ASM 310 — полная русскоязычная инструкция по техническому обслуживанию

Содержание первого этапа

1. О данном руководстве
   1. Область действия
   2. Применимые документы
   3. Условные обозначения
   4. Указания по безопасности
   5. Пиктограммы
   6. Используемые инструкции и сокращения
   7. Маркировки
2. Информация по безопасности и техническому обслуживанию
   1. Меры безопасности
   2. Средства индивидуальной защиты
   3. Подготовка к обслуживанию
   4. Инструменты и запасные части
3. Интервалы обслуживания и распределение ответственности
   1. Контроль времени обслуживания
4. Калибровка
   1. Назначение
   2. Калибровка с внутренней калиброванной течью
   3. Внутренняя калиброванная течь
   4. Порядок выполнения
   5. Калибровка с внешней калиброванной течью
   6. Внешняя калиброванная течь
   7. Переходник для внешних калиброванных течей
   8. Порядок калибровки с внешней течью в режиме Hard Vacuum test
   9. Порядок калибровки с внешней течью в режиме sniffing test
   10. Калибровка по концентрации
   11. Порядок выполнения
   12. Калибровка при параллельно подключенной откачной системе
   13. Назначение
   14. Целевое значение
   15. Порядок выполнения

1. О данном руководстве

1.1 Область действия

Настоящее руководство по техническому обслуживанию предназначено для заказчиков компании Pfeiffer Vacuum. В нем описаны операции по техническому обслуживанию изделия, которые могут выполняться пользователем на соответствующем изделии. Эта документация должна использоваться совместно с руководством по эксплуатации изделия с тем же наименованием.

Настоящее руководство распространяется на изделия со следующими каталожными номерами:

Каталожный номер	Описание
BSAA0000MM9A	ASM 310

1.1.1 Применимые документы

В качестве документа, используемого совместно с настоящим руководством по техническому обслуживанию, применяется:

ASM 310	Руководство по эксплуатации
ASM 310 Leak Detector	P/n 114916

1.2 Условные обозначения

1.2.1 Указания по безопасности

Указания по безопасности Pfeiffer Vacuum в руководстве по эксплуатации основаны на стандартах сертификации UL, CSA, ANSI Z-535, SEMI S2, ISO 3864 и DIN 4844. В настоящем документе используются следующие уровни опасности и виды информации:

NOTICE
Команда или примечание.
Команда для выполнения действия либо информация о свойствах, игнорирование которых может привести к повреждению изделия.

CAUTION
Возможная непосредственно возникающая опасность.
Указывает на потенциально опасную ситуацию, которая может привести к легкой или средней травме.

WARNING
Возможная непосредственно возникающая опасность.
Указывает на потенциально опасную ситуацию, которая может привести к смерти или тяжелой травме.

DANGER
Непосредственная опасность.
Указывает на опасную ситуацию, которая приведет к смерти или тяжелой травме.

1.2.2 Пиктограммы

• Запрет действия для предотвращения риска несчастного случая, игнорирование которого может привести к тяжелым последствиям.
• Предупреждение об отображаемом источнике опасности, связанном с эксплуатацией установки или оборудования.
• Команда на выполнение действия или операции, связанной с источником опасности, игнорирование которой может привести к серьезным несчастным случаям.
• Важная информация об изделии или настоящем документе.

1.2.3 Используемые инструкции и сокращения

• Ö или рабочая инструкция: здесь необходимо выполнить операцию.
• [XXXX] необходимо нажать клавишу XXXX на панели управления.
• I/O — входы/выходы.
• ⁴He — гелий-4.
• ³He — гелий-3.
• H₂ — водород.

1.2.4 Маркировки

• Указывает на опасность поражения электрическим током при контакте:
  Ö отключите электропитание перед снятием крышки и выполнением работ на изделии.
• Указывает, что оператор должен:
  Ö обращаться с изделием с использованием устройств, показанных на этой маркировке;
  Ö соблюдать правила перемещения оборудования с учетом массы и габаритов.
• Обозначает точку заземления на изделии.
• Изделие подлежит обращению как отходы электрического и электронного оборудования в соответствии с директивой 2002/95/EC.
• Прочие маркировки: см. руководство по эксплуатации.

2. Информация по безопасности и техническому обслуживанию

WARNING
Другие локализованные опасные виды энергии
Электрические цепи и другие контуры под давлением, например азот, являются потенциальными источниками опасности.
Î Всегда блокируйте эти источники энергии перед выполнением работ на изделии.

WARNING
Риск поражения электрическим током
Напряжение и ток могут вызвать поражение электрическим током. Работы по техническому обслуживанию могут выполнять только квалифицированные и уполномоченные лица.
Î Изолируйте и заблокируйте цепь питания, установив автоматический выключатель в положение O.
Î Перед выполнением любых работ на изделии и/или снятием крышек отсоедините кабель питания от всех источников питания.

NOTICE
Исключение ответственности
Pfeiffer Vacuum не несет ответственности за повреждение оборудования, нарушение работы или причинение физического вреда, возникшие в результате технического обслуживания, выполненного специалистами, не прошедшими обучение по правилам безопасности, включая ЭМС, электрические опасности и химическое загрязнение. В этом случае претензии по ответственности и гарантии не принимаются.

2.1 Меры безопасности

Обязанность по информированию. Каждое лицо, участвующее в работах по техническому обслуживанию и сервису насоса, должно прочитать и соблюдать относящиеся к безопасности разделы всех сопутствующих документов.

WARNING
Риск, связанный с герметичностью установки
Изделия испытываются на заводе, чтобы гарантировать отсутствие утечек при нормальных условиях эксплуатации.
Î После всех операций технического обслуживания выполните испытание на герметичность.

