Мембранно-ёмкостный вакуумметр ASAIR AGP21 серии AGP2100–AGP2113
Метрологический датчик абсолютного давления на основе высокостабильной емкостной мембраны Inconel, предназначенный для измерения вакуума в диапазоне 0–1000 Torr. Поставка, сервис и адаптация под российские технологические линии выполняется лабораторией Ликлаб — официальным представителем ASAIR в РФ.
Документ подготовлен на основе заводской документации ASAIR и расширен инженерными рекомендациями, учитывающими требования российских стандартов (ГОСТ 8.586, ГОСТ Р 50.05.01-2018) и практику внедрения на производственных площадках РФ.
1. Назначение и физический принцип измерения
Серия AGP21 представляет собой семейство высокоточных мембранно-ёмкостных датчиков, основанных на измерении изменения ёмкости между мембраной Inconel и неподвижным электродом. Под действием давления происходит микродеформация мембраны (в пределах упругой области), что приводит к линейному изменению емкости, далее преобразуемому в цифровой или аналоговый сигнал.
Сенсорный элемент выполнен полностью из металлов (Inconel + 316L), не содержит горячих нитей или элементов, зависящих от типа газа, и обеспечивает:
- абсолютную независимость показаний от состава газовой смеси;
- высокую линейность по всему диапазону;
- минимальный температурный дрейф;
- коррозионную стойкость в условиях полупроводниковых и химических технологий.
В отличие от датчиков Пирани, мембранно-ёмкостные вакуумметры дают истинное давление, а не теплопроводностный эквивалент, что делает их незаменимыми в тонких технологических процессах.
2. Производитель ASAIR и представитель в России — лаборатория Ликлаб
Компания ASAIR (Guangzhou Aosong Electronics Co., Ltd.) — один из ведущих производителей сенсорных систем в области давления, влажности, расхода и температуры. Линейка вакуумметров AGP21 используется в промышленности Китая, Кореи, стран ЕС и США. Производство сертифицировано по ISO9001, а сенсорные элементы проходят 100% тестирование на термоциклирование.
В России официальные поставки, метрологическая адаптация и техническая поддержка выполняются лабораторией Ликлаб, специализирующейся на вакуумной технике и контроле герметичности. Ликлаб обеспечивает:
- поставку приборов AGP21 с русскоязычной документацией и адаптированной прошивкой;
- консультации по интеграции в АСУ ТП, вакуумные установки и стенды течеискания;
- калибровку и поверку в соответствии с ГОСТ 8.586;
- переоснащение фланцев и переходников KF/VCR/NPT для российских линий;
- сервис и гарантийное обслуживание;
- проведение испытаний на герметичность с использованием AGP в составе установок Ликлаб.
При заказе через Ликлаб возможна поставка модификаций, отсутствующих в открытом каталоге ASAIR, а также индивидуальная калибровка датчика под рабочий диапазон заказчика (например, 0–2 Torr для ALD).
3. Применение
Мембранно-ёмкостные вакуумметры AGP21 используются в процессах, где требуется высокая точность и независимость от типа газа:
- полупроводниковые технологии: PECVD, ALD, RIE, травление;
- производство солнечных элементов и фотоники;
- вакуумная стерилизация и фармацевтическая упаковка;
- вакуумная сушка и дегазация материалов;
- аналитические установки и лабораторные вакуумные системы;
- производство композитов;
- стенды контроля герметичности, произведённые лабораторией Ликлаб.
4. Конструкция и размеры
Корпус выполнен из полимерного материала с интегрированным TFT-дисплеем. Вакуумная часть — полностью металлическая, из 316L и Inconel. Фланец KF16 электрополирован.
5. Интерфейсы и распиновка
5.1. Разъём DB9 (стандартная модификация)
| Контакт | Назначение |
|---|---|
| 1 | Аналоговый выход, «+» |
| 2 | RS485 A |
| 3 | RS485 B |
| 4 | +15…30 В DC |
| 6 | Питание «–» / GND |
| 9 | Аналоговый выход, «–» |
5.2. Кабель DB9F
| Цвет | Функция |
|---|---|
| Чёрный | Сигнал «+» |
| Белый | Сигнал «–» |
| Коричневый | RS485 A |
| Красный | RS485 B |
| Оранжевый | +Питание |
| Зелёный | Питание «–» |
6. Вакуумный фланец KF16 и переходники
Фланец KF16 изготовлен из 316L, поверхность электрополирована. Ликлаб поставляет любые адаптеры: KF16–KF25, KF16–KF40, VCR 1/4″ и 1/2″, NPT, VCO — в зависимости от конфигурации вакуумной линии.
7. Технические характеристики
| Модель | Диапазон | Точность | Время отклика |
|---|---|---|---|
| AGP2110 | 0–1 Torr | ±0.3% от показания | ≤ 60 мс |
| AGP2111 | 0–10 Torr | ||
| AGP2112 | 0–100 Torr | ||
| AGP2113 | 0–1000 Torr |
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Питание | 15–30 В DC |
| Выход | RS485 (Modbus RTU), 0–10 В линейный |
| Рабочая температура | +5…+50 °C |
| Перегрузка | до 300 кПа |
| Материалы | Inconel + 316L |
8. Аналоговый выход 0–10 В
Характеристика полностью линейная. Формулы:
P(Torr) = U × K
K зависит от модели: AGP2110: K = 0.1, AGP2111: K = 1, AGP2112: K = 10, AGP2113: K = 100
9. RS485 / Modbus RTU
Датчик поддерживает стандартный Modbus RTU с адресом по умолчанию 1. Ликлаб по запросу выполняет настройку адресов, скоростей, интеграцию в ПЛК Siemens/ОВЕН/Keyence.
| Адрес | Параметр | Тип |
|---|---|---|
| 0x0000 | Давление (float) | RO |
| 0x0002 | ADC-значение | RO |
| 0x0004 | Статус | RO |
10. Меню и настройки
Меню включает смену адреса, единиц (Pa/Torr/mbar), скорости RS485, верхней/нижней калибровки.
11. Комплект поставки
| Наименование | Кол-во |
|---|---|
| Вакуумметр AGP21 | 1 |
| Сертификат качества | 1 |
| Руководство | 1 |
| Переходники KF/NPT/VCR | опция |
12. Меры безопасности
13. Гарантия и сервис Ликлаб
| Изделие | Срок |
|---|---|
| AGP21 (все модели) | 12 месяцев |
Лаборатория Ликлаб обеспечивает:
- официальную гарантию и постгарантийное обслуживание;
- диагностику, ремонт и замену сенсоров;
- поверку и первичную калибровку под рабочий диапазон;
- адаптацию приборов под камеры течеискания, установки вакуумирования, линии ALD/PECVD;
- поставка расходных материалов, фильтров, фланцев, переходников.
Контактная информация и способы заказа опубликованы на сайте Leaklab.ru.
