Компания Ликлаб благодарит Вас за выбор турбомолекулярных насосов серии FF производства KYKY (далее по тексту «насосов»). Проверьте, что доставленный Вам прибор, соответствует тому, что вы заказывали, и внимательно осмотрите оборудование после удаления упаковки.

Данная инструкция содержит описание работы насоса, правила безопасной и надежной эксплуатации. Пожалуйста прочтите руководство по эксплуатации до того, как Вы начнете работы с течеискателем, чтобы не допустить некорректного использования.

Работы по установке и эксплуатации насоса потребуют от вас, также, соблюдения правил и норм техники безопасности, таких как: пожарная безопасность, правила установки и эксплуатации электроустановок и другие; действующие на территории предприятия Заказчика. В связи с этим, для выполнения работ, Вам потребуется соответствующая квалификация по промышленной безопасности в сферах, касающихся электробезопасности, эксплуатации грузоподъемных устройств и т.п. Персонал, не прошедший инструктаж по технике безопасности и не имеющий соответствующую квалификацию, не должен быть допущен к эксплуатации оборудования. Кроме того, для обслуживающего персонала, эксплуатирующего насос, могут быть необходимы дополнительные курсы повышения квалификации по специальным разделам техники, такие как вакуумная техника и технология, безопасность машин и оборудования, грузоподъемная техника и т.п.

Данный насос спроектирован и изготовлен, в соответствии с действующими на дату выпуска настоящей инструкциями, правилами и нормами. Технический регламент может меняться со временем.

Использование насоса совместно с другим оборудованием, которое изготовлено или эксплуатируется с нарушением норм и правил безопасности, может повлечь нарушения в работе насоса. Не допускается внесение Пользователем каких-либо изменений в конструкцию насоса. Ухудшение технических характеристик или поломка течеискателя в таких случаях, не будет являться гарантийным случаем.

Перед началом монтажных/демонтажных работ убедитесь, что подводимые к насосу инженерные коммуникации, такие как электричество и воздух/азот, отключены и изолированы надлежащим образом.

Комплектующие, использованные в насосе, предназначены для обеспечения рабочих характеристик с первого дня пуска и в течении срока службы, однако ресурс работы комплектующих не может быть вечным.

Расходные материалы и комплектующие насоса подвергаются износу и деградации в процессе эксплуатации, вне зависимости от типа применения, каким бы безопасным не казался технологический процесс с точки зрения общераспространенного мнения. При использовании насоса вам необходимо внимательно оценить все возможные риски повреждения или нарушения работоспособности, и предпринять действия к выполнению защитных мероприятий для предотвращения аварийных ситуаций.

Плановое обслуживание, как часть защитных мероприятий для предотвращения аварийных ситуаций, является ключевым фактором надежности при эксплуатации насоса, и позволяет минимизировать риск выхода насоса из строя по причине износа комплектующих, и тем самым сократит или исключит невынужденные простои на вашем производстве, вследствие поломки или возникновение аварийной ситуации, будь то пожар или нарушение, повлекшее за собой технологического или смежного с ним процесса.

Мы бы хотели еще раз привлечь ваше внимание к необходимости разработки и организации мероприятий по планово-предупредительным работам, и необходимости следовать рекомендациям по плановому обслуживанию насоса, включая замену расходных материалов и ремонтам.

При необходимости, свяжитесь с ближайшим к вам сервисным центром или представителем Изготовителя для получения информации по обслуживанию.

Предупреждающие символы

В тексте данной инструкции используются следующие предупреждающие символы и надписи с указанием мер предосторожности, которые должны строго соблюдаться.

Категории предупреждающих символов

Символы разделены на следующие категории:

Основные параметры

Назначение

Турбомолекулярный насос FF-100/300E со встроенным модулем контроллера, имеет водяное/воздушное охлаждение, используется консистентная смазка.

Серия ТМН FF-100/300E, разработанные для встраивания в откачные системы, представляют собой компактные высокопроизводительные насосы. Они выполняют сложные задачи вакуумирования в компактных системах благодаря высокой скорости вращения и оптимальной структуре. Структура насоса позволяет эффективно производить откачку в том числе легких низкомолекулярных газов. Состав поставки:

• Турбомолекулярный насос FF-100/300E
• Интегрированный контроллер TD 300
• Кабель 2,5 м
• Блок питания и управления TCP240 на 220В
• Система воздушного охлаждения

Серия турбомолекулярных насосов FF с механической подвеской ротора. Быстрота откачки азота - от 25 л/с до 2000 л/с. Входные фланцы - ISO-KF, ISO-K, ISO-F или CF. Может быть установлен в любом положении.
Конструкция насосов FF включает несколько ступеней, в том числе молекулярную, что позволяет работать с форвакуумными насосами, обеспечивающими давление на выпускном фланце не более 10-500 Па. Давление на входном фланце - не более 1- 5 Па. 

Встроенный контроллер: молекулярные насосы могут напрямую приводиться в действие и управляться с помощью встроенного драйвера, который удобно интегрировать в инструментальные системы, таким образом, молекулярные насосы могут питаться напрямую от 24 В постоянного тока.

Эффективный электрический привод: Серийные молекулярные насосы для приборов можно запускать в течение короткого времени и быстро останавливать с помощью функции торможения, что может принести огромные преимущества в производстве и научных экспериментах. Кроме того, можно точно контролировать скорость вращения молекулярных насосов, что гарантирует хорошую работу приборов для анализа состава газов.

Современный дизайн: Новые идеи модульной конструкции применены к серийным турбомолекулярным насосам для приборов, благодаря чему модули захвата газа, привода, управления и охлаждения являются независимыми, а также интегрированными, органически объединенными, что создает превосходную производительность и высокую надежность насосов для приборов, обеспечивает простоту в эксплуатации и удобное обслуживание.

 Комплектность

Наименование	Обозначение	Кол-во
Турбомолекулярный насос KYKY FF-100/300	FF-100/300	1 шт.
Контроллер встроенный TD300	TD300	1 шт.
Блок питания TCP240	TCP240	1 шт.
Кабель соединительный	-	2 шт.
Шнур сетевой	-	1 шт.
Центрирующее кольцо	-	1 шт.
Струбцина	-	4 шт.
Руководство по эксплуатации	-	1 экз.

