Мембраноемкостные вакуумметры CBVAC
Компания Leaklab представляет в России мембраноемкостные вакуумметры CBVAC для точного измерения абсолютного давления в вакуумных и газовых системах. Линейка включает универсальные, высокоточные, компактные, релейные, антикоррозионные и сетевые модели с EtherCAT.
В статье собраны все основные серии датчиков, присутствующие в документации CBVAC. Ниже приведены их назначение, диапазоны, точность, варианты интерфейсов, механические присоединения, особенности монтажа, а также практические рекомендации по подбору, настройке, наладке и обслуживанию на территории России специалистами Leaklab.
Что представляет собой мембраноемкостной вакуумметр
Мембраноемкостной вакуумметр измеряет абсолютное давление по деформации чувствительной мембраны. Такой принцип обеспечивает высокую повторяемость измерения, малую зависимость от состава газа по сравнению с тепловыми вакуумметрами и хорошую долговременную стабильность. Для вакуумной техники это особенно важно в системах, где требуется корректно измерять давление на разных газах, при нагреве, при циклической работе и в присутствии химически активных компонентов.
Абсолютное измерение давления
Датчик измеряет именно абсолютное давление, а не косвенный параметр. Это делает его удобным для вакуумных технологических процессов, газовых панелей, испытательных стендов и аналитических систем.
Высокая повторяемость
Для большинства серий каталога CBVAC производитель указывает высокую стабильность нуля, малый гистерезис, высокую разрешающую способность и устойчивость к перегрузке.
Технологическая совместимость
В чувствительных узлах применяется коррозионностойкий никелевый сплав. Для ряда серий доступны подогрев, интегрированная защита от осаждения частиц, релейные выходы и цифровой интерфейс EtherCAT.
Полная линейка CBVAC
| Серия | Назначение | Ключевые особенности |
|---|---|---|
| CM1 | Универсальная базовая серия | Исполнения без подогрева, 45 °C и 100 °C, выход 0-10 VDC, DB15, широкий набор диапазонов и присоединений |
| CM1E | Серия для процессов травления | Снижение коррозионного повреждения и осаждения побочных продуктов на мембране, улучшенная термостабилизация |
| DM1 | Высокоточная серия с подогревом | DB9, точность до 0,12% от показания, внешняя подстройка нуля по опции, направляющая структура против осаждения частиц |
| DM1E | Высокоточная серия для травления | Антикоррозионное исполнение, DB9, подогрев, опциональная внешняя подстройка нуля |
| HM1 | Серия с двумя независимыми реле | Регулируемые уставки срабатывания, аналоговый выход, функции локального релейного управления по давлению |
| EM1 | Компактная серия без подогрева | Небольшой корпус, питание +13...+32 VDC, выход 0-5 VDC или 0-10 VDC, высокая устойчивость к перегрузке |
| KM1 | Компактная подогреваемая серия | 45 °C или 100 °C, малые габариты, варианты питания ±15 VDC и ±24 VDC для части исполнений |
| FM1 | Цифровая серия с EtherCAT | EtherCAT, 2 порта RJ45, аналоговый выход, высокая скорость отклика, исполнения без подогрева, 45 °C, 80 °C и 100 °C |
CBVAC CM1
CM1 является базовой универсальной серией мембраноемкостных вакуумметров для высокоточного измерения абсолютного давления. Серия выпускается в обычном исполнении без подогрева, а также с контролируемой температурой 45 °C и 100 °C. Выходной сигнал составляет 0-10 VDC и пропорционален давлению. Производитель указывает малое время отклика, низкий гистерезис, высокую повторяемость и высокую разрешающую способность.
Преимущества серии CM1
- нечувствительность измерения к составу газа в сравнении с тепловыми датчиками
- высокая долговременная стабильность
- цельносварная конструкция чувствительного узла
- коррозионностойкий никелевый сплав мембраны
- допустимая перегрузка по давлению до 310 кПа
Когда целесообразно применять
CM1 подходит для универсальных вакуумных установок, газовых панелей, стендов испытаний, лабораторных систем и технологических линий, где требуется надежное абсолютное измерение давления при умеренных требованиях к дополнительным функциям.
