настройки → Точка сигнализации → Активная точка сигнализации». Нажатие на значок переключает состояние зуммера.
Клапан напуска	Управляет напуском газа на вход течеискателя. Нажатие на значок переключает состояние клапана.

Левая панель меню

Пункт меню	Назначение
Контроль / ожидание	Запуск или остановка измерения течи. Перед запуском контроля клапан напуска должен быть закрыт.
Подавление нуля	Включение или отключение функции обнуления фонового сигнала.
График	Отображение изменения течи и давления на входе во времени.
Настройки	Настройка параметров течеискания и общих параметров прибора.
Калибровка	Вход в модуль калибровки, выполнение внутренней калибровки и проверка внутренней калибровки.
Информация	Просмотр параметров масс-спектрометрической камеры, измеренных значений, температуры, питания, активных тревог, ошибок, предупреждений и журналов калибровки.
Напуск	Переключение клапана напуска. Функция совпадает с кнопкой «Клапан напуска» в нижней области.
Газовая схема	Отображение упрощенной схемы газовых линий и текущего состояния клапанов.

7.2.2 Экран графиков

При нажатии значка «График» на левой панели главного экрана открывается экран графиков. На этом экране в виде линий отображается изменение течи и давления на входе во времени. Параметры отображения можно изменять через настройки. Текущие данные могут сохраняться в системе в виде файла и экспортироваться на TF-карту.

Графическая область

Горизонтальная ось. Горизонтальная ось показывает время. Диапазон времени задается через нижний значок «Настройки», далее «Настройки → Настройки отображения → Диапазон времени».

Вертикальные оси. Левая вертикальная ось показывает значение течи. Правая вертикальная ось показывает давление на входе. Диапазоны течи и давления настраиваются на экране «Настройки → Настройка диапазона», при этом связанные с ними единицы измерения не изменяются.

Пороговая линия. Красная пунктирная линия на графике показывает порог сигнализации по течи, соответствующий точке сигнализации 1 или 2.

Функциональная область графика

Функция	Описание
Очистить	Удаляет уже построенные кривые и начинает построение заново.
Запись	Запускает или останавливает запись значений течи и давления. Запись считается завершенной только после нажатия кнопки «Стоп». Данные сохраняются в формате CSV, имя файла может задаваться пользователем.
История	Позволяет просматривать сохраненные CSV-файлы и PNG-изображения графиков.
Настройки	Позволяет установить способ отображения графика, интервал записи течи и диапазон вертикальной оси.

Таблица 1. Параметры настройки графика

Группа	Параметр	Допустимые значения	Заводское значение
Настройки отображения	Отображение графика	Течь и давление / только течь / только давление	Течь и давление
	Диапазон времени, мин	120 / 90 / 60 / 50 / 30 / 12 / 6 / 3 / 1	6
	Интервал записи, с	60 / 30 / 20 / 10 / 5 / 2 / 1	1
Настройка диапазона	Состояние	Отключено / включено	Отключено
	Автоматический диапазон	2 порядка / 4 порядка. Для 2 порядков диапазон составляет 1E-7...1E-9 Па·м³/с. Для 4 порядков диапазон составляет 1E-6...1E-10 Па·м³/с. При активном автоматическом диапазоне ранее заданные диапазоны течи и давления не применяются, так как шкала адаптируется к измеренной течи.	4 порядка
	Верхний предел диапазона течи	1E+2 / 1E+1 / 1E+0 / 1E-1 / 1E-2 / 1E-3 / 1E-4 / 1E-5 / 1E-6 / 1E-7 / 1E-8 / 1E-9 / 1E-10	1E-5
	Нижний предел диапазона течи	1E+2 / 1E+1 / 1E+0 / 1E-1 / 1E-2 / 1E-3 / 1E-4 / 1E-5 / 1E-6 / 1E-7 / 1E-8 / 1E-9 / 1E-10 / 1E-11 / 1E-12 / 1E-13	1E-13

Панель операций экрана графиков

Функция	Порядок применения
Увеличение	По умолчанию значок «Увеличение» недоступен. После нажатия значка «История» в функциональной области графика и открытия записанного файла значок становится активным. Для увеличения выбранной области необходимо нажать две противоположные угловые точки на графике. Выбранный фрагмент будет отображен в увеличенном масштабе.
Метка	По умолчанию значок «Метка» недоступен. После открытия записанного файла через значок «История» функция становится активной. Нажмите «Метка» и выберите любую точку кривой, чтобы посмотреть значения течи и давления в данной точке.
Восстановить	По умолчанию значок «Восстановить» недоступен. После открытия записанного файла через «История» он становится активным. При нажатии график возвращается к исходному масштабу.
Изображение	Значок «Изображение» доступен по умолчанию. При нажатии текущий отображаемый график сохраняется как файл изображения в формате PNG.
Экспорт	Значок «Экспорт» доступен по умолчанию. При нажатии все файлы записи течи, давления и изображения графиков экспортируются на TF-карту. После этого пользователь может перенести данные на компьютер для просмотра и анализа.