 

технические характеристики

Таблица – Технические характеристики

Модель	Ед.	FF-40/25	FF-63/80	FF-100/150	FF-100/300
Входной патрубок	ISO-KF	DN40 ISO-KF	DN63 CF	DN100 CF	DN100 CF
			DN63 ISO-K	DN100 ISO-K	DN100 ISO-K
Выхлопной патрубок		DN16	DN16	DN25	DN25
Быстрота действия	л/с	N2：22	82	N2：140	295
		He：18	87	He：130	250
		H2：11	58	H2：75	200
		Ar：25	44	Ar：145	305
Степень сжатия		N2：1E8	N2：1E9	N2：1E7	N2：1E9
		He：1E2	He：1E5	He：1E3	He：1E6
		H2：1E2	H2：1E4	H2：1E3	H2：1E5
		Ar：1E6	Ar：1E9	Ar：1E7	Ar：1E9
Предельное остаточное давление	Па	1×10-4	CF：5×10-6	CF：2×10-7	CF：5×10-7
			ISO-K：3×10-5	ISO-K：2×10-6	ISO-K：2.5×10-6
Максимальное фор. давление при продолжительной работе	Па	500	500	220	500
Максимальное форвакуумное давление	Па	N2：1000	N2：1500	N2：500	N2：700
Поток откачиваемого газа	см3/мин	N2：23	N2：35	N2：135	N2：120
		He：18	He：30	He：80	He：50
		H2：12	H2：19	H2：52	H2：
		Ar：28	Ar：38	Ar：143	Ar：
Быстрота вращения	об/мин	36000	72000	51000	51000
Время старта	мин	≤3	≤2	≤3	≤4
Охлаждение		Воздух	Воздух или вода	Воздух или вода	Воздух или вода
Поток охл. воды	л/мин		1	1	1
Охл. вода	℃		≤25	≤25	≤25
Питание	V AC	DC24/AC220	DC24/AC220	DC24/AC220	DC24/AC220
Макс. энергопотребление	Вт	70	90	90	220
Контроллер		TD-25/TCP-100/	TD-80/TCP-100/	TD-150/TCP-100/	TD-300/TCP-240/
		TC-100	TC-100	TC-100	TC-100
Рекомендуемый форнасос	л/с	0.5～1	0.5～2	1～2	1～3
Масса	кг	3	2.6（ISO-K）	6.0（ISO-K）	8.5（ISO-K）
			3.5（CF）	8.6（CF）	11（CF）

Инструкции по технике безопасности для насоса

Перед установкой и использованием насоса специалисты по установке и эксплуатации насоса должны внимательно прочитать Руководство по эксплуатации и следовать инструкциям во избежание физических травм и повреждения оборудования.

Данное руководство по эксплуатации относится к шести молекулярным насосам: FF-40/25、FF-40/25J、FF-63/80、FF-60/80HV、FF-100/150、FF-100/300, и их последующим усовершенствованным типам (вышеуказанные шесть моделей молекулярных насосов сокращенно называются FF25、FF25J、FF80、FF80HV、FF150 и FF300.).。 В связи с техническим усовершенствованием вышеуказанных продуктов или пересмотром руководства, содержание руководства по эксплуатации может быть изменено без дополнительного уведомления. Для получения соответствующей информации, пожалуйста, посетите веб-сайт KYKY http://www.kyky.info ли свяжитесь с компанией.

KYKY Technology Co., Ltd. оставляет за собой авторские права на данное руководство и права интеллектуальной собственности, связанные с "KYKY", вытекающие из данного руководства и содержащиеся в нем. Любая компания или частное лицо не должны использовать их без разрешения.

Отказ от ответственности

Насос KYKY безопасен, удобен и эффективен, если он установлен и используется в соответствии с правилами, изложенными в данном руководстве по эксплуатации.

Операторы насоса должны внимательно прочитать и строго соблюдать правила, изложенные в данном руководстве по эксплуатации. Компания KYKY не несет никакой ответственности за любые травмы или убытки, вызванные тем, что пользователь не смог внимательно прочитать или не соблюдал требования руководства.

Меры предосторожности

Защита оборудования

Обязанность информировать:

Персонал, занимающийся установкой, эксплуатацией и обслуживанием насоса, должен внимательно прочитать данное руководство;

Операторы насосов должны понимать опасности, которые могут возникнуть в результате работы насоса и перекачиваемого газа.

Установка и эксплуатация принадлежностей (компонентов)

Насосы, описанные в данном руководстве, должны быть оснащены различными аксессуарами. Меры предосторожности по установке, эксплуатации и обслуживанию принадлежностей приведены в соответствующих инструкциях;

Пожалуйста, используйте аксессуары KYKY.

Внимание

•  Регулярно проверяйте насосы, чтобы предотвратить их работу в исключительных условиях, таких как вибрация;

•  Правильно подключите контроллер. Не изменяйте соединение насоса и контроллера без согласования;

•  Обратите внимание, что насос и контроллер должны быть надлежащим образом заземлены во избежание поражения электрическим током;

•  Пожалуйста, внимательно ознакомьтесь со всеми мерами предосторожности и правилами безопасности;

•  Проводите регулярный осмотр в соответствии с действующими правилами техники безопасности;

•  Не подсоединяйте и не отсоединяйте штекер во время работы насоса;

•  Не запускайте насос до того, как давление в вакуумной камере достигнет давления запуска насоса;

•  Убедитесь, что провода и кабели находятся вдали от источника тепла (температура поверхности более 70℃);

•  Не запускайте насос при открытом входном фланце;

•  Не модифицируйте насос.

	Профилактика вредных веществ Газы, перекачиваемые насосом в процессе эксплуатации, могут содержать токсичные и вредные вещества, такие как коррозийные химикаты или радиоактивные вещества. Обслуживающий персонал должен быть хорошо защищен при обслуживании или переустановке насоса.
	Предотвращение падения насоса (a) Не роняйте насос, чтобы избежать опасности при обращении с насосом; (b) При переноске легкого насоса держитесь обеими руками за впускной фланец или дно насоса; (c) Обращайтесь с насосом весом более 20 кг с помощью инструмента для перемещения и не допускайте его падения.
	Профилактика ожогов (a) Будьте осторожны при эксплуатации насоса во избежание ожогов в случае его нагрева; (b) Перед ремонтом и обслуживанием насоса убедитесь, что насос и нагреватель охлаждены.
	Предотвращение появления царапин Предохраняйте корпус от царапин острыми краями насоса или системы управления.

Правильное использование

Молекулярный насос можно использовать только для получения высокого (сверхвысокого) вакуума;

Молекулярный насос должен работать с форвакуумным насосом.

 Неправильное использование

Компания не несет ответственности за любой ущерб и потери, вызванные неправильной эксплуатацией пользователей. Ниже перечислены наиболее распространенные неправильные режимы работы:

•  Неправильное включение или работа привода, управления и силовых модулей насоса;

•  Неправильное размещение/направление использования насоса во время его транспортировки, установки и эксплуатации;

•  Неиспользование антикоррозийного насоса для перекачки агрессивного газа;

•  Неправильный расход защитного газа;

•  Перекачивание взрывоопасного вещества;

•  Перекачивание конденсированного пара;

•  Насос работает при перегрузке;

•  Насос работает длительное время под высоким давлением обратного выхлопного отверстия;

•  Насос используется в герметичной среде;

•  Насос используется в сильном магнитном поле;

•  Насос используется в среде ионизирующего излучения;

•  Насос используется в потенциально взрывоопасной среде;

•  Внешние устройства периодически оказывают ударное, вибрационное или силовое воздействие на молекулярный насос;

•  Насос используется для нагнетания давления;

•  Используются компоненты и принадлежности, не указанные в данном руководстве.

