Турбомолекулярный насос CBVAC JFB-100/251 на керамических подшипниках (250 л/с, до 5×10−7 Па)
CBVAC JFB-100/251 представляет собой турбомолекулярный насос второго поколения с прецизионными керамическими шарикоподшипниками и консистентной смазкой. Конструкция ориентирована на стабильное получение высокого и сверхвысокого вакуума при компактных габаритах и низкой вибрации. Насос обеспечивает номинальную быстроту действия 250 л/с по азоту, достигает предельного давления до 5×10−7 Па (в исполнениях с фланцем CF) и допускает интеграцию как с встроенным контроллером, так и с выносным шкафным контроллером.
Назначение и область применения
Модель JFB-100/251 рассчитана на использование в системах вакуумного напыления PVD/CVD, оптических установках, аналитических комплексах и масс-спектрометрии, в установках контроля герметичности, а также в научных и пилотных установках, где требуется чистый вакуум, быстрый запуск и воспроизводимость параметров. Диапазон рабочих давлений охватывает область ориентировочно от 10−1 до 10−7 Па при корректно подобранной форвакуумной линии и герметичности системы.
Конструктивные особенности
Опорный узел выполнен на керамических подшипниках с консистентной смазкой, что обеспечивает низкую вибрацию и ресурсную стойкость при высоких частотах вращения. Турбинный ротор выполнен как единое сбалансированное тело, привод реализован бесдатчиковым высокоскоростным электродвигателем. Контроль и диагностика выполняются через интерфейс RS-485 (Modbus RTU); поддерживается регулирование частоты вращения для подстройки быстроты действия под конкретную газовую нагрузку. Допускается монтаж в произвольном пространственном положении при соблюдении требований к тепловому режиму и виброразвязке.
Технические характеристики
| Параметр | Значение для JFB-100/251 |
|---|---|
| Номинальная быстрота действия | 250 л/с (N2); ориентировочно 200 л/с (He) |
| Предельное остаточное давление | до 5×10−7 Па (CF); не хуже 5×10−6 Па (ISO-K) |
| Коэффициент сжатия | N2 ~108; He ~106 |
| Входной фланец | DN100: ISO-K 100 или CF100 (в зависимости от исполнения) |
| Выходной фланец форвакуума | KF25/40 (по комплектации), работа через форвакуумный насос |
| Рекомендуемый форвакуумный насос | 1–4 л/с по N2 с устойчивой работой при 0,1–1 мбар на выходе |
| Критическое давление на выходе | типично до ~103 Па для N2 (ориентир), ниже для He; точные значения по паспорту |
| Номинальная частота вращения | порядка 50–55 тыс. об/мин; регулирование по команде контроллера |
| Время разгона / торможения | ≈3 мин / ≈3,5 мин |
| Вибрация корпуса | до ≈0,05 мкм при корректной установке |
| Охлаждение | воздушное; для повышенных тепловых потоков — водяное 15–25 °C, ≥1–2 л/мин |
| Питание контроллера | интегрированный JFB-II-G3 (24 VDC) или выносной JFD-II (220 VAC) |
| Интерфейсы и протоколы | локальное управление, DB-15 логический I/O, RS-485 (Modbus RTU) |
| Допустимое внешнее магнитное поле | радиально до ≈3 мТл; осево до ≈5 мТл |
| Уровень шума | типично ≤55 дБ |
Интеграция в систему
Для достижения нижних предельных давлений рекомендуется использование фланцевого соединения CF на входе насоса, минимизация длины и количества поворотов присоединительного тракта, а также применение виброразвязок и мягких подводов коммуникаций. Форвакуумный насос подбирается по суммарной газовой нагрузке и допускаемому давлению на выходе турбомолекулярного насоса. При тепловых и газовых нагрузках выше средних следует предусматривать водяное охлаждение корпуса и фланца. В составе автоматизированных комплексов реализуется межблочная логика «охлаждение разрешено → пуск разрешён» и контроль токов/скорости для защиты подшипникового узла.
Эксплуатационные особенности
Насос допускает работу под произвольным углом установки, устойчив к фоновым магнитным полям технологического оборудования, имеет возможность регулирования скорости для снижения вибраций на чувствительных стадиях процесса и уменьшения тепловложений в межцикловых режимах. Обслуживание сводится к периодическому контролю вибрации, температуры корпуса, параметров форвакуумной линии и чистоты газовой магистрали; замена подшипников выполняется по регламенту ресурса в условиях сервисного центра.
Комплектация и сервис
Доступны исполнения с интегрированным контроллером JFB-II-G3 для компактной установки и с выносным контроллером JFD-II для шкафного монтажа, комплектами кабелей, переходными фланцами ISO-K/CF/KF, модулями водяного охлаждения и продувки. Поставка, ввод в эксплуатацию, регламентное обслуживание и ремонт выполняются сервисным центром CBVAC в России на базе Лаборатории Leaklab.