7.3 Системная конфигурация

Через меню «Настройки → Системная конфигурация» пользователь может изменять параметры системной конфигурации или восстанавливать заводские значения. Раздел системной конфигурации включает настройки главного экрана, единиц измерения, даты, времени, языка и прав доступа.

7.3.1 Настройки главного экрана

Количество знаков после запятой для значения течи. Через меню «Настройки → Системная конфигурация → Настройки главного экрана → Количество знаков после запятой» задается количество десятичных знаков для отображения течи на главном экране и в строке состояния. Доступны варианты «1 знак» и «2 знака». После изменения или проверки параметра необходимо нажать «Подтвердить».

Скрытие течи в режиме ожидания. Через меню «Настройки → Системная конфигурация → Настройки главного экрана → Скрытие течи в режиме ожидания» можно скрыть или показать значение течи на главном экране, когда прибор находится в состоянии ожидания. Доступны значения «Да» и «Нет».

Верхний и нижний пределы столбчатой шкалы. Через меню «Настройки → Системная конфигурация → Настройки главного экрана → Верхний предел столбчатой шкалы / Нижний предел столбчатой шкалы» задается диапазон отображения течи на столбчатой шкале главного экрана.

Таблица 2. Параметры столбчатой шкалы

Параметр	Тип	Диапазон настройки	Описание
Шкала	Черный крупный шрифт	от -13 до +05	Показатель степени течи при линейном отображении.
Шкала	Зеленый мелкий шрифт	2 / 4 / 6 / 8	Коэффициент течи при логарифмическом отображении.
Красная отметка	Красная линия и треугольник	1,00E-13...1,00E+02	Установленное значение точки сигнализации.
Пределы столбчатой шкалы	Нижний предел	10E-13 / 10E-12 / 10E-11 / 10E-10 / 10E-09 / 10E-08 / 10E-07 / 10E-06	Заводское значение 10E-13.
Пределы столбчатой шкалы	Верхний предел	10E-02 / 10E-01 / 10E-00 / 10E+01 / 10E+02 / 10E+03 / 10E+04 / +05	Заводское значение 10E-03.
Индикаторная полоса	Зеленая	Состояние ниже порога	Значение течи не превышает выбранную точку сигнализации.
Индикаторная полоса	Красная	Состояние выше порога	Значение течи превышает выбранную точку сигнализации.

7.3.2 Единицы измерения, дата, время и язык

Единицы измерения течи и давления. Через меню «Настройки → Системная конфигурация → Единицы / время / язык → Единица течи / Единица давления» задаются единицы отображения течи и давления.

Таблица 3. Настройка единиц течи и давления

Настройка	Единица	Описание
Течь	mbar·l/s	Единица данных связи.
	Па·м³/с	Единица отображения по умолчанию.
	Torr·l/s	Дополнительная единица отображения.
	atm·cc/s	Дополнительная единица отображения.
	ppm	Дополнительная единица отображения.
	sccm	Дополнительная единица отображения.
	sccs	Дополнительная единица отображения.
	mTorr·l/s	Дополнительная единица отображения.
Давление	mbar	Единица данных связи.
	Па	Единица отображения по умолчанию.
	Torr	Дополнительная единица отображения.
	atm	Дополнительная единица отображения.

Дата и время. Через меню «Настройки → Системная конфигурация → Единицы / время / язык → Дата / время» можно отдельно установить дату и время прибора. Формат даты: год - месяц - день. Формат времени: часы - минуты - секунды.

Язык. Язык сенсорного экрана по умолчанию: упрощенный китайский. Через меню «Настройки → Системная конфигурация → Единицы / время / язык → Язык» можно изменить язык отображения. Доступны упрощенный китайский и английский язык.

7.3.3 Настройка прав доступа

Доступ к функциям сенсорного экрана зависит от уровня прав. По умолчанию используется уровень администратора. Через меню «Настройки → Системная конфигурация → Права / пароль» пользователь может выбрать права обычного пользователя или администратора. Вход с правами администратора требует проверки пароля. Пароль по умолчанию: 0000. Пользователь может изменить пароль при необходимости.

7.4 Настройки течеискания

Параметры, связанные с течеисканием, задаются через экран «Главный экран → Настройки».

7.4.1 Режим работы

При наличии прав администратора через меню «Настройки → Режим работы» можно задать параметры режима работы прибора.