| Параметр | CM1 | Комментарий |
|---|---|---|
| Диапазоны | Без подогрева: 0,1, 0,25, 1, 2, 10, 20, 100, 500, 1000 Torr. 45 °C: 0,02, 0,05, 0,1, 0,25, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr. 100 °C: 0,05, 0,1, 0,25, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr | Диапазон следует выбирать по рабочему давлению процесса, а не только по максимально возможному давлению в системе |
| Точность | Без подогрева: 0,5% ниже 1 Torr и 0,25% при ≥1 Torr. 45 °C: 0,25% на 0,02 Torr, 0,15% на 0,05, 0,1 и 0,25 Torr, 0,12% выше 0,1 Torr. 100 °C: 0,5% ниже 1 Torr и 0,25% при ≥1 Torr | Исполнение 45 °C обеспечивает наилучшую точность в низкодавленческой области |
| Температура окружающей среды | 0...50 °C без подогрева, 15...40 °C для 45 °C, 15...50 °C для 100 °C | Нужно учитывать температуру внутри шкафа автоматики и рядом с фланцем датчика |
| Прогрев | 2 часа для диапазонов ≥1 Torr, 4 часа для диапазонов <1 Torr | До завершения прогрева нельзя ожидать окончательной стабильности нуля |
| Выход | 0-10 VDC, нагрузка более 10 кОм | Удобен для ПЛК, АЦП, регистратора и системы управления |
| Интерфейс | DB15 Male | Для некоторых исполнений доступен вариант с переходом на внешнюю 5-контактную клемму |
| Питание | ±15 VDC ±5%, без подогрева около 35 мА, до 0,25 А для 45 °C и до 0,6 А для 100 °C | Подогреваемые исполнения требуют отдельной оценки мощности блока питания |
| Присоединения | NW16 KF, NW25 KF, CF16, CF35, 8VCR Female, 8VCO Female, 1/2 Tube, 3/8 VCR Female | Подбор присоединения зависит от уровня чистоты процесса и стандартов арматуры |
| Монтаж | Стандартный, горизонтальный, вертикальный | Стандартный вариант без ограничения ориентации допустим в основном при диапазонах выше 1 Torr |
CBVAC CM1E
CM1E разработан специально для процессов травления. В конструкции снижено коррозионное воздействие и осаждение побочных продуктов процесса на чувствительной мембране, что уменьшает дрейф показаний. Серия выпускается в исполнениях 45 °C и 100 °C и сохраняет общую логику подключения и эксплуатации, характерную для CM1.
Основное назначение
Химически активные процессы, линии травления, установки, где в тракте присутствуют коррозионные побочные продукты и осаждение загрязнений.
Точность
Для 45 °C указана точность до 0,12% от показания выше 0,1 Torr. Для 100 °C точность составляет 0,25% от показания при ≥1 Torr и 0,5% ниже 1 Torr.
Особенность серии
Улучшенная система термостабилизации и конструкция, уменьшающая влияние побочных продуктов процесса на измерительный узел.
| Параметр | CM1E |
|---|---|
| Диапазоны | 45 °C: 0,02, 0,05, 0,1, 0,25, 1, 2, 10, 20, 100 Torr. 100 °C: 0,05, 0,1, 0,25, 1, 2, 10, 20, 100 Torr |
| Точность | 45 °C: 0,25% на 0,02 Torr, 0,15% на 0,05, 0,1 и 0,25 Torr, 0,12% выше 0,1 Torr. 100 °C: 0,5% ниже 1 Torr, 0,25% при ≥1 Torr |
| Выходной сигнал | 0-10 VDC |
| Интерфейс | DB15 Male |
| Присоединения | NW16 KF, NW25 KF, CF16, CF35, 8VCR Female, 8VCO Female, 1/2 Tube |
| Прогрев | 2 часа при ≥1 Torr и 4 часа при <1 Torr |
CBVAC DM1
DM1 является высокоточной подогреваемой серией с оптимизированной термостабилизацией. Производитель отдельно указывает возможность внешней подстройки нуля для части исполнений. Конструкция включает интегрированную направляющую структуру, снижающую осаждение частиц на чувствительной мембране.