NOTICE
Работа с течеискателем / обращение с течеискателем
Оператор не должен выполнять работы на изделии, перемещать его или проводить техническое обслуживание до полной остановки изделия. Когда автоматический выключатель установлен в положение O, необходимо:
Î отсоединить кабель питания;
Î дождаться полного отключения экрана панели управления перед выполнением работ на изделии и/или снятием крышек.

Перед выполнением работ на изделии подождите 5 минут после выключения.

При заказе запасных частей необходимо указывать все данные, указанные на заводской табличке изделия.

Соблюдайте все инструкции по безопасности и предотвращению рисков в соответствии с местными нормами безопасности.

Регулярно проверяйте соблюдение всех профилактических мер.

Не включайте изделие, если крышки не установлены на месте.

Для возврата изделия в один из сервисных центров Pfeiffer Vacuum ознакомьтесь с процедурой послепродажного сервиса и заполните декларацию о загрязнении, доступную на нашем сайте.

• Для возврата изделия в сервисный центр Pfeiffer Vacuum используйте оригинальную упаковку. Производитель не несет ответственности за повреждения, вызванные транспортировкой в неподходящей упаковке.

2.2 Средства индивидуальной защиты

WARNING
Риск получения травмы от горячих поверхностей
Изделия сконструированы таким образом, чтобы не представлять теплового риска для безопасности оператора. Однако могут существовать специальные условия эксплуатации, требующие от пользователей дополнительной осторожности из-за высоких температур, например поверхности выше 70 °C для частей, расположенных под крышками.
Î Перед выполнением работ дайте детали остыть.
Î При необходимости используйте защитные перчатки в соответствии с директивой EN 420.

WARNING
Риск травмы из-за падения предметов
При транспортировке частей и компонентов, а также при техническом обслуживании существует опасность соскальзывания и падения грузов.
Î Небольшие и средние детали и компоненты переносите обеими руками.
Î Детали и компоненты массой более 20 кг перемещайте с помощью подходящего подъемного устройства.
Î Используйте защитную обувь со стальным подноском в соответствии с директивой EN 347.

В некоторых ситуациях при обращении с течеискателем и его компонентами необходимо использовать средства индивидуальной защиты. Заказчик обязан обеспечить операторов необходимым оборудованием. Это оборудование должно регулярно проверяться и использоваться в соответствии с рекомендациями поставщика.

NOTICE
Работа с течеискателем / обращение с течеискателем
Оператор не должен выполнять работы на изделии, перемещать его или проводить техническое обслуживание до полной остановки изделия. Когда автоматический выключатель установлен в положение O, необходимо:
Î отсоединить кабель питания;
Î дождаться полного отключения экрана панели управления перед выполнением работ на изделии и/или снятием крышек.

2.3 Подготовка к обслуживанию

• Î Отсоедините течеискатель от проверяемой детали или установки. Установите заглушенный фланец на вход течеискателя. Этот аксессуар поставляется с изделием либо доступен по запросу. См. главу «Accessories» в руководстве по эксплуатации.
• Î Переместите течеискатель так, чтобы с ним можно было работать в зоне технического обслуживания. См. главу «Handling» в руководстве по эксплуатации.
• Чистое, непыльное и вентилируемое помещение.
• Подходящие средства индивидуальной защиты.

2.4 Инструменты и запасные части

Инструменты, необходимые для технического обслуживания течеискателя, доступны в комплекте технического обслуживания, поставляемом с изделием. В зависимости от конкретной операции технического обслуживания могут потребоваться дополнительные инструменты, приобретаемые за счет заказчика.

WARNING
Запасные части
Замена неисправных компонентов неоригинальными деталями ставит под угрозу исходные условия безопасности изделия.
Î Используйте только запасные части, доступные для заказа через сервис Pfeiffer Vacuum.
Î Номера деталей приведены в главе «Spare Parts».
Î Для идентификации изделия и связи с Pfeiffer Vacuum используйте данные с заводской таблички изделия.

3. Интервалы обслуживания и распределение ответственности

Операции технического обслуживания для уровней 1 и 2 из таблицы интервалов описаны в настоящем руководстве.

Операции капитального ремонта уровня 3 должны выполняться специалистом сервисной сети Pfeiffer Vacuum.

Компонент	Операция	Регламентное обслуживание	8 600 ч	17 200 ч	Другие условия	Уровень	Место выполнения
Мембранный насос AMD1	Замена мембран и контроль клапанов			x		III	OS
Мембранный насос AMD1	Замена мембранного насоса AMD1				В случае отказа	III	OS
Насос AMH 020	Замена подшипников			x	Каждые 2 года, если насос не используется	III	WS
Насос AMH 020	Замена насоса				В случае отказа	III	OS
Аналитическая ячейка	Замена нити накала				В случае отказа	I	OS
Аналитическая ячейка	Замена вытягивающего электрода				В случае отказа	III	OS
Клапаны	Замена всех клапанов				Каждые 500 000 испытаний	III	OS
Электроника	Очистка / удаление пыли	x				I	OS
Вентилятор	Замена вентилятора				В случае отказа	II	OS
Фильтр продувки	Очистка или замена фильтра продувки	x				II	OS
Датчик Пирани	Проверка значения	x			Каждые 4 300 часов, рекомендуется	I	OS
Датчик Пирани	Замена				В случае отказа	II	OS
Стандартный щуп sniffer	Замена спеченного фильтра	x			(1)	I	OS
Калиброванная течь	Повторная калибровка				Каждые 2 года	II	WS
Течеискатель	Сервисное обслуживание	x			Каждые 4 года, рекомендуется	III	OS / WS

(1) 160 часов в случае тяжелых условий применения, при значительном потоке или загрязнении.

