Сканирующие электронные микроскопы KYKY-EM6900

Линейка KYKY-EM6900 относится к настольным высоковакуумным сканирующим электронным микроскопам общего назначения и предназначена для наблюдения микрорельефа и анализа состава поверхности материалов с использованием детекторов вторичных и обратно-отражённых электронов. Приборы серии оптимизированы для научных исследований, учебных задач и промышленного контроля, включая работу с проводящими и непроводящими образцами в низковакуумных режимах отдельных моделей.

Состав и принцип работы

Микроскопы серии построены по классической схеме СЭМ: электронная колонна формирует тонкий зонд электронов, который развертывается по поверхности образца. В результате взаимодействия зонда с материалом возникают вторичные и обратно-отражённые электроны, регистрируемые соответствующими детекторами. Измерительное увеличение и разрешение определяются параметрами оптики, режимом ускоряющего напряжения, током пучка и вакуумным состоянием камеры.

Вакуумная система включает турбомолекулярный насос и форвакуумный механический насос, обеспечивающие высоковакуумный режим для стабильной электронной оптики. На моделях EM6910 и EM6920 предусмотрен дополнительный низковакуумный режим, позволяющий исследовать непроводящие и слабо проводящие материалы без обязательного нанесения проводящего покрытия.

Сравнение модификаций EM6910S, EM6910 и EM6920

Электронно-лучевая литография на базе EM6900 (EBL)

Для линейки EM6900 доступна конфигурация электронно-лучевой литографии EBL. Система обеспечивает управление траекторией и энергией электронного пучка с формированием микронных и субмикронных структур. Ключевая особенность EBL-решения на базе СЭМ — совмещение экспонирования и визуального контроля в одной вакуумной камере, что уменьшает число технологических операций и повышает воспроизводимость протяжённых и периодических наноструктур.

Типовые области применения EBL-модуля включают учебные и исследовательские проекты, микро- и наноэлектронику, разработку прототипов сенсоров, фотонных структур и функциональных нанопокрытий, а также биомедицинские исследования, где требуется локальная микромодификация поверхности.

Встроенные функции и режимы работы

Для повышения производительности серия EM6900 оснащается рядом аппаратных и программных средств. Предкамера быстрой загрузки LoadLock уменьшает время замены образцов и снижает загрязнение основной камеры. В сочетании с моторизованным столиком это обеспечивает стабильные условия эксперимента при серийных измерениях.

Одновременное формирование SE/BSE-изображений

Система поддерживает параллельную регистрацию сигналов вторичных и обратно-отражённых электронов. Это позволяет одновременно получать топографическую картину и контраст по атомному номеру, настраивать долю смешивания сигналов и быстро переключаться между режимами анализа рельефа и состава.

Автоматическая сшивка больших полей

Функция панорамной сшивки автоматически планирует матрицу кадров по всей области образца и формирует единое изображение с высокой детализацией. Это важно для анализа неоднородностей покрытий, дефектов и микроструктур на больших площадях.

Анализ частиц и гранулометрии

Программный модуль распознаёт масштаб, выделяет отдельные частицы и рассчитывает распределения по размеру и форме. Возможен экспорт статистики для технологических отчётов и научных публикаций, что актуально для порошковой металлургии, катодных/анодных материалов и керамик.

Измерение критических размеров

Инструменты измерений обеспечивают определение расстояний, углов, диаметров и радиусов по изображению. Функция применяется при контроле геометрии дорожек и контактов в микроэлектронике, при оценке толщин и параметров микрорельефа.

Примеры исследований и типовые объекты

Серия EM6900 демонстрирует универсальность при работе с широким набором объектов: от проводящих плат и металлических шлифов до полимеров, биологических образцов и пористых материалов. Низковакуумный режим EM6910/EM6920 расширяет перечень исследуемых непроводящих объектов, включая целлюлозные, биополимерные и композиционные структуры.

Поставка, ввод в эксплуатацию и сервис в Лаборатории Ликлаб

Лаборатория Ликлаб сопровождает поставку микроскопов KYKY-EM6900 под задачи заказчика: от выбора модификации и комплектации детекторами до подбора столика и аналитических модулей EDS/EBSD. На этапе ввода в эксплуатацию выполняются проверка вакуумной системы, контроль достижимого давления, тестирование работы электронно-оптической колонны, калибровка масштабов и настройка детекторов SE/BSE.

Сервисное сопровождение включает регламентное обслуживание турбомолекулярных и форвакуумных насосов, диагностику утечек и дегазационных эффектов камеры, восстановление вакуумных характеристик, настройку развертки и электронного зонда, а также обновление и конфигурирование программных модулей измерений. При необходимости Ликлаб организует поверку или подготовку микроскопа к периодической метрологической проверке с обеспечением нормальных условий испытаний и калибровочных образцов.