ВВОД В ЭКСПЛУАТАЦИЮ

Молекулярные насосы, перечисленные в данном руководстве, делятся на серии DN40, DN63 и DN100 в соответствии с их диаметром. По номинальной скорости перекачки они делятся на пять типов 25 л/с, 80 л/с, 110 л/с, 150 л/с и 300 л/с. Существует шесть моделей молекулярных насосов, две из которых предназначены для течеискателей.

Код функции 1:

"F" обозначает турбомолекулярный насос;

"FF" означает составной молекулярный насос (все молекулярные насосы в данном руководстве являются составными молекулярными насосами).

Код характеристики 2:

"N" означает насос, не подверженный коррозии;

"B", "HV", "C" и "J" означают улучшение продукта или его характеристик.

Обратитесь к другим главам данного руководства или к другим руководствам KYKY, чтобы узнать соответствующие характеристики и параметры.

Молекулярные насосы этой серии, используемые для приборов, имеют следующие характеристики:

(1)            Во всех молекулярных насосах используются прецизионные керамические шарикоподшипники, смазываемые консистентной смазкой, что облегчает установку под любым углом;

(2) Во всех насосных агрегатах используются композитные роторы;

(3) Применяется новая технология привода двигателя с низким энергопотреблением и высокой надежностью;

(4) Модулированная конструкция контроллера используется для предоставления клиентам разнообразных возможностей выбора. В молекулярные насосы (кроме FF25 и FF25J) интегрированы модули привода TD.

Функциональная структура молекулярных насосов в руководстве представлена на рисунке:

Рисунок – Основные функциональные интерфейсы молекулярного насоса

1-Подставка насоса, 10-Корпус насоса, 10a-ISO-K фланец, 10b-CF фланец, 19-TD модуль привода, 19a-D15 интерфейс связи внешнего управления, 19b-индикатор состояния, 19c-порт 2-контактный интерфейс вентилятора, 19d-24VDC интерфейс питания, 24-Порт продувки, 27 порт подключения ФВНнасоса

Режим охлаждения

Воздушное охлаждение (стандартное, отдельный источник питания не требуется);

Водяное охлаждение (опционально, может работать в режиме воздушного охлаждения).

Подшипник

Используются прецизионные керамические шарикоподшипники с консистентной смазкой.

Модуль привода

Модули привода TD были интегрированы в серию молекулярных насосов (кроме FF25 и FF25J) в руководстве до поставки молекулярных насосов. Клиентам не нужно приобретать или настраивать их отдельно.

Модели модулей привода TD, соответствующие молекулярным насосам, приведены в таблице:

Таблица – Соответствие между молекулярным насосом и модулем привода TD.

Модель молекулярного насоса	Модель модуля привода TD
FF-40/25	TD-25
FF-63/80	TD-80
FF-63/80HV
FF-100/150	TD-150
FF-100/300	TD-300
FF-40/25J	TD-25J

Условия использования

Быстрота откачки молекулярного насоса существует только в области молекулярного потока или вблизи нее. Обычно требуется, чтобы давление в выпускном отверстии на форвакуумный насос было менее 10 Па, поэтому резервный насос должен быть правильно сконфигурирован. Следует использовать контроллер молекулярного насоса KYKY (привод, модули управления и питания), соответствующий ему.

Допустимое давление форвакуума в серии молекулярных насосов, используемых для приборов, было значительно улучшено. Проверьте "максимальное непрерывное давление на выходе" в списке параметров, чтобы узнать максимальное допустимое давление. Однако, увеличение давления подпора молекулярного насоса может повлиять на давление высокого вакуума молекулярного насоса. Для получения дополнительной информации, пожалуйста, свяжитесь с техническими инженерами KYKY.

Обратите внимание на окружающую среду при установке молекулярного насоса. Конкретные требования приведены в таблице.

Таблица – Окружающая среда установки молекулярного насоса

Место установки	В помещении
Категория защиты	IP54
Класс защиты	III
Температура окружающей среды	5-40℃
Относительная влажность	≤85%
Давление окружающей среды	0.75-1.06×105 Па
Высота установки (высота над уровнем моря)	≤3000 м
Класс загрязнения	2
Магнитное поле	Ни радиальная, ни аксиальная напряженность магнитного поля не может быть выше 3 мТл (30 Гс);
Радиация	≤105 рад

 Транспортировка и хранение

 Транспорт

                 При выходе с завода молекулярный насос должен быть упакован в пакет. Во время транспортировки его необходимо аккуратно взять или поставить, запрещается сильная вибрация, дождь, холод и воздействие солнца.

 Хранение

                 Насос и контроллер должны храниться в сухом, вентилируемом помещении без коррозийного газа, и перед открытием должны быть защищены от дождя, холода и воздействия солнца.  Температура окружающей среды для хранения -20～+55˚C; а относительная влажность не должна превышать 95%.

 Перемещение

                 Во время перемещения после вскрытия упаковки обратите внимание на защиту высоковакуумных уплотнительных соединений, опорных соединений, крана, соединений контроллера и других уязвимых частей насоса.

(a)       Только когда насос установлен перед смонтированной системой, можно открыть уплотнительную крышку насоса; (b)       Отвод, трубное соединение, стык и другие выступающие части не должны использоваться в качестве ручки для переноски; (c)       Во время перемещения обратите внимание на защиту входного и выходного отверстий насоса от царапин.

Установка

Подтверждение основного применения насоса

(1) Молекулярный насос может работать только в области молекулярного потока или рядом с ней, так что в одной закрытой камере можно получить высокий вакуум или сверхвысокий вакуум;

(2) Молекулярный насос нельзя использовать для перекачки жидкости или газа с пылью или твердыми частицами;

(3) В дополнение к некоррозионному молекулярному насосу типа "N", любые другие молекулярные насосы не могут быть использованы для перекачки коррозионного газа. Если насос типа "N" перекачивает коррозионный газ, для защиты необходимо подавать инертный газ.

Подача питания или управление каждым типом насоса должны осуществляться в соответствии с требованиями, изложенными в данном руководстве. Компания не несет ответственности за любые убытки, вызванные таким неправильным использованием.

Вскрытие упаковки

Достаньте насос из упаковки и проверьте, не сломан ли он при транспортировке. Снимите пластиковую крышку на входе насоса, наденьте перчатки, включите ротор турбины, он должен вращаться гибко, без заеданий, заклиниваний и других ненормальных условий, затем закройте крышку фланца.