Уровень: I — оператор; II — технический специалист или обученный оператор; III — сервисный центр.

Регламентное обслуживание: в соответствии с условиями эксплуатации.

Место выполнения: OS — на площадке; WS — в сервисном центре Pfeiffer Vacuum.

3.1 Контроль времени обслуживания

Счетчики циклов первичного насоса и турбомолекулярного насоса предупреждают оператора о необходимости выполнения операции технического обслуживания. См. меню Maintenance Menu в руководстве по эксплуатации.

4. Калибровка

4.1 Назначение

Калибровка помогает убедиться, что течеискатель правильно настроен для обнаружения выбранного трассирующего газа и отображает корректную величину течи. Для калибровки течеискателя используется калиброванная течь.

В зависимости от метода испытаний могут выполняться различные виды калибровки.

	Hard Vacuum	Sniffing
С внутренней калиброванной течью	да	да (*)
С внешней калиброванной течью	да	да
По окружающему воздуху, не загрязненному трассирующим газом	нет	да

(*) В этом случае расход щупа sniffer не учитывается в процессе калибровки течеискателя.

4.2 Калибровка с внутренней калиброванной течью

4.2.1 Внутренняя калиброванная течь

Внутренняя калиброванная течь специально разработана для данного течеискателя. Она состоит из:

• резервуара с гелием-4, внутренней калибровки с другими трассирующими газами нет;
• датчика температуры для учета влияния температуры на величину течи;
• встроенной мембраны для калибровки величины течи;
• идентификационной таблички, идентичной табличке внешней калиброванной течи.

Калиброванная течь поставляется с сертификатом калибровки.

Используйте калиброванную течь в диапазоне ≈ 10^-8 Па·м³/с, что соответствует ≈ 10^-7 mbar·l/s.

4.2.2 Порядок выполнения

При включении течеискателя калибровка с внутренней калиброванной течью запускается автоматически, если параметр калибровки установлен в положение Start-up и тип калиброванной течи установлен в положение Internal.

Калибровку можно запустить, когда течеискатель находится:

• в режиме test для испытания на течь;
• в режиме test или Stand-by для испытания методом sniffing.

1. Проверьте настройки течи, при необходимости скорректированную величину течи с учетом температуры и времени. См. меню Spectro Menu в руководстве по эксплуатации.
2. Нажмите клавишу [Auto cal] для запуска калибровки.

При интенсивном использовании течеискателя рекомендуется иметь запасную внутреннюю калиброванную течь. Если это невозможно, течеискатель все равно можно использовать и калибровать с помощью внешней калиброванной течи.

Калибровка течеискателя
При включении течеискатель предлагает оператору выполнить автокалибровку, если параметр calibration установлен в положение operator. Для оптимального использования течеискателя данную автокалибровку необходимо выполнять. Во всех случаях ручная или автоматическая калибровка должна выполняться:
• не реже одного раза в день;
• для повышения достоверности измерения при испытаниях высокой чувствительности;
• если есть сомнения в правильной работе течеискателя;
• при интенсивной непрерывной работе — выполнять внутреннюю калибровку в начале каждой рабочей смены, например при посменной работе каждые 8 часов.

4.3 Калибровка с внешней калиброванной течью

4.3.1 Внешняя калиброванная течь

Оператор должен использовать калиброванную течь, содержащую выбранный трассирующий газ: ⁴He, ³He или H₂. Существуют различные типы внешних калиброванных течей — с резервуаром или без него, с клапаном или без него, перекрывающие различные диапазоны течей. Используйте калиброванные течи из диапазонов, указанных ниже.

Газ	Минимальное значение	Максимальное значение
4He	≈ 1·10-10 Па·м3/с ≈ 1·10-9 mbar·l/s	1·10-5 Па·м3/с 1·10-4 mbar·l/s
3He	≈ 3·10-8 Па·м3/с ≈ 3·10-7 mbar·l/s	1·10-5 Па·м3/с 1·10-4 mbar·l/s
H2	≈ 5·10-7 Па·м3/с ≈ 5·10-6 mbar·l/s	1·10-5 Па·м3/с 1·10-4 mbar·l/s

Выбор внешней калиброванной течи зависит от потребностей применения. Используйте калиброванную течь из того же диапазона величины течи, что и течь, которую необходимо измерять. Производитель не поставляет калиброванные течи для ³He и H₂.

4.3.2 Переходник для внешних калиброванных течей

Переходник DN 16 ISO-KF или DN 25 ISO-KF помогает выполнить калибровку течеискателя с внешней калиброванной течью в режиме sniffing test, только со стандартным щупом.

Рис. 1. Установка переходника.

1. Закрепите переходник (1) на внешней калиброванной течи (2), используемой для калибровки, с помощью центрирующего кольца и хомута.
2. Запустите калибровку, нажав функциональную клавишу [Auto cal].
3. Вставьте щуп sniffer (3) в калибровочное отверстие.
4. Затяните фиксирующий винт (4). Следуйте процессу калибровки, отображаемому на панели управления.
5. Ослабьте фиксирующий винт (4).
6. Извлеките щуп sniffer из калибровочного отверстия.
7. Продолжайте процесс калибровки, отображаемый на панели управления.
8. Подождите не менее 10 секунд перед считыванием величины течи.

Примечания.

• Отображаемая величина течи учитывает ⁴He, если в качестве трассирующего газа используется ⁴He. Пример:
  – калибровка с течью 2·10^-6 Па·м³/с, что соответствует 2·10^-5 mbar·l/s;
  – отображаемая величина течи: 2·10^-6 + 5·10^-7 = 2,5·10^-6 Па·м³/с, что соответствует 2·10^-5 + 5·10^-6 = 2,5·10^-5 mbar·l/s.