Таблица 4. Параметры режима работы

Группа	Параметр	Диапазон или варианты	Заводское значение
Выбор режима	Режим	Вакуумный режим / режим щупа	Вакуумный режим
Выбор режима	Коррекция течи в режиме ожидания	Выкл. / вкл.	Выкл.
Вакуумный режим	Коэффициент калибровки	0,01...5000	1
	Механический коэффициент	1,00E-04...1,00E+05	1
	Внешняя контрольная течь	1,00E-09...9,90E-01	9,90E-01
	Внутренняя контрольная течь	1,00E-09...9,90E-01	9,90E-01
Режим щупа	Доля газа, %	1...100	100
	Коэффициент калибровки	0,01...100	1
	Коэффициент щупа	1,00E-04...1,00E+04	1
	Внешняя контрольная течь	5,00E-06...9,90E-01	9,90E-01
	Кнопка подавления нуля на щупе	Выкл. / вкл.	Вкл.
Контроль капилляра	Давление закупорки капилляра	1,00E-03...18	4,00E-01
Контроль капилляра	Давление разрыва капилляра	1,00E-03...18	2
Давление переключения	Давление грубого контроля, Па	150...1500	1000
	Давление точного контроля, Па	40...150	100
	Давление сверхточного контроля, Па	0...40	10

7.4.2 Масс-спектрометрическая камера

Через меню «Настройки → Масс-спектрометрическая камера» открывается экран настройки соответствующих параметров.

Таблица 5. Параметры настройки масс-спектрометрической камеры

Группа	Параметр	Диапазон или варианты	Заводское значение
Турбомолекулярный насос	Нормальное состояние TMP	Выкл. / вкл.	Вкл.
	Скорость вращения TMP	1500 / 1000	1500
	Режим вентилятора	По температуре / включен	По температуре
Источник ионов	Эмиссия	Выкл. / вкл.	Вкл.
	Выбор катода	Катод 1 / катод 2 / автоматический катод 1 / автоматический катод 2 / выкл.	Автоматический катод 1
	Напряжение анода, В	390...520	465
	Ток эмиссии, А	1,00E-04...2,80E-03	2,50E-03
Предварительный усилитель	Сопротивление, Ом	4,50E+01...5,50E+11	5,00E+11
	Тест усилителя	Выкл. / вкл.	Вкл.
	Диапазон усилителя	13 МОм / 470 МОм / 15 ГОм / 500 ГОм	500 ГОм
	Положение управления	Ввод / автоматическое	Автоматическое

7.4.3 Подавление нуля и фильтр

Настройка фильтра течи влияет на результат измерения. Фильтр устраняет пики помех, не связанные с сигналом течи, и позволяет сохранять приемлемое время отклика при малых значениях течи. Функцию обнуления можно включать и отключать через значок «Подавление нуля» на левой панели главного экрана или через меню «Настройки → Подавление нуля и фильтр». Эта функция эффективно устраняет влияние локального фонового гелия в приборе.

Таблица 6. Параметры подавления нуля и фильтра

Параметр	Диапазон или варианты	Заводское значение
Подавление нуля при запуске	Выкл. / вкл.	Выкл.
Режим подавления нуля	Подавлять все / 1-2 порядка / 2-3 порядка / 2 порядка / 3-4 порядка / сигнал 19/20	Подавлять все
Способ фильтрации	Фильтр 2-го уровня / калибровка 1-го уровня / фиксированный / фильтр 1-го уровня / боковое подавление фильтра 1-го уровня	Фильтр 2-го уровня
Время подавления нуля, с	5...300	50
Течь переключения фильтра	1,00E-11...9,90E+03	5,00E+11

7.4.4 Настройка сигнализации

При наличии прав администратора через меню «Настройки → Точка сигнализации» задаются параметры сигнализации. Во время контроля прибор подает соответствующий звуковой сигнал в зависимости от установленных порогов.

Таблица 7. Параметры сигнализации

Параметр	Значение	Описание
Используемая точка сигнализации	Выкл.	При превышении течи звуковой сигнал не подается.
	Точка сигнализации 1	Если текущая течь выше установленного значения точки 1, подается звуковой сигнал 1.
	Точка сигнализации 2	Если текущая течь выше установленного значения точки 2, подается звуковой сигнал 2.
Точка сигнализации 1	1,00E-13...1,00E+02	Значение порога 1 в Па·м³/с.
Точка сигнализации 2	1,00E-13...1,00E+02	Значение порога 2 в Па·м³/с.

7.4.5 Настройка клапанов

Через меню «Настройки → Настройка клапанов» можно задать состояние клапана внутренней контрольной течи и газобалластного клапана.

Таблица 8. Параметры настройки клапанов

Параметр	Варианты	Заводское значение
Внутренняя контрольная течь	Выкл. / вкл.	Выкл.
Газобалластный клапан	Выкл. / вкл. / постоянно включен	Выкл.

7.4.6 Запрос калибровки

Когда прибор выполняет определенные операции или изменяются условия окружающей среды, может потребоваться калибровка. Параметры запроса калибровки задаются через меню «Настройки → Запрос калибровки».

Таблица 9. Запрос калибровки

Параметр	Описание
Запрос калибровки	Включает или отключает отображение подсказки о необходимости калибровки.
Предупреждение калибровки W650	Разрешает или запрещает предупреждение W650 о том, что калибровку не рекомендуется выполнять в первые 20 минут после запуска.

