Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-63/81 — высоковакуумное решение на керамических подшипниках
Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-63/81 — это компактный высокоскоростной агрегат с прецизионными керамическими подшипниками и консистентной смазкой, предназначенный для создания высокого и сверхвысокого вакуума до 5×10⁻⁷ Па. Насос обеспечивает быстроту действия до 85 л/с по азоту и 55 л/с по гелию, работая стабильно в диапазоне давлений от 10⁻¹ до 10⁻⁷ Па. Модель оснащена интеллектуальным контроллером JFB-I, позволяющим управлять насосом одной кнопкой, а также интерфейсом RS-485 (Modbus RTU) для интеграции в автоматизированные системы.
Назначение и область применения
CBVAC JFB-63/81 используется в установках физического и химического осаждения (PVD/CVD), в системах напыления оптических покрытий, масс-спектрометрии, аналитическом приборостроении, вакуумном контроле герметичности, а также в научных исследованиях в области физики высоких энергий, биомедицины и нанотехнологий. Насос рассчитан на эксплуатацию в промышленных линиях и лабораторных комплексах, где требуется чистый, стабильный и управляемый вакуум при компактных габаритах оборудования.
Конструктивные особенности
- Прецизионные керамические подшипники — обеспечивают минимальные вибрации (≤0,05 мкм), длительный срок службы и устойчивую работу при произвольном положении насоса.
- Интегрированный контроллер — позволяет выполнять пуск, останов и регулировку скорости вращения одним нажатием; доступно дистанционное управление и диагностика.
- Высокая надежность — монолитный турбинный ротор, сбалансированный по оси, приводится в движение бесдатчиковым электродвигателем с высокой частотой вращения.
- Регулируемая частота вращения — диапазон 600–1250 Гц (до 75 000 об/мин) обеспечивает гибкость по быстроте действия.
- Компактность и малошумность — масса 2,5 кг, уровень шума ≤50 дБ, что позволяет использовать насос в чистых помещениях классов ISO 5–7.
Технические характеристики JFB-63/81
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Быстрота действия | 85 л/с (N₂); 55 л/с (He) |
| Предельное давление | ＜8×10⁻⁶ Па (ISO-K), до 5×10⁻⁷ Па (CF) |
| Коэффициент сжатия | N₂ – 1×10⁸; He – 1×10⁶ |
| Входной фланец | KF16 |
| Рекомендуемый форвакуумный насос | 0,5–2 л/с |
| Макс. входное давление | N₂ – 2 Па; He – 4 Па |
| Критическое выходное давление | N₂ – 950 Па; He – 500 Па |
| Макс. постоянное давление на выходе | N₂ – 650 Па; He – 300 Па |
| Макс. расход на входе | 100 см³/мин (возд. охл.); 140 см³/мин (вод. охл.) |
| Тип подшипников | Керамические шариковые, консистентная смазка |
| Напряжение питания | 24 В DC ±5% |
| Потребляемая мощность без нагрузки | ~10 Вт |
| Макс. пусковой ток | ＜5 А |
| Время разгона / остановки | ≤2,5 мин / ≤3,5 мин |
| Номинальная частота вращения | 1250 Гц (75 000 об/мин) |
| Охлаждение | Воздушное / водяное / естественная конвекция |
| Температура окружающей среды | Воздушное: 0…+35°C; Водяное: 0…+40°C |
| Параметры водяного охлаждения | 15–25°C, 1 л/мин, 0,15 МПа, pH 6–8 |
| Коммуникация | RS-485, Modbus RTU |
| Уровень шума | ≤50 дБ |
| Масса | 2,5 кг |
| Контроллер | JFB-I (интегрированный) |
Рабочие особенности
CBVAC JFB-63/81 допускает установку под любым углом и способен работать в условиях магнитных полей до 3 мТл (радиальное) и 5 мТл (осевое). Насос сохраняет устойчивую работу при высоких скоростях вращения, не требует дополнительной смазки или обслуживания подшипников, имеет встроенный порт продувки KF16 и допускает естественное охлаждение в режиме малых нагрузок. При работе с водяным охлаждением достигается максимальная стабильность предельного вакуума и долговечность подшипникового узла.
Преимущества модели JFB-63/81
- Быстрый разгон до номинальных оборотов менее чем за 3 минуты.
- Низкое энергопотребление при высоких скоростях откачки.
- Устойчивость к вибрациям и электромагнитным воздействиям.
- Простая интеграция с системами вакуумного контроля и автоматики.
- Отсутствие необходимости в масляной смазке и связанной с ней контаминации.
Применение
Модель JFB-63/81 применяется в системах вакуумного контроля герметичности, масс-спектрометрах, аналитических приборах, установках осаждения покрытий и в лабораторных установках, где требуется компактное и чистое решение для получения высокого вакуума. Благодаря малой массе и низкому уровню шума насос легко интегрируется в мобильные или настольные системы.
Сервис и поддержка
Официальное техническое обслуживание, диагностика и поставка запасных частей для насосов JFB выполняются сервисным центром CBVAC Россия на базе Лаборатории Leaklab. Доступны оригинальные контроллеры, кабельные комплекты, переходные фланцы и узлы водяного охлаждения.