4.3.3 Порядок калибровки с внешней течью в режиме Hard Vacuum test

1. Назначьте одной из функциональных клавиш функцию [Auto.Cal]. См. меню Configuration Menu в руководстве по эксплуатации.
2. Установите следующие настройки:
   test method = hard Vacuum, см. меню Test Menu;
   type of calibrated leak = external, см. меню Spectro Menu;
   calibration = operator, см. меню Advanced Menu.
3. Проверьте настройки и значение используемой внешней калиброванной течи. При необходимости скорректируйте температуру, месяц и год. См. меню Spectro Menu.
4. Выберите трассирующий газ внешней калиброванной течи. См. меню Spectro Menu.
5. Установите внешнюю калиброванную течь на входной порт течеискателя.
6. Убедитесь, что течеискатель находится в режиме Stand-by.
7. Нажмите функциональную клавишу [Auto.Cal], чтобы запустить калибровку.
8. Следуйте инструкциям, отображаемым течеискателем. Для перехода к следующему этапу нажимайте [Next].

По окончании калибровки течеискатель возвращается в режим Stand-by.

Это рекомендуемая процедура, когда диапазон измерения отличается от значения внутренней калиброванной течи.

4.3.4 Порядок калибровки с внешней течью в режиме sniffing test

1. Назначьте одной из функциональных клавиш функцию [Auto.Cal]. См. меню Configuration Menu в руководстве по эксплуатации.
2. Установите следующие настройки:
   test method = sniffing, см. меню Test Menu;
   type of calibrated leak = external, см. меню Spectro Menu;
   calibration = operator, см. меню Advanced Menu.
3. Проверьте настройки и значение используемой внешней калиброванной течи. При необходимости скорректируйте температуру, месяц и год. См. меню Spectro Menu.
4. Выберите трассирующий газ внешней калиброванной течи. См. меню Spectro Menu.
5. Выберите трассирующий газ концентрации. См. меню Spectro Menu.
6. Убедитесь, что течеискатель находится в режиме Stand-by.
7. Нажмите функциональную клавишу [Auto.Cal], чтобы запустить калибровку.
8. Следуйте инструкциям, отображаемым течеискателем. Для перехода к следующему этапу нажимайте [Next].

По окончании калибровки течеискатель возвращается в режим Stand-by.

4.4 Калибровка по концентрации

NOTICE
Перед запуском этой функции убедитесь, что течеискатель находится в среде, свободной от загрязнения трассирующим газом.

Концентрация — это емкость при атмосферном давлении с газовой смесью известной концентрации трассирующего газа.

4.4.1 Порядок выполнения

Калибровка по концентрации может выполняться только в режиме sniffing test, когда течеискатель находится в режиме Stand-by или в режиме test.

1. Назначьте одной из функциональных клавиш функцию [Auto.Cal]. См. меню Configuration Menu в руководстве по эксплуатации.
2. Установите следующие настройки:
   test method = sniffing, см. меню Test Menu;
   type of calibrated leak = concentration, см. меню Spectro Menu;
   calibration = operator, см. меню Advanced Menu.
3. Выберите трассирующий газ концентрации. См. меню Spectro Menu. Течеискатель может находиться в режиме Stand-by или в режиме sniffing test.
4. Нажмите функциональную клавишу [Auto.Cal], чтобы запустить калибровку.
5. Следуйте инструкциям, отображаемым течеискателем. Для перехода к следующему этапу нажимайте [Next].

По окончании калибровки течеискатель возвращается в режим Stand-by.

4.5 Калибровка при параллельно подключенной откачной системе

4.5.1 Назначение

Когда течеискатель подключен к установке, оснащенной собственной откачной системой, течеискателем будет измеряться только часть течи. Калибровка позволяет получить прямое считывание величины течи с учетом потери трассирующего газа из течи, который откачивается насосным агрегатом.

Калибровка выполняется с помощью функции Correction.

4.5.2 Целевое значение

Возможны два варианта целевого значения:

Целевое значение =	Hard Vacuum	Sniffing
Значение внешней калиброванной течи (1)	X	X
Известная концентрация трассирующего газа		X

(1) При использовании внешней калиброванной течи рекомендуется учитывать дату калибровки и влияние температуры при расчете целевого значения по величине течи, указанной на идентификационной табличке.

• Скорректированная величина течи = целевое значение = измеренная величина течи × коэффициент коррекции.

4.5.3 Порядок выполнения

Порядок выполнения данного подраздела продолжается в следующем этапе перевода.

Этап 1 подготовлен как посекционный дословный перевод разделов 1–4 с сохранением структуры руководства, таблиц и алгоритмов. Продолжение следует в этапе 2.

ASM 310 — инструкция по техническому обслуживанию

Этап 2. Полный перевод разделов 5–9: техническое обслуживание и замена, вывод из эксплуатации, неисправности, сервис и запасные части.

5. Техническое обслуживание / замена

При интенсивной эксплуатации течеискателя рекомендуется иметь запасную внутреннюю калиброванную течь. Если это невозможно, прибор все равно может использоваться и калиброваться с помощью внешней калиброванной течи.

5.1. Очистка

Очищайте крышки мягкой безворсовой салфеткой и средством, которое не повреждает окрашенные поверхности и маркировку.

5.2. Снятие крышки

Инструменты: шестигранный ключ 5 мм, входящий в комплект технического обслуживания.

5.2.1. Демонтаж передней крышки

1. Выключите течеискатель. Установите автоматический выключатель в положение O, убедитесь, что панель управления выключена, и отсоедините сетевой кабель.
2. Снимите зажим на входном порте и черную заглушку.
3. Снимите черный фланец вокруг входного порта.
4. Выверните 4 крепежных винта и снимите шайбы.
5. Снимите верхнюю крышку. Соблюдайте осторожность с кабелем панели управления.
6. Отсоедините кабель панели управления от платы супервизора.