7.4.7 Внутренняя калибровка

В вакуумном режиме прибор может выполнять внутреннюю калибровку. Для запуска используется меню «Калибровка → Внутренняя калибровка». Внутренняя калибровка выполняется только по гелию с массовым числом 4. Параметры калибровки задаются через меню «Калибровка → Настройки калибровки». Перед запуском внутренней калибровки вход течеискателя должен быть закрыт глухой заглушкой. Дальнейшее участие оператора не требуется, так как прибор выполняет калибровку автоматически.

Предупреждение. Для корректной калибровки прибор должен работать не менее 20 минут. Если внутренние условия прибора не стабилизированы, после калибровки может возникнуть существенная погрешность измерений.

7.5 Начало контроля

7.5.1 Контроль в вакуумном режиме

Перед течеисканием убедитесь, что все необходимые элементы установлены, а проверяемое изделие надежно закреплено на входе течеискателя.
После включения прибора дождитесь отображения состояния «Ожидание». Это означает готовность прибора к работе. Проверьте параметры интерфейса и убедитесь, что прибор работает в вакуумном режиме.
Для повышения точности измерения рекомендуется начинать контроль через 30 минут после включения.
Нажмите значок «Контроль / ожидание» на левой панели главного экрана или кнопку запуска и остановки на панели управления. Во время предварительной откачки изделия значение давления P2 на входе течеискателя начнет снижаться. Когда давление достигнет установленного значения соответствующего режима, прибор перейдет в режим течеискания. Фоновая течь будет отображаться на сенсорном экране в реальном времени. Когда фоновый сигнал стабилизируется или станет меньше 1E-10 Па·м³/с, можно обдувать проверяемое изделие гелием. Если в изделии есть течь, значение течи увеличится и через некоторое время стабилизируется. Стабильное значение течи принимается как измеренная течь проверяемого изделия.
Для завершения измерения повторно нажмите значок «Контроль / ожидание» на левой панели главного экрана или кнопку запуска и остановки на панели управления. Прибор вернется в состояние «Ожидание».
Нажмите значок «Напуск» на сенсорном экране и снимите проверяемое изделие с входа течеискателя.
Для продолжения контроля установите следующее изделие на вход течеискателя и повторите процедуру с первого шага. Для завершения работы установите глухую заглушку на вход течеискателя и выключите питание.

7.5.2 Отображение измеренного значения

В процессе контроля, когда давление при предварительной откачке достигает установленного значения соответствующего режима, прибор переходит в нужный режим течеискания. Текущая течь отображается на главном экране в числовой форме и в виде столбчатой шкалы. Давление на входе течеискателя и форвакуумное давление отображаются в числовой форме в реальном времени.

7.6 Просмотр информации о приборе

Различную информацию о состоянии прибора можно просматривать через пункт «Информация».

7.7 Выключение

Конструкция ZQJ-Leaklab-3300 предусматривает развитую систему защиты, поэтому выключатель питания можно отключить в любой момент эксплуатации. После выключения установленные параметры автоматически сохраняются, поэтому при следующем включении их не требуется задавать повторно.

8. Устранение неисправностей

Неисправности прибора отображаются на сенсорном экране в виде предупреждений и ошибок. Предупреждение сообщает пользователю о проблеме, при которой прибор еще может продолжать работу. При возникновении ошибки дальнейшая эксплуатация прибора невозможна до устранения причины.

8.1 Сообщения об ошибках

Сообщения об ошибках указывают на неисправности, при которых эксплуатация прибора должна быть остановлена до устранения причины. При появлении ошибок, связанных с источником питания, масс-спектрометрической камерой, турбомолекулярным насосом, предварительным усилителем, катодами или платами управления, рекомендуется выполнить безопасное выключение прибора и передать его на диагностику в сервисную службу ЛИКЛАБ.