Ключевые особенности
- подогрев 45 °C и 100 °C
- точность до 0,12% от показания
- DB9 male
- внешняя коррекция нуля по опции
- интегрированная защита от осаждения частиц
Где применять
Серия подходит для высокоточных технологических процессов, стендов, аналитических систем и вакуумных установок, где важны стабильность показаний, сервисная корректировка нуля и повышенная устойчивость к загрязнению.
| Параметр | DM1 |
|---|---|
| Диапазоны | 0,02 Torr только для 45 °C, далее 0,05, 0,1, 0,25, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr |
| Точность | 45 °C: 0,12% на 1-1000 Torr, 0,15% на 0,25, 0,1 и 0,05 Torr, 0,25% на 0,02 Torr. 100 °C: 0,25% при ≥1 Torr и 0,50% при <1 Torr |
| Интерфейс | DB9 male |
| Питание | ±15 VDC ±5%, 45 °C до 0,25 A, 100 °C до 0,6 A |
| Опции | стандартное исполнение, индикатор нагрева, внешняя регулировка нуля, индикатор нагрева плюс внешняя регулировка нуля |
| Присоединения | NW16-KF, NW25-KF, CF16, CF35, 8VCR Female, 8VCO Female, 1/2 Tube |
CBVAC DM1E
DM1E является развитием серии DM1 для процессов травления. Датчик рассчитан на работу в более агрессивных химических условиях и на уменьшение дрейфа измерений, связанного с коррозией и осаждением побочных продуктов процесса.
Температуры
45 °C и 100 °C
Выход и интерфейс
0-10 VDC, DB9 male
Особенность
Конструкция для уменьшения коррозионного повреждения и осаждения частиц на мембране
| Параметр | DM1E |
|---|---|
| Диапазоны | 0,02 Torr только для 45 °C, далее 0,05, 0,1, 1, 2, 10, 20, 100, 1000 Torr |
| Точность | 45 °C: 0,12% в диапазоне 1-1000 Torr, 0,15% на 0,1 и 0,05 Torr, 0,25% на 0,02 Torr. 100 °C: 0,25% при ≥1 Torr и 0,50% при <1 Torr |
| Питание | ±15 VDC ±5%, 45 °C до 0,25 A, 100 °C до 0,5 A |
| Присоединения | NW16-KF, NW25-KF, CF16, CF35, 8VCR Female, 8VCO Female, 1/2 Tube, 4VCR |
| Монтаж | стандартный, горизонтальный, вертикальный |
CBVAC HM1
HM1 сочетает функции мембраноемкостного вакуумметра и порогового устройства давления. Серия оснащена двумя независимыми реле с настраиваемыми порогами срабатывания. Это удобно для локального управления клапанами, блокировками и сигнализацией без применения отдельного контроллера.
Что дает серия HM1
- 2 независимых реле
- уставки срабатывания по напряжению 0,01-10 VDC
- отдельные контакты для каждого реле
- аналоговый сигнал давления 0-10 VDC
- исполнения без подогрева, 45 °C и 100 °C
Практическое применение
Серия целесообразна там, где по достижении определенного давления требуется включить исполнительный механизм, открыть или закрыть клапан, выдать сигнал готовности или аварийное сообщение. Это позволяет упростить архитектуру вакуумной установки.
| Параметр | HM1 |
|---|---|
| Диапазоны | 0,1, 1, 10, 20, 50, 100, 500, 1000 Torr |
| Точность | 45 °C: 0,15% на 0,1 Torr и 0,12% выше 0,1 Torr. Обычное исполнение и 100 °C: 0,5% ниже 1 Torr и 0,25% при ≥1 Torr |
| Интерфейс | DB15 male, для обычного исполнения возможен внешний terminal block |
| Релейные выходы | 2 точки срабатывания, 1 A при 30 VDC или 0,5 A при 30 VAC |
| Присоединения | 8VCR Female, 1/4VCR, CF16, 90° KF16, NW16-KF, NW25-KF, 1/2 Tube |
| Питание | без подогрева ±15 VDC ±5% при 0,075 A, 45 °C до 0,40 A, 100 °C до 0,60 A |
CBVAC EM1
EM1 является компактной экономичной серией без подогрева. Производитель подчеркивает малые габариты, простую конструкцию, хорошую повторяемость и устойчивость к перегрузке. Серия удобна для OEM-встраивания, модернизации существующих систем и установки в ограниченном пространстве.
Питание
+13...+32 VDC. Это отличает серию EM1 от большинства других моделей каталога, работающих от симметричного питания ±15 VDC.
Выход
0-5 VDC или 0-10 VDC в зависимости от исполнения.