Рис. 2. Снятие крышки.

Рис. 3. Отсоединение кабеля панели управления.

5.3. Разборка электронного модуля-держателя

Инструменты: шестигранный ключ 5 мм, входящий в комплект технического обслуживания.

Порядок действий:

1. Выключите течеискатель. Установите автоматический выключатель в положение O, убедитесь, что панель управления выключена, и отсоедините сетевой кабель.
2. Удалите 3 крепежных винта электронного держателя.
3. Удалите 2 крепежных винта провода заземления и порта AMD1.
4. Снимите весь электронный держатель.
5. Уложите его на стол.

5.4. Обслуживание внутренней калиброванной течи

5.4.1. Замена

Инструменты / запасные части: внутренняя калиброванная течь.

Замените внутреннюю калиброванную течь, если на ней имеются выраженные следы удара.

1. Снимите переднюю крышку.
2. Отсоедините датчик температуры от калиброванной течи. Никогда не отделяйте датчик температуры от самой течи.
3. Сожмите пальцами зажимы калиброванной течи и освободите течь.
4. Замените течь.
5. Подсоедините датчик температуры.
6. Обновите настройки внутренней калиброванной течи в меню Spectro согласно руководству по эксплуатации.

Рис. 4. Снятие калиброванной течи.

5.4.2. Повторная калибровка

Большинство калиброванных течей можно использовать в течение многих лет, даже несмотря на постоянный выход трассирующего газа. Скорость утечки очень мала по сравнению с количеством трассирующего газа в резервуаре. Годовая потеря указывается на этикетке калиброванной течи.

Тем не менее, для гарантии достоверности контроля рекомендуется регулярно выполнять повторную калибровку каждой резервуарной течи, максимум один раз в 2 года. Это относится как к внутренним, так и к внешним калиброванным течам.

Для повторной калибровки отправьте течь в сервисный центр Pfeiffer Vacuum.

5.4.3. Настройка

Настройки калиброванной течи необходимо обновлять каждый раз после замены течи, внутренней или внешней, либо после повторной калибровки.

Эта операция выполняется по данным, указанным на идентификационной этикетке течи или в сертификате, прилагаемом к течи.

Если для калиброванной течи выбран тип internal, в меню отображаются параметры внутренней калиброванной течи.

Если выбран тип external, в меню отображаются параметры внешней калиброванной течи.

Гарантия чистоты

При выполнении обслуживания вакуумных компонентов необходимо избегать любого загрязнения, которое в дальнейшем может привести к газовыделению деталей. Для этого:

• выполняйте обслуживание в подходящей зоне — чистой, без пыли и с вентиляцией;
• используйте нетканые материалы;
• обдувайте детали фильтрованным сухим воздухом;
• используйте неопудренные виниловые перчатки для чистых помещений.

5.5. Обслуживание анализаторной ячейки

5.5.1. Демонтаж

Инструменты: отвертка Torx, входящая в комплект технического обслуживания.

Порядок действий:

1. Выключите течеискатель. Установите автоматический выключатель в положение O, убедитесь, что панель управления выключена, и отсоедините сетевой кабель.
2. Снимите переднюю крышку.
3. Отсоедините разъем жгута от ячейки.
4. Ослабьте 6 крепежных винтов ячейки и снимите шайбы.
5. Освободите анализаторную ячейку вручную, перемещая ее вертикально.

5.5.2. Замена уплотнений

Проверяйте состояние уплотнений каждый раз при выполнении работ с анализаторной ячейкой, например при замене нити накала. При необходимости замените их.

Запасные части: 2 уплотнения.

Уплотнения являются расходными материалами и не подпадают под гарантию.

Порядок действий:

1. Снимите анализаторную ячейку с течеискателя.
2. Замените 2 уплотнения. Никогда не смазывайте уплотнения.

5.5.3. Замена нити накала

Инструменты / расходные материалы: отвертка Torx из комплекта, плоские плоскогубцы, нить накала.

Окисление иридиевой нити накала является нормальным явлением. Не прикасайтесь к нити пальцами.

Нить накала относится к расходным материалам и не покрывается гарантией.

1. Снимите анализаторную ячейку с течеискателя.
2. Удалите крепежный винт и шайбу неисправной нити.
3. Снимите 2 фиксирующие скобы при помощи плоских плоскогубцев. Две новые скобы поставляются вместе с запасной нитью.
4. Замените нить накала.
5. Сбросьте счетчик новой нити в меню Maintenance руководства по эксплуатации.

Убедитесь, что разъемы нити накала расположены перпендикулярно опорной поверхности и параллельны друг другу.

6. Установите новую нить в посадочное место, прижав ее к двум центрирующим упорам. Закрепите ее винтом и шайбой, входящими в комплект нити, используя отвертку Torx.
7. Возьмите фиксирующую скобу плоскогубцами. Эта скоба обеспечивает электрический контакт между нитью и ячейкой.
8. Установите скобу на разъем и ленту нити.
9. Дожмите скобу плоскогубцами до упора.
10. Повторите последние три операции для второго разъема.
11. Снова сбросьте счетчик новой нити в меню Maintenance.

5.6. Обслуживание датчика Пирани

Инструменты / запасные части: винт CHc M4 × 80 из комплекта технического обслуживания, шестигранный ключ 5 мм из комплекта, датчик.