(a)       Если после вскрытия упаковки обнаружены повреждения, которые могут повлиять на эксплуатационные характеристики насоса, пользователь должен немедленно связаться с производителем; не ремонтируйте самостоятельно; (b)       Надлежащим образом защищайте входы и выходы, чтобы избежать царапин, которые могут повлиять на эксплуатационные характеристики; (c)       Не открывайте надолго пластиковую крышку фланца на входе и выходе; не допускайте попадания мусора или пыли в насос и всегда содержите насос в чистоте и порядке; (d)       Устанавливайте насос в максимально чистой среде.

  

Подготовка перед установкой

(1) Убедитесь, что условия установки соответствуют требованиям данного руководства;

(2) Убедитесь, что необходимые для установки принадлежности и инструменты находятся в монтажных комплектах;

(3) Убедитесь, что вакуумная камера находится в атмосфере;

(4) Убедитесь, что место установки/угол наклона молекулярного насоса определен. Обратите внимание на резервное пространство для установки обратного трубопровода молекулярного насоса и шнура/кабеля питания;

(5) После вскрытия упаковки, пожалуйста, внимательно проверьте турбомолекулярный насос с магнитной левитацией и его принадлежности.

 

Установка

Меры по предотвращению вибрации

Молекулярный насос должен максимально избегать сильной вибрации и ударов во время использования. Рекомендуется принять следующие защитные меры:

(1) Конструкция для снижения вибрации должна быть спроектирована во всей системе, чтобы избежать взаимного влияния между различным оборудованием;

(2) Вибрационная часть (такая как механический насос и т.д.) молекулярного насоса должна быть отдельно защищена для снижения и изоляции вибрации;

(3) Молекулярный насос должен стоять как можно дальше от источника вибрации;

(4) Для обратного соединения молекулярного насоса следует использовать сильфон с функцией подавления/изоляции вибрации.

 

Использование защитной сетки

Защитная сетка (стандартная принадлежность) на входе насоса может предотвратить попадание посторонних предметов в насос (для предметов диаметром более 1 мм), но снижает скорость перекачки (скорость перекачки снижается примерно на 10-20% для азота) молекулярного насоса после ее установки. Защитная сетка не может предотвратить попадание в насос предметов диаметром менее 1 мм, а также не предотвращает повреждение предметов на молекулярном насосе во время работы.

 

Угол обратного хода

При использовании насоса с масляным уплотнением и горизонтальной установке молекулярного насоса его выхлопное отверстие должно быть направлено вертикально вниз (± 15°), что поможет уменьшить попадание загрязняющих веществ на молекулярный насос через выхлопное отверстие.

 

Подключение вакуумной камеры

Высоковакуумные интерфейсы молекулярного насоса — это фланец ISO-KF, фланец ISO-K (т.е. фланец LF) и фланец CF. Фланец ISO-K уплотняется фторсодержащей резиной. Фланец CF уплотняется бескислородной медью. Соединение между различными фланцами показано ниже.

 

Молекулярный насос обычно устанавливается на соответствующем интерфейсе вакуумной камеры. Однако для тяжелых насосов необходимо закрепить опору основания для поддержки насоса и предотвращения растрескивания сварных швов; высоковакуумный интерфейс молекулярного насоса должен находиться как можно ближе к откачиваемой камере.

 

Схема подключения молекулярного насоса и вакуумной камеры

Интерфейсные фланцы молекулярного насоса, производимые компанией, полностью соответствуют международным стандартам ISO. См. технические характеристики фланцев в Перечне технических параметров и обратитесь к соответствующим стандартам размеров.

 

(a) Насос может приобретать большое количество кинетической энергии за счет высокоскоростного вращения ротора, неправильная эксплуатация или другие причины могут привести к ослаблению соединения между насосом и вакуумной камерой или к ненормальному повреждению насоса, поэтому устанавливайте насос, используя соединения, отвечающие требованиям интенсивности; (b) Не включайте молекулярный насос отдельно. Молекулярный насос должен быть установлен в системе и запущен после выполнения заданных условий вакуума; (c) При подъеме насоса убедитесь, что сварочный шов подъемных частей надежно закреплен во избежание образования трещин;

 

Соединение фланца ISO-K и фланца ISO-K

Фланцевое соединение

(1) Перед установкой фланца подготовьте установочный инструмент, центральную опору, резиновое кольцо, суппорты и т.д. Проверьте уплотнительную поверхность фланца, чтобы убедиться в отсутствии повреждений; (2) С помощью монтажного инструмента установите фланец, как показано на рисунке; (3) Используйте соответствующее количество суппортов для фиксации фланцев и симметрично затягивайте их по очереди. Рекомендуется затягивать суппорты три раза; (4) После вакуумирования снова затяните суппорты; (5) Обратитесь к стандартному руководству, чтобы узнать количество суппортов для фланцев разного диаметра.

Соединение фланца ISO-K и фланца ISO-F (и его модифицированного типа)

Фланец ISO-K соединяется с фланцем ISO-F (и его модифицированным типом) тремя следующими способами:

● Подключение к стандартному фланцу ISO-F со свободным фланцем

● Подключение к глухому отверстию камеры с незакрепленным фланцем

● Соедините с колодкой суппорта

Перед установкой фланца подготовьте установочный инструмент, центральную опору, резиновое кольцо, болт/шпильку, гайку и т.д.

 

(a) Обратитесь к стандартному руководству, чтобы узнать количество крепежных элементов для фланцев разного диаметра; (b) Обратите внимание, что крепежные элементы должны быть симметрично затянуты по очереди и снова затянуты после вакуумирования.

 

Соединение фланца ISO-K и фланца ISO-F	Ø Соедините стандартный фланец ISO-F со свободным фланцем (1) Перед установкой проверьте уплотнительную поверхность фланца, чтобы убедиться в отсутствии повреждений; (2) Поочередно надевайте свободный фланец и фиксатор на впускной фланец молекулярного насоса; (3) Установите центральную опору/позиционное кольцо и резиновое кольцо во впускной фланец молекулярного насоса (фланец ISO-K) вдоль центральной линии. Центральная опора не обязательно используется во впускном фланце молекулярного насоса с канавкой для прокладки; (4) Используйте соответствующее количество шестигранных болтов (или шпилька + гайка) для крепления молекулярного насоса, как показано на рисунке.
Рисунок 6 Соединение фланца ISO-K и фланца ISO-F	Ø Подключение к глухому отверстию камеры с незакрепленным фланцем (1) Перед установкой проверьте уплотнительную поверхность фланца, чтобы убедиться в отсутствии повреждений; (2) Поочередно надевайте свободный фланец и фиксатор на впускной фланец молекулярного насоса; (3) Установите центральную опору/позиционное кольцо и резиновое кольцо во впускной фланец молекулярного насоса (фланец ISO-K) вдоль центральной линии. Центральная опора не обязательно используется во впускном фланце молекулярного насоса с канавкой для прокладки; (4) Используйте соответствующее количество шестигранных болтов (или шпилька + гайка) для крепления молекулярного насоса, как показано на рисунке.
Рисунок 7 Соединение фланца ISO-K и фланца ISO-F	Ø Соединитесь с глухим отверстием камеры с помощью колодки суппорта (1) Перед установкой проверьте уплотнительную поверхность фланца, чтобы убедиться в отсутствии повреждений; (2) Установите центральную опору/позиционное кольцо и резиновое кольцо во впускной фланец молекулярного насоса (фланец ISO-K) вдоль центральной линии. Центральная опора не обязательно используется во впускном фланце молекулярного насоса с зарезервированной канавкой для прокладки; (3) Используйте соответствующее количество колодок суппорта и болтов для крепления молекулярного насоса, как показано на рисунке.

