Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-160/701 (700 л/с, 5×10−7 Па) на керамических подшипниках
CBVAC JFB-160/701 — это высокопроизводительный турбомолекулярный насос с керамическими подшипниками и консистентной смазкой, предназначенный для создания высокого и сверхвысокого вакуума до 5×10⁻⁷ Па. Насос обеспечивает быстроту действия 650–700 л/с по азоту, имеет интегрированный контроллер JFB-III и возможность раздельного управления. Благодаря высокой степени сжатия (N₂ — 1×10¹¹, He — 1×10⁴), низкому уровню вибраций и интеллектуальному управлению, модель JFB-160/701 является флагманским решением CBVAC для промышленных и исследовательских установок среднего и крупного класса.
Назначение и область применения
Насос JFB-160/701 применяется в установках PVD/CVD осаждения покрытий, системах напыления и травления, в оптических и электронных технологиях, вакуумных испытательных стендах, установках контроля герметичности, масс-спектрометрии и плазменных системах. Благодаря устойчивости к пыли, влаге и допустимым форвакуумным перепадам, насос используется также в производственных линиях с высокими тепловыми нагрузками и частыми циклами «вакуум–атмосфера».
Конструктивные особенности
- Прецизионные керамические подшипники с консистентной смазкой — обеспечивают стабильную работу при любой ориентации, низкие вибрации (≤0,05 мкм) и длительный ресурс.
- Интегрированный контроллер JFB-III (или раздельный JFB-III-B) с интеллектуальной системой защиты и интерфейсом RS-485 (Modbus RTU).
- Широкий рабочий диапазон — от 10 Па до 10⁻⁷ Па, возможность регулирования скорости вращения ротора.
- Высокая степень сжатия — N₂ до 10¹¹, He до 10⁴; идеален для чистых процессов и откачки инертных газов.
- Двухконтурное охлаждение — воздушное или водяное, в зависимости от тепловых условий эксплуатации.
- Комплексная защита — контроллер обеспечивает защиту от перегрева, перенапряжения, перегрузки по току и сбоя питания.
Технические характеристики JFB-160/701
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Быстрота действия | 650 л/с (N₂); 550 л/с (He) |
| Предельное давление | <5×10⁻⁶ Па (ISO-K); <5×10⁻⁷ Па (CF) |
| Коэффициент сжатия | N₂ — 1×10¹¹; He — 1×10⁴ |
| Входной фланец | DN160 ISO-K или CF160 |
| Выходной (форвакуумный) фланец | KF25 или KF40 |
| Рекомендуемая производительность форвакуумного насоса | 4–10 л/с |
| Максимальное форвакуумное давление | N₂ — 300 Па; He — 200 Па |
| Критическое давление на выходе | N₂ — 1000 Па; He — 500 Па |
| Максимальное входное давление | N₂ — 2 Па; He — 1 Па |
| Нормальная скорость ротора | 36 000 об/мин |
| Скорость в режиме ожидания | 25 200 об/мин |
| Время разгона / остановки | ≈5 мин / ≈5 мин |
| Макс. пусковой ток | ≤5,5 А |
| Нормальный ток | ≤0,6 А |
| Максимальная мощность | 1200 Вт |
| Напряжение питания | 220 В переменного тока ±10% |
| Выходное напряжение контроллера | ≤120 В |
| Тип подшипников | Керамические шариковые, смазанные консистентной смазкой |
| Контроллер | JFB-III или JFB-III-B |
| Интерфейсы управления | RS-485, DB15, кнопка запуска/остановки |
| Функции защиты | Перегрузка, перегрев, пониженное/повышенное напряжение, сбой питания |
| Охлаждение | водяное / воздушное |
| Температура охлаждающей воды | 15–30 °C |
| Расход охлаждающей воды | ≥1,5 л/мин (≈90 л/ч) |
| Давление воды | 0,15 МПа, pH 6–8, очищенная |
| Температура окружающей среды | 5–35 °C (воздух); до 40 °C (вода) |
| Допустимое магнитное поле | ≤3 мТл (радиальное); ≤5 мТл (осевое) |
| Уровень шума | ≤60 дБ |
| Масса | ≈23 кг (ISO-K) / 19 кг (CF) |
| Рабочее положение | любое |
Преимущества и особенности эксплуатации
- Быстрый запуск и торможение (около 5 минут).
- Стабильная работа при перепадах давления и воздействии магнитных полей.
- Интеллектуальная защита контроллера и двигателя от перегрева, перегрузки и сбоев питания.
- Высокая степень чистоты вакуумного объёма — отсутствие масляных паров и загрязнений.
- Возможность регулировки скорости вращения в зависимости от требований процесса.
- Повышенная стойкость к пылевым и химически нейтральным газовым средам.
Интеграция и монтаж
JFB-160/701 легко интегрируется в вакуумные установки с интерфейсом RS-485 или через цифровой разъём DB15. Допускается монтаж в произвольном положении — вертикальном, горизонтальном или наклонном. Для обеспечения стабильности параметров необходимо поддерживать достаточный расход охлаждающей воды и избегать вибрационных воздействий. Форвакуумный насос рекомендуется производительностью не ниже 4 л/с.
Сервис и поддержка
Турбомолекулярные насосы CBVAC серии JFB обслуживаются официальным сервисным центром CBVAC Россия на базе Лаборатории Leaklab. Выполняется пусконаладка, диагностика, ремонт и поставка оригинальных комплектующих, включая контроллеры, кабельные комплекты, фланцы и системы охлаждения.