Порядок действий:

1. Выключите течеискатель. Установите автоматический выключатель в положение O, убедитесь, что панель управления выключена, и отсоедините сетевой кабель.
2. Снимите переднюю крышку.
3. Отсоедините кабельный жгут от датчика.
4. Ослабьте удерживающий винт.
5. Вверните винт CHc в центр датчика.
6. Потяните за винт CHc, чтобы извлечь датчик.
7. Установите новый датчик.
8. Затяните удерживающий винт.
9. Подключите кабельный жгут датчика.
10. Настройте датчик согласно разделу калибровки внутреннего датчика Пирани руководства по эксплуатации.

5.7. Обслуживание вентиляторов

Инструменты / запасные части: крестовая отвертка, вентиляторы.

Порядок действий:

1. Выключите течеискатель. Установите автоматический выключатель в положение O, убедитесь, что панель управления выключена, и отсоедините сетевой кабель.
2. Снимите переднюю крышку.
3. Для замены нижнего вентилятора необходимо снять электронный держатель.
4. Отсоедините жгут вентилятора.
5. Удалите 2 крепежных винта вентилятора.
6. Снимите вентилятор.
7. Установите новый вентилятор, убедившись в правильной ориентации согласно рисунку.
8. Вверните 2 крепежных винта вентилятора.
9. Уложите провода согласно рисунку.
10. Подключите жгут вентилятора.

5.8. Обслуживание фильтра продувки

5.8.1. Расположение

Инструменты / запасные части: фильтр продувки.

Порядок действий:

1. Выключите течеискатель. Установите автоматический выключатель в положение O, убедитесь, что панель управления выключена, и отсоедините сетевой кабель.
2. Снимите переднюю крышку.
3. Отсоедините фильтр и снимите его.
4. Установите новый фильтр, убедившись в правильной ориентации.
5. Снова подключите фильтр.

6. Вывод из эксплуатации

6.1. Остановка на длительный период

Если течеискатель необходимо вывести из эксплуатации на длительное время, после использования рекомендуется:

• выполнить процедуру длительного простоя, описанную в разделе длительного хранения руководства по эксплуатации;
• хранить течеискатель в оригинальной упаковке или под защитным чехлом в обеспыленной среде;
• при последующем вводе в работу руководствоваться разделом Эксплуатация руководства по эксплуатации;
• при возникновении проблем обращаться в сервисный центр Pfeiffer Vacuum.

6.2. Утилизация

Директива 2011/65/EC устанавливает требования по ограничению использования опасных веществ в электрическом и электронном оборудовании для защиты здоровья человека и окружающей среды.

Производитель обязан обеспечивать, чтобы электро- и электронное оборудование, выводимое на рынок, включая кабели и запасные части, предназначенные для ремонта, повторного применения, обновления или увеличения производительности, содержало опасные вещества только в пределах разрешенных значений.

Продукция содержит различные материалы, подлежащие переработке: железо, сталь, нержавеющая сталь, чугун, латунь, алюминий, никель, медь, PTFE, FEP.

Следует соблюдать особые меры предосторожности в отношении компонентов, контактировавших с продуктами потенциально загрязняющих процессов.

Перед возвратом изделия ознакомьтесь с процедурой послепродажного обслуживания и заполните декларацию о загрязнении, доступную на сайте производителя.

По всем вопросам обращайтесь в службу поддержки клиентов: support.service@pfeiffer-vacuum.fr.

6.2.1. Ограничение опасных веществ (RoHS)

Директива 2011/65/EC устанавливает требования по ограничению использования опасных веществ в электрическом и электронном оборудовании.

Производитель обязан обеспечивать соблюдение разрешенных пределов содержания опасных веществ в оборудовании.

6.2.2. Электрическое и электронное оборудование (EEE)

Деконтаминация и переработка электрического и электронного оборудования, содержащего загрязняющие материалы, например электронные платы, элементы питания, батареи, дисплеи, конденсаторы, ртуть и другие вещества, позволяют сохранять природные ресурсы и снижать загрязнение окружающей среды.

Изделия, проданные за пределами Франции. На изделии нанесен идентификационный знак, поскольку оно подпадает под регулирование в области обращения с отходами электрического и электронного оборудования.

Обязанность производителя по приему EEE распространяется только на изделия марок Adixen или Pfeiffer Vacuum, проданные компанией Pfeiffer Vacuum, при соблюдении следующих условий:

• оборудование подпадает под действующее регулирование по переработке изделий, достигших конца срока службы;
• оборудование не модифицировалось и не модернизировалось, использовались только запасные части Pfeiffer Vacuum, включая сборки и подсборки, за исключением батарей.

При отсутствии специального договора и в соответствии с Директивой 2012/19/UE об обращении с отходами EEE, если оборудование было продано компанией Pfeiffer Vacuum за пределами Франции, владелец несет полную ответственность за сбор, сортировку, хранение отходов для транспортировки к объекту переработки, переработку, восстановление и или окончательную утилизацию, если иное не предусмотрено договором.

7. Неисправности

7.1. Что происходит при возникновении неисправности

Течеискатель может в любой момент отображать на экране предупреждения или неисправности.

7.1.1. Отображение предупреждений и неисправностей

Нажмите клавишу, чтобы отобразить сообщение о неисправности.

7.1.2. Окно предупреждений / неисправностей

На рисунке ниже показано окно предупреждений.

7.1.3. Список предупреждений / неисправностей

Описание уровней с 1 по 5 приведено выше. Ниже приведен перевод списка кодов, извлеченных из инструкции.

7.2. Руководство по поиску неисправностей

Руководство по поиску неисправностей помогает устранить неисправности, отображаемые на панели управления течеискателя или влияющие на его работу.

Оно доступно через интерактивное приложение, специально разработанное для технической документации.

7.2.1. Установка приложения

1. Вставьте CD-ROM с руководством по эксплуатации в привод CD/DVD компьютера.
2. Запустите приложение ASMxxx или ASIxx.
3. Выберите язык.
4. Выберите интерактивное приложение Troubleshooting.
5. Установите приложение на компьютер.