Фланцевое соединение CF

Подключение к отверстию фланца CF с помощью шестигранного болта

Подключение к глухому отверстию фланца CF с помощью шестигранного болта

Рисунок – Фланцевое соединение CF	Ø Подключение к отверстию фланца CF с помощью шестигранного болта (1) Проверьте, нет ли повреждений на кромке ножа; (2) Установите защитную сетку и поместите уплотнение; (3) Для соединения фланцев используйте соответствующее количество шестигранных болтов; (4) Симметрично затягивайте гайки по очереди, пока момент затяжки не составит 22 ± 2 Нм.
Рисунок 9 Фланцевое соединение CF	Ø Подключение к глухому отверстию фланца CF с помощью шестигранного болта (1) Проверьте, нет ли повреждений на кромке ножа; (2) Установите защитную сетку и поместите уплотнение; (3) Для соединения фланцев используйте соответствующее количество шестигранных болтов (или шпилька + гайка); (4) Симметрично затягивайте гайки по очереди, пока момент затяжки не составит 22 ± 2 Нм.

  

(a) Эффективная длина болта или шпильки, ввинченной в глухое отверстие, должна быть больше или равна 1,5d. Длина ввинченной шпильки должна быть соответствующим образом увеличена; (b) Болты следует затягивать повторно, когда фланец и деталь рядом с ним нагреваются и охлаждаются.

 

Соединение с форнасосом

Опорный интерфейс - фланец быстрого соединения ISO-KF.

Что касается соединения между молекулярным насосом и форвакуумную насосом, предлагается использовать металлическую гофрированную трубку (сильфон), которая может уменьшить вибрацию.

Рекомендуется использовать форнасос с функцией перекрытия при отключении или установить запорный клапан и выпускной клапан, которые открываются или закрываются одновременно с включением-выключением насоса на входе, чтобы предотвратить возврат насосного масла в вакуумную камеру при остановке форвакуумного насоса.

Рекомендуется установить сорбционную ловушку на входе в форвакуумный насос, чтобы остановить возврат масла насоса вверх.

Подключение к молекулярному насосу

Инструкции по подключению системы управления

Помимо подключения к молекулярному насосу FF-40/25 (J) с помощью кабеля длиной 0,75 м, приводные модули серии TD интегрируются в молекулярные насосы FF-63/80, FF-100/150 и FF-100/300 для установки.

Система управления молекулярным насосом оснащена дополнительными функциональными модулями. В зависимости от режима питания система управления молекулярным насосом подключается двумя следующими способами:

Схема питания 24 В постоянного тока: Заказчик приобретает стандартный молекулярный насос KYKY (с модулем привода TD), затем конфигурирует функции питания 24VDC и внешнего управления/коммуникации (стандартная конфигурация RS232, дополнительная конфигурация RS485).

 

При схеме питания 24 В постоянного тока, если требуются функции управления и индикации, Заказчик может приобрести модули управления TC-100.

Схема питания 220 В переменного тока: Заказчик приобретает стандартный молекулярный насос KYKY (с модулем привода TD) и модуль TCP CPS, который затем обеспечивает питание 220 В переменного тока для выполнения всех операций и индикации молекулярного насоса.

 

Схема источника питания 24 В постоянного тока	Схема источника питания 24 В постоянного тока (TC опционально)

 

 

Схема электропитания 220 В переменного тока

Подключение заземления

При использовании кабеля питания 24 В постоянного тока провод, соответствующий контакту №2, должен быть надежно заземлен;

Если используется модуль TCP CPS, упомянутый в данном руководстве, модуль привода TD может быть заземлен через модуль TCP, пользователям нет необходимости отдельно заземлять модуль привода TD.

Другие инструкции см. в соответствующих руководствах.

Подключение ТМН

Рисунок 12 План электропитания 220 В переменного тока

Кабельное соединение

При подключении штекера или кабеля обратите внимание на расположение пазов, отверстий для штырей/контактов и направление разъемов, как показано на рисунке. При подключении пазы должны быть выровнены. Не прилагайте больших усилий, чтобы штифты не погнулись. Затяните их после вставки.

Комбинированное соединение между молекулярными насосами и модулями управления, перечисленными в руководстве, в основном включает в себя комбинацию модуля привода TD, модуля TPS, модуля управления и метода связи. Для получения подробной информации обратитесь к соответствующим руководствам.

 

Перед подачей питания на насос внимательно ознакомьтесь с соответствующим руководством по эксплуатации модуля управления молекулярным насосом.

 

Подключение кабеля

Монтажное соединение

Воздушное охлаждение

При выборе режима воздушного охлаждения убедитесь, что вокруг насоса нет источника тепла и нет препятствий, мешающих потоку воздуха вокруг вентилятора. Подключение узла воздушного охлаждения показано на рисунке. Узел вентилятора можно также установить, повернув на 45° или 90° против часовой стрелки (смотреть на входной фланец молекулярного насоса).

 

Подключение узла воздушного охлаждения (2- Узел с воздушным охлаждением 11-Корпус насоса 22-Опора 23-M4×12 Винт с внутренним шестигранником) 

Водяное охлаждение

При выборе режима водяного охлаждения следует использовать быстроразъемный интерфейс охлаждения воды. Подсоедините армированный волокном пластиковый шланг с внешним диаметром 10 мм к источнику воды независимо от входного или выходного водяного крана. Охлаждающая вода должна быть чистой с низким содержанием осадка и давлением около 0,1-0,2 МПа. Температура воды должна быть менее 25℃, а скорость потока должна быть больше или равна 1 л/мин. Подключение узла водяного охлаждения показано на рисунке.

Подключение узла водяного охлаждения

Подключение защитного газа в некоррозионном насосе

Соединительное устройство защитного газа является стандартной принадлежностью некоррозионного насоса. Пожалуйста, выполните установку в соответствии с рисунком.

Интерфейс представляет собой быстросъемный фланец KF16 на боковой стороне корпуса насоса, соответствующий стандарту ISO. Соединение показано на рисунке.

Рекомендуется установить в трубопроводе расходомер и выпускной клапан для управления потоком защитного газа в зависимости от концентрации перекачиваемого агрессивного газа.