Таблица 10. Сообщения об ошибках ZQJ-Leaklab-3300

Код ошибки	Сообщение на дисплее	Причина неисправности и способ устранения
ERR129	Ошибка устройства EEPROM	EEPROM не содержит совместимых данных. Требуется проверка данных памяти и платы управления.
ERR130	Щуп не подключен	Электрически не подключена линия щупа. Проверьте разъем, кабель и состояние щупового модуля.
ERR242	Короткое замыкание напряжения +15 В или -15 В	Напряжение +15 В или -15 В слишком низкое. Возможны короткое замыкание предварительного усилителя, повреждение IF-Board или MSB.
ERR252	Короткое замыкание напряжения +15 В или -15 В	Напряжение +15 В или REF5V слишком низкое. Возможны короткое замыкание предварительного усилителя, повреждение IF-Board или MSB.
ERR306	Ошибка напряжения анода	Напряжение анода не соответствует заданному значению или заданное значение находится вне допустимого диапазона настройки.
ERR312	Катод поврежден	Возможны повреждение катода, обрыв провода катода, неисправность IF-Board или MSB.
ERR340	Ошибка эмиссии	Эмиссия не стабилизировалась. Возможна повышенная величина давления. Сообщение формируется после задержки около 15 секунд.
ERR358	Предварительный усилитель колеблется между двумя диапазонами	Сигнал изменяется слишком резко или поврежден предварительный усилитель.
ERR400	Номер ошибки турбомолекулярного насоса	Причина в исходном фрагменте не указана. Требуется считывание дополнительного кода контроллера турбомолекулярного насоса.
ERR402	Нет связи с турбомолекулярным насосом	Проверьте кабель турбомолекулярного насоса. Возможны повреждение насоса, IF-Board или MSB.
ERR403	Слишком низкая скорость турбомолекулярного насоса	Возможны повышенное давление на стороне насоса или неисправность турбомолекулярного насоса.
ERR404	Слишком высокая потребляемая мощность турбомолекулярного насоса	Возможны повышенное давление или дефект турбомолекулярного насоса.
ERR405	Турбомолекулярный насос не разгоняется	Причина в исходном фрагменте не указана. Проверьте условия запуска, форвакуумное давление и состояние контроллера насоса.
ERR410	Слишком высокая температура турбомолекулярного насоса	Неисправно охлаждение. Проверьте условия эксплуатации модуля MSB и охлаждение насоса.
ERR420	Слишком высокое напряжение турбомолекулярного насоса	Возможны повреждение блока питания или повреждение турбомолекулярного насоса.
ERR422	Турбомолекулярный насос не разгоняется	Слишком высокое форвакуумное давление турбомолекулярного насоса, слишком высокое предельное давление форвакуумного насоса, негерметичность высоковакуумной системы, незакрытый перепускной клапан, повреждение подшипников или неисправность турбомолекулярного насоса.
ERR423	Рост давления турбомолекулярного насоса	Возможен подсос воздуха, повреждение перепускного клапана или ошибка измерения давления.
ERR541	Щуп заблокирован, P1	Засорение щупа, повреждение щупового клапана или засорение фильтра. Давление ниже половины установленного предупредительного значения.
ERR557	Дроссельный клапан заблокирован	Слишком низкое давление P1.
ERR711	Превышена максимальная температура MSB	Температура слишком высокая. Проверьте охлаждение и условия эксплуатации электронного блока.

8.2 Предупреждения

Предупреждения указывают на отклонения, при которых прибор может сохранять работоспособность, но требует проверки условий эксплуатации, состояния подключенных модулей или корректности настроек. Игнорирование предупреждений может привести к ошибкам измерения, срыву калибровки, повреждению катодов, загрязнению масс-спектрометрической камеры или отказу вакуумного тракта.

