Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-160/401 (400 л/с, 5×10−7 Па) на керамических подшипниках
CBVAC JFB-160/401 — это мощный турбомолекулярный насос второго поколения, разработанный для получения высокого и сверхвысокого вакуума в диапазоне до 5×10⁻⁷ Па. Насос оснащён прецизионными керамическими подшипниками, консистентной смазкой и высокоскоростным бесдатчиковым электродвигателем. Быстрота действия составляет 400 л/с по азоту и ≈320 л/с по гелию, что делает модель оптимальной для средних и крупных вакуумных систем промышленного и научного назначения.
Назначение и область применения
Насос JFB-160/401 предназначен для установки в системах физического и химического осаждения (PVD, CVD), в оптических и электронных установках, в вакуумных анализаторах, масс-спектрометрах, установках контроля герметичности, а также в экспериментальных стендах физики плазмы, ускорительной техники и биотехнологических вакуумных установках. Он обеспечивает стабильную откачку при минимальной вибрации и не требует масляной смазки в вакуумном тракте, что гарантирует чистоту рабочего объёма.
Конструктивные особенности
- Прецизионные керамические подшипники с консистентной смазкой — высокая температурная стойкость, долговечность и минимальная вибрация (≤0,05 мкм).
- Монолитный ротор с балансировкой класса G1,0 — обеспечивает низкий уровень механических колебаний при скорости вращения до 36 000 об/мин.
- Гибкая система управления: насос комплектуется интегрированным контроллером JFB-II или выносным шкафным модулем JFD-II с интерфейсом RS-485 (Modbus RTU) для интеграции в автоматизированные системы.
- Интеллектуальное регулирование скорости — возможность выбора нескольких режимов откачки, адаптированных к технологическому процессу.
- Универсальная установка — допускается монтаж под любым углом; насос устойчив к внешним магнитным полям до 3 мТл (радиально) и 5 мТл (осево).
Технические характеристики CBVAC JFB-160/401
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Быстрота действия | 400 л/с (N₂); 320 л/с (He) |
| Предельное давление | ≤ 5×10⁻⁷ Па (CF), ≤ 5×10⁻⁶ Па (ISO-K) |
| Коэффициент сжатия | N₂: 1×10¹⁰; He: 5×10³ |
| Рабочий диапазон давлений | от 10⁻¹ до 10⁻⁷ Па |
| Входной фланец | DN160 (ISO-K или CF160) |
| Выходной фланец (форвакуумный) | KF40 |
| Рекомендуемый форвакуумный насос | 3–8 л/с |
| Максимальное входное давление | 10 Па (N₂); 3 Па (He) |
| Критическое давление на выходе | до 1000 Па (N₂); 600 Па (He) |
| Номинальная частота вращения | ≈ 36 000 об/мин |
| Время разгона | ≤ 5 мин |
| Тип подшипников | Керамические шариковые, консистентная смазка |
| Питание | 48 В DC (интегр.); 220 В AC (выносн.) |
| Интерфейсы | RS-485 (Modbus RTU), DB-15 логический порт |
| Потребляемая мощность (без нагрузки) | ≈ 35 Вт |
| Охлаждение | воздушное или водяное (15–25 °C, 1–2 л/мин, 0,15 МПа) |
| Температура окружающей среды | 0…+35 °C (возд.); 0…+40 °C (вод.) |
| Допустимое магнитное поле | до 3 мТл (радиально); до 5 мТл (осево) |
| Уровень шума | ≤ 52 дБ |
| Масса | ≈ 11 кг (ISO-K); 12 кг (CF) |
| Контроллер | JFB-II (интегр.) / JFD-II (выносной) |
Особенности эксплуатации
CBVAC JFB-160/401 сочетает высокую скорость откачки с низкой вибрацией, что делает его пригодным для работы в чувствительных к шуму и механическим колебаниям установках. Управление скоростью позволяет снижать потребление энергии и уровень нагрева при длительных циклах. При установке вблизи источников электромагнитных полей рекомендуется применение экранирования или соблюдение нормативных расстояний не менее 0,5 м.
Интеграция в вакуумные системы
Для достижения заявленных параметров рекомендуется использовать металлические уплотнения фланцев CF, прямые вакуумные линии без сужений и минимальное количество поворотов. Форвакуумный насос должен обеспечивать стабильное давление не выше 0,5 мбар. В системах с термическими процессами и потоками водяных паров необходимо предусмотреть охлаждение корпуса и подачу сухого газа в зону подшипников.
Сервис и поддержка
Все насосы серии CBVAC JFB проходят балансировку и тестирование в заводских условиях. Техническое обслуживание, диагностика и ремонт выполняются сервисным центром CBVAC в России на базе Лаборатории Leaklab. Доступны оригинальные контроллеры, комплекты подключения, кабельные жгуты и переходные фланцы.