Защитным газом обычно является промышленный азот или аргон.

Защитное газовое соединение

11 a - Впускное отверстие для накачивания насоса 25- Воздушная пробка 26-6 x 1,8 из нитриловой резины 27-KF16 порт

Защитный газ должен быть газом, который не вызывает коррозии алюминиевого сплава и нержавеющей стали и не вступает в реакцию с перекачиваемым газом, например, азот, аргон и т.д. Температура газа должна быть 5-30℃, а концентрация газа должна быть меньше или равна 10ppm. В особых условиях можно также использовать осушенный и отфильтрованный воздух без масла (плотность фильтрующей сетки менее 1um).

3-Сборка с водяным охлаждением 11-Корпус насоса 23-M4×12 Винт с внутренним шестигранником
Подключение нагревательной ленты

Использование нагревательной ленты для нагрева молекулярного насоса позволяет получить лучший предельный вакуум. Подключение нагревательной ленты показано на рисунке.

Подключение нагревательной ленты

10- Корпус насоса 31- Нагревательная лента 31a- Термостат нагревательной ленты 31b- Провод нагревательной ленты (питание 220 В переменного тока)

 Соединение для продувки воздухом после отключения

Коррозионностойкий насос может использовать вход защитного газа (KF16) для продувки после остановки; что касается не коррозионностойкого насоса, производитель вакуумного оборудования может установить его на откачиваемую камеру или обратный трубопровод в соответствии с требованиями пользователя, чтобы входы соответствовали клапанам.

Подходят ручные, электромагнитные и электрические клапаны наддува.

	При перекачке горючего смешанного газа давление в системе молекулярного насоса низкое (менее 10-4 Па), как правило, пожароопасность отсутствует. Но когда давление высокое (более 10-4 Па), а температура в насосе выше 120℃, из-за повреждений на насосе могут возникнуть искры, которые воспламеняют горючий смешанный газ.
	a) Молекулярный насос нельзя использовать для перекачки жидкости и газа с пылью и твердыми частицами. Если перекачиваемый газ содержит небольшое количество твердой пыли, на входе насоса необходимо установить несколько слоев фильтрующей сетки; (b) Любые другие молекулярные насосы, помимо насоса типа "N", не могут быть использованы для перекачки коррозионного газа; защитный газ должен быть подан в насос типа "N" перед его использованием для перекачки коррозионного газа;
	Некоторые вещества (такие как трихлорид алюминия и т.д.) будут возгоняться в корпусе насоса и образовывать осадок на лопасти. Толстый слой, осевший на лопасти турбины, уменьшит действие подвижной лопасти. Нагрев насоса может уменьшить образование осадка. В случае возникновения подобных проблем, пожалуйста, проконсультируйтесь с производителем насоса.

 Запуск молекулярного насоса

Расчет давления запуска молекулярного насоса

Предположим, что объем насосной системы составляет V [m3], а скорость откачки форвакуумного насоса - Sr [m3/h].

Когда Sr/V больше 40 [h-1], молекулярный насос и форвакуумный насос могут быть запущены одновременно, тогда молекулярный насос работает как дроссельный клапан и может эффективно предотвратить возврат масла из форвакуумного насоса.

Если Sr/V меньше или равно 40 [h-1], перекачиваемый объем большой. В первую очередь следует запустить форвакуумный насос. Когда давление в системе P меньше или равно 200 Па или P меньше или равно e^(Sr/6V)×100 [Па], молекулярный насос можно запускать.

Запуск системы охлаждения

При выборе режима водяного охлаждения необходимо подключить охлаждающую воду (давление и температура воды должны соответствовать требованиям, иначе эффект охлаждения будет снижен). При выборе режима воздушного охлаждения вентилятор запускается автоматически.

Подача защитного газа

Определите расход защитного газа в зависимости от концентрации перекачиваемого коррозионного газа, обычно он составляет 12-20 см3. Но при перекачке коррозионного газа расход должен быть соответствующим образом увеличен.

Внимание: убедитесь, что форвакуумный насос работает правильно.

 

Каждый раз, когда запускается молекулярный насос, нажмите кнопку "Пуск/Стоп" на модуле TCP (или модуле TC) CPS или управляйте им через внешнее управление системы/компьютер.

Все молекулярные насосы, перечисленные в данном руководстве, являются молекулярными насосами с консистентной смазкой. Молекулярные насосы нуждаются в плавном пуске, когда они используются впервые или повторно после длительного хранения (обычно более 3 месяцев). Пользователи могут осуществлять плавный пуск молекулярных насосов через модуль TCP/TC. См. конкретные операции в "Руководстве по модулю TCP (TC) CPS". Те, кто не приобрел модуль TCP/TC, могут провести плавный запуск молекулярных насосов вручную:

（1）       Запустите молекулярный насос. Когда скорость вращения молекулярного насоса достигнет половины номинальной скорости, остановите молекулярный насос. Когда молекулярный насос будет полностью остановлен, подождите 10 минут или около того, перезапустите молекулярный насос;

（2）       Повторите вышеуказанную операцию старт-стоп 3 или 4 раза, после чего молекулярный насос может быть запущен в нормальном режиме.

Разгон

                 Время разгона нормального молекулярного насоса должно быть меньше или равно времени разгона, указанному в таблице технических параметров. Если в системе имеется износ подшипников или утечка, время разгона будет увеличено. Во время эксплуатации пользователь должен обращать внимание на отклонения от нормы и своевременно останавливать насос при появлении каких-либо отклонений, а также уведомлять опытный технический персонал для проверки причины отклонения от нормы.

Отжиг

В нормальных условиях рационально спроектированная вакуумная система не обязательно отжигается для получения вакуума более 10-4 Па; вакуум 10-5 Па может быть получен простым отжигом частей вакуумной системы, кроме насоса; но для получения сверхвысокого вакуума все части вакуумной системы, включая молекулярный насос, должны быть полностью отожжены одновременно; и ионизационный вакуумметр должен быть полностью обезжирен для обеспечения точности данных измерений.

В помещениях с повышенной влажностью также требуется нагрев для вакуумной системы и молекулярного насоса иногда для того, чтобы получить вакуум 10-4 Па.    

Отжиг должен осуществляться при работающем молекулярном насосе. Температура отжига указана в таблице технических параметров. Время запекания должно определяться в зависимости от уровня загрязнения системы и насоса и ожидаемого предельного давления.