Таблица 11. Предупреждения ZQJ-Leaklab-3300

Код предупреждения	Сообщение на дисплее	Причина неисправности и способ устранения
WRN102	Тайм-аут EEPROM MSB-Box, количество параметров	Возможна неисправность EEPROM платы IF-Board или неисправность MSB.
WRN104	Один параметр EEPROM инициализирован	Предупреждение возможно после обновления программного обеспечения или при повреждении EEPROM.
WRN106	Параметры EEPROM инициализированы	Предупреждение возможно после обновления программного обеспечения или при повреждении EEPROM.
WRN110	Время не установлено	Не установлена перемычка часов, разряжена батарея или неисправны часы реального времени.
WRN122	Шинный модуль не отвечает	Соединение с шинным модулем прервано.
WRN123	BM1000 не поддерживает конфигурацию INFICON	Подключенный тип полевой шины BM1000 не поддерживает выбранную конфигурацию INFICON.
WRN125	Модуль I/O не подключен	Соединение с модулем ввода-вывода прервано.
WRN127	Неверная версия Bootloader	Bootloader несовместим с прикладным программным обеспечением.
WRN132	SL3000 не поддерживается	При использовании XL Sniffer-Adapter допускается применение только SL3000XL.
WRN150	Датчик давления 2 не подключен	Подключите датчик давления PSG500 к разъему FINE.
WRN153	Версия программного обеспечения CU1000 устарела	Рекомендуется обновить программное обеспечение CU1000.
WRN156	Ошибка идентификатора AQ-режима	Идентификатор AQ-режима задан ошибочно.
WRN201	U24_MSB слишком низкое	Проверьте источник питания 24 В.
WRN202	U24_MSB слишком высокое	Проверьте источник питания 24 В.
WRN203	Напряжение 24V_PWR12 вне диапазона	Возможное короткое замыкание клапана 1, клапана калибровочной течи, или клапана 2, газобалластного клапана.
WRN204	Напряжение 24V_PWR34 вне диапазона	Возможное короткое замыкание клапана 3 или клапана 4.
WRN205	Напряжение 24V_PWR56 вне диапазона	Возможное короткое замыкание клапана 5, щупового клапана, или клапана 6.
WRN221	Внутреннее напряжение 24V_RC вне допустимого диапазона	Короткое замыкание 24 В на выходе блока управления.
WRN222	Внутреннее напряжение 24V_IO вне допустимого диапазона	Короткое замыкание 24 В на выходе I/O.
WRN223	Внутреннее напряжение 24V_TMP вне допустимого диапазона	Короткое замыкание цепи 24 В турбомолекулярного насоса.
WRN224	Внутреннее напряжение 24V_1, Pirani, вне допустимого диапазона	Короткое замыкание 24 В. Проверьте датчики давления PSG500 1, 2, 3 и линию щупа.
WRN240	Напряжение +15 В вне допустимого диапазона	Напряжение +15 В слишком низкое. Возможна неисправность IF-Board или MSB.
WRN241	Напряжение -15 В вне допустимого диапазона	Напряжение -15 В слишком низкое. Возможны короткое замыкание предварительного усилителя, неисправность IF-Board или MSB.
WRN250	Напряжение REF5V вне допустимого диапазона	Напряжение +15 В или 5 В слишком низкое. Возможны короткое замыкание предварительного усилителя, неисправность IF-Board или MSB.
WRN300	Слишком низкое напряжение анода	Короткое замыкание напряжения катода, слишком высокое давление в масс-спектрометре, неисправность IF-Board или источника ионов.
WRN301	Слишком высокое напряжение анода	Возможна неисправность MSB.
WRN302	Слишком низкое напряжение подавляющего электрода	Короткое замыкание подавляющего электрода, неисправность IF-Board или MSB.
WRN303	Слишком высокое напряжение подавляющего электрода	Возможна неисправность MSB.
WRN304	Слишком низкое напряжение анод-катод	Короткое замыкание между анодом и катодом, неисправность IF-Board или MSB.
WRN305	Слишком высокое напряжение анод-катод	Возможна неисправность MSB.
WRN310	Катод 1 поврежден	Возможны повреждение катода, обрыв провода катода, неисправность IF-Board или MSB.
WRN311	Катод 2 поврежден	Возможны повреждение катода, обрыв провода катода, неисправность IF-Board или MSB.
WRN332	Система загрязнена гелием	Сигнал течи имеет неблагоприятный уровень, например ниже 0,15 от триггера 1. Можно задать время реакции предупреждения.
WRN334	Внезапный рост течи	Обнаружена грубая течь.
WRN342	Катод не подключен	При самопроверке после включения обнаружены дефекты двух катодов или неподключенный разъем.
WRN350	Подавляющий электрод не подключен	При самопроверке после включения не подключен кабель подавителя или кабель поврежден.
WRN352	Предварительный усилитель не подключен	Предварительный усилитель поврежден или кабель не подключен.
WRN359	Перемодуляция предварительного усилителя	Сигнал слишком большой или поврежден предварительный усилитель.
WRN360	Слишком низкий выходной сигнал предварительного усилителя	Возможны неудовлетворительное состояние источника ионов или загрязнение масс-спектрометра.
WRN361	Слишком высокий сдвиг предварительного усилителя	Возможна неисправность предварительного усилителя.
WRN362	Ошибка диапазона предварительного усилителя	Возможна неисправность предварительного усилителя или MSB-Box.
WRN390	Диапазон 500 ГОм вне нормы	Возможны повреждение предварительного усилителя, неисправность подавителя, повреждение IF-Board или MSB.
WRN401	Номер предупреждения турбомолекулярного насоса	Причина в исходном фрагменте не указана. Требуется считывание дополнительного кода контроллера турбомолекулярного насоса.
WRN411	Температура турбомолекулярного насоса высокая	Неисправно охлаждение. Проверьте условия эксплуатации модуля MSB.
WRN421	Слишком низкое напряжение турбомолекулярного насоса	Сечение цепи питания 24 В модуля масс-спектрометра недостаточно, выход питания 24 В слишком малый, ток меньше 10 А, возможны повреждение источника питания или турбомолекулярного насоса.
WRN500	Датчик давления 1 не подключен	Датчик давления PSG500 P1 не подключен. Возможна неисправность IF-Board или MSB.
WRN502	Датчик давления 2 не подключен	Датчик давления PSG500 P2 не подключен. Возможна неисправность IF-Board или MSB.
WRN520	Давление слишком высокое	Давление P1 слишком высокое.
WRN521	Рост давления, срыв напряжения анода	Давление P1 слишком высокое. Сообщение формируется примерно через 1,4 секунды.
WRN522	Рост давления, срыв эмиссии	Эмиссия предварительно была стабильной, но давление P1 слишком высокое. Сообщение формируется примерно через 5 секунд.
WRN540	Давление слишком низкое, щуп засорен	Возможны засорение щупа, повреждение щупового клапана или засорение фильтра.
WRN542	Обрыв щупа	Обрыв щуповой линии.
WRN550	Давление слишком низкое, XL Sniffer засорен	Очистите или замените капилляр High Flow линии щупа. Замените загрязненный фильтр.
WRN552	Обрыв XL Sniffer	Замените капилляр High Flow линии щупа.
WRN554	XL Sniffer P2 слишком малое	Слишком низкое давление на SL3000XL в режиме Low Flow.
WRN556	Износ дроссельного клапана	Слишком низкое давление P1.
WRN600	Коэффициент калибровки слишком низкий	Неверно задана калибровочная течь или механический коэффициент.
WRN601	Коэффициент калибровки слишком высокий	Неверно задана калибровочная течь или механический коэффициент. Частичный токовый коэффициент слишком велик.
WRN602	Коэффициент калибровки ниже значения предыдущей калибровки	Изменены калибровочная течь, механический коэффициент или частичный токовый коэффициент.
WRN603	Коэффициент калибровки выше значения предыдущей калибровки	Изменены калибровочная течь, механический коэффициент или частичный токовый коэффициент.
WRN604	Внутренняя калибровка невозможна, отсутствует управление течью	Калибровочная течь не работает.
WRN605	Слишком малая разница при калибровке	Калибровочная течь повреждена или сигнал слишком мал.
WRN610	Механический коэффициент слишком низкий	Механический коэффициент настроен ошибочно.
WRN611	Механический коэффициент слишком высокий	Механический коэффициент настроен ошибочно. Частичный токовый коэффициент слишком велик.
WRN612	Механический коэффициент ниже предыдущего значения	Частичный токовый коэффициент изменен.
WRN613	Механический коэффициент выше предыдущего значения	Частичный токовый коэффициент изменен.
WRN625	Внутренняя течь не настроена	Значение течи внутреннего калиброванного натекателя осталось заводским.
WRN626	Внешняя течь не настроена	Значение течи внешнего калиброванного натекателя осталось заводским.
WRN630	Запрос калибровки	После последней калибровки изменена настройка скорости или температура предварительного усилителя изменилась на 5 °C.
WRN650	Калибровку не рекомендуется выполнять в первые 20 минут	Калибровку не рекомендуется выполнять в первые 20 минут после запуска прибора, пока продолжается прогрев и стабилизация.
WRN670	Ошибка при калибровке	При калибровке возникла проблема. Необходимо выполнить повторную калибровку.
WRN671	Пик не найден	Во время поиска пика сигнал сильно колебался. Калибровка прервана.
WRN680	Обнаружено отклонение калибровки	Результат проверки калибровки показывает необходимость повторной калибровки.
WRN700	Температура предварительного усилителя слишком низкая	Температура слишком низкая.
WRN702	Температура предварительного усилителя слишком высокая	Температура слишком высокая.
WRN710	Температура MSB слишком высокая	Температура слишком высокая.
WRN901	Обслуживание подшипников / смазки	Требуется техническое обслуживание турбомолекулярного насоса.
WRN902	Обслуживание форвакуумного насоса	Требуется техническое обслуживание форвакуумного насоса. В исходном фрагменте ошибочно указано обслуживание турбомолекулярного насоса.