7.2.2. Работа с приложением

Создайте ярлык на рабочем столе для прямого доступа к приложению Troubleshooting.

1. Запустите приложение Troubleshooting.
2. Выберите язык навигации.
3. Выберите изделие и соответствующее ключевое слово.
4. Запустите поиск.
5. Выберите симптом. На экране будут показаны происхождение и диагностика данного симптома.

8. Сервис

Pfeiffer Vacuum предлагает первоклассное обслуживание клиентов:

• обслуживание на месте эксплуатации для многих продуктов;
• капитальный ремонт и ремонт в ближайшем сервисном центре;
• быструю замену восстановленными изделиями в отличном состоянии;
• консультации по самому экономичному и быстрому решению;
• подробную информацию, адреса и формы на сайте в разделе Service.

Капитальный ремонт и ремонт в сервисном центре Pfeiffer Vacuum

Следующие общие рекомендации обеспечивают быстрый и беспроблемный сервисный процесс:

• заполните форму Service Request / Product Return и отправьте ее местному сервисному представителю Pfeiffer Vacuum;
• вложите подтверждение по сервисному запросу от Pfeiffer Vacuum в отправляемый груз;
• заполните декларацию о загрязнении и вложите ее в отправление. Для любых изделий и устройств, включая части, контактировавшие с вакуумом, это обязательное требование;
• снимите все аксессуары и оставьте их у себя;
• закройте все фланцевые отверстия оригинальными защитными крышками или металлическими герметичными заглушками, если устройство загрязнено;
• по возможности отправляйте насос или прибор в оригинальной упаковке.

Отправка загрязненных насосов или устройств

Устройства не будут приняты, если они загрязнены микробиологическими, взрывоопасными или радиоактивными веществами. Под опасными веществами понимаются вещества и соединения согласно действующим правилам перевозки опасных грузов.

• Нейтрализуйте насос, продув его азотом или сухим воздухом.
• Герметично закройте все отверстия.
• Запечатайте насос или устройство в подходящую защитную пленку.
• Возвращайте насос или устройство только в подходящем прочном транспортном контейнере с соблюдением применимых условий перевозки.

Насосы или устройства, возвращенные без полностью заполненной декларации о загрязнении и или без надлежащей упаковки, будут деконтаминированы и или возвращены за счет отправителя.

Замена или ремонт

Заводские рабочие параметры для обменных или отремонтированных устройств всегда предварительно настроены. Если в вашей задаче используются специальные параметры, их необходимо задать повторно.

Сервисные заказы

Все сервисные заказы выполняются исключительно в соответствии с нашими общими условиями ремонта и технического обслуживания, размещенными на сайте производителя.

9. Запасные части

9.1. Информация для заказа

Запасные части, доступные для поставки и сгруппированные по функциям, перечислены в этой главе.

9.2. Перечень запасных частей и принадлежностей

Инструменты

Мониторинг и индикация

Питание и электрическое обеспечение

В исходном документе перечень запасных частей продолжается на следующих страницах. Во втором этапе переведена видимая часть таблиц, доступная в текущем извлечении документа.

ASM 310 — этап 3 полного перевода

Ниже приведен следующий этап дословного перевода инструкции по техническому обслуживанию гелиевого течеискателя ASM 310. В этот этап включен раздел по запасным частям и принадлежностям, включая таблицу функциональных групп и доступную в исходном документе часть перечня артикулов.

Важно. Этот этап составлен по оставшейся части исходного файла ASM310.htm, доступной для извлечения и посекционной вычитки. Сохранены структура раздела, логика оригинала, изображения и табличные данные. Если в исходном фрагменте конкретная строка не содержит каталожный номер или примечание, поле оставлено пустым или отмечено символом из оригинала.

9. Запасные части

9.1 Информация для заказа

В этой главе приведены запасные части, доступные для поставки, сгруппированные по функциональному назначению.

Функция	См. следующие страницы
Инструмент	F100
Контроль и индикация	F200
Питание и электрическое снабжение	F300
Автоматическая система управления и электронные схемы	F400
Измерительная часть	F500
Откачка	F600
Вакуумный блок	F700
Трубопроводы, соединения, уплотнения	F800
Кожух	F900
Специальные принадлежности	F1000

F100. Инструмент

Поз.	Описание	P/N	Кол-во	Примечание
A006	Комплект адаптера калиброванной течи DN16KF	110715	1
A007	Комплект адаптера калиброванной течи DN25KF	110716	1
A010	Игольчатый клапан DN16KF	*	1
A013	Тройник-переходник DN25/25/16KF	068269	1
A016	Калиброванная течь с клапаном 1-3·10-6 DN25KF	FV4610	1
A020	Хомут DN20/25KF	083264	1
A024	Центрирующее кольцо SS/Per DN25KF	068189	1
A027	Вакуумная силиконовая смазка, коробка 100 г	064600	1
A029	Комплект корпуса вставного типа — ATH / AMH	*	1
A030	Ячейка анализатора, упаковка	*	1
A036	Камера анализатора 3G Cell, транспортная	114386	1
A040	Пинцет «Brucelles»	115396	1
A041	SD-карта с программным обеспечением обнаружения	*	1
A045	Комплект из 3 клиньев для ячейки 3G, сервисный	*	1

F100. Инструмент, сервисный комплект

Поз.	Описание	P/N	Кол-во	Примечание
A037	Комплект обслуживания узла обнаружения 3G	114718	1