	Опасность, связанная с неправильным электрическим подключением Предприятие, использующее данное оборудование, несет полную ответственность за безопасность его работы после установки. При установке подключайте оборудование в соответствии с местными стандартами безопасности. Никогда не изменяйте конструкцию оборудования и не модифицируйте его по собственной инициативе. При возникновении каких-либо вопросов свяжитесь с вашим сервисным центром.
	Опасность: во время отжига температура нагревателя и корпуса насоса достигает почти 100℃, любой прямой контакт с любой частью тела может привести к травмам.
	Внимание: температура отжига должна строго контролироваться. Если температура слишком высока, лопасти турбины в молекулярном насосе могут быть деформированы и повреждены.
	Опасность, связанная с технологическими газами Процедура обнаружения течей должна выполняться при внешних условиях, не представляющих никакой опасности для оператора и оборудования. Лица, отвечающие за работу и/или сборку оборудования, несут полную ответственность за обеспечение безопасных условий, связанных с его функционированием. Пользователь детектора отвечает за следующее: - не тестировать детали или материалы со следами агрессивных, химических, коррозионных, легковоспламеняющихся, реактивных, токсичных, взрывоопасных продуктов или конденсирующихся паров, даже в небольших количествах. Не используйте продувку азотом для разбавления данных опасных продуктов: это не его предназначение! - применять специально разработанные правила техники безопасности в соответствии с местным законодательством. Для получения дополнительной информации, свяжитесь с сервисным центром.

 Ротор турбины в молекулярном насосе — это часть, вращающаяся с высокой скоростью. Зазор между ним и корпусом насоса очень мал. Поэтому молекулярный насос может быть поврежден в результате сильного внешнего удара или вибрации корпуса насоса, резкого сильного удара перекачиваемого пространства и попадания внешних твердых предметов в насос в процессе эксплуатации.Ротор турбины в молекулярном насосе – это часть, вращающаяся с высокой скоростью. Зазор между ним и корпусом насоса очень мал. Поэтому молекулярный насос может быть поврежден в результате сильного внешнего удара или вибрации корпуса насоса, резкого сильного удара перекачиваемого пространства и попадания внешних твердых предметов в насос в процессе эксплуатации.

Остановка

Опасность: если молекулярный насос используется для перекачки агрессивного газа, перед выключением насоса необходимо закачать сухой азот или неактивный газ через вход защитного газа в течение не менее одного часа. Скорость потока должна составлять 10-16 см3..

(1) Нажмите кнопку "Пуск/Стоп" на панели TCP (или TC) (или остановите через внешнее устройство управления и верхний компьютер). Молекулярный насос постепенно останавливается. См. руководства по эксплуатации модулей управления;

(2) Когда молекулярный насос полностью остановится, выключите резервный насос;

(3) Закройте клапан охлаждающей воды (насос с водяным охлаждением) 

(a) В процессе снижения скорости молекулярного насоса не отключайте питание, насколько это возможно. Тормоз, установленный в модуле привода молекулярного насоса, может сократить время снижения скорости молекулярного насоса. Резкое отключение питания сократит срок службы подшипника. Когда молекулярный насос полностью остановлен, отключите питание модуля управления.

(b) При остановке насоса следует немедленно прекратить подачу охлаждающей воды, чтобы предотвратить образование конденсата в насосе.

Перед остановкой насоса, откачивание насоса может уменьшить обратную диффузию масла фор насоса, но быстрое увеличение давления в камере насоса приведет к дополнительному давлению на систему вала, что сократит срок службы подшипника. Рекомендуется контролировать скорость увеличения давления на уровне менее 10000 Па/мин.

Напуск газа после выключения

После остановки молекулярного насоса можно начать нагнетание газа, пока давление внутри насоса постепенно не достигнет атмосферного.

Когда вакуумная система перестает работать, обычно в молекулярный насос должен быть напущен воздух для достижения атмосферного давления, чтобы избежать загрязнения, вызванного фор насосом, на молекулярный насос и вакуумную камеру.

Три распространенных способа напуска газа следующие:

（1）       Впускное отверстие для защитного газа на коррозионностойком насосе. После выключения насоса входное отверстие может быть закрыто, давление в камере молекулярного насоса постепенно увеличивается до атмосферного давления. Кроме того, если необходимо одновременно открыть клапан, клапан на вакуумной камере должен подождать некоторое время перед открытием, чтобы давление в камере насоса было выше, чем в вакуумной камере, что может предотвратить попадание коррозионного газа и твердых частиц в камеру насоса;

（2）       Клапан напуска на вакуумной камере. После выключения молекулярного насоса можно открыть клапан напуска (если между молекулярным насосом и камерой есть клапан, его следует открыть). Скорость напуска должна быть замедлена, чтобы предотвратить попадание твердых частиц в камеру насоса;

（3）       Установите клапан напуска между форнасосом и молекулярным насосом. Скорость напуска должна быть замедлена, чтобы предотвратить попадание паров и твердых частиц в форнасосе в камеру насоса.

Внимание: давление в камере насоса не должно быть выше одного атмосферного давления.

После остановки работы насоса смазка на подшипнике насоса в состоянии длительного вакуума будет слегка летучей и обратно диффундировать на вход насоса, что окажет некоторое влияние на вакуумную камеру с чрезвычайно высокими требованиями к гигиене.

Если напускать азот или сухой воздух, то время достижения предельного вакуума может быть значительно сокращено в следующий раз.

Установите клапан между насосом и вакуумной камерой, тогда вакуумная камера может оставаться в состоянии вакуума в течение длительного времени.

Использование насоса в специальных условиях

Виброизоляция

                 Если вакуумируемая система имеет серьезную вибрацию, пожалуйста, используйте виброизолятор, чтобы уменьшить повреждения молекулярного насоса, вызванные вибрацией.

Экранирование высокого магнитного поля

                 Когда насос работает в высоких магнитных полях, вращающийся ротор будет генерировать вихревые токи, нагреваться и может нарушить прочность алюминиевого материала. Поэтому напряженность магнитного поля в радиальном и осевом направлении молекулярного насоса не должна превышать 3 мТл (30 Гс). Пожалуйста, экранируйте магнитное поле проницаемым магнитным материалом, если насос работает в среде с напряженностью магнитного поля более 3 мТл.

Электромагнитные помехи

                 Молекулярный насос и контроллер будут генерировать электромагнитное поле в окружающей среде при работе, но электромагнитная сила соответствует национальному стандарту. При специальном применении (например, в медицинском оборудовании и т.д.), пожалуйста, свяжитесь с производителем.

Высокий предел радиоактивности

                 В условиях высокой радиоактивности характеристики большинства материалов будут изменены, особенно органических материалов (таких как масло насоса и уплотнительное кольцо) и полупроводниковых компонентов. Для предотвращения случайных повреждений интенсивность радиоактивного излучения в рабочей среде молекулярного насоса должна быть ниже 1E5 рад.

                 Во включенном состоянии не проводите установку, техническое обслуживание и ремонт молекулярного насоса. Питание должно быть отключено.

a) Насос должен разбираться профессионально обученным техническим персоналом, запрещается разбирать насос без разрешения производителя.

б) Молекулярный насос прошел точную калибровку на станке динамической балансировки, любая операция, такая как ослабление болта или добавление прокладки, может вызвать серьезный динамический дисбаланс. При таких условиях, пожалуйста, верните насос производителю для калибровки.

