Инструкция по техническому обслуживанию гелиевого течеискателя ASM 142 и ASM 142 S
1. Требования безопасности
При нормальных условиях эксплуатации вакуумная система течеискателя сохраняет герметичность, обеспеченную при изготовлении и первоначальной настройке оборудования. Ответственность за поддержание требуемого уровня герметичности в процессе эксплуатации, технического обслуживания и ремонта несет эксплуатирующая организация.
- остановите течеискатель штатным способом
- установите главный выключатель в положение «0»
- отсоедините кабель электропитания
- дождитесь полной остановки высоковакуумного насоса
- стравите вакуум предусмотренным конструкцией способом
Условия выполнения работ
- работайте в чистом помещении
- размещайте детали на безворсовой бумаге
- используйте чистые неопудренные перчатки
- обдувайте детали сухим фильтрованным воздухом или азотом
- закрывайте открытые патрубки чистыми заглушками
- не касайтесь уплотнительных поверхностей и элементов анализатора
Условные обозначения инструмента
2. Доступ к внутренним узлам ASM 142 и ASM 142 S
Уровень доступа 1. Снятие верхней крышки
Откройте фиксатор ленточного кабеля и при необходимости отсоедините двадцатиконтактный разъем.
Доступ к внутренней калиброванной течи
- Отсоедините датчик температуры.
- Сожмите фиксаторы корпуса течи.
- Осторожно извлеките течь вниз.
Уровень доступа 2. Доступ к электронной плате
- Отверните два винта М5 и снимите шайбы.
- Откройте съемную монтажную панель.
Демонтаж основного вакуумного блока
- отсоедините два разъема анализатора
- отсоедините быстроразъемные соединения клапанов
- отсоедините разъем молекулярного насоса
- снимите трубопровод DN25
- отверните пять крепежных винтов
3. Отправка течеискателя в сервисный центр
При отправке прибора приложите заполненную анкету безопасности с указанием технологических сред, загрязнений и выполненной очистки.
Используйте штатную упаковку или жесткий кофр. Установите заглушку на входной порт, зафиксируйте кабели и защитите панель управления.
4. Базовое обслуживание масс-спектрометрического анализатора
Замена катодов и коллектора электронов
- Отсоедините два электрических разъема.
- Ключом 5 мм отверните шесть винтов.
- Извлеките фланец с помощью предусмотренного резьбового отверстия.
- Не используйте отвертку как рычаг.
Очистка корпуса
Следы металлизации удаляют абразивом P180, после чего частицы полностью удаляют и поверхности очищают спиртом.
Демонтаж и установка катодов
Витки катодов должны быть точно отцентрированы относительно прорези коллектора. Расстояния X и Y с обеих сторон должны быть равными.
Установка фланца
Момент затяжки составляет 7 Н·м для эластомерного уплотнения и 8 Н·м для металлического.
Проверка после сборки
Подключите анализатор, выполните откачку, включите катод, запустите автокалибровку и сбросьте счетчик наработки катодов.
5. Установка и техническое обслуживание клапанов
Очищайте детали спиртом, используйте минимальное количество вакуумной смазки и сразу закрывайте открытые вакуумные полости.
6. Замена внутренней калиброванной течи
- Снимите фиксаторы.
- Отсоедините датчик температуры.
- Отсоедините трубку откачки.
- Замените течь.
- Восстановите подключения.
После замены введите поток гелия, опорную температуру, температурный коэффициент, дату калибровки и серийный номер меры потока.
