Как калибровать течеискатель AGILENT HLD MR15: внутренняя и внешняя калибровка по контрольной течи

Назначение и область применимости

Методика описывает двухступенчатую калибровку течеискателя AGILENT HLD MR15. Первая ступень представляет собой автоматическую внутреннюю калибровку по встроенной контрольной течи с одновременной оптимизацией настроек масс-анализа. Вторая ступень выполняется по поверенной внешней контрольной течи и настраивает коэффициент преобразования прибора к паспортному потоку. Такой порядок обеспечивает воспроизводимость показаний на высоких чувствительностях и прослеживаемость к эталонным средствам измерений.

Условия и подготовка

Калибровка выполняется только в запущенном режиме измерений. Перед началом необходимо прогреть течеискатель до стабильного фонового уровня, проверить корректность электропитания и заземления, убедиться в отсутствии подсосов воздуха по вакуумному тракту и при необходимости выполнить сервисные операции по вакуумной части, включая замену масла и настройку границ диапазона датчика Пирани с контролем по внешнему вакуумметру. В меню прибора предварительно задаётся номинал внешней контрольной течи, который будет использоваться на второй ступени.

Необходимое оснащение для внешней калибровки

Поверенная внешняя гелиевая течь с действующим свидетельством, ручной отсечной клапан для открытия и закрытия потока, уплотнения и хомуты соответствующего стандарта присоединений, а также адаптер для подключения течи к входу течеискателя. Конфигурация должна исключать паразитные объёмы и утечки в обвязке.

Этап А. Внутренняя калибровка

Шаг 1. Переведите прибор в режим измерений и при необходимости активируйте режим повышенной чувствительности. Убедитесь, что фон стабилен и находится на низком уровне, характерном для прогретого прибора в чистой атмосфере.

Шаг 2. Запустите внутреннюю калибровку из сервисного меню. Течеискатель автоматически переключится на встроенную течь, выполнит нулевую установку и начнёт оптимизацию параметров масс-спектрометрического анализа.

Шаг 3. В процессе автокалибровки прибор подбирает ускоряющее напряжение и связанные настройки так, чтобы отклик на внутреннюю течь был максимален. Найденные параметры запоминаются и используются в дальнейшей работе, что обеспечивает устойчивое попадание на гелиевый пик даже при небольших дрейфах вакуумной системы.

Шаг 4. По завершении на экране отображается успешное окончание операции без сообщений об ошибке. Если выводится предупреждение или ошибка, оцените фон, герметичность тракта и состояние вакуумной части, затем повторите процедуру после устранения причин.

Этап Б. Внешняя калибровка по контрольной течи

Шаг 1. Подключите внешнюю течь к входу течеискателя через адаптер и отсечной клапан. Убедитесь, что клапан закрыт. В интерфейсе прибора подтвердите наличие установленной течи и переход к внешней калибровке.

Шаг 2. Прибор запросит закрытое состояние течи и выполнит автоматическую нулевую установку. Дождитесь стабилизации фонового уровня и подтвердите готовность.

Шаг 3. По запросу прибора откройте клапан внешней течи и подтвердите создание потока. На экране появится устойчивый сигнал; сверьте номинал течи в меню с паспортным значением и продолжите процедуру.

Шаг 4. Течеискатель автоматически сопоставит регистрируемый электрический сигнал паспортному значению потока внешней течи, выполнит усреднение за заданный интервал и запишет коэффициент пересчёта. По завершении закройте клапан, дождитесь падения фона и подтвердите шаг. При необходимости прибор повторно запросит открытие течи для верификации стабильности.

Шаг 5. Если фон после закрытия течи не возвращается к исходному уровню, проверьте соединения, уплотнения и чистоту внутренней системы, устраните подсосы, выполните прочистку от гелиевого фона и повторите калибровку.

Особенности поведения прибора и интерпретация сигналов

При кратковременном поступлении большого количества гелия течеискатель может автоматически перейти на менее чувствительный диапазон для защиты анализатора от насыщения. Это штатное поведение, связанное с механикой защиты от «отравления» гелием. После снижения нагрузки прибор вернётся к ранее установленной чувствительности.

Внутренняя течь имеет собственную допускаемую погрешность порядка нескольких десятков процентов от номинала; небольшие расхождения между моментальным сигналом и паспортным значением допустимы. Точность рабочей шкалы на высокой чувствительности задаётся именно внешней калибровкой по поверенной течи.

Критерии успешной калибровки и оформление

Процедура считается выполненной корректно при отсутствии ошибок на этапах внутренней и внешней калибровок, возвращении фона к исходному уровню после закрытия внешней течи и получении стабильного коэффициента пересчёта. Рекомендуется зафиксировать в журнале дату, серийный номер течеискателя, параметры внутренней автокалибровки, тип и номинал внешней течи, значения фона до и после, а также итоговую отметку об успешном завершении.

Практические замечания для стабильных результатов

Соблюдайте чистоту приточного воздуха вокруг входного фланца, избегайте продувок в сторону приёмной линии и резких перепадов температуры. Используйте отсечной клапан непосредственно у течи для быстрых переходов «открыто/закрыто» и формирования нулевой линии. При работе в помещении с повышенным гелиевым фоном предусмотрите вентиляцию и временные паузы для десорбции. Перед каждой внешней калибровкой проверяйте дату поверки течи и целостность уплотнений в её обвязке.

Двухступенчатая схема AGILENT HLD MR15 сочетает автоматическую внутреннюю оптимизацию масс-аналитики и последующую настройку шкалы по поверенной внешней течи. Соблюдение последовательности «запуск измерений — внутренняя калибровка — внешняя калибровка — контроль фона» обеспечивает точную и воспроизводимую градуировку прибора для дальнейших испытаний на герметичность.