Техническое обслуживание и ремонт

Период технического обслуживания

Пункт технического обслуживания	Способ обслуживания	Период технического обслуживания	Примечание
Вибрация и шум	Используйте органы чувств или специальный вибротестер для определения вибрации и шума молекулярного насоса в процессе работы. В случае каких-либо отклонений от нормы немедленно остановитесь для поиска причины или свяжитесь с производителем;	Один раз в месяц. Каждое использование.
Ток и напряжение	Используйте модуль TCP/TC или компьютер для проверки наличия аномального рабочего напряжения и тока молекулярного насоса. В случае каких-либо отклонений немедленно остановитесь для поиска причины или свяжитесь с производителем;	Один раз в неделю Каждое использование.
Возврат масла	(1) Останавите систему молекулярного насоса и дегазации; (2) Снимите сильфон, соединенный с опорным интерфейсом молекулярного насоса; (3) Используйте чистую белую бумагу или ватный тампон, чтобы протереть внутреннюю часть переднего интерфейса и посмотреть, есть ли там прилипшая черная или желтая жидкость;	Один раз в месяц
Внутренняя очистка	За исключением утечки воздуха в вакуумной системе или серьезного загрязнения вакуумной камеры, если вакуумные характеристики насоса не восстанавливаются после длительного отжига насоса, то следует проверить, что насос загрязнен, и насос необходимо очистить.	В зависимости от условий во время использования	Возврат на завод
Замена подшипника	Молекулярный насос прошел динамическую калибровку балансировочного станка с помощью специального прибора перед тем, как покинуть завод. Замена подшипника требует динамического балансировочного станка, поэтому калибровка должна производиться только компанией KYKY или ремонтным центром, назначенным компанией KYKY.	В зависимости от условий во время использования	Возврат на завод

 Демонтаж насоса из вакуумной системы

Если насос неисправен и его необходимо удалить из системы, пожалуйста:

（1）             убедитесь, что насос находится в выключенном состоянии, а давление воздуха внутри и снаружи сбалансировано;

（2）             если насос используется для отвода коррозионного газа, убедитесь, что коррозионный газ полностью удален из вакуумной камеры, корпуса насоса и обратных труб, осадок в насосе также вреден для человеческого организма, техник по разборке насоса должен надеть респиратор и перчатки, если необходимо. После демонтажа насоса, пожалуйста, удалите осадок как можно скорее, чтобы избежать образования летучих веществ или коррозийной кислоты и щелочи в результате реакции осадка с влажным воздухом;

（3）             После снятия насоса его следует как можно скорее упаковать в закрытый пластиковый пакет.

Анализ неисправностей

 Для насоса, который использовался для откачки агрессивного газа, перед возвратом его производителю, пожалуйста, укажите тип откачиваемого газа и заполните Отчет о загрязнении вакуумного устройства и компонентов (прилагается в руководстве по эксплуатации) для гарантии безопасности ремонтного персонала. В противном случае KYKY имеет право отказать в предоставлении услуг по ремонту. В противном случае компания KYKY имеет право отказать в предоставлении услуг по ремонту.

Неисправность	Возможная причина	Решение
Стартовый отказ	(1) Молекулярный насос не получил сигнал на запуск; (2) Молекулярный насос поврежден;	(1) Для устранения ошибки контроллера, пожалуйста, обратитесь к инструкции контроллера; (2) Если соединительный кабель неактивен, проверьте кабель; По другим причинам, пожалуйста, проконсультируйтесь с производителем.
Тайм-аут при запуске или замедление или остановка работы после запуска	(1)Утечка в вакуумной системе (2) Ненормальное давление подпора (3) Повреждение подшипника (4) Отказ контроллера	(1) Проверьте, есть ли утечка в системе. (2) Проверьте, правильно ли работает форнасос или есть ли утечка форлинии и уплотнения; (3) Если подшипник поврежден, верните систему производителю; (4) См. руководство по эксплуатации контроллера.
Сильная вибрация и шум при работе насоса	(1)          Резонанс оборудования (2)          Разрушение динамического равновесия (3)          Повреждение подшипника	(1) Изменить монтажное положение или присоединие насоса, зафиксировать подвижные части или добавить виброгасящие прокладки; (2) Отправьте насос производителю; (3) Отправьте насос производителю.
Низкий вакуум	(1) Большое фор давление (2) Система негерметична (3) Ошибка вакуумметра (4) Ненормальная скорость вращения насоса (5) Ошибка сборки системы система (6) Загрязнение системы	(1) Проверьте, правильно ли работает форнасос или есть ли утечка трубы и уплотнения; (2) Обнаружение утечки, остановка утечки; (3) Если датчик имеет большой поток дегазации, удалите загрязнения из датичка или отжигайте корпус в течение 2 часов при температуре 200℃; (4) Скорость насоса не достигает номинальной скорости, см. выше; (5) Скорость откачки форнасоса недостаточно велика или трубопровод системы слишком тонкий; (6) Вакуумная камера, трубопроводы и вакуумный насос загрязнены. Систему следует очистить.
Другие ошибки		Если возникли какие-либо другие проблемы или требуется техническая поддержка, пожалуйста, свяжитесь с производителем.

Адреса Завода изготовителя и сервисных центров

Центральный офис и Завод производитель:

KYKY Technology Co., Ltd.

No.13 BeiErTiao ZhongGuanCun, Haidian Dist, Пекин, Китай

 Phone

+8613810212935

+86-10-82548271

 

Уполномоченный представитель и сервисная компания на территории Российской Федерации:

Общество с ограниченной ответственностью «Лаборатория ВАКТРОН»

(ООО «Лаборатория ВАКТРОН»)

Почтовый адрес: абонентский ящик №20 в ОПС 197082 (для ООО "Лаборатория ВАКТРОН").

Тел: +7-812-715-00-17 e-mail: mail@leaklab.ru

ИНН:7819033820, КПП:780201001

БАНК ФИЛИАЛ «САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ» АО «АЛЬФА-БАНК»

к/с: 30101810600000000786 р/с: 40702810632260003661

БИК: 044030786 ОГРН 1167847162570

 

Коды ОКВЭД:

Основной код 73.10 – Научные исследования и разработки в области естественных и технических наук.

Дополнительные коды: 51.65,51.65.2, 51.65.6, 51.14.2, 51.18.27, 51.19, 51.7, 74.3, 74.20.14, 74.13, 29.12.9, 29.24.9, 33.20.6, 33.20.9, 33.30, 91.11.

ОКПО 01661896 ОКАТО 40290502000 ОКТМО 40395000 

ЭДО Сбис (совместимо с ЭДО Диадок)

Идентификатор ООО "Компания "Тензор"

2BE86da4f4da38343c0b7d4c2ef6c5b5f23