На графике ниже приведена статистика обнаруженных течей в соответствии с их потоком. На графике видны два распределения. Первое, с пиком в районе 10⁻⁵ Па·м³/с, соответствует сквозным утечкам. Это наиболее частые выявляемые утечки, связанные с дефектами конструкции.
В диапазоне 10⁻¹³–10⁻9 Па·м³/с играет основную роль газовая проницаемость. То есть выбранный материал не обеспечивает удержание рабочего газа и становится причиной утечки не из-за дефектов, а из-за своей структуры. Поэтому на этапе проектирования важно учитывать газовую проницаемость материалов в отношении конкретных рабочих газов. Газовую проницаемость можно измерить с помощью специальных приборов, называемых квадрупольными масс-спектрометрами. Поток 1 × 10⁻12 мбар.л/с равен 1 × 10⁻13 Па·м³/с.
Отметим, что пороговая чувствительность современных гелиевых течеискателей составляет 5·10-13 Па·м3/с. Это задает максимальную чувствительность и минимальную определяемую течь. Интересным вопросом является, сколько атомов газа, проникающих в систему, соответствует этой пороговой чувствительности. Ответом будет – порядка 100 миллионов атомов в секунду.
Мы должны понимать, что даже на самой высокой чувствительности течеискателя речь идет не о отдельных атомах гелия, а о статистически больших количествах газа – миллиарды молекул в секунду. При этом мы говорим о самом высокочувствительном методе контроля герметичности – гелиевом масс-спектрометрическом.