Стойкость
Допустимая перегрузка 310 кПа и предел давления удара 690 кПа.
| Параметр | EM1 |
|---|---|
| Диапазоны | 1, 2, 10, 20, 30, 50, 100, 250, 500, 1000 Torr |
| Точность | 0,5% от показания |
| Интерфейсы | DB9, компактный DB15, DB15 на кабеле, 4-pin авиационный разъем, 5-контактная клемма |
| Присоединения | 4VCR Female, NW16KF, NW25KF, 4VCR Male, 8VCR Female, 1/2 Tube |
| Температура окружающей среды | 0...50 °C, а для диапазонов 1 Torr и 2 Torr 15...40 °C |
| Выходной сигнал | 0-5 VDC или 0-10 VDC |
CBVAC KM1
KM1 представляет собой компактную подогреваемую серию, ориентированную на технологические процессы, включая нанесение покрытий и другие режимы, где на точность и стабильность измерения влияют побочные продукты процесса. Серия сочетает малые габариты, нагрев, коррозионностойкие материалы и достаточно широкий диапазон давлений.
Особенности KM1
- компактный корпус
- подогрев 45 °C или 100 °C
- коррозионностойкий никелевый сплав
- поддержка DB9 или DB15
- вариант питания ±24 VDC для части исполнений 45 °C
Когда выбирать KM1
Серия подходит для новых технологических установок и модернизации существующего оборудования, когда требуется подогреваемый датчик с малыми габаритами и без избыточной сложности сетевых интерфейсов.
| Параметр | KM1 |
|---|---|
| Диапазоны | 1, 2, 10, 30, 50, 100, 200, 500, 1000 Torr |
| Точность | 45 °C: 0,5% от показания. 100 °C: 0,5% в диапазоне 10-1000 Torr и 1% ниже 10 Torr |
| Выход | 0-10 VDC |
| Питание | 45 °C: ±15 VDC ±5% или ±24 VDC ±5%, до 0,2 A. 100 °C: ±15 VDC ±5%, до 0,4 A |
| Интерфейсы | DB15 Male или DB9 Male |
| Присоединения | NW16 KF, 8VCR Female, 8VCO Female, 1/2 Tube, 1.33'' OD CF |
| Отклик | <75 мс |
CBVAC FM1 с EtherCAT
FM1 является наиболее функционально насыщенной цифровой серией в линейке. Это мембраноемкостной вакуумметр с поддержкой EtherCAT, разработанный на базе CM1 для подключения к сложным цифровым производственным сетям. Серия ориентирована на современные автоматизированные технологические процессы, где важны скорость обмена, сетевое управление и интеграция в единую архитектуру оборудования.
Цифровая интеграция
EtherCAT позволяет использовать датчик в сложных сетях управления. Для включения предусмотрены два порта RJ45 female.
Температурные варианты
Доступны исполнения без подогрева, а также с нагревом 45 °C, 80 °C и 100 °C.
Быстродействие
Время отклика 3,3 мс делает серию одной из самых быстрых в каталоге.
| Параметр | FM1 |
|---|---|
| Диапазоны | 0,1, 0,25, 1, 2, 5, 10, 20, 100, 200, 500, 1000 Torr |
| Точность | Без подогрева: 0,5% ниже 1 Torr и 0,25% при ≥1 Torr. 45 °C: 0,15% ниже 1 Torr и 0,10% при ≥1 Torr. 80 °C и 100 °C: 0,50% ниже 1 Torr и 0,25% при ≥1 Torr |
| Питание | +24 VDC ±10%, без подогрева до 300 мА, 45 °C до 600 мА, 80 °C и 100 °C до 800 мА |
| Выходы | аналоговый 0-10 VDC и EtherCAT |
| Интерфейсы | DB15 male и два RJ45 female |
| Присоединения | NW16 KF, NW25 KF, CF16, 8VCR Female, 8VCR Male, 8VCO Female, 1/2 Tube |
| Индикация | многоцветный EtherCAT-индикатор и красно-зеленые индикаторы состояния |
Сравнение серий по инженерной логике выбора
| Задача | Рекомендуемые серии | Причина выбора |
|---|---|---|
| Универсальное измерение абсолютного давления | CM1 | Широкий диапазон исполнений, стандартный аналоговый интерфейс, большой набор присоединений |
| Химически активные процессы и травление | CM1E, DM1E | Конструкция для уменьшения коррозионного воздействия и осаждения побочных продуктов |
| Высокоточное измерение с сервисной подстройкой нуля | DM1 | Подогрев, высокая точность, опциональная внешняя регулировка нуля |
| Локальное управление по давлению без отдельного контроллера | HM1 | 2 независимых реле с настраиваемыми уставками |
| Компактное OEM-встраивание без нагрева | EM1 | Малый корпус, питание +13...+32 VDC, разные разъемы |
| Компактный подогреваемый датчик | KM1 | Малые габариты, подогрев, простой аналоговый интерфейс |
| Цифровая промышленная сеть | FM1 | EtherCAT, аналоговый выход, высокая скорость отклика, сетевое включение |
Подбор, настройка и наладка CBVAC в России специалистами Leaklab
Правильный выбор мембраноемкостного вакуумметра определяется не только диапазоном Torr. На практике необходимо учитывать состав среды, наличие нагрева, риск конденсации, интенсивность загрязнения, требования к точности, тип контроллера, схему питания, способ монтажа и архитектуру всей системы.