F200. Контроль и индикация

Поз.	Описание	P/N	Кол-во	Примечание
B008	Пульт дистанционного управления 2G — mbar·l/s	106688	1
B009	Пульт дистанционного управления 2G — Torr·l/s	108881	1
B010	Пульт дистанционного управления 2G — Pa·m³/s	108880	1
B011	Пульт дистанционного управления 2G — Pa·m³/s — Япония	106690	1
B012	Кабель для пульта дистанционного управления 2G, 5 м	A458735	1
B013	Кабель для пульта дистанционного управления 2G, 10 м	110881	1
B014	Кабель для пульта дистанционного управления 2G, 15 м	110882	1
B025	Панель управления 3G — сервисная	113010S	1	SD-карта поставляется вместе с панелью
B026	Плата панели управления P0395E1 3G	*	1
B029	Сенсорный дисплей 3G	*	1

F300. Питание и электрическое снабжение

Поз.	Описание	P/N	Кол-во	Примечание
C001	Кабель основного питания, 2 м, без вилки	104559	1

Обозначение * сохранено в соответствии с исходным документом и означает, что в доступном фрагменте инструкции каталожный номер не был явно приведен или выводился в укороченном виде.

Что входит в следующий этап. В следующем этапе можно продолжить оставшуюся часть перечня запасных частей по функциональным группам F400, F500, F600, F700, F800, F900 и F1000, а затем собрать объединенный HTML-файл всей инструкции ASM 310.

ASM 310 — этап 4 полного перевода

Ниже приведено продолжение полного посекционного перевода инструкции по техническому обслуживанию ASM 310. В данный этап включены оставшиеся группы раздела «Запасные части»: питание и электрическое снабжение, система автоматического управления и электронные платы, измерительная часть, откачка, клапаны, трубопроводы и уплотнения, кожух и принадлежности.

Примечание. Обозначение * сохранено так же, как в исходном документе. Оно означает, что в соответствующей строке каталожный номер в сервисной инструкции не указан явно или отнесен к отдельному листу.

F300. Питание и электрическое снабжение

Поз.	Описание	P/N	Кол-во	Примечание
C105	Жгут базовой проводки - 310	*	1
C106	Жгут блока - 310	*	1

F400. Система автоматического управления и электронные схемы

Поз.	Описание	P/N	Кол-во	Примечание
D026	Громкоговоритель, 90 дБ, диаметр 10 см	060097	1
D042	Плата преобразователя P0365E1	*	1
D052	Плата источника питания P0401E1 - 310/380	*	1
D053	Главная плата P0411E1 - 310	*	1
D054	Главная плата ячейки 3G P0391E1	*	1

F500. Измерительная часть

Поз.	Описание	P/N	Кол-во	Примечание
E017	Внутренняя калиброванная течь, 50 см³	109241	1
E018	Уплотнительное кольцо 1,78 × 12,42 NBR	050143	1
E019	Клипса для калиброванной течи - 142/122D	A458317	1
E025	Манометр PI1, алюминиевый	795706	1
E026	Нить накала для манометра PI1	057972	1
E040	Камера анализатора, упаковочная	*	1

Поз.	Описание	P/N	Кол-во	Примечание
E047	Нить накала для анализаторной ячейки 3G	114864S	1
E048	Предусилитель узла мишени - ячейка 3G	*	1
E053	Уплотнение NBR - ячейка 3G	114346	1	Поставляется поштучно
E064	Главная плата ячейки 3G P0391E1	*	1	См. лист E311
E066	Плата питания ячейки 3G P0393E1	*	1
E068	Электрод извлечения ячейки 3G.2 - сервисный	119641	1

F600. Откачка

Поз.	Описание	P/N	Кол-во	Примечание
F058	Комплект вставного корпуса - ATH / AMH	*	1
F096	Насос MD1 в комплекте - 310	114513	1
F097	AMH 020 HLD 310 - сервисный узел	RA000261	1
F098	Амортизатор MD1 - 310	107160	1
F100	Глушитель MD1 - 310	114494	1

F700. Клапаны

Поз.	Описание	P/N	Кол-во	Примечание
G004	Комплект клапана, нормально закрытый Bacosol (104655)	106935	1
G006	Клапан с катушкой, 2/2 NC Bacosol 24 V DC / 8 W	101303	1
G007	Клапан с катушкой, 3/2 NC Bacosol 24 V DC / 8 W	106009	1
G010	Глушитель бронзовый, M5	108449	1	Для клапанного блока, поз. G068
G012	Вакуумная силиконовая смазка, коробка 100 г	064600	1
G029	Амортизатор - C	076112	1

F800. Трубопроводы, соединения, уплотнения

Поз.	Описание	P/N	Кол-во	Примечание
H005	Соединитель для пластиковой трубки 4 × 1	A458324	1
H006	Корпус ответного соединителя G 1/8 RBE03.2100	082988	1
H026	Хомут DN20/25KF	083264	1
H027	Глухой фланец, нержавеющая сталь DN25KF	068196	1
H035	Штуцер наружный 2,7/4 мм - 1/8 BSPT	082775	1
H037	Уплотнительное кольцо DN25KF HNBR	106022	1

F900. Кожух

Поз.	Описание	P/N	Кол-во	Примечание
I044	Опора - 142/310	A459023	1
I072	Белый кожух без логотипа - 310	113009	1
I073	Амортизатор - C	076112	1
I110	Логотип - 310	A333573	1

F1000. Опции и принадлежности

Поз.	Описание	P/N	Кол-во	Примечание
J075	Уплотнительное кольцо 5,33 × 113,67 NBR	082152	1
J077	Фильтр Poral 20 мкм, диаметр 114 мм	105847	1
J078	Фильтр Poral 5 мкм, диаметр 114 мм	105848	1
J106	Транспортная тележка - 310	114820	1
J107	Транспортный кейс - 310	115191	1