9. Сервисные предупреждения и обращение с прибором

Если на дисплее прибора появляются предупреждения или ошибки, которые пользователь не может устранить штатными действиями, необходимо прекратить самостоятельные попытки ремонта и обратиться в сервисную службу ЛИКЛАБ или официальный сервисный центр. Запрещается вскрывать прибор, применять усилие к узлам вакуумной системы, разбирать масс-спектрометрическую камеру, отсоединять внутренние кабели и выполнять ремонт электронных плат без соответствующей квалификации.

Предупреждение. При появлении неисправности прибор необходимо передать на выездную диагностику или направить в сервисную организацию. Самостоятельная разборка прибора может привести к повреждению турбомолекулярного насоса, ионного источника, предварительного усилителя, вакуумных соединений и электронных модулей.

10. Утилизация прибора

Отдельные компоненты гелиевого масс-спектрометрического течеискателя могут представлять опасность для персонала и окружающей среды. Утилизацию прибора, рабочих жидкостей, электронных модулей, вакуумных насосов, фильтров и загрязненных деталей выполняют по действующим экологическим и промышленным требованиям.

Опасность. Компоненты прибора могут содержать материалы, рабочие жидкости и загрязнения, требующие специального обращения. Их нельзя утилизировать вместе с бытовыми отходами.

Предупреждение. Неправильная утилизация загрязненных деталей, масел, фильтров и электронных компонентов может привести к загрязнению окружающей среды.

10.1 Классификация компонентов при утилизации

После демонтажа изделия все компоненты необходимо разделить на три группы: опасные компоненты, безопасные компоненты и рабочие жидкости.

Опасные компоненты

Опасные компоненты необходимо обезвреживать и утилизировать согласно действующим нормативным требованиям. Сортировку выполняют по типу материала, степени загрязнения и характеру возможной опасности.

Безопасные компоненты

Безопасные компоненты подлежат сортировке по материалам и последующей переработке. Металлические, пластиковые и электротехнические элементы необходимо передавать в соответствующие потоки утилизации.