Подбор серии и диапазона
Leaklab подбирает серию датчика по реальной задаче. Для универсальных систем обычно выбирают CM1. Для химически активных процессов подходят CM1E и DM1E. Для задач с релейным управлением по давлению выбирают HM1. Для компактных установок удобны EM1 и KM1. Для цифровой промышленной сети подходит FM1.
Электрическое подключение
Специалисты Leaklab проверяют качество источника питания, полярность, токовый запас, схему экранирования, входное сопротивление приемного устройства, корректность сигнального заземления и масштабирование аналогового выхода в системе управления.
Пусконаладка на объекте
Выполняется проверка поведения датчика на рабочих точках, контроль прогрева, анализ времени стабилизации, оценка влияния трассы и мертвого объема, настройка уставок реле для HM1 и интеграция EtherCAT для FM1.
Что входит в сервисную поддержку
- диагностика нестабильных показаний
- проверка кабеля, разъема и аналогового сигнала
- оценка загрязнения чувствительного узла
- консультации по эксплуатации подогреваемых моделей
- подбор переходников и присоединений
- помощь при модернизации существующих систем
Основные эксплуатационные ошибки
- выбор диапазона только по максимальному давлению, а не по рабочей точке
- использование датчика без выдержки времени прогрева
- ошибки экранирования и общего провода
- ударный напуск газа и резкие перепады давления
- монтаж в зоне конденсации или интенсивного загрязнения без правильного выбора серии
- неверное масштабирование 0-10 VDC в ПЛК или SCADA
Обслуживание мембраноемкостных вакуумметров CBVAC
Контроль сигнального тракта
Проверяют стабильность питания, форму и уровень аналогового сигнала, сопротивление нагрузки, корректность заземления и отсутствие наводок от силового оборудования.
Оценка состояния чувствительного узла
При работе на загрязняющих и агрессивных средах оценивают наличие осаждений, изменение нуля, дрейф показаний и необходимость перехода на более подходящую серию, например CM1E или DM1E.
Проверка соответствия процессу
При изменении технологии или диапазона рабочих давлений необходимо заново оценить выбранный диапазон датчика. Во многих случаях целесообразно перейти на другой диапазон или на другую серию.
Иллюстрации и конструктивные исполнения
Серия CBVAC CM1
Серия CBVAC CM1E и подогреваемые исполнения
Компактные исполнения серии EM1
Компактная подогреваемая серия KM1
Поставка и сопровождение CBVAC в России
Если Вам требуется мембраноемкостной вакуумметр CBVAC для вакуумной установки, газовой панели, испытательного стенда, технологической линии или производственной сети с цифровым управлением, специалисты Leaklab подберут оптимальную серию и исполнение под Вашу задачу.
Компания Leaklab обеспечивает консультации, поставку, техническую настройку, наладку, ввод в эксплуатацию и сопровождение вакуумметров CBVAC на территории России. Это позволяет получить не просто датчик, а готовое измерительное решение, корректно работающее в составе реального оборудования.
При заказе конкретной модификации рекомендуется дополнительно подтверждать заводское обозначение, диапазон, интерфейс, тип разъема и монтажное исполнение по окончательной спецификации выбранной модели.