Рабочие жидкости

Рабочие жидкости форвакуумного насоса и турбомолекулярного насоса, включая смазочные масла, необходимо собирать отдельно и передавать на утилизацию в установленном порядке.

Приложение A. Интерфейсы прибора

ZQJ-Leaklab-3300 оснащен внешними интерфейсами для подключения управляющих и коммуникационных линий. Внешний вид интерфейсной панели показан на приложении A.1.

Внешние интерфейсы ZQJ-Leaklab-3300 — Приложение A.1. Внешние интерфейсы прибора

A.1 Интерфейс I/O

Через интерфейс I/O можно управлять отдельными функциями течеискателя и получать сигналы состояния. Назначение контактов интерфейса I/O приведено на приложении A.2.

Назначение контактов интерфейса I/O ZQJ-Leaklab-3300 — Приложение A.2. Назначение контактов интерфейса I/O

A.2 Интерфейс RS485

Интерфейс RS485 предназначен для подключения течеискателя к компьютеру или внешней системе управления. Назначение контактов RS485 приведено на приложении A.3.

Назначение контактов интерфейса RS485 ZQJ-Leaklab-3300 — Приложение A.3. Назначение контактов интерфейса RS485

Интерфейсы RS232 и RS485 могут применяться для управления течеискателем через коммуникационный кабель. Одновременное управление через RS232 и RS485 не допускается.

A.3 Интерфейс RS232

Интерфейс RS232 предназначен для подключения течеискателя к компьютеру. Назначение контактов RS232 приведено на приложении A.4.

Назначение контактов интерфейса RS232 ZQJ-Leaklab-3300 — Приложение A.4. Назначение контактов интерфейса RS232

Приложение B. Заводские параметры по умолчанию

В таблице приведены основные заводские параметры прибора. Часть параметров возвращается к заводскому значению при выполнении функции восстановления заводских настроек. Часть параметров относится к индивидуальным настройкам прибора и не входит в набор заводских параметров.

Таблица B.1. Заводские параметры ZQJ-Leaklab-3300

Параметр	Значение по умолчанию	Возвращается при восстановлении заводских настроек	Входит в заводские параметры
Контрастность	100	Нет	Нет
Единица измерения течи	Па·м³/с	Да	Да
Единица измерения давления	Па	Да	Да
Шкала	Логарифмическая	Да	Да
Количество логарифмических порядков	4	Да	Да
Диапазон отображения	Автоматический	Да	Да
Минимальный диапазон	1E-13 Па·м³/с	Да	Да
Пароль доступа	0000	Да	Нет
Язык	Китайский	Да	Нет
Режим течеискания	Вакуумный	Да	Да
Массовое число	4	Да	Да
Коэффициент течи	1,0	Да	Нет
Фильтр	Фиксированный	Да	Да
Подавление нуля	Выключено	Да	Да
Режим сигнализации	Срабатывание по порогу	Да	Да
Порог сигнализации в вакуумном режиме	1E-7 Па·м³/с	Да	Да
Значение сигнализации	100%	Да	Да
Аналоговый канал 1	Коэффициент течи	Да	Да
Аналоговый канал 2	Показатель степени течи	Да	Да
Верхний предел аналогового выхода	+3,3	Да	Нет
Положение датчика P2	Внутреннее	Нет	Нет
Интерфейс	RS232	Да	Нет
Протокол интерфейса	LD-протокол	Да	Да
Сверхточный режим	Разрешен	Да	Да
Давление сверхточного режима	10 Па	Да	Да
Точный режим	Разрешен	Да	Да
Давление точного режима	100 Па	Да	Да
Грубый режим	Разрешен	Да	Да
Давление грубого режима	1000 Па	Да	Да
Напуск	Ручной	Да	Да
Запрос калибровки	Включен	Да	Да
Внутренняя калиброванная течь	1,56E-8 Па·м³/с	Нет	Нет
Режим калибровки	Внутренний автоматический	Да	Да

Приложение C. Коммуникационный протокол

Описание коммуникационного протокола приведено в отдельном документе по протоколу связи ZQJ-Leaklab-3300. При интеграции течеискателя в автоматизированную установку необходимо согласовать выбранный интерфейс, протокол обмена, формат команд, обработку аварийных состояний и режимы удаленного управления.

Приложение D. Декларация о загрязнении

Перед отправкой прибора в сервисную организацию необходимо подтвердить, что прибор не содержит опасных веществ, включая коррозионно-активные, токсичные, радиоактивные и микробиологически опасные загрязнения. Если прибор контактировал с опасными веществами, необходимо приложить информационный лист о загрязнении и нанести на упаковку соответствующую маркировку опасности.

Серьезное предупреждение. Перед отправкой прибора в ремонт необходимо полностью заполнить декларацию о загрязнении и приложить ее к прибору. При отсутствии такой декларации сервисная организация вправе отказать в приемке прибора до подтверждения его безопасного состояния.